JP2007314385A - 光学素子の成形方法 - Google Patents

Abstract

【課題】成形型と光学素子素材との間に気体の導通流路を形成し、気体残りをなくして転写性に優れた成形品を得る。
【解決手段】対向配置された上型１６及び下型１８間に配置されたガラス製の光学素子素材２０を加熱、押圧して光学素子を成形する際、下型１８の光学機能面転写面１８ａの外側領域に粗面３６を設ける。この粗面３６により、下型１８の光学機能面転写面１８ａと光学素子素材２０の光学機能面２０ａとの間に滞留する気体を排気可能とする。また、上型１６を押圧開始前に成形室１４内の雰囲気を所定の圧力に減圧してから、成形を行う。
【選択図】図２

Description

本発明は、ガラス等の熱可塑性の光学素子素材を成形型により加熱、押圧して得られる光学素子の成形方法に関する。

従来、成形手段により光学素子素材（例えばガラスレンズ）を成形する際、成形型に形成された凹面形状の成形面（転写面）の外周部に溝を設けて、光学素子素材と成形面との間に存在する気体を逃すという技術が開示されている（特許文献１参照）。

これにより、平板状の光学素子素材を押圧する際に、凹面形状の金型成形面と光学素子素材との間の気体残りをなくして、転写性の向上を図るというものである。
また、他の従来技術として、上下に対向配置された１対の金型間に光学素子素材を置き、これら１対の金型及び光学素子素材を真空槽内において減圧し、その減圧された雰囲気下で成形を行う方法が提案されている（特許文献２参照）。
特開平８−３２５０２３号公報（第３頁、図１） 特公昭６３−８０５０号公報（第２頁、図１）

しかしながら、特許文献１では、成形型に形成された成形面の外周部に溝を設けているため、光学素子素材を押圧する際、光軸の中心側から外周側に向かって転写するようにしないと、中心側の空気が逃げられなくなるおそれがある。

また、特許文献２の場合も、対向する上下１対の成形型間に光学素子素材を置いた場合に、金型の成形面が凹面形状であると、その上部に置かれた光学素子素材によって凹面形状部分が密封され、内側の空気が閉じ込められてしまう空間が発生する。しかも、この状態で真空槽内を減圧しても密封された空気を確実に逃すことは困難である。

従って、特許文献１及び特許文献２のいずれの場合も、金型と光学素子素材の密着度合いやそのバラツキ、初期の気体残りの体積の大小、その他、加工精度や光学素子素材の載置具合等に起因して、必ずしも十分に気体を排出することができず、成形品の形状不良となるおそれがある。

本発明は、斯かる課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、成形型と光学素子素材との間に気体の導通流路を形成し、気体残りをなくして転写性に優れた成形品を得ることのできる光学素子の成形方法を提供することにある。

前記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、
相対する１対の成形型間に配置した熱可塑性の光学素子素材を加熱、押圧して成形する光学素子の成形方法において、
前記１対の成形型の少なくとも一方の成形型と前記光学素子素材との間に気体の導通流路を設け、押圧開始前に成形室内の雰囲気を所定の圧力に減圧し、成形を行うことを特徴とする。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光学素子の成形方法において、
前記１対の成形型の少なくとも一方の成形型に気体の導通流路を設けることを特徴とする。

請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の光学素子の成形方法において、
前記気体の導通流路を、前記１対の成形型の少なくとも一方の成形型に形成された光学機能面転写面の外側領域に設けることを特徴とする。

請求項４に係る発明は、請求項３に記載の光学素子の成形方法において、
前記導通流路の最大表面粗さを０．０５μｍ以上とすることを特徴とする。
請求項５に係る発明は、請求項１又は２に記載の光学素子の成形方法において、
前記気体の導通流路を、前記１対の成形型の少なくとも一方の成形型に形成された光学機能面転写面の内側領域に設けることを特徴とする。

請求項６に係る発明は、請求項５に記載の光学素子の成形方法において、
前記導通流路の最大表面粗さを、０．０５μｍ以上でかつ４μｍ以下とすることを特徴とする。

請求項７に係る発明は、
相対する１対の成形型間に配置した熱可塑性の光学素子素材を加熱、押圧して成形する光学素子の成形方法において、
前記光学素子素材に気体の導通流路を設け、押圧開始前に成形室内の雰囲気を所定の圧力に減圧し、成形を行うことを特徴とする。

