JP2007333464A - 2波長イメージセンサ - Google Patents
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- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 94
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 21
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(oxomethylidene)benzenesulfonamide Chemical compound CC1=CC=C(S(=O)(=O)N=C=O)C=C1 VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910021340 platinum monosilicide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
- G01J5/22—Electrical features thereof
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14645—Colour imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14649—Infrared imagers
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/10—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths
- H04N23/11—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths for generating image signals from visible and infrared light wavelengths
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- H—ELECTRICITY
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- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/20—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only
- H04N23/23—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only from thermal infrared radiation
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- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/40—Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled
- H04N25/46—Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled by combining or binning pixels
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- H—ELECTRICITY
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- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/767—Horizontal readout lines, multiplexers or registers
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J2005/0077—Imaging
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
- G01J2005/202—Arrays
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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Abstract
【解決手段】この2波長イメージセンサでは、複数の可視光検出器1と複数の非冷却型赤外光検出器3を均一に分散配置し、1つの可視光検出器1で可視光検出用画素2を構成し、直列接続された4つの赤外光検出器3で熱赤外光検出用画素5を構成する。したがって、可視光画像の解像度は熱画像の解像度の4倍になる。また、赤外光画像の1画素当りの受光面積を4倍に高めることができ、熱赤外光画像の温度分解能が向上する。
【選択図】図1
Description
図1は、この発明の実施の形態1による2波長イメージセンサの構成を示す平面図である。図1において、この2波長イメージセンサは、複数の可視光検出器1と複数の非冷却型赤外光検出器3とを含む検出器アレイを備える。検出器1,3は実際には多数設けられているが、図1では図面の簡単化のため24個ずつ示されている。24個の可視光検出器1と24個の非冷却型赤外光検出器3は、均一に分散配置されている。すなわち、24個の可視光検出器1は4行6列に所定のピッチで配置され、24個の非冷却型赤外光検出器3は4行6列に所定のピッチで配置され、可視光検出器2と非冷却型赤外光検出器3は行方向および列方向に半ピッチずつずらせて配置されている。
図5は、この発明の実施の形態2による2波長イメージセンサの要部を示す図であって、図3と対比される図である。また、図6は、隣接する2つの赤外光検出器3の構成を示す断面図である。
図7は、この発明の実施の形態3による2波長イメージセンサの要部を示す平面図である。図7において、この2波長イメージセンサでは、熱赤外光検出用画素5は、3行3列に配置された9個の非冷却型赤外光検出器3と、9個の赤外光検出器3を電気的に直列接続する8本の金属配線4を含んで構成される。各非冷却型赤外光検出器3は、1個のSOIダイオード3aを含む。各熱赤外光検出用画素5の行に対応して水平選択線8が設けられ、各熱赤外光検出用画素5の列に対応して垂直信号線9が設けられる。したがって、熱赤外光検出用画素5は、電気的には水平選択線8と垂直信号線9との間に直列接続された9個のSOIダイオードで構成される。なお、図7では、可視光検出器1用の配線などは図示していないが、他の構成および撮像動作については実施の形態1と同様である。
図8は、この発明の実施の形態4による2波長イメージセンサの要部を示す平面図であって、図7と対比される図である。図8において、この2波長イメージセンサでは、図7の2波長イメージセンサと同様に、熱赤外光検出用画素5は、直列接続された9個の赤外光検出器3で構成される。また、熱赤外光検出用画素5を構成する9個の赤外光検出器3のそれぞれに、赤外線吸収傘27が独立して形成される。ここで、3行3列に配置された9個の赤外光検出器3のうちの中央に位置する赤外線検出器3の赤外線吸収傘27は、周辺に位置する他の赤外線検出器3の赤外線吸収傘27に比べて、面積が広くなるように形成される。他の構成および撮像動作については実施の形態1に示した2波長イメージセンサと同様である。
