JP2007303975A - 光学式センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源1から出射された光を出射端面より出射して被検出物2に照射する第1の光ファイバ4と、被検出物2により反射された反射光が入射端面より入射される第2及び第3の光ファイバ5,6とを有する。第1の光ファイバ4の出射端面は、第2及び第3の光ファイバ5,6が配設された方向の反対側に向いた傾斜面となっており、出射光は、出射端面において屈折され、第2及び第3の光ファイバ5,6が配設された方向に出射される。
【選択図】図1
Description
本発明に係る光学式センサは、光源と、この光源から出射された光が一端側に入射されこの光を他端側に伝搬して他端側の端面よりこの光を出射して端面から相対距離だけ離間されて配置された被検出物に出射光を照射する第1の光ファイバと、端面を被検出物に向けるとともに少なくとも端面の近傍において第1の光ファイバに平行となされ第1の光ファイバに対して所定の距離を隔てて配設され被検出物により反射された出射光の反射光が端面より入射される第2の光ファイバと、端面を被検出物に向けるとともに少なくとも端面の近傍において第1の光ファイバに平行となされ第1の光ファイバに対して第2の光ファイバと同一の方向に第2の光ファイバよりも離間して配設され被検出物により反射された出射光の反射光が端面より入射される第3の光ファイバと、これら第2及び第3の光ファイバにより伝搬された反射光をそれぞれ受光して電気信号に変換して出力する第1及び第2の受光素子と、これら第1及び第2の受光素子から出力される電気信号の比率に基づいて被検出物の変位量を算出する演算処理手段とを備え、第1の光ファイバの端面は、光軸に対する傾斜面となっており、第2及び第3の光ファイバが配設された方向の反対側に向けた傾斜面となされていることを特徴とするものである。
本発明は、構成1を有する光学式センサにおいて、第1乃至第3の光ファイバの端面が無反射コーティングがなされていることを特徴とするものである。
本発明は、構成1、または、構成2を有する光学式センサにおいて、第2及び第3の光ファイバの端面は、光軸に対する傾斜面となっており、第1の光ファイバが配設された方向の反対側に向けた傾斜面となされていることを特徴とするものである。
また、本発明に係る光学式センサにおいては、構成2を有することにより、第1乃至第3の光ファイバの端面が無反射コーティングがなされているので、各光ファイバの端面における損失を低下させることができる。
図2は、検出部11の構成を示す側面図である。
ここで、n1は、第1の光ファイバ4のコアの屈折率であり、n2は、外部媒質(例えば、空気)の屈折率である。
この光学式センサにおいては、強度比F(P1,P2)は、ほぼ線形のスロープ形状を有する曲線となっている。反射板2の変位量の検出を行う場合には、このスロープ形状を曲線を使用することができる。この場合、より線形であるほうが、距離変化を物理量に変換する補正関数がシンプルとなり、演算処理が容易であり、誤差が小さいという利点がある。
2 反射板
3 反射面
4 第1の光ファイバ
5 第2の光ファイバ
6 第3の光ファイバ
7 第1のPD
8 第2のPD
9 増幅器
10 演算処理回路
11 検出部
Claims (3)
- 光源と、
前記光源から出射された光が一端側に入射され、この光を他端側に伝搬して他端側の端面よりこの光を出射して、該端面から相対距離だけ離間されて配置された被検出物に出射光を照射する第1の光ファイバと、
端面を前記被検出物に向けるとともに、少なくとも端面の近傍において前記第1の光ファイバに平行となされ該第1の光ファイバに対して所定の距離を隔てて配設され、前記被検出物により反射された前記出射光の反射光が端面より入射される第2の光ファイバと、
端面を前記被検出物に向けるとともに、少なくとも端面の近傍において前記第1の光ファイバに平行となされ該第1の光ファイバに対して前記第2の光ファイバと同一の方向に該第2の光ファイバよりも離間して配設され、前記被検出物により反射された前記出射光の反射光が端面より入射される第3の光ファイバと、
前記第2及び第3の光ファイバにより伝搬された反射光をそれぞれ受光して電気信号に変換して出力する第1及び第2の受光素子と、
前記第1及び第2の受光素子から出力される電気信号の比率に基づいて、前記被検出物の変位量を算出する演算処理手段と
を備え、
前記第1の光ファイバの端面は、光軸に対する傾斜面となっており、前記第2及び第3の光ファイバが配設された方向の反対側に向けた傾斜面となされている
ことを特徴とする光学式センサ。 - 前記第1乃至第3の光ファイバの端面は、無反射コーティングがなされている
ことを特徴とする請求項1記載の光学式センサ。 - 前記第2及び第3の光ファイバの端面は、光軸に対する傾斜面となっており、前記第1の光ファイバが配設された方向の反対側に向けた傾斜面となされている
ことを特徴とする請求項1、または、請求項2記載の光学式センサ。
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