JP2007335520A - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
スピンドル本数を減らすと同時にスピンドル移動軸を削減し、生産性の向上、装置占有スペースの削減を可能にするダイシング装置及びダイシング方法を提供すること。
【解決手段】
ワークWを切削加工するブレード21、21が取り付けられる回転軸15A、15Bを両端に備えたスピンドル2と、ワークWを吸着載置し、ブレード21、21と相対的に移動するワークテーブル4A、4Bと、ワークテーブル4A、4Bとスピンドル2とを相対的に移動させるXガイド7A、7B、Yガイド5、Zガイド6とを備えたことにより、スピンドル本数を減らすと同時にスピンドルガイド手段を削減し、生産性の向上、装置占有スペースの削減を可能とした。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- 回転することによりワークを切削加工するブレードと、
前記ブレードが取り付けられる回転軸を両端に備え、前記回転軸を回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに内蔵され、前記回転軸を回転させる駆動手段と、
前記ワークを吸着載置し、前記スピンドルと相対的に移動するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記スピンドルとを相対的に移動させるガイド手段とを備えたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記スピンドルは、両端に前記回転軸がそれぞれ接続されている前記駆動手段としてのモータと、
前記回転軸を受ける複数の軸受けとを備えたことを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。 - 両端に回転軸を備え、2つのブレードを同時に回転させるスピンドルの前記回転軸に取り付けられた前記ブレードにより、2つのワークテーブルにそれぞれ吸着載置されたワークを同時に切削加工することを特徴とするダイシング方法。
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