図9は、この発明の実施の形態5による2波長イメージセンサの要部を示す平面図であって、図7と対比される図である。図9において、この2波長イメージセンサでは、図7の2波長イメージセンサと同様に、熱赤外光検出用画素5は、直列接続された9個の赤外光検出器3で構成される。また、熱赤外光検出用画素5を構成する9個の赤外光検出器3のそれぞれに、赤外線吸収傘27が独立して形成される。9個の赤外光検出器3の赤外線吸収傘27は同じ大きさである。ここで、3行3列に配置された9個の赤外光検出器3のうちの中央に位置する赤外線検出器3には直列接続された2つのSOIダイオード3aが形成され、周辺に位置する他の赤外線検出器3にはSOIダイオード3aが1個ずつ形成される。他の構成および撮像動作については実施の形態1に示した2波長イメージセンサと同様である。
図10は、この発明の実施の形態6による2波長イメージセンサの要部を示す平面図である。図10において、この2波長イメージセンサでは、熱赤外光検出用画素5は、被写体からの熱赤外光を検出するための赤外光検出部5aと、基板温度を検出するための基板温度検出部5bとを含む。各熱赤外光検出用画素5の行に対応して水平選択線8が設けられ、各赤外光検出部5aの列に対応して垂直信号線9aが設けられ、各基板温度検出部5bの列に対応して垂直信号線9bが設けられる。
Claims (10)
- 可視光画像と赤外光画像の両方を撮像する2波長イメージセンサであって、
均一に分散配置された複数の可視光検出器および複数の非冷却型赤外光検出器を含む検出器アレイを備え、
各可視光検出器は前記可視光画像の1画素を構成し、
前記複数の非冷却型赤外光検出器はN個(ただし、Nは2以上の整数である)ずつグループ化され、各グループに属するN個の非冷却型赤外光検出器は直列接続されて前記赤外光画像の1画素を構成していることを特徴とする、2波長イメージセンサ。 - 各非冷却型赤外光検出器はSOIダイオード方式であることを特徴とする、請求項1に記載の2波長イメージセンサ。
- 各非冷却型赤外光検出器は、直列接続された1または2以上のSOIダイオードを含み、
各グループに属するN個の非冷却型赤外光検出器の中心に位置する非冷却型赤外光検出器のSOIダイオードの数は、そのグループの他の非冷却型赤外光検出器のSOIダイオードの数よりも大きいことを特徴とする、請求項2に記載の2波長イメージセンサ。 - 各非冷却型赤外光検出器はボロメータ方式であることを特徴とする、請求項1に記載の2波長イメージセンサ。
- 各非冷却型赤外光検出器はボロメータを含み、
各グループに属するN個の非冷却型赤外光検出器の中心に位置する非冷却型赤外光検出器のボロメータの抵抗値は、そのグループの他の非冷却型赤外光検出器のボロメータの抵抗値よりも大きいことを特徴とする、請求項4に記載の2波長イメージセンサ。 - 各非冷却型赤外光検出器は赤外線吸収傘を含み、
各グループに属するN個の非冷却型赤外光検出器の赤外線吸収傘は互いに熱的に結合されていることを特徴とする、請求項1から請求項5までのいずれかに記載の2波長イメージセンサ。 - 各非冷却型赤外光検出器は赤外線吸収傘を含み、
各赤外線吸収傘は他の赤外線吸収傘と熱的に独立して設けられ、
各グループに属するN個の非冷却型赤外光検出器の中心に位置する非冷却型赤外光検出器の赤外線吸収傘の面積は、そのグループの他の非冷却型赤外光検出器の赤外線吸収傘の面積よりも大きいことを特徴とする、請求項1から請求項5までのいずれかに記載の2波長イメージセンサ。 - 可視光画像と赤外光画像の両方を撮像する2波長イメージセンサであって、
均一に分散配置された複数の可視光検出器および複数の非冷却型赤外光検出器を含む検出器アレイを備え、
各可視光検出器は前記可視光画像の1画素を構成し、
前記複数の非冷却型赤外光検出器は2N個(ただし、Nは2以上の整数である)ずつグループ化され、各グループは前記赤外光画像の1画素を構成し、
各グループに属する2N個の非冷却型赤外光検出器はN個ずつ第1および第2のサブグループに分割され、前記第1のサブグループに属するN個の非冷却型赤外光検出器は直列接続されて赤外光検出部を構成し、前記第2のサブグループに属するN個の非冷却型赤外光検出器は直列接続されて基板温度検出部を構成し、前記第1のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器の赤外光検出感度は前記第2のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器の赤外光検出感度よりも高く、
さらに、前記赤外光検出部の出力信号のレベルから前記基板温度検出部の出力信号のレベルを減算して対応の画素の出力信号を生成する減算手段を備えることを特徴とする、2波長イメージセンサ。 - 前記第1のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器を中空断熱構造とするとともに前記第2のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器を中空断熱構造としないことにより、前記第1のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器の赤外光検出感度を前記第2のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器の赤外光検出感度よりも高くしたことを特徴とする、請求項8に記載の2波長イメージセンサ。
- 各非冷却型赤外光検出器を中空断熱構造とし、前記第1のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器の支持脚の熱コンダクタンスを前記第2のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器の支持脚の熱コンダクタンスよりも小さくすることにより、前記第1のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器の赤外光検出感度を前記第2のサブグループに属する非冷却型赤外光検出器の赤外光検出感度よりも高くしたことを特徴とする、請求項8に記載の2波長イメージセンサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006163405A JP4901320B2 (ja) | 2006-06-13 | 2006-06-13 | 2波長イメージセンサ |
US11/695,302 US7491937B2 (en) | 2006-06-13 | 2007-04-02 | Two-wavelength image sensor picking up both visible and infrared images |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006163405A JP4901320B2 (ja) | 2006-06-13 | 2006-06-13 | 2波長イメージセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007333464A true JP2007333464A (ja) | 2007-12-27 |