請求項８に係る発明は、請求項７に記載の光学素子の成形方法において、
前記気体の導通流路を、前記光学素子素材に転写される光学機能面の外側領域に設けることを特徴とする。

請求項９に係る発明は、請求項８に記載の光学素子の成形方法において、
前記導通流路の最大表面粗さを０．０５μｍ以上とすることを特徴とする。
請求項１０に係る発明は、請求項７に記載の光学素子の成形方法において、
前記導通流路を、前記光学素子素材に転写される光学機能面の内側領域に設けることを特徴とする。

請求項１１に係る発明は、請求項１０に記載の光学素子の成形方法において、
前記導通流路の最大表面粗さを、０．０５μｍ以上でかつ４μｍ以下とすることを特徴とする。

本発明によれば、相対する１対の成形型と光学素子素材との間に気体の導通流路を形成し、気体残りをなくして転写性に優れた成形品を安定して得ることができる。

以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（成形装置の全体構成の説明）
図１は、本実施の形態の成形装置の断面正面図である。

同図において、この成形装置１０は、外壁１２と蓋１３にて覆われた筐体状の成形室１４内において、上下に対向配置された１対の上型１６及び下型１８を有している。これら１対の上型１６及び下型１８の間には、例えば熱可塑性素材からなる光学素子素材２０が配置されている。

本実施の形態では、上型１６及び下型１８は、例えばタングステンカーバイド（ＷＣ）等の超硬合金を研磨して作製されている。また、光学素子素材２０は、例えば円柱状の市販の光学ガラスで構成されている。

また、１対の上型１６及び下型１８の周囲には、これら上型１６及び下型１８を加熱するランプヒータ２２が配置されている。
蓋１３の上部には、上型１６を下型１８に向けて押圧するシリンダ２４が設けられている。また、外壁１２の外側方には、成形室１４内を減圧する真空ポンプ２６が設けられている。この真空ポンプ２６と成形室１４との間には、バルブ２８が取付けられている。

更に、成形室１４内に窒素ガス（Ｎ₂）を導入するバルブ３０と、成形室１４内から窒素ガス（Ｎ₂）を排出するバルブ３２とが設けられている。なお、外壁１２の側面には、成形室１４内に光学素子素材２０を供給したり、光学素子（成形品）を取り出したりする取出口３４が設けられている。

次に、この成形装置１０を用いた成形工程の概略を説明する。
まず、光学素子素材２０を下型１８上に載置する。
次に、一方のバルブ３０を開放して成形室１４内に窒素ガス（Ｎ₂）を導入する。このとき、略同時に他方のバルブ３２を開放して成形室１４内の空気を排出する。

次に、ランプヒータ２２に通電して上型１６及び下型１８を加熱する。すなわち、成形室１４内が窒素ガス（Ｎ₂）で満たされた状態で光学素子素材２０を加熱することになる。このときの加熱温度は、ガラスの屈伏点程度の温度とするのが好ましい。なお、このように、窒素ガス（Ｎ₂）の雰囲気中で加熱するのは、上型１６及び下型１８を含む各種部材の酸化を防止するためである。

但し、本実施形態では、成形室１４内を窒素ガス（Ｎ₂）で満たす場合について説明したが、これに限らず、成形室１４内を窒素ガス（Ｎ₂）で満たさずに減圧しても良い。
次に、バルブ３０，３２を閉め、真空ポンプ２６を作動させて成形室１４内を減圧する。ただし、バルブ３０，３２を閉めるタイミングは、真空ポンプ２６での減圧開始前であれば、いつでも可能である。この減圧工程で、成形室１４内を例えば１０^-1Ｐａ（パスカル）程度の真空圧になるまで減圧する。この減圧工程は、押圧工程の前に行うのであれば、その減圧タイミングは、加熱する前に減圧しても良いし加熱した後に減圧しても良い。また、減圧と略同時に加熱しても良い。

次に、押圧成形の際は、シリンダ２４を駆動させて上型１６を下型１８に向けて伸長させ、光学素子素材２０を押圧して光学素子に成形する。
次に、冷却工程に移行して成形された光学素子を冷却する。この冷却工程では、ランプヒータ２２への通電を停止し、成形室１４内に再び窒素ガス（Ｎ₂）を導入する。この場合、ランプヒータ２２への通電停止と、成形室１４内への窒素ガス（Ｎ₂）の導入タイミングは、同時であっても良いし、また同時でなくても良い。

