JP2007318286A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パッケージ1に形成されている貫通部8の少なくとも一部を塞ぐようにして、ICチップ2が第二凹部6内に配置され、接合力を有する樹脂等からなる接着剤により第二凹部6を構成する回路基板12の下面に固定されている。そして、ICチップ2と第二凹部6との間には、エポキシ樹脂等の接合力を有する樹脂からなる封止部7が形成されている。このようにして、貫通部8はICチップ2と封止部7とにより塞がれている。このため、第二凹部6内にICチップ2が配置された構造となっていることから、従来のように収納凹部を形成するパッケージ凹部の底面の上にICチップが配置された構造と比べて、ICチップ2又はパッケージ1の反りならびに破損を回避して収納凹部の底面の厚み分、水晶発振器10の薄型化を実現できる。
【選択図】図2
Description
(第一実施形態)
図1は、第一実施形態における水晶発振器の部品を示す分解斜視図である。
図2は、第一実施形態の水晶発振器の構成を示し、図2(a)は、概略平面図であり、図2(b)は、同図(a)のA−A断線に沿う概略断面図であり、図2(c)は、同図(a)の概略底面図である。
第一凹部5は、回路基板11が枠形に形作られることにより形成されている。また、第二凹部6は、回路基板13が二つに分割されて形成され、対向する二つの側面が開放された構造となっている。
そして、第一凹部5の底部14の一部から第二凹部6に貫通する貫通部8が、回路基板12に形成されている。
第一凹部5の底部14には、タングステンなどからなるメタライズ層が形成され、ニッケルメッキおよび金メッキなどが施されることにより、電極部15が形成されている。
また同様に、回路基板13には、タングステンなどからなるメタライズ層が形成され、ニッケルメッキおよび金メッキなどが施されることにより、外部接続端子17が複数形成されている。
ICチップ2と第二凹部6との間には、接合力を有するエポキシ樹脂や高い気密性が得られるよう低融点ガラスなどからなる封止部7が形成されている。このようにして、貫通部8はICチップ2と封止部7とにより塞がれている。
なお、封止部7はICチップ2と第二凹部6との間を塞ぐだけに限らず、第二凹部6を埋めるようにしてICチップ2の下面を覆っていてもよい。
貫通部8から顕出するICチップ2の上面の一部に、金(Au)またはアルミニウム(Al)などからなる複数のIC接続パッド21が形成されている。また、回路基板13の上面には、Auなどからなる複数の内部接続端子19が形成されている。そして、略同一平面上に形成されたIC接続パッド21と内部接続端子19とは、Au線またはAl線などの金属ワイヤー9により接続されている。このようにして、ICチップ2は、金属ワイヤー9および内部接続端子19を経由して外部接続端子17に接続され、水晶発振器10の外部との接続を可能にしている。
そして、IC接続パッド21と金属ワイヤー9と内部接続端子19とを覆うようにして、絶縁性を有する樹脂などからなる保護膜16が形成されている。
(変形例)
(第二実施形態)
そして、第一凹部5の底部34の一部から第二凹部6に貫通する貫通部8が、回路基板38に形成されている。
第一凹部5は、回路基板37が枠形に形作られることにより形成されている。また、第二凹部6は、回路基板39が二つに分割されて形成され、対向する二つの側面が開放された構造となっている。
そして、第一凹部5の底部34の一部から第二凹部6に貫通する貫通部8が、回路基板38に形成されている。
第一凹部5の底部34には、タングステンなどからなるメタライズ層が形成され、ニッケルメッキおよび金メッキなどが施されることにより、電極部35が形成されている。
また同様に、回路基板39には、タングステンなどからなるメタライズ層が形成され、ニッケルメッキおよび金メッキなどが施されることにより、外部接続端子17が複数形成されている。
ICチップ2と第二凹部6との間には、接合力を有するエポキシ樹脂などからなる封止部7が形成されている。このようにして、貫通部8はICチップ2と封止部7とにより塞がれている。
なお、封止部7はICチップ2と第二凹部6との間を塞ぐだけに限らず、第二凹部6を埋めるようにしてICチップ2を覆い形成されていてもよい。
貫通部8から顕出するICチップ2の上面の一部に、金(Au)またはアルミニウム(Al)などからなる複数のIC接続パッド21が形成されている。また、回路基板39の上面には、Auなどからなる複数の内部接続端子19が形成されている。そして、略同一平面上に形成されたIC接続パッド21と内部接続端子19とは、Au線またはAl線などの金属ワイヤー9により接続されている。このようにして、ICチップ2は、金属ワイヤー9および内部接続端子19を経由して外部接続端子17に接続され、SAW発振器30の外部との接続を可能にしている。
そして、IC接続パッド21と金属ワイヤー9と内部接続端子19とを覆うようにして、絶縁性を有する樹脂などからなる保護膜16が形成されている。
たとえば、前述の実施形態では、第一凹部の対向する二辺が開放された構造としたが、少なくとも一つの側面が開放された構造としてもよい。
また、前述の実施形態では、封止部はエポキシ樹脂などの接合力を有する樹脂からなるとしたが、ガラスなどの絶縁体により形成されてもよい。
Claims (2)
- 一方の面に第一凹部、他方の面に第二凹部が形成され、該第一凹部および該第二凹部の間を一部貫通する貫通部が形成されたパッケージと、
前記第一凹部内に収納された圧電素子と、
前記第一凹部の上方に配置された蓋体と、
前記パッケージに固定され、前記貫通部の一部を塞ぐように前記第二凹部内に配置されたICチップと、
前記第二凹部に形成された封止部とを備え、
前記ICチップと前記封止部とが前記貫通部を塞ぎ、前記蓋体により前記第一凹部内が気密に封止されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第二凹部の少なくとも一つの側面が開放されていることを特徴とする圧電デバイス。
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