JP4901320B2 JP4901320B2 (ja) | 2012-03-21 |
Family
ID=38820953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006163405A Expired - Fee Related JP4901320B2 (ja) | 2006-06-13 | 2006-06-13 | 2波長イメージセンサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7491937B2 (ja) |
JP (1) | JP4901320B2 (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008204978A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Mitsubishi Electric Corp | 撮像素子 |
JP2009216558A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Oki Semiconductor Co Ltd | 赤外線検出素子の製造方法 |
WO2009148054A1 (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2010008093A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Toshiba Corp | 赤外線撮像装置および赤外線撮像方法 |
JP2010008092A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Toshiba Corp | 赤外線撮像装置および赤外線撮像方法 |
JP2010032410A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Toshiba Corp | イメージセンサおよびその製造方法 |
JP2010507806A (ja) * | 2006-10-24 | 2010-03-11 | レイセオン カンパニー | 非冷却lwir検出器に組み合わされた可視すなわちswir検出器を有するデュアル・バンド撮像装置 |
JP4516625B1 (ja) * | 2009-08-11 | 2010-08-04 | 正幸 安部 | 電子装置 |
JP2011123024A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Kodenshi Corp | 光センサ |
JP2012004540A (ja) * | 2010-05-20 | 2012-01-05 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP2012114439A (ja) * | 2010-11-23 | 2012-06-14 | Raytheon Co | 積層された読み出し集積回路を用いる検出器アレイの信号の処理 |
JP2014239416A (ja) * | 2013-05-10 | 2014-12-18 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
US9129880B2 (en) | 2013-03-18 | 2015-09-08 | Fujitsu Limited | Imaging device |
JP2018152921A (ja) * | 2013-05-10 | 2018-09-27 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
WO2021106964A1 (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 株式会社サタケ | 光学式選別機 |
JP7396554B1 (ja) | 2023-06-12 | 2023-12-12 | 三菱電機株式会社 | 撮像装置 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2918449B1 (fr) * | 2007-07-02 | 2010-05-21 | Ulis | Dispositif de detection de rayonnement infrarouge a detecteurs bolometriques |
US8153986B2 (en) * | 2007-07-09 | 2012-04-10 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Hybrid Compton camera/coded aperture imaging system |
JP5175136B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2013-04-03 | 株式会社ジャパンディスプレイウェスト | 電気光学装置及び電子機器 |
FR2966976B1 (fr) * | 2010-11-03 | 2016-07-29 | Commissariat Energie Atomique | Imageur monolithique multispectral visible et infrarouge |
US20120150451A1 (en) * | 2010-12-13 | 2012-06-14 | Halliburton Energy Services, Inc. | Optical Computation Fluid Analysis System and Method |
DE102011011767A1 (de) * | 2011-02-18 | 2012-08-23 | Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh | Medizintechnisches Gerät mit Mehrfunktionsdisplay |
US9013620B2 (en) | 2011-04-20 | 2015-04-21 | Trw Automotive U.S. Llc | Multiple band imager and method |
EP2530442A1 (en) * | 2011-05-30 | 2012-12-05 | Axis AB | Methods and apparatus for thermographic measurements. |
FR2999338B1 (fr) * | 2012-12-10 | 2017-12-08 | Soc Fr De Detecteurs Infrarouges - Sofradir | Imageur monolithique multispectral visible et infrarouge |
