JP2009145075A - 光ロータリーエンコーダ及びこれを用いた液面計 - Google Patents

光ロータリーエンコーダ及びこれを用いた液面計 Download PDF

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Abstract

【課題】計測部に電源を用いない防爆タイプの光ロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】透過型の回転ディスク10と、該回転ディスク10に光源4からの光を伝搬させて照射する送信用光伝送路7と、前記透過型の回転ディスク10を透過した光を透過光として受信する受信用光伝送路8と、該受信用光伝送路8が伝搬した前記透過光を検出する受光器5と、前記光源4を制御し、かつ前記受光器5からの電気信号を用いて前記回転ディスク10の回転角を求める制御回路6とを備えた光ロータリーエンコーダにおいて、光源4と受光器5および制御回路6を有する制御部2と、回転ディスク10を有する計測部3とが別体に構成されたものである。
【選択図】図1

Description

本発明は、計測部に電源を用いない防爆タイプの光ロータリーエンコーダおよびこれを用いた液面計に関する。
石油備蓄タンクなどの油量を管理する際、石油などの液体の液面位置(液面レベル)を計測し、その液面位置にタンクの面積を乗じて油量を求めているが、タンクの面積が非常に大きい場合、液面位置の計測に誤差が生じると、求める油量の誤差が大きくなってしまうため、精密な液面位置の計測が要求されている。
従来、石油備蓄タンクなどの液面位置を検出する際、図6に示すような液面計61が用られている(例えば、特許文献1参照)。
液面計61では、液面Sの位置が変化した際、その液面Sの位置の変化に追従してフロート62の高さ位置が変化し、フロート62に接続された測長テープ63が移動する。その測長テープ63の移動量をギア機構64でギアの回転量に変換し、そのギアの回転量から液面Sの高さ位置をロータリーエンコーダ65で検出している。
ロータリーエンコーダ65としては、例えば、周方向に所定の間隔で多数のスリットを形成した回転ディスクと、その回転ディスクに光を照射する発光器と、その発光器と回転ディスクを挟んで対向させた受光器とを備えたものがある。
ロータリーエンコーダ65では、回転ディスクが回転した際に、スリットを通過した透過光のパルスを受光器で受光し、これをカウントすることにより回転ディスクの回転角を検出している。この回転ディスクの回転角を検出することにより、フロート62の高さ位置、すなわち液面Sの高さ位置を求めることができる。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、次のものがある。
特開平4−24517号公報 特開昭63−210729号公報 特開2003−294511号公報 特開平2−112099号公報
石油備蓄タンクは、その大抵が周囲に高い建造物のない広い場所に建設されるため、落雷の被害が多い。したがって、落雷による被害を防ぐために、できるだけ計測部に電源を使わない防爆タイプの液面計が要求されている。
しかしながら、従来の液面計61では、ロータリーエンコーダ65を作動させるために電力を供給する必要があり、そのロータリーエンコーダ65の電力を使った部分が落雷によるサージ電流の影響を受け破損する可能性があることから、防爆タイプにすることが困難であった。
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、計測部に電源を用いない防爆タイプの光ロータリーエンコーダおよびこれを用いた液面計を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、透過型の回転ディスクと、該回転ディスクに光源からの光を伝搬させて照射する送信用光伝送路と、前記透過型の回転ディスクを透過した前記光を透過光として受信する受信用光伝送路と、該受信用光伝送路が伝搬した前記透過光を検出する受光器と、前記光源を制御し、かつ前記受光器からの電気信号を用いて前記回転ディスクの回転角を求める制御回路とを備えた光ロータリーエンコーダにおいて、前記光源と前記受光器および前記制御回路を有する制御部と、前記回転ディスクを有する計測部とが別体に構成された光ロータリーエンコーダである。
請求項2の発明は、前記計測部内には前記光源の光を分波する入力側アレイ導波路回折格子と、前記透過型の回転ディスクを透過した前記透過光を合波する光結合器が配設され、前記制御部内には合波された前記透過光を分波する出力側アレイ導波路回折格子が設置され、前記送信用光伝送路は、前記入力側アレイ導波路回折格子に前記光源の光を伝搬する入力側光伝送路と、前記入力側アレイ導波路回折格子により分波された光を前記回転ディスクに出射可能に配設された入力側分岐用光伝送路とからなり、前記受信用光伝送路は、前記透過光を受信し前記光結合器に前記透過光を伝搬する出力側分岐用光伝送路と、前記光結合器から前記出力側アレイ導波路回折格子に合波された前記透過光を伝搬する出力側光伝送路と、前記出力側アレイ導波路回折格子から前記受光器に分波された前記透過光を伝搬する受光器側分岐用光伝送路とからなる請求項1記載の光ロータリーエンコーダである。
