JP6960330B2 - 位置合わせ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、位置合わせ装置200を含む露光装置100の構成を示す図である。露光装置100は、原版であるレチクルRと基板であるウエハWをアライメントした後に、照明系ILでレチクルRに露光光を照射してレチクルRのパターンをウエハWに投影光学系POを介して転写する装置である。ウエハWはウエハを保持するチャックCHを介してXYZ方向に移動可能なステージSTGに搭載されている。ホスト制御部HPがステージ制御部STC内のステージ処理部SPに対して目標位置の座標を送信すると、ステージ処理部SPは、受信した目標位置の座標にステージSTGを駆動させるべくモータMOTを制御する。ステージSTGの位置は干渉計PMによって高精度に位置計測される。
図4、図5を用いて、フォーカス計測においてアライメントマークを撮像する際のステージ駆動パターンとカメラの撮像タイミングを詳細に述べる。本実施形態において、ウエハWには、所定の相異なる位置に計測ショット領域S1〜S4が設定されており、各計測ショット領域にアライメントマークが配置されている。図4の例は、カメラCAMの撮像位置にウエハWの所定の初期位置STR1が位置している状態から、計測ショット領域S1、S2、S3、S4を順次、カメラCAMの撮像位置に位置させるようにステージSTGを駆動するようすを表している。以下では、撮像位置を計測ショット領域S1〜S4のうちS1からS2に移動してS2でフォーカス計測を行い、フォーカス計測終了後に、S2からS3に移動するまでの一連の流れを説明する。図5(A)は、Xステージの移動速度パターンを示しており、縦軸が速度Vxm、横軸が時間Tである。そのときのXステージの目標位置までの残差が図5(B)に示されており、縦軸が残差dPxm、横軸が時間Tである。図5(C)は、Yステージの移動速度パターンを示しており、縦軸が速度Vym、横軸が時間Tである。そのときのYステージの目標位置までの残差が図5(D)に示されており、縦軸が残差dPym、横軸が時間Tである。図5(E)はZステージの移動速度パターンを示しており、縦軸が速度Vzm、横軸が時間Tである。そのときのZステージの位置が図5(F)に示されており、縦軸が位置dZ、横軸が時間Tである。最後に、図5(G)は、カメラの撮像タイミングとアライメント処理部AP、検出部DPでの計測タイミングを示している。具体的には、図5(G)には以下が示される。
・センサSの蓄積期間(charge term)、
・センサSからセンサ制御部AMPでA/D変換しフレームメモリ転送部TR1を介してフレームメモリFMEMに画像が保存されるまでのフレームメモリ転送期間(transfer term(TR1))、
・フレームメモリFMEMからカメラ転送部TR2を介してアライメント処理部APに画像が転送されるまでの画像転送期間(transfer term(TR2))、
・アライメント処理部APにて画像からコントラストを算出する期間と検出部DPにて各Z位置でのコントラストからベストフォーカス位置を算出する処理の処理期間(processing term)。
次に、図6を用いて、第1実施形態の実施例2について述べる。実施例2では、フォーカス計測時のZステージの駆動をスキャンで行うことが特徴となる。実施例1のZステージの駆動はステップ移動により行う分、各位置での計測を精度よく行うことができるのに対し、Zステージは精度は劣るものの高速に計測を行うことができる。Zステージの駆動方法以外は実施例1と同じである。図6(A)は、Zステージの移動速度パターンを示しており、縦軸が速度Vzm、横軸が時間Tである。そのときのZステージの位置が図6(B)に示されており、縦軸が位置dZ、横軸が時間Tである。図6(C)には、カメラの撮像タイミングのうち、センサ蓄積期間(charge term)が示されている。
実施例1,2ではベストフォーカス位置を求める処理について説明したが、ここでは、基板の相異なる位置に設けられた複数のマークを検出してアライメント計測を行う場合について説明する。この実施例では、それら複数のマークのうちの第1マークの撮像を行い、該撮像により得られた第1マークの画像データがフレームメモリに転送される転送期間中に、上記複数のマークのうちの第2マークの撮像を行うためのステージの移動を開始する。以下、図4、図7を用いて、具体例を説明する。ここでは、図4のウエハW上に設定された計測ショット領域S1〜S4のうち、S1からS2に撮像位置を移しS2でのアライメント計測を行い、その後、S2からS3に撮像位置を移すまでの一連の流れを説明する。
・センサSの蓄積期間(charge term)、
・センサSからセンサ制御部AMPでA/D変換しフレームメモリ転送部TR1を介してフレームメモリFMEMに画像が保存されるまでのフレームメモリ転送期間(transfer term(TR1))、
・フレームメモリFMEMからカメラ転送部TR2を介してアライメント処理部APに画像が転送されるまでのカメラ転送期間(transfer term(TR2))、
・アライメント処理部APにて画像からアライメントマーク位置を算出する処理の処理期間(processing term)。
