JP2007317898A - レーザ発振装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、ミラー(反射面)の熱を効率良く冷却することができ、またレーザ発振装置内部にミラーを配設する際に生じ得るミラー配設の制限を緩和することができる、レーザ発振装置を提供する。
【解決手段】本発明に係わるレーザ発振装置100は、装置内部に存するレーザ経路中に配設されており、レーザ光を反射させる反射面20を有するミラー(たとえば、第一の折り返しミラー5)を、備えている。さらに、当該反射面20の背面の少なくとも一部は、反射面20を冷却することが可能な冷却水路23の壁面の一部を構成している。
【選択図】 図3
【解決手段】本発明に係わるレーザ発振装置100は、装置内部に存するレーザ経路中に配設されており、レーザ光を反射させる反射面20を有するミラー(たとえば、第一の折り返しミラー5)を、備えている。さらに、当該反射面20の背面の少なくとも一部は、反射面20を冷却することが可能な冷却水路23の壁面の一部を構成している。
【選択図】 図3
Description
この発明は、レーザ発振装置に係る発明であり、たとえば、三軸直交型レーザ発振(共振)装置に適用することができる。
内部に、レーザ光を反射するミラーが配設されているレーザ発振装置の従来構造として、たとえば特許文献1に開示されている装置が存在する。特許文献1に開示されているレーザ発振装置は、全反射ミラー、ミラー支持部材、冷却水路、全反射ミラーを固定する押さえ環、熱伝導性繊維、および伝熱性接着剤等により構成されている。
一般的に、内部にレーザ光を反射するためのミラーが配設されている場合には、たとえばレーザ光のパワー増大によるミラーの熱歪みが問題となる。なぜなら、ミラーの熱歪により、当該ミラーのアライメントがずれるからである(つまり、ミラーの角度調整等の狂いが生じるからである)。したがって、ミラーの過熱を防止するために、当該反射ミラーを冷却する必要が生じる。
特許文献1に開示されている構造では、ミラーで吸収されたレーザ光の熱を逃す経路は、押さえ環からミラー支持部材へと向かう経路および、熱伝導性繊維から伝熱性接着剤を経てミラー支持部材へと向かう経路となる。しかし、それぞれの部材間には接触熱抵抗があるので、いずれの経路においても冷却効率は良いとは言えない。
また、特許文献1に開示されている構造では、全反射ミラーを押圧固定する押さえ環を使用しているため、ミラー反射面の周囲にある程度の面積が必要となる。したがって、ミラー周辺に余分な面積が存在するので、狭いレーザ発振装置内部におけるミラー配設に制限が生じ得る。
そこで、本発明は、ミラー(より具体的には、当該ミラーが有する反射面)の熱を効率良く冷却することができ、またレーザ発振装置内部にミラーを配設する際に生じ得るミラー配設の制限を緩和することができる、レーザ発振(共振)装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項1に記載のレーザ発振装置は、装置内部に存するレーザ光経路中に配設されており、レーザ光を反射させる反射面を有するミラーを、備えるレーザ発振装置であって、前記反射面の背面の少なくとも一部は、前記反射面を冷却することが可能な冷却水路の壁面の一部を構成している。
本発明の請求項1に記載のレーザ発振装置は、装置内部に存するレーザ経路中に配設されており、レーザ光を反射させる反射面を有するミラーを、備えるレーザ発振装置であって、前記反射面の背面の少なくとも一部は、前記反射面を冷却することが可能な冷却水路の壁面の一部を構成している。
したがって、反射面で吸収されたレーザ光による熱は、反射面の背面に存する冷却水路内に流れる冷却水により、直接的かつ即座に冷やされる(つまり、反射面20の効率的な冷却が可能となる)。よって、反射面を間接的に冷却する場合よりも、レーザ光照射による反射面の温度上昇を抑制することができるので、反射面の温度上昇に起因した当該反射面等の歪みの発生を抑制することができる。
図1は、一般的な、三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置の概略構成を示す図である。ここで、図1に示す概略構成図は、装置外部に向けて出射されるレーザ光の光軸方向から見た概略断面図である。また、図2は、図1の電極間におけるレーザ光の様子を示す斜視図である。より具体的に、図2は、図1の点線で囲まれた部分の拡大構成図である。なお、図1,2には、説明の容易化のため各々座標軸も図示している。また、図1では図面簡略化のため、図2で示す各ミラーの図示は省略している。
図1,2に示すように、三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置100は、1対の電極部1、電源部2、全反射ミラー3、部分反射ミラー4、第一の折り返しミラー5、第二の折り返しミラー6、および熱交換器7により構成されている。