次に、冷却された光学素子（成形品）を取出口３４から取り出す。
なお、以上説明した成形工程の順序は、これらに限るものではなく、その順序は適宜変更可能である。次に、本実施の形態について説明する。
（第１の実施の形態）
図２は、光学素子素材２０を下型１８の光学機能面転写面１８ａの外側領域に載置した場合の実施の形態を示している。

同図２において、上下に対向配置された上型１６と下型１８間に円柱状の光学素子素材２０が配置されている。上型１６には、下方に突出するような光学機能面転写面１６ａが形成され、下型１８には、下方に窪むような凹状の光学機能面転写面１８ａが形成され、その外周に光学素子素材２０を載置する平面部が形成されている。ここで、光学機能面転写面１６ａ，１８ａの転写範囲を光学機能面転写範囲という。

また、光学素子素材２０には、光学機能面転写面１６ａ，１８ａとの対面側に夫々光学機能面転写面１６ａ，１８ａが転写されて光学機能面となる鏡面部２０ａ，２０ａが形成されている。

なお、鏡面部２０ａ，２０ａの必要範囲は、成形による実験あるいはシミュレーションによって予め求めておく。
本実施形態では、下型１８の光学機能面転写面１８ａの外側領域（平面部）に、気体の導通流路としての粗面３６を形成したものである。この粗面３６は、光学機能面転写面１８ａの内側から外側に向けて（すなわち、光学機能面転写面１８ａの中心から外方に向けて）、気体が通過できるような荒れた面に形成されている。

また、本実施形態では、この粗面３６は、下型１８の光学機能面転写面１８ａを除く略全面に亘って形成されている。更に、この粗面３６は、気体が通過できるように光学機能面転写面１８ａの外周部から、光学素子素材２０の外周部よりも外側に至るまで形成されている。

なお、本実施形態では、気体の導通流路として、下型１８に粗面３６を形成した場合について説明したが、この気体の導通流路は粗面３６に限らず、下型１８（又は上型１６）と光学素子素材２０との間を気体が通れる道であれば、例えば溝でも良いし又は突起等でも良い（図３及び図４参照）。

更に、この粗面３６は、その最大表面粗さ（ここでは、凹凸部分の最高点と最低点との差をいう）が、例えば０．０５μｍ以上に形成されている。これは、粗面３６の最大表面粗さが、例えば０．０５μｍ以上であれば、実質的に気体の導通流路としての機能が発揮されるからである。

なお、粗面３６は光学機能面転写面１８ａの外側領域に形成され、光学性能に影響はないため、粗面３６の最大表面粗さに上限はない。また、光学機能面転写面１８ａにおいては、その最大表面粗さが、一般的には例えば０．０２５μｍ程度に仕上げられている。

更に、本実施形態では、粗面３６は、下型１８の光学機能面転写面１８ａの外側領域の略全面に形成されているとして説明したが、これに限らず、例えば下型１８の光学機能面転写面１８ａの外側領域の一部に形成しても良い。また、このような粗面３６は、例えばサンドブラスト加工や所定粒度の砥石等を用いて形成することができる。

本実施形態によれば、下型１８の光学機能面転写面１８ａの外側領域に形成された粗面３６により、下型１８の光学機能面転写面１８ａと光学素子素材２０との間に気体が密封されないようにしたため、気体の排気が確実に行われ、また、光学素子素材２０からの揮発成分が残留することもないので、転写性に優れた成形品を安定して得ることができる。
（変形例１）
図３（ａ）（ｂ）は、気体の導通流路として溝３７を形成した場合の変形例を示している。

すなわち、この変形例では、下型１８の光学機能面転写面１８ａの転写範囲外の部分に、気体の導通流路として溝３７を形成した場合について説明する。この溝３７は、光学機能面転写面１８ａの内側から外側に向けて（すなわち、光学機能面転写面１８ａの中心から外方に向けて）放射状に、略９０度の角度間隔で４本形成されている。