JP6308760B2 (ja) * | 2012-12-20 | 2018-04-11 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および光電変換装置を有する撮像装置 |
DE102013021519A1 (de) | 2013-12-12 | 2015-06-18 | Connaught Electronics Ltd. | Bilderfassungseinrichtung mit einem Bildsensor und einem thermischen Infrarotsensor sowie Kraftfahrzeug mit einer Bilderfassungseinrichtung |
US20150287766A1 (en) * | 2014-04-02 | 2015-10-08 | Tae-Chan Kim | Unit pixel of an image sensor and image sensor including the same |
WO2015178509A1 (ko) * | 2014-05-19 | 2015-11-26 | 삼성전자 주식회사 | 이종 화소 구조를 갖는 이미지 센서 |
CN104463112B (zh) * | 2014-11-27 | 2018-04-06 | 深圳市科葩信息技术有限公司 | 一种采用rgb+ir图像传感器进行生物识别的方法及识别系统 |
JP6395169B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2018-09-26 | シャープ株式会社 | 集積回路、及び測定装置 |
CN105043993A (zh) * | 2015-07-14 | 2015-11-11 | 国网山东省电力公司电力科学研究院 | 一种基于多光谱的复合绝缘子检测方法 |
US9911023B2 (en) * | 2015-08-17 | 2018-03-06 | Hand Held Products, Inc. | Indicia reader having a filtered multifunction image sensor |
CN105185802B (zh) * | 2015-08-31 | 2018-05-01 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 单芯片可见光红外混合成像探测器像元结构及制备方法 |
US10378957B2 (en) * | 2016-09-13 | 2019-08-13 | Safe-Fire Technology LLC | System and method for measuring coal burner flame temperature profile using optical device |
JP6939000B2 (ja) * | 2017-03-23 | 2021-09-22 | 株式会社Jvcケンウッド | 撮像装置及び撮像方法 |
FR3082385B1 (fr) * | 2018-06-08 | 2021-05-14 | Ulis | Dispositif et procede de compensation de chaleur parasite dans une camera infrarouge |
CN110132428B (zh) * | 2019-06-13 | 2020-05-22 | 无锡物联网创新中心有限公司 | Mems传感器热学参数测试电路及测试方法 |
US11496697B2 (en) | 2020-02-28 | 2022-11-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | LWIR sensor with capacitive microbolometer and hybrid visible/LWIR sensor |
US20230301546A1 (en) * | 2020-08-12 | 2023-09-28 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | Imaging human respiratory gas patterns to determine volume, rate and carbon dioxide concentration |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001215152A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線固体撮像素子 |
JP2001309122A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-11-02 | Denso Corp | 赤外線イメージセンサ |
JP2003017672A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子デバイス,その製造方法,カメラ及び車両 |
JP2005521034A (ja) * | 2002-02-02 | 2005-07-14 | キネティック リミテッド | 再構成可能検出器アレイ |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4679068A (en) * | 1985-07-25 | 1987-07-07 | General Electric Company | Composite visible/thermal-infrared imaging system |
US5093563A (en) * | 1987-02-05 | 1992-03-03 | Hughes Aircraft Company | Electronically phased detector arrays for optical imaging |
GB8915982D0 (en) * | 1989-07-12 | 1990-04-25 | Pilkington Perkin Elmer Ltd | Imaging device |
JPH11289492A (ja) | 1999-01-22 | 1999-10-19 | Nec Corp | ショットキ障壁型固体撮像素子およびこれを用いた撮像装置 |
US6307194B1 (en) * | 1999-06-07 | 2001-10-23 | The Boeing Company | Pixel structure having a bolometer with spaced apart absorber and transducer layers and an associated fabrication method |
US7075079B2 (en) | 2001-06-27 | 2006-07-11 | Wood Roland A | Sensor for dual wavelength bands |