図1に示すように、各電極部1は電源部2と各々接続されている。また、電極部1間における放電空間10には、レーザ媒質が存在する。また、熱交換器7から電極部1間に向けてCO2レーザガスのガス流11が流れており、電極部1間から熱交換器7に向けてガス流12が流れている。
図2において、第一の折り返しミラー5は、全反射ミラー3の配設側に設けられた折り返しミラーであり、第二の折り返しミラー6は、部分反射ミラー4の配設側に設けられた折り返しミラーである。なお、第一および第二の折り返しミラー5,6は、全反射ミラーと把握できるが、ここでの説明では、入射されてくるレーザ光の光軸方向と反射されるレーザ光の光軸方向とを略一致させる反射ミラーを「全反射ミラー」と称し、入射されてくるレーザ光の光軸方向と反射されるレーザ光の光軸方向とを異ならせる反射ミラーを「折り返しミラー」と称する。
図2に示すように、電極部1間の放電空間10内において、レーザの光路は、略Z字状に折り返されることにより共振し、部分反射ミラー4から(つまり、レーザ共振装置100から)、所定の強度の出力レーザ光15が出射される。ここで、前記記載および図1,2から明らかなように、各ミラー3,4,5,6は、装置内部に存する略Z字状のレーザ光経路中に配設されている。
次に、三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置100の動作について簡単に説明する。
2枚の電極部1間に電圧が印加され、電極部1間に放電電流が流れることにより、電極部1間に放電空間10が形成される。レーザガスのガス流11は、放電空間10の部分で励起されレーザ媒質となる、図2に示す折り返しの光路の位置で励起エネルギーをレーザ光として放出する。ここで、ガス流11は、熱交換器7によって冷却されたレーザガスが放電空間10に流入している状態である。熱交換器7およびガス流11,12は、高出力ガスレーザ発振器においてレーザガスを冷却することによって発振効率を高めるという目的のために、必要なものである。
以上のように、放電電流の方向(y方向)とガス流の方向(z方向)とレーザ共振器の光路(x方向)が互いに直交しているので、「三軸直交型」と称される。
上記折り返し共振器構造を持つ三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置100では、共振器構造部分のアライメント(つまり、レーザ光の経路の調整)は、たとえば全反射ミラー3、第一の折り返しミラー5、および第二の折り返しミラー6等の角度を調整して行っていた。
以下、この発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。
なお、以下の各実施の形態では、レーザ光を折り返すことができる折り返しミラー5,6を備える、三軸直交型レーザ共振(発振)装置100について、本発明(具体的には後述する図3,4,6,7に示す構成)を適用する場合に言及する。しかし、装置内部に存するレーザ経路中に配設されており、レーザ光を反射させる反射面を有するミラーを備えるレーザ発振装置であれば、他のレーザ発振(共振)装置であっても本発明(具体的には後述する図34,6,7に示す構成)を適用することができる。
<実施の形態1>
図3は、本実施の形態に係わる第一の折り返しミラー5の構造を示す平面図である。ここで、図3は、図1、2のx方向から見た平面図である。また、図4は、図3のA−A断面を示す断面図である。ここで、図4は、図3のA−A断面を図1,2に示したz軸方向から見た断面図である。なお、図3,4では、二つの第一の折り返しミラー5が図示されている。また、図3,4には、説明の容易化のため各々座標軸(図1,2と共通の座標軸系)も図示している。
図3は、本実施の形態に係わる第一の折り返しミラー5の構造を示す平面図である。ここで、図3は、図1、2のx方向から見た平面図である。また、図4は、図3のA−A断面を示す断面図である。ここで、図4は、図3のA−A断面を図1,2に示したz軸方向から見た断面図である。なお、図3,4では、二つの第一の折り返しミラー5が図示されている。また、図3,4には、説明の容易化のため各々座標軸(図1,2と共通の座標軸系)も図示している。
図3,4に示すように、第一の折り返しミラー5は、レーザ光を全反射させる反射面20を有している。また、図4に示すように、当該反射面20の背面の全面は、反射面20を冷却することが可能な冷却水路23の壁面の一部を構成している。
また、図3,4から分かるように、第一の折り返しミラー5は、反射面20と、冷却水路23と、第一の折り返しミラー5の傾き角度を調整することが可能なアライメント部21,22とが、一部材により構成された構造体である。
図4に示すように、第一の折り返しミラー5は、所定の形状を有する立体の構造体である。また、当該構造体は外部(図4において、−x方向)に突出した部分を有しており、当該外部に突出した部分の外面に反射面20が形成されている。