次に、図8と図9を用いて、本発明第1実施形態の実施例4について述べる。本実施例における位置合わせ装置200’を含む露光装置100’は、スコープSC’のカメラCAM’内に、アライメント処理部APと、アライメント処理部APから評価値を検出部DPに転送するカメラ転送部TR2を有している。また、フレームメモリFMEMからアライメント処理部APに画像を転送する画像転送部TR3を有する。この画像転送部TR3はフレームメモリ転送部TR1と同じくカメラ内部の電子回路基板上に形成されたデータバスでありうる。これにより、フレームメモリFMEMからアライメント処理部APまでの画像転送時間を短くすることができる。また、カメラ転送部TR2では評価値を転送するので画像よりも比較的転送時間を短くすることができる。カメラCAM’には、画像から評価値を算出するために必要なパラメータを保存するパラメータ保持部MPを備えており、撮像前にホスト制御部HPからパラメータ保持部MPにパラメータが送られる。パラメータとしては、例えば、フォーカス計測の場合は計測領域のウィンドウやコントラスト算出アルゴリズムの種類やコントラスト計測に係るパラメータがある。アライメント計測の場合は、アライメント計測領域のウィンドウやテンプレートマッチングによって位置を算出するためのテンプレートなどがある。
・センサSの蓄積期間(charge term)、
・センサSからセンサ制御部AMPでA/D変換しフレームメモリ転送部TR1を介してフレームメモリFMEMに画像が保存されるまでのフレームメモリ転送期間(transfer term(TR1))、
・フレームメモリFMEMから画像転送部TR3を介してアライメント処理部APに画像が転送されるまでの画像転送期間(transfer term(TR3))、
・カメラ転送部TR2を介して検出部DPに評価値であるコントラストのデータが転送されるまでのカメラ転送期間(transfer term(TR2))、
・アライメント処理部APにて画像からコントラストを算出する期間と検出部DPにて各Z位置でのコントラストからベストフォーカス位置を算出する処理の処理期間(processing term)。
次に、図10と図11を用いて、第1実施形態の実施例5について述べる。実施例1では、蓄積期間完了後のZステージ駆動をフレームメモリ転送期間と同等か、もしくは、短くなるように駆動速度を制御することを述べた。この場合、図10(A)のようにステージ駆動速度の変化(加速度)が急峻だと図10(B)に示すように停止した後に偏差が生じる懸念がある。偏差が生じている期間stと図10(C)に示す蓄積期間ctd2が重なると、撮像対象物がぶれてしまい、精度よく計測できない。
次に、図12のフローチャートに基づいて、第2実施形態に係る位置合わせ方法について説明する。図12に示されたフローは、ホスト制御部HP、カメラCAM、アライメント処理部AP、検出部DP、ステージ処理部SPの並列処理のフローである。ここでは、図4のウエハ上のアライメントマークS1からS2へ移動してフォーカス計測後S3へ移動する際の処理の流れを例に挙げて説明する。
図1の露光装置100による露光方法を、図13に基づいて説明する。露光装置のシーケンスがスタートすると、まず、ステージにウエハが搬入される(S001)。露光装置100は、ステージに搬入されたウエハに対して、プリアライメント(S002)、グローバルアライメント(S003)の順番でアライメント処理を行う。プリアライメントは、ウエハ上に形成された2か所のアライメントマークを低倍率のスコープを備えた位置検出装置で観察してその位置を計算する。その後、大まかなウエハシフト、ウエハ倍率、及び、ウエハローテーションを求めてグローバルアライメントを行うために必要なアライメントを行う。グローバルアライメントは、ウエハ上に形成された複数のアライメントマークを高倍率のスコープを備えた位置検出装置で観察する。各計測ショットにおけるアライメントマークのフォーカス位置を算出後、XY方向のアライメントマーク位置計算し、計算したアライメントマーク位置を統計処理してウエハ上の各ショット位置を高精度に求める。プリアライメントやグローバルアライメントの位置合わせ装置には、本発明の位置合わせ装置を用いることができる。露光装置100は、グローバルアライメントで求めたショット位置に基づいて、露光処理を行う(S004)。露光装置100は、全ショットの露光が完了したらウエハを搬出(S005)し、次のウエハを搬入する(S001)。全ウエハの露光処理が終了したら(S006)、シーケンスを終了する。
本発明の実施形態における物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、上記のリソグラフィ装置(露光装置やインプリント装置、描画装置など)を用いて基板に原版のパターンを転写する工程と、かかる工程でパターンが転写された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (13)
- 基板に設けられたマークを検出することにより前記基板の位置合わせを行う位置合わせ装置であって、
前記基板を保持して移動可能なステージと、
前記ステージによって保持された前記基板上の前記マークを撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された前記マークの像に基づいて前記マークの位置を求める処理部と、を有し、
前記撮像部は、
光電変換により電荷の蓄積を行う撮像素子と、
