JP2007304546A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009150901A1 (ja) * 2008-06-09 2009-12-17 シャープ株式会社 露光装置および露光方法
JP2016030424A (ja) * 2014-07-30 2016-03-07 キヤノン株式会社 記録装置および記録制御方法
KR102255033B1 (ko) 2015-01-13 2021-05-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크리스 노광 장치 및 이를 이용한 마스크리스 노광 방법
DE102016122353A1 (de) * 2016-11-21 2018-05-24 Manz Ag Bearbeitungsanlage
JP6960330B2 (ja) * 2017-12-27 2021-11-05 キヤノン株式会社 位置合わせ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法
US10599055B1 (en) * 2018-11-15 2020-03-24 Applied Materials, Inc. Self aligning systems and methods for lithography systems
KR102277980B1 (ko) * 2019-07-03 2021-07-15 세메스 주식회사 잉크젯 프린팅 시스템
JP7616222B2 (ja) * 2020-07-17 2025-01-17 ソニーグループ株式会社 内視鏡システム、内視鏡制御方法、およびプログラム
DE102020124006B3 (de) * 2020-09-15 2022-01-05 Laser Imaging Systems Gmbh Belichtungssteuerung bei photolithographischen direktbelichtungsverfahren zur leiterplatten- oder schaltkreisherstellung
JP2025145976A (ja) 2024-03-22 2025-10-03 株式会社オーク製作所 露光装置およびアライメント方法
JP2025145881A (ja) 2024-03-22 2025-10-03 株式会社オーク製作所 カメラユニット、露光装置、加工装置、検査装置およびマーク撮像方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100250155B1 (ko) 1997-11-27 2000-03-15 유무성 노광장치
JP2001033976A (ja) * 1999-07-21 2001-02-09 Nikon Corp 位置合わせ装置、位置合わせ方法および露光装置
JP2001154371A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Nikon Corp 回路デバイスや表示デバイスの製造方法、及び大型ディスプレー装置
JP4172204B2 (ja) * 2002-05-22 2008-10-29 株式会社ニコン 露光方法及び露光装置、デバイス製造方法
JP2004341279A (ja) 2003-05-16 2004-12-02 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ
JP4441310B2 (ja) 2003-10-06 2010-03-31 富士フイルム株式会社 画像記録装置
JP2005345872A (ja) 2004-06-04 2005-12-15 Pentax Corp アライメント機能を有する露光装置
JP2006058496A (ja) * 2004-08-18 2006-03-02 Fuji Photo Film Co Ltd 基板測定装置及び基板搬送装置並びに基板測定装置を備えた画像形成装置と基板測定方法
JP2006184466A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Fuji Photo Film Co Ltd 検出装置、検出方法および露光装置
JP4450739B2 (ja) * 2005-01-21 2010-04-14 富士フイルム株式会社 露光装置

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