また、この溝３７は、光学素子素材２０の外周部よりも外側に至るまで延びている。この溝３７は、本変形例では本数が少ないため、その溝幅は比較的幅広に形成されている。なお、この溝３７の本数や溝幅は、必要に応じて任意に選択することができる。
（変形例２）
図４（ａ）（ｂ）は、気体の導通流路として突起３８を形成した場合の変形例を示している。

すなわち、本変形例では、下型１８の光学機能面転写面１８ａの転写範囲外の部分に、気体の導通流路として突起３８を形成した場合について説明する。この突起３８は、光学機能面転写面１８ａの外側において、略９０度の角度間隔で４個形成されている。

この突起３８により、光学機能面転写面１８ａの中心側の気体は、下型１８と光学素子素材２０との間を通って外部に逃げることができる。なお、この突起３８の個数や高さは、必要に応じて任意に選択することができる。
（第２の実施の形態）
図５は、光学素子素材２０を金型の光学機能面転写面１８ａの内側領域すなわち光学機能面転写範囲内に載置した場合の実施の形態を示している。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。

同図５において、上下に対向配置された上型１６と下型１８間にボール状（球状）の光学素子素材２０が配置されている。上型１６には、上方に窪むような凹状の光学機能面転写面１６ａが形成され、また、下型１８には、下方に窪むような凹状の光学機能面転写面１８ａが形成されている。

本実施形態では、下型１８の光学機能面転写面１８ａの内側領域に、気体の導通流路としての粗面３６を形成したものである。この粗面３６は、ボール状の光学素子素材２０と光学機能面転写面１８ａとの接点を中心として、その内側空間Ａから外側空間Ｂに向けて（すなわち、光学機能面転写面１８ａの中心から外方に向けて）、気体が通過できるような荒れた面に形成されている。また、この粗面３６は、下型１８の光学機能面転写面１８ａの内側の略全周面に亘って形成されている。

なお、本実施形態では、気体の導通流路として、光学機能面転写面１８ａの内側領域に粗面３６を形成した場合について説明したが、この気体の導通流路は粗面３６に限らず、下型１８（又は上型１６）とボール状の光学素子素材２０との間を気体が通れる道であれば、例えば溝でも良いし又は突起等でも良い。

この粗面３６は、その最大表面粗さ（凹凸部分の最高点と最低点との差）が、例えば０．０５μｍ以上でかつ４μｍ以下に設定されている。すなわち、最大表面粗さをＲとした場合に、０．０５μｍ≦Ｒ≦４μｍに設定されている。

これは、粗面３６の最大表面粗さが、例えば０．０５μｍ以上であれば、実質的に気体の導通流路としての機能が発揮されるからである。また、光学機能面転写面１８ａにおいては、その最大表面粗さが、一般的には例えば０．０２５μｍ程度に仕上げられているが、４μｍより大きくなると光学性能又は外観上、不良となるからである。

なお、本実施形態では、粗面３６を、下型１８の光学機能面転写面１８ａの周方向の全面に形成した場合について説明したが、これに限らず、例えば周方向の一部に形成しても良い。また、このような粗面３６は、例えばサンドブラスト加工や所定粒度の砥石等を用いて形成することができる。

本実施形態によれば、下型１８の光学機能面転写面１８ａの内側領域に形成された粗面３６により、光学機能面転写面１８ａと光学素子素材２０との間に気体が密封されないようにしたため、気体の排気が確実に行われ、また、光学素子素材２０からの揮発成分が残留することもないので、転写性に優れた成形品を安定して得ることができる。
（第３の実施の形態）
図６は、光学素子素材２０を下型１８の光学機能面転写面の外側領域に載置した場合の実施の形態を示している。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号（又は´）を付して説明する。

同図６において、上下に対向配置された上型１６と下型１８間に円柱状の光学素子素材２０が配置されている。上型１６には、下方に突出するような光学機能面転写面１６ａが形成され、下型１８には、下方に窪むような凹状の光学機能面転写面１８ａが形成され、その外周に光学素子素材２０を載置する平面部が形成されている。ここで、光学機能面転写面１６ａ，１８ａの転写範囲を光学機能面転写範囲という。また、光学素子素材２０には、光学機能面転写面１６ａ，１８ａとの対面側に夫々光学機能面転写面１６ａ，１８ａが転写されて光学機能面となる鏡面部２０ａ，２０ａが形成されている。