請求項3の発明は、光を分岐するスプリッタと光源とを接続する光源側光伝送路と、前記スプリッタと接続された送受信用光伝送路と、該送受信用光伝送路から出射される光の一部を反射する反射型の回転ディスクと、該反射型の回転ディスクによって反射された光を前記スプリッタから受光器に伝搬する受光器側光伝送路と、前記光源を制御し、かつ前記受光器からの電気信号を用いて前記回転ディスクの回転角を求める制御回路とを備えた光ロータリーエンコーダにおいて、前記光源と前記スプリッタと前記受光器と前記制御回路とを有する制御部と、前記反射型の回転ディスクを有する計測部とが別体に形成された光ロータリーエンコーダである。
請求項4の発明は、前記計測部内の前記送受信用光伝送路に配設された入出力用アレイ導波路回折格子と、該入出力用アレイ導波路回折格子に接続され前記反射型の回転ディスクに前記光源の光を出射可能に配設された分岐用光伝送路と、前記制御部内の前記受光器側光伝送路に配設された出力側アレイ導波路回折格子と、該出力側アレイ導波路回折格子と前記受光器とを接続する受光器側分岐用光伝送路とを備えた請求項3記載の光ロータリーエンコーダである。
請求項5の発明は、液面の位置を計測する液面計であって、液面の変動に追従するフロートと、該フロートに接続された測長テープと、該測長テープに張力を付加する張力付加機構と、前記測長テープの移動量を回転量に変換するギア機構と、前記回転量から前記液面の位置を検出する請求項1〜4いずれかに記載の光ロータリーエンコーダとを備えた液面計である。
本発明によれば、計測部に電源を用いないため防爆タイプにすることができる。
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面にしたがって説明する。
本実施形態に係る光ロータリーエンコーダは、石油備蓄タンクやダムなどの液面位置(液面レベル)を検出するための液面計に用いられるものである。
図1(a)は、本発明の好適な第1の実施形態を示す光ロータリーエンコーダの概略図、図1(b)はその要部拡大図である。
図1(a)および図1(b)に示すように、第1の実施形態に係る光ロータリーエンコーダ1は、制御部2と計測部3とを主に備える。
制御部2は、計測部3の周辺に雷が落ちた場合でも影響がないように計測部3から十分離れた位置に配置される。制御部2は、N個(N=1,2,3,…)の発光素子を有する光源4と、N個の受光素子を有する受光器5と、光源4および受光器5に接続され、光源4を駆動すると共に受光器5からの電気信号を受信して処理する制御回路6とからなる。
発光素子は、例えば、LD(レーザダイオード)からなり、受光素子は、例えば、PD(フォトダイオード)からなる。
光源4には送信用光ケーブル(送信用光伝送路)7の一端が接続され、受光器5には受信用光ケーブル(受信用光伝送路)8の一端が接続される。送信用光ケーブル7は、N本の入力側光ファイバ7aからなり、受信用光ケーブル8は、N本の出力側光ファイバ8aからなる。入力側光ファイバ7aおよび出力側光ファイバ8aは、例えば、シングルモード光ファイバからなる。
計測部3は、後述する図2に示される測定対象である液体Lの液面Sの変動に従って回転するギア機構24の1つの軸であるシャフト9と、そのシャフト9と連結され一体に回転する透過型の回転ディスク(遮光板)10とを備える。
回転ディスク10には、その回転ディスク10の中心付近から径方向に複数の穴11が形成される。この複数の穴11は、回転ディスク10の回転角度ごとに異なる2N個のパターンを形成する。すなわち、回転ディスク10は、2Nの位置分解能を有し、2N個のパターンのどのパターンを光が通過したかの情報である絶対角情報を得ることで、回転ディスク10の回転角が2Nの位置分解能で分かる。
光源4に一端を接続されたN本の入力側光ファイバ7aの他端は、回転ディスク10の面と入力側光ファイバ7aから出射される光である入射光の光路とが垂直になるように回転ディスク10の中心付近から径方向にそれぞれ配設される。また、各入力側光ファイバ7aと回転ディスク10との間には、各入力側光ファイバ7aに対応したN個の入力側レンズ12が配置される。
受光器5に一端を接続されたN本の出力側光ファイバ8aの他端は、回転ディスク10の穴11を通過した光である透過光を受光できるように回転ディスク10を挟んで入力側光ファイバ7aと対向配置される。また、各出力側光ファイバ8aと回転ディスク10との間には、各出力側光ファイバ8aに対応したN個の出力側レンズ13が配置される。
