JP2007305873A - 評価用試料およびその製造方法、ならびに評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気特性評価用計測器の性能および電源ソースモニタの性能を評価するために使用される評価用試料。前記試料は、半導体基板上に酸化膜と導電膜からなるMOSキャパシタおよび抵抗体を、それぞれ少なくとも1つ有し、前記MOSキャパシタは、前記電気特性評価用計測器の性能を評価するために使用され、前記抵抗体は、前記電源ソースモニタの性能を評価するために使用される。
【選択図】なし
Description
[1] 電気特性評価用計測器の性能および電源ソースモニタの性能を評価するために使用される評価用試料であって、
前記試料は、半導体基板上に酸化膜と導電膜からなるMOSキャパシタおよび抵抗体を、それぞれ少なくとも1つ有し、
前記MOSキャパシタは、前記電気特性評価用計測器の性能を評価するために使用され、
前記抵抗体は、前記電源ソースモニタの性能を評価するために使用される、前記評価用試料。
[2] 前記半導体基板は、n型シリコンウェーハである、[1]に記載の評価用試料。
[3] 前記抵抗体は、前記導電膜と同一素材からなる、[1]または[2]に記載の評価用試料。
[4] 前記導電膜はポリシリコンからなる、[1]〜[3]のいずれかに記載の評価用試料。
[5] 前記酸化膜はSiO2膜である、[1]〜[4]のいずれかに記載の評価用試料。
[6] 半導体基板上に酸化膜を形成し、
前記酸化膜の一部を除去することにより前記基板表面の一部を露出させ、
前記露出した基板表面の少なくとも一部および前記酸化膜の少なくとも一部の面上に導電膜パターンを形成することを含む、[1]〜[5]のいずれかに記載の評価用試料の製造方法。
[7] [1]〜[5]のいずれかに記載の評価用試料を使用することにより、電気特性評価用計測器の性能および電源ソースモニタの性能を評価する方法であって、
前記電気特性評価用計測器を、前記MOSキャパシタと接続して電圧印加時の容量を計測し、かつ前記電源ソースモニタを、前記抵抗体と接続して電圧印加時の電流値および/または電流印加時の電圧値を計測することにより、電気特性評価用計測器と電源ソースモニタの性能を同一試料上で評価する、前記方法。
[8] 前記電源ソースモニタと抵抗体との間に更なる抵抗体を直列に接続する、[7]に記載の方法。
[9] 前記計測される容量、電流値および/または電圧値の限界値を設定し、該限界値を超える異常値を検出することにより、前記接続の不良を検出することを含む、[7]または[8]に記載の方法。
[10] 前記電気特性評価用計測器はLCRメータである、[7]〜[9]のいずれかに記載の方法。
本発明は、電気特性評価用計測器の性能および電源ソースモニタの性能を評価するために使用される評価用試料に関する。本発明の評価用試料は、半導体基板上に酸化膜と導電膜からなるMOSキャパシタおよび抵抗体を、それぞれ少なくとも1つ有し、前記MOSキャパシタは、前記電気特性評価用計測器の性能を評価するために使用され、前記抵抗体は、前記電源ソースモニタの性能を評価するために使用されるものである。
更に、本発明は、本発明の評価用試料を使用することにより、電気特性評価用計測器の性能および電源ソースモニタの性能を評価する方法に関する。本発明の評価方法では、前記電気特性評価用計測器を、前記MOSキャパシタと接続して電圧印加時の容量を計測し、かつ前記電源ソースモニタを、前記抵抗体と接続して電圧印加時の電流値および/または電流印加時の電圧値を計測することにより、電気特性評価用計測器と電源ソースモニタの性能を同一試料上で評価する。
本発明の評価用試料は、次の工程によって製造することができる。
(第一工程)半導体基板上に酸化膜を形成する。
(第二工程)前記酸化膜の一部を除去することにより前記基板表面の一部を露出させる。
(第三工程)前記露出した基板表面の少なくとも一部および前記酸化膜の少なくとも一部の面上に導電膜パターンを形成する。
評価用試料の作製(1)
図1に工程順の概略断面図を示す。
n型シリコンウェーハ(1)に900℃のドライ雰囲気中で熱酸化処理し、100Åの酸化膜(2)を形成した。ウェーハをHF水溶液中に垂直に半分浸し、半分の面積の酸化膜を除去した(3)。次に、LP−CVD炉でウェーハ上に厚さ4000Åのポリシリコンを堆積させた後リンを拡散させポリシリコン電極(4)を形成した。その後、フォトリソグラフィーにより電極のパターニングを行った。これにより、MOSキャパシタと抵抗体を有する評価用試料を得た。
評価用試料の作製(2)
ポリシリコン電極の形成に代えて、マスクスパッタリングによりAl−Si−Cu電極(4)を形成した以外は実施例1と同様の方法で評価用試料を作製した。実施例2の工程順の概略説明図を図2に示す。
LCRメータと電源ソースモニタの性能評価
実施例1で作製した評価用試料上のMOSキャパシタと抵抗体にそれぞれプローブ針をコンタクトさせ、プログラムによりMOSキャパシタと抵抗体上で連続して計測を行った。なお、抵抗体と電源ソースモニタとの間に金属皮膜固定抵抗(抵抗値100Ω)を直列に接続し、電源ソースモニタ評価用測定回路を作製した。図3に回路の概略図を示す。
このように、実施例1で作製した評価用試料上で、LCRメータと電源ソースモニタの管理を簡便に行うことができた。
Claims (10)
- 電気特性評価用計測器の性能および電源ソースモニタの性能を評価するために使用される評価用試料であって、
前記試料は、半導体基板上に酸化膜と導電膜からなるMOSキャパシタおよび抵抗体を、それぞれ少なくとも1つ有し、
前記MOSキャパシタは、前記電気特性評価用計測器の性能を評価するために使用され、
前記抵抗体は、前記電源ソースモニタの性能を評価するために使用される、前記評価用試料。 - 前記半導体基板は、n型シリコンウェーハである、請求項1に記載の評価用試料。
- 前記抵抗体は、前記導電膜と同一素材からなる、請求項1または2に記載の評価用試料。
- 前記導電膜はポリシリコンからなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の評価用試料。
- 前記酸化膜はSiO2膜である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の評価用試料。
- 半導体基板上に酸化膜を形成し、
前記酸化膜の一部を除去することにより前記基板表面の一部を露出させ、
前記露出した基板表面の少なくとも一部および前記酸化膜の少なくとも一部の面上に導電膜パターンを形成することを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の評価用試料の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の評価用試料を使用することにより、電気特性評価用計測器の性能および電源ソースモニタの性能を評価する方法であって、
前記電気特性評価用計測器を、前記MOSキャパシタと接続して電圧印加時の容量を計測し、かつ前記電源ソースモニタを、前記抵抗体と接続して電圧印加時の電流値および/または電流印加時の電圧値を計測することにより、電気特性評価用計測器と電源ソースモニタの性能を同一試料上で評価する、前記方法。 - 前記電源ソースモニタと抵抗体との間に更なる抵抗体を直列に接続する、請求項7に記載の方法。
- 前記計測される容量、電流値および/または電圧値の限界値を設定し、該限界値を超える異常値を検出することにより、前記接続の不良を検出することを含む、請求項7または8に記載の方法。
- 前記電気特性評価用計測器はLCRメータである、請求項7〜9のいずれか1項に記載の方法。
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