本実施形態では、光学素子素材２０に転写されて（下面側の）光学機能面となる鏡面部２０ａの外側領域の下面に、気体の導通流路としての粗面３６’を形成したものである。この粗面３６’は、光軸（図示せず）の中心側から外方側に向けて、気体が通過できるような荒れた面に形成されている。

また、この粗面３６’は、光学素子素材２０の周方向の略全面に亘って形成されている。更に、この粗面３６’は、光学機能面転写面１８ａと光学素子素材２０との間に閉じ込められた気体が排出できるように、光学素子素材２０の内周面側から外周部の外側に至るまで形成されている。

具体的には、光学素子素材２０の粗面３６’は、光学素子素材２０の外周部から、下型の凹状部分と平面部分との境界よりも内側に至るまで形成されている。
なお、本実施形態では、気体の導通流路として、光学素子素材２０の光学機能面となる鏡面部２０ａの外側領域に粗面３６’を形成した場合について説明したが、この気体の導通流路は粗面３６’に限らず、下型１８（又は上型１６）と光学素子素材２０との間を気体が通過できる道であれば、例えば溝でも良いし又は突起等でも良い
更に、この粗面３６’は、その最大表面粗さ（ここでは、凹凸部分の最高点と最低点との差をいう）が、例えば０．０５μｍ以上に形成されている。これは、粗面３６’の最大表面粗さが、例えば０．０５μｍ以上であれば、実質的に気体の導通流路としての機能が発揮されるからである。

なお、粗面３６’は下型１８の光学機能面転写面１８ａの転写範囲外の光学素子素材２０側に形成され、光学性能に影響はないため、粗面３６’の最大表面粗さに上限はない。但し、砥石粒度♯５０で加工した場合、光学素子素材２０がガラス等であるとヒビやカケが発生してしまうので、砥石粒度♯１００程度で加工するのが好ましい。また、下型１８の光学機能面転写面１８ａにおいては、その最大表面粗さが、一般的には例えば０．０２５μｍ程度に仕上げられている。

更に、本実施形態では、粗面３６’は、光学素子素材２０の外側領域の略全周に亘って形成されているとして説明したが、これに限らず、例えば光学素子素材２０の周面の一部に形成しても良い。

本実施形態によれば、光学素子素材２０に転写されて光学機能面となる鏡面部２０ａの外側領域に粗面３６'を形成し、下型１８と光学素子素材２０との間に気体が密封されないようにしたため、気体の排気が確実に行われ、また、光学素子素材２０からの揮発成分が残留することもないので、転写性に優れた成形品を安定して得ることができる。
（第４の実施の形態）
図７は、光学素子素材２０を金型の光学機能面転写面１８ａの内側領域すなわち光学機能面転写範囲内に載置した場合の実施の形態を示している。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号（又は”）を付して説明する。

同図７において、上下に対向配置された上型１６と下型１８間にボール状（球状）の光学素子素材２０が配置されている。上型１６には、上方に窪むような凹状の光学機能面転写面１６ａが形成され、また、下型１８には、下方に窪むような凹状の光学機能面転写面１８ａが形成されている。

本実施形態では、ボール状の光学素子素材２０の表面に、気体の導通流路としての粗面３６”を形成したものである。この粗面３６”により、ボール状の光学素子素材２０と光学機能面転写面１８ａとの接点を介して、その内側空間Ａから外側空間Ｂに向けて（すなわち、光学機能面転写面１８ａの中心から外方に向けて）、気体が通過できるような荒れた面に形成されている。また、本実施形態では、この粗面３６”は、ボール状の光学素子素材２０の全表面に亘って形成されている。

なお、本実施形態では、気体の導通流路として、光学素子素材２０に粗面３６”を形成した場合について説明したが、この気体の導通流路は粗面３６”に限らず、下型１８（又は上型１６）とボール状の光学素子素材２０との間を気体が通れる道であれば、例えば光学素子素材２０に形成した溝でも良いし又は突起等でも良い。

この粗面３６”は、その最大表面粗さ（凹凸部分の最高点と最低点との差）が、例えば０．０５μｍ以上でかつ４μｍ以下に設定されている。すなわち、最大表面粗さをＲとした場合に、０．０５μｍ≦Ｒ≦４μｍに設定されている。