次に、第1の実施形態に係る光ロータリーエンコーダ1の動作を説明する。
まず、制御回路6により光源4の各発光素子を駆動する。光源4の各発光素子から送信用光ケーブル7の一端に入射した入射光は、送信用光ケーブル7を通り、送信用光ケーブル7の他端より回転ディスク10の穴11が形成された面へ出射する。
送信用光ケーブル7の各入力側光ファイバ7aの他端より出射した入射光のうち、回転ディスク10の穴11を通過した透過光は、受信用光ケーブル8の各出力側光ケーブル8aで受光され、受信用光ケーブル8によって伝搬され、受光器5に入射する。
受光器5は、受信用光ケーブル8からの透過光を受け、この透過光を受光器5の各受光素子で電気信号に変換し、その電気信号を制御回路6に出力する。
制御回路6は、受光器5からの電気信号を受信し、これを回転ディスク10の絶対角情報に変換して、回転ディスク10の回転角を検出する。
第1の実施形態に係る光ロータリーエンコーダ1では、計測部3の周辺に雷が落ちた場合でも影響がないように十分離れた位置に制御部2を配置し、計測部3と制御部2とを送信用光ケーブル7および受信用光ケーブル8で接続している。
光ロータリーエンコーダ1の計測部3は、回転ディスク10、入力側光ファイバ7a、出力側光ファイバ8a、入力側レンズ12、および出力側レンズ13で構成されており、電力を使用していない。さらに、光ロータリーエンコーダ1では、電力を供給する必要のある光源4や受光器5を有する制御部2は、計測部3の周辺に雷が落ちた場合でも影響がないように、計測部3から十分離れた位置に配置されている。このため、石油備蓄タンクなどのタンク付近に設置される計測部3を電源を用いないことで防爆構造にすることができ、落雷の影響を受けないようにすることができる。
また、制御部2と計測部3とは、例えば、数km離れて設置される場合も考えられるが、光ファイバ(入力側光ファイバ7aおよび出力側光ファイバ8a)は光信号を低損失に伝搬することが可能であり、かつ電磁誘導などによるノイズの混入がないので、遠隔での計測が可能となる。
さらに、光ロータリーエンコーダ1では、N本の入力側光ファイバ7aとN本の出力側光ファイバ8aを用い、回転ディスク10に、その回転ディスク10の回転角度ごとに異なる2N個のパターンを形成する多数の穴11が形成される。これにより、2Nの位置分解能が得られ、穴11のどこを光が通過したかを知ることで、回転ディスク10の絶対角情報を得て、回転ディスク10の回転角がわかる。よって、従来のロータリーエンコーダのように、電源が切れた際にゼロ位置まで戻してリセットするという作業が不要となる。
第1の実施形態に係る光ロータリーエンコーダ1は、例えば、図2の液面計21に用いられる。
図2に示すように、液面計21は、タンクTに貯留した石油などの液体Lの液面Sに追従するフロート22と、そのフロート22に接続された測長テープ23と、その測長テープ23の先端に接続され測長テープ23に張力を付加する図示しない張力付加機構と、測長テープ23の移動量をギアの回転量に変換するギア機構24と、そのギア機構24のギアの回転量から液面Sの位置(液面レベル)を検出する光ロータリーエンコーダ1とを備える。ここで、液面Sの位置とは、タンクTの底面から液面までの距離のことである。
タンクTの上方には、フロート22からの測長テープ23をギア機構24にガイドするガイドローラ25,26が配置される。測長テープ23の中央部には、その長手方向に沿って所定の間隔で測長穴27が設けられる。
ギア機構24は、測長テープ23の測長穴27に噛み合い、測長テープ23が移動するとそれに伴って回転するように配置された第1ギア24aと、その第1ギア24aを支持する支持軸24bと、その支持軸24bに設けられ、第1ギア24aと一体に回転する第2ギア24cと、光ロータリーエンコーダ1のシャフト9に設けられ、第2ギア24cと噛み合う第3ギア24dとからなる。
タンクT内の液体Lの量が変化して液面Sが移動すると、まず、この液面Sの変化に追従してフロート22の高さ位置が変化する。フロート22の高さ位置が変化すると、測長テープ23が移動し、測長テープ23の測長穴27に噛み合った第1ギア24aが回転する。第1ギア24aが回転すると、それに伴って第2ギア24c、第3ギア24dが回転して、シャフト9が回転する。このシャフト9の回転角、すなわちシャフト9と一体に回転する計測部3内に設けられた回転ディスク10の回転角を光ロータリーエンコーダ1で検出する。
計測に先立ち、フロート22の高さ位置と、回転ディスク10のスリット11のパターンとの対応を求めておけば、検出した回転角からフロート22の高さ位置、すなわち液面Sの位置を検出できる。
液面計21は、第1の実施形態に係る光ロータリーエンコーダ1を用いているため、計測部3に電源がなく、落雷の影響を受けないようにすることができる。
次に、第2の実施形態に係る光ロータリーエンコーダを説明する。