また、図4に示すように、当該構造体の内部には、所定の形状(パターン)の冷却水路23が形成されている。ここで、上述の通り、反射面20の背面が冷却水路23の壁面の一部を構成している。つまり、冷却水路23の一部が反射面20の裏側に形成されている。したがって、当該冷却水路23の一方の口から他方の口に向けて冷却水を供給し、当該冷却水路23に冷却水を流すことにより、レーザ照射により温度が上昇している反射面20を上記背面から直接的に冷却することができる。
また、図3に示すように、当該構造体の外部には、アライメント部21,22が形成されている。当該アライメント部21,22は、支点部21と力点部22とから構成されている。支点部21を基点とし、ネジ等により力点部22に対して外力を加えることにより、第一の折り返しミラー5の角度調整を行うことができる。たとえば、支点部21および力点部22aを固定し、力点部22bに外力を加えることにより、図3に示すz軸を軸にして第一の折り返しミラー5を所定の角度に傾けることができる。また、支点部21および力点部22bを固定し、力点部22aに外力を加えることにより、図3に示すy軸を軸にして第一の折り返しミラー5を所定の角度に傾けることができる。
また、立体の構造体である第一の折り返しミラー5は、金属または半導体から成る。たとえば、当該第一の折り返しミラー5を、銅、モリブデン、アルミニウム、真鍮などの金属やシリコンなどの半導体から構成することができ、当該金属や半導体を削りだし、或いは鋳造することにより、上記構造の(つまり、反射面20、冷却水路23およびアライメント部21,22が一体的に構成された)第一の折り返しミラー5を製造することができる。
以上のように、本実施の形態では、第一の折り返しミラー5の反射面20の背面が、冷却水路23の壁面の一部を構成している。
したがって、反射面20で吸収されたレーザ光による熱は、反射面20の背面に存する冷却水路23内に流れる冷却水により、直接的かつ即座に冷やされる(つまり、反射面20の効率的な冷却が可能となる)。よって、特許文献1に係わる技術のように反射面を間接的に冷却する場合よりも、レーザ光照射による反射面20の温度上昇を抑制することができるので、反射面20の温度上昇に起因した当該反射面20等の歪みの発生を抑制することができる。このように、レーザ光の光軸が反射面20でずれることが抑制できるので、より高出力なレーザ光を使用する場合でも、安定した出力のレーザ光を発振できるレーザ装置を構成することができる。
なお、反射面20の背面の少なくとも一部が、冷却水路23の壁面の一部を構成していれば良い。しかし、図4に示すように、反射面20の背面の全面が冷却水路23の壁面の一部を構成することにより、より効率良く反射面20を冷却することができる。
また、第一の折り返しミラー5は、反射面20、冷却水路23、およびアライメント部(支点部21、力点部22)とが、一部材により構成された構造体である。
したがって、本実施の形態では、特許文献1に係わる装置(図5参照)のように、ミラー120の表面を押圧することにより当該ミラー120を保持部150に固定するための部材160および、当該部材160による押圧固定の際にミラー120の周囲に生じるミラーの押さえしろ170を要さない。
このように、特許文献1に係わる技術(図5)に比べて余分なスペースが省略できるので、三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置100内部に第一の折り返しミラー5を配設する際に生じ得る、ミラー配設の制限を緩和することができる。よって、隣り合った第一の折り返しミラー5同士をより密に配置することも可能となり、また三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置100の内部構成の自由度も大きくなる。
また、上記の通り第一の折り返しミラー5は、アライメント部(支点部21、力点部22)も同一部材において形成されている。したがって、第一の折り返しミラー5と別部材としてアライメント部(支点部21、力点部22)を設ける構成と比較して、構造の複雑化を防止することができる。
なお、上述の通り、反射面20の熱は冷却水路23内に流れる冷却水により直接的に冷やされるので、上記のように第一の折り返しミラー5を構成する部材においてアライメント部(支点部21、力点部22)をも形成したとしても、当該アライメント部21,22まで熱が伝わることはない。
また上記の通り、第一の折り返しミラー5は、金属により構成しても良く、シリコン等により構成しても良い。第一の折り返しミラー5が金属製である場合には、反射面20、冷却水路23およびアライメント部(支点部21、力点部22)が一体的に形成された第一の折り返しミラー5の、鋳造や削りだし等による製造をより簡単に行うことができる。また、第一の折り返しミラー5がシリコン製である場合には、熱膨張率が極めて低い第一の折り返しミラー5を提供することができる。
<実施の形態2>