これは、粗面３６”の最大表面粗さが、例えば０．０５μｍ以上であれば、実質的に気体の導通流路としての機能が発揮されるからである。また、ボール状の光学素子素材２０の表面においては、４μｍよりも大きくなると光学性能又は外観上、不良となるからである。

なお、本実施形態では、粗面３６”を、ボール状の光学素子素材２０の表面全面に形成した場合について説明したが、これに限らず、例えば表面の一部に形成しても良い。また、このような粗面３６”は、例えばサンドブラスト加工や所定粒度の砥石等を用いて形成することができる。

本実施形態によれば、ボール状の光学素子素材２０の表面に粗面３６”を形成し、下型１８と光学素子素材２０との間に気体が密封されないようにしたため、気体の排気が確実に行われ、また、光学素子素材２０からの揮発成分が残留することもないので、転写性に優れた成形品を安定して得ることができる。

本発明方法を実施するための成形装置の断面正面図である。 １対の成形型とその間に配置された光学素子素材の第１の実施形態を示す図である。 （ａ）は、１対の成形型とその間に配置された光学素子素材の変形例を示す図、（ｂ）は、その平面図である。 （ａ）は、１対の成形型とその間に配置された光学素子素材の変形例を示す図、（ｂ）は、その平面図である。 １対の成形型とその間に配置された光学素子素材の第２の実施形態を示す図である。 １対の成形型とその間に配置された光学素子素材の第３の実施形態を示す図である。 １対の成形型とその間に配置された光学素子素材の第４の実施形態を示す図である。

符号の説明

１０ 成形装置
１４ 成形室
１６ 上型
１６ａ 光学機能面転写面
１８ 下型
１８ａ 光学機能面転写面
２０ 光学素子素材
２０ａ 光学機能面
２２ ランプヒータ
２４ シリンダ
２６ 真空ポンプ
２８ バルブ
３０ バルブ
３２ バルブ
３４ 取出口
３６ 粗面
３６' 粗面
３６” 粗面
３７ 溝
３８ 突起

Claims (11)

1. 相対する１対の成形型間に配置した熱可塑性の光学素子素材を加熱、押圧して成形する光学素子の成形方法において、
   前記１対の成形型の少なくとも一方の成形型と前記光学素子素材との間に気体の導通流路を設け、押圧開始前に成形室内の雰囲気を所定の圧力に減圧し、成形を行う、
   ことを特徴とする光学素子の成形方法。
2. 前記１対の成形型の少なくとも一方の成形型に気体の導通流路を設ける、
   ことを特徴とする請求項１に記載の光学素子の成形方法。
3. 前記気体の導通流路を、前記１対の成形型の少なくとも一方の成形型に形成された光学機能面転写面の外側領域に設ける、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の光学素子の成形方法。
4. 前記導通流路の最大表面粗さを０．０５μｍ以上とする、
   ことを特徴とする請求項３に記載の光学素子の成形方法。
5. 前記気体の導通流路を、前記１対の成形型の少なくとも一方の成形型に形成された光学機能面転写面の内側領域に設ける、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の光学素子の成形方法。
6. 前記導通流路の最大表面粗さを、０．０５μｍ以上でかつ４μｍ以下とする、
   ことを特徴とする請求項５に記載の光学素子の成形方法。
7. 相対する１対の成形型間に配置した熱可塑性の光学素子素材を加熱、押圧して成形する光学素子の成形方法において、
   前記光学素子素材に気体の導通流路を設け、押圧開始前に成形室内の雰囲気を所定の圧力に減圧し、成形を行う、
   ことを特徴とする光学素子の成形方法。
8. 前記気体の導通流路を、前記光学素子素材に転写される光学機能面の外側領域に設ける、
   ことを特徴とする請求項７に記載の光学素子の成形方法。
9. 前記導通流路の最大表面粗さを０．０５μｍ以上とする、
   ことを特徴とする請求項８に記載の光学素子の成形方法。
10. 前記導通流路を、前記光学素子素材に転写される光学機能面の内側領域に設ける、
    ことを特徴とする請求項７に記載の光学素子の成形方法。
11. 前記導通流路の最大表面粗さを、０．０５μｍ以上でかつ４μｍ以下とする、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の光学素子の成形方法。