図3に示すように、第2の実施形態に係るロータリーエンコーダ31は、図1の光ロータリーエンコーダ1と基本的に同じ構成であり、送信用光ケーブル(送信用光伝送路)32および受信用光ケーブル(受信用光伝送路)33を備える点と、光源4としてλ1、λ2、…、λNの波長の光を含むスペクトル幅の広いものを用いる点で異なる。また、計測部3に入射光を分波する入力側アレイ導波路回折格子(AWG:Arrayed Waveguide Grating)32bと、分波されている透過光を結合する光結合器33bを備える点で異なる。さらに、制御部2内に光結合器33bによって結合された透過光を分波する出力側アレイ導波路回折格子(AWG:Arrayed Waveguide Grating)33dを備える点で異なる。
光源4としては、例えば、ASE(Amplified Spontaneous Emission)光源などを用いるとよい。
送信用光ケーブル32は、光源4に接続された1本の入力側光ファイバ(入力側光伝送路)32aと、その入力側光ファイバ32aが伝搬する入射光を分波する計測部3内の入力側アレイ導波路回折格子32bと接続され、分波された入射光を伝搬するN本の入力側分岐用光ファイバ(入力側分岐用光伝送路)32cとからなる。このN本の入力側分岐用光ファイバ32cから出射された入射光の光路と回転ディスク10の面とが垂直になるように、回転ディスク10の中心付近から径方向に配設される。また、各入力側分岐用光ファイバ32cと回転ディスク10との間にはN個の入力側レンズ12が配置される。
受信用光ケーブル33は、回転ディスク10を挟んで入力側分岐用光ファイバ32cと対向して設けられ、穴11を通過した透過光を受光するN本の出力側分岐用光ファイバ(出力側分岐用光伝送路)33aと、計測部3内に設けられた光結合器33bと制御部2内に設けられた出力側アレイ導波路回折格子33dとを接続する1本の出力側光ファイバ(出力側光伝送路)33cと、出力側アレイ導波路回折格子33dとN個のPD(フォトダイオード)などからなる受光器5とを接続するN本の受光器側分岐用光ファイバ(受光器側分岐用光伝送路)34とからなる。
光源4より入力側光ファイバ32aに入射したλ1、λ2、…、λNの波長を含む入射光は、入力側光ファイバ32aを通り、入力側アレイ導波路回折格子32bに入射する。
入力側アレイ導波路回折格子32bは、入射光をその波長λ1、λ2、…、λNごとに分岐し、各波長の入射光に対応したN本の入力側分岐用光ファイバ32cにそれぞれ出力する。分岐された各波長の入射光は、入力側分岐用光ファイバ32cの先端より出射する。
入力側分岐用光ファイバ32cの先端より出射した入射光のうち、穴11を通過した透過光は、各入力側分岐用光ファイバ32cに対応したN本の出力側分岐用光ファイバ33aに入射する。各出力側分岐用光ファイバ33aを伝搬する透過光は光結合器33bで合波される。
光結合器33bで結合された透過光は、出力側光ファイバ33cを通り、出力側アレイ導波路回折格子33dに入射する。出力側アレイ導波路回折格子33dは、光結合器33bで結合された透過光を再び波長ごとに分波し、各波長λ1、λ2、…、λNに対応した受光器5の受光素子5aに入射する。
第2の実施形態に係る光ロータリーエンコーダ31では、アレイ導波路回折格子(入力側アレイ導波路回折格子32bおよび出力側アレイ導波路回折格子33d)とスペクトル幅の広い光源4とを用い、波長λ1、λ2、…、λNの光を合分波して回転ディスク10の回転角を検出するため、制御部2と計測部3とを、1本の入力側光ファイバ32aと1本の出力側光ファイバ33cの合計2本の光ファイバで接続することができる。
制御部2と計測部3との間の光ファイバ(入力側光ファイバ32aおよび出力側光ファイバ33c)は、通常束ねた状態で布設されるが、この束ねた光ファイバの太さを、図1の光ロータリーエンコーダ1と比較して細く、扱いやすくすることができる。
また、制御部2と計測部3とは、例えば数km程度離れて設置される場合も考えられるので、光ファイバの本数を減らすことによって、コストを抑制することができる。
さらに、光源4として波長λ1、λ2、…、λNの光を含むスペクトル幅の広いものを用いるため、光源4を1つとすることができる。
次に、第3の実施形態に係るロータリーエンコーダを説明する。
図4に示すように、第3の実施形態に係るロータリーエンコーダ41は、反射型の回転ディスク42と、送受信用光ケーブル(送受信用光伝送路)43と、スプリッタ44とを備えたものである。その他の構成は基本的に図1の光ロータリーエンコーダ1と同じ構成である。
回転ディスク42は、光を吸収する、あるいは透過させる部材からなり、その回転ディスク42の一方の表面には、その回転ディスク42の回転角度ごとに異なる2N個のパターンを形成する多数の反射膜45が形成される。反射膜45は、例えば、銀などの金属を蒸着