図6は、本実施の形態に係わる第一の折り返しミラー5および当該第一の折り返しミラー5を保持するミラー保持部材32の構造を示す平面図である。ここで、図6は、図1、2のx方向から見た平面図である。また、図7は、図6のB−B断面を示す断面図である。ここで、図7は、図6のB−B断面を図1,2に示したz軸方向から見た断面図である。なお、図6,7では、二つの第一の折り返しミラー5および各第一の折り返しミラー5を各々保持する二つのミラー保持部材32が図示されている。また、図6,7には、説明の容易化のため各々座標軸(図1,2と共通の座標軸系)も図示している。
図6は、本実施の形態に係わる第一の折り返しミラー5および当該第一の折り返しミラー5を保持するミラー保持部材32の構造を示す平面図である。ここで、図6は、図1、2のx方向から見た平面図である。また、図7は、図6のB−B断面を示す断面図である。ここで、図7は、図6のB−B断面を図1,2に示したz軸方向から見た断面図である。なお、図6,7では、二つの第一の折り返しミラー5および各第一の折り返しミラー5を各々保持する二つのミラー保持部材32が図示されている。また、図6,7には、説明の容易化のため各々座標軸(図1,2と共通の座標軸系)も図示している。
図7に示すように、第一の折り返しミラー5は、断面視において凹状(コの字状)の形状・外観を有している。さらに図6,7に示すように、第一の折り返しミラー5は、レーザ光を全反射させる反射面31を有している。ここで、図6,7に示すように、断面が凹状の第一の折り返しミラー5の凹んだ部分の底面が、反射面31の背面となる。つまり、第一の折り返しミラー5において、窪みが形成されている側と反対側の平面が反射面31となる(図7において、反射面31の法線方向は、「−x」方向であり、反射面の背面(凹んだ部分の底面)の法線方向は、「x」方向である)。
なお、本実施の形態おいても図7に示すように、反射面31の背面の全面は、当該反射面31を冷却することが可能な冷却水路33の壁面の一部を構成している。
また、図7から分かるように、ミラー保持部材32は、図示していないネジ等を介して、第一の折り返しミラー5を保持・固定している。なお、図7に示すように、ミラー保持部材32と第一の折り返しミラー5との接触部分には、オーリング38が介在している。図7に示すように、ミラー保持部材32の内側には、冷却水の路となる冷却水路33の一部が形成されている。
さらに、図6に示すように、ミラー保持部材32の外側には、当該ミラー保持部材32により保持・固定されている第一の折り返しミラー5の傾き角度を調整することができる、アライメント部(支点部34および力点部35)が形成されている。なお、アライメント部(支点部34および力点部35)による第一の折り返しミラー5の傾き角度の調整方法は、実施の形態1で説明した内容と同様であるので、ここでの当該方法の詳細な説明は省略する。
また、図7に示すように、第一の折り返しミラー5がミラー保持部材32により保持されている状態において、冷却水路33が完成される。つまり、第一の折り返しミラー5とミラー保持部材32とを組み合わせることにより、冷却水が流れる所定の形状の冷却水路33が成立する。ここで、上述の通り反射面31の背面が冷却水路33の壁面の一部を構成している。
このように、冷却水路33の一部が反射面31の背面(裏側)に形成されているので、当該冷却水路33の一方の口から他方の口に向けて冷却水を供給し、当該冷却水路33に冷却水を流すことにより、レーザ光照射により温度が上昇している反射面31を上記背面から直接的に冷却することができる。
また、上記凹状(コの字状)の第一の折り返しミラー5および/またはミラー保持部材32は、金属(たとえば、銅、モリブデン、アルミニウム、真鍮)または半導体(たとえばシリコン)から成る。当該金属や半導体を削りだし、或いは鋳造することにより、上記構造の第一の折り返しミラー5やミラー保持部材32を製造することができる。
以上のように、本実施の形態では、第一の折り返しミラー5の反射面31の背面が、冷却水路33の壁面の一部を構成している。
したがって、実施の形態1と同様に、反射面31で吸収されたレーザ光による熱は、反射面31の背面に存する冷却水路33内に流れる冷却水により、直接的かつ即座に冷やされる(つまり、反射面31の効率的な冷却が可能となる)。よって、特許文献1に係わる技術のように反射面を間接的に冷却する場合よりも、レーザ光照射による反射面31の温度上昇を抑制することができるので、反射面31の温度上昇に起因した当該反射面31等の歪みの発生を抑制することができる。このように、レーザ光の光軸が反射面31でずれることが抑制できるので、より高出力なレーザ光を使用する場合でも安定した出力のレーザ光を発振できるレーザ装置を構成することができる。
また、図7に示すように、反射面31の背面の全面が冷却水路33の壁面となっている。よって、反射面31の背面の一部が冷却水路33の壁面となる場合よりも、効率良く反射面31を冷却することができる。
なお、本実施の形態においても、第一の折り返しミラー5をミラー保持部材32に保持・固定するに当たり、図5に示したようた、ミラー120周辺の押さえしろ170は要さない(本実施の形態では、第一の折り返しミラー5は、ネジやオーリング38等を介して、ミラー保持部材32と結合している)。
よって、特許文献1に係わる技術(図5)に比べて余分なスペースが省略できるので、三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置100内部に第一の折り返しミラー5を配設する際に生じ得る、ミラー配設の制限を緩和することができる。よって、隣り合った第一の折り返しミラー5同士をより密に配置することも可能となり、また三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置100の内部構成の自由度も大きくなる。
また、本実施の形態では、第一の折り返しミラー5と、冷却水路33の大部分およびアライメント部34,35が形成されているミラー保持部材32とは、別部材である。したがって、第一の折り返しミラー5を交換する際には、交換対象の第一の折り返しミラー5のみを交換すれば良く、ミラー保持部材32の交換までも要さず、また単にミラー保持部材32に対して第一の折り返しミラー5を着脱するだけである。よって、第一の折り返しミラー5の交換に掛かるコストの削減、および当該交換作業の容易性を図ることができる。
なお、上述の通り、反射面31の熱は冷却水路33内に流れる冷却水により直接的に冷やされるので、反射面31の熱が、ミラー保持部材32の外周部に形成されるアライメント部まで熱が伝わることはない。
また上記の通り、第一の折り返しミラー5やミラー保持部材32は、金属により構成しても良く、シリコン等により構成しても良い。第一の折り返しミラー5やミラー保持部材32が金属製である場合には、凹状(コの字状)の第一の折り返しミラー5や、冷却水路33の大部分およびアライメント部(支点部34、力点部35)が形成されたミラー保持部材32の、鋳造や削りだし等による製造をより簡単に行うことができる。また、第一の折り返しミラー5やミラー保持部材32がシリコン製である場合には、熱膨張率が極めて低い、第一の折り返しミラー5およびミラー保持部材32を提供することができる。
なお、上記各実施の形態では、第一の折り返しミラー5に対して本発明の構造(図2,4,6,7)を適用する場合について言及した。しかし、同じく反射面を有する第二の折り返しミラー6や同じく反射面を有する全反射ミラー3に対して、本発明の構造(図3、4,5,7に開示した構造)を適用することもできる。
1 電極部、3 全反射ミラー、4 部分反射ミラー、5 第一の折り返しミラー、6 第二の折り返しミラー、20,31 反射面、21,34 支点部(アライメント部)、22,35 力点部(アライメント部)、23 冷却水路、32 ミラー保持部材、38 オーリング、100 三軸直交型CO2ガスレーザ共振装置。
Claims (8)
- 装置内部に存するレーザ光経路中に配設されており、レーザ光を反射させる反射面を有するミラーを、備えるレーザ発振装置において、
前記反射面の背面の少なくとも一部は、前記反射面を冷却することが可能な冷却水路の壁面の一部を構成している、
ことを特徴とするレーザ発振装置。 - 前記背面の全面が、前記冷却水路の前記壁面の一部を構成している、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振装置。 - 前記ミラーは、
前記反射面と、前記冷却水路と、前記ミラーの傾き角度を調整することが可能なアライメント部とが、一部材により構成された構造体である、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振装置。 - 前記ミラーは、
金属により成る、
ことを特徴とする請求項3に記載のレーザ発振装置。 - 前記ミラーは、
シリコンにより成る、
ことを特徴とする請求項3に記載のレーザ発振装置。 - 前記ミラーは、
断面視において凹状の形状を有しており、凹んだ部分の底面が前記背面となり、
内側には、前記冷却水路の一部が形成されており、外側には、前記ミラーの傾き角度を調整することができるアライメント部が形成されており、前記ミラーを保持することが可能な、ミラー保持部材を、さらに備えており、
前記ミラーが前記ミラー保持部材により保持されている状態において、前記冷却水路が完成される、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振装置。 - 前記ミラーおよび/または前記ミラー保持部は、
金属により成る、
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザ発振装置。 - 前記ミラーおよび/または前記ミラー保持部は、
シリコンにより成る、
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザ発振装置。
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