前記撮像素子で蓄積された前記電荷に基づいて得られた少なくとも1フレームの画像データを一時的に記憶するフレームメモリと、
前記撮像素子で得られた1フレームの画像データを前記フレームメモリに転送する第1転送部と、
前記フレームメモリから読み出された1フレームの画像データを前記処理部に転送する第2転送部と、を含み、
前記第1転送部のデータ転送速度は前記第2転送部のデータ転送速度よりも速く、前記第1転送部と前記第2転送部とは非同期で動作し、
前記撮像部は、前記撮像素子で前記電荷の蓄積が行われ前記第1転送部により前記蓄積により得られた1フレームの画像データの前記フレームメモリへの転送が完了すれば、前記第2転送部による該1フレームの画像データの前記処理部への転送が完了していなくても次の撮像が可能になるように構成されており、
前記ステージを移動させながら複数の位置で前記撮像部により前記マークを撮像する際に、前記第1転送部による1フレームの画像データの前記フレームメモリへの転送と並行して、次の撮像のための前記ステージの移動を行う
ことを特徴とする位置合わせ装置。 - 前記ステージを移動させながら複数の位置で前記撮像部により前記マークを撮像し、前記処理部により各位置での前記ステージの位置合わせ状態を評価することを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ装置。
- 前記撮像素子と前記ステージとの間の距離を段階的に変化させるように前記ステージをステップ移動させながら各ステップ位置で前記撮像部により前記マークを撮像し、前記処理部により各ステップ位置での前記マークの像のフォーカス状態を前記位置合わせ状態として評価することを特徴とする請求項2に記載の位置合わせ装置。
- 前記ステップ移動を、前記第1転送部による前記フレームメモリへの1フレームの画像データの転送期間内に行うことを特徴とする請求項3に記載の位置合わせ装置。
- 前記ステップ移動にかかる時間を、前記第1転送部による前記フレームメモリへの1フレームの画像データの転送期間と同じにすることを特徴とする請求項4に記載の位置合わせ装置。
- 前記ステップ移動にかかる時間と前記撮像素子による電荷の蓄積期間との合計時間が前記第2転送部による前記フレームメモリから前記処理部への1フレームの画像データの転送期間を超えない範囲で、前記ステップ移動にかかる時間を最大化することを特徴とする請求項3に記載の位置合わせ装置。
- 前記基板の相異なる位置に設けられた複数のマークを検出する場合、前記複数のマークのうちの第1マークの前記撮像部による撮像を行い、該撮像により得られた前記第1マークの画像データが前記第1転送部によって前記フレームメモリに転送される転送期間中に、前記複数のマークのうちの第2マークの前記撮像部による撮像を行うための前記ステージの移動を開始することを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ装置。
- 前記基板の相異なる位置に設けられた複数のマークを検出する場合、前記複数のマークのうちの第1マークの前記撮像部による撮像を複数回行い、該複数回の撮像うちの最終回の撮像により得られた第1マークの画像データが前記第1転送部によって前記フレームメモリに転送される転送期間中に、前記複数のマークのうちの第2マークの前記撮像部による撮像を行うための前記ステージの移動を開始することを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ装置。
- 前記第1転送部は、前記撮像素子と同じ回路基板上に実装される専用データバスを含み、
前記第2転送部は、通信規格に準拠したデータバスを含む、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の位置合わせ装置。 - 前記撮像部による撮像を制御する制御部を更に有し、
前記撮像部は、前記次の撮像が可能になったことを前記制御部に通知する通知部を含み、
前記制御部は、前記通知部からの前記通知に基づいて、前記撮像部による前記次の撮像の開始のタイミングを制御する
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の位置合わせ装置。 - 前記フレームメモリは、記憶可能領域がなくなった場合に最も古い画像データを最新の画像データで上書きするリングバッファを含む、ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の位置合わせ装置。
- 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の位置合わせ装置を備え、
前記位置合わせ装置の前記ステージによって保持された基板に、原版のパターンを転写するように構成されていることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項12に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された基板を加工する工程と、
を有し、
前記加工された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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