DE10335190A1 (de) | 2003-07-30 | 2005-03-03 | Daimlerchrysler Ag | Sensoranordnung mit einer Mehrzahl von Typen optischer Sensoren |
JP4578797B2 (ja) * | 2003-11-10 | 2010-11-10 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
-
2006
- 2006-06-13 JP JP2006163405A patent/JP4901320B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-04-02 US US11/695,302 patent/US7491937B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001215152A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線固体撮像素子 |
JP2001309122A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-11-02 | Denso Corp | 赤外線イメージセンサ |
JP2003017672A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子デバイス,その製造方法,カメラ及び車両 |
JP2005521034A (ja) * | 2002-02-02 | 2005-07-14 | キネティック リミテッド | 再構成可能検出器アレイ |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010507806A (ja) * | 2006-10-24 | 2010-03-11 | レイセオン カンパニー | 非冷却lwir検出器に組み合わされた可視すなわちswir検出器を有するデュアル・バンド撮像装置 |
JP4677044B2 (ja) * | 2006-10-24 | 2011-04-27 | レイセオン カンパニー | 非冷却lwir検出器に組み合わされた可視すなわちswir検出器を有するデュアル・バンド撮像装置 |
JP2008204978A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Mitsubishi Electric Corp | 撮像素子 |
JP2009216558A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Oki Semiconductor Co Ltd | 赤外線検出素子の製造方法 |
WO2009148054A1 (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2010008093A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Toshiba Corp | 赤外線撮像装置および赤外線撮像方法 |
JP2010008092A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Toshiba Corp | 赤外線撮像装置および赤外線撮像方法 |
JP2010032410A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Toshiba Corp | イメージセンサおよびその製造方法 |
JP4516625B1 (ja) * | 2009-08-11 | 2010-08-04 | 正幸 安部 | 電子装置 |
JP2011040585A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Masayuki Abe | 電子装置 |
JP2011123024A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Kodenshi Corp | 光センサ |
JP2012004540A (ja) * | 2010-05-20 | 2012-01-05 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP2012114439A (ja) * | 2010-11-23 | 2012-06-14 | Raytheon Co | 積層された読み出し集積回路を用いる検出器アレイの信号の処理 |
US9129880B2 (en) | 2013-03-18 | 2015-09-08 | Fujitsu Limited | Imaging device |
JP2014239416A (ja) * | 2013-05-10 | 2014-12-18 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
US9978792B2 (en) | 2013-05-10 | 2018-05-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor and camera which can detect visible light and infrared light at a high S/N ratio |
JP2018152921A (ja) * | 2013-05-10 | 2018-09-27 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
US10475833B2 (en) | 2013-05-10 | 2019-11-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor and camera which can detect visible light and infrared light at a high S/N ratio |
WO2021106964A1 (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 株式会社サタケ | 光学式選別機 |
JP7354802B2 (ja) | 2019-11-29 | 2023-10-03 | 株式会社サタケ | 光学式選別機 |
JP7396554B1 (ja) | 2023-06-12 | 2023-12-12 | 三菱電機株式会社 | 撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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US20070284532A1 (en) | 2007-12-13 |
JP4901320B2 (ja) | 2012-03-21 |
US7491937B2 (en) | 2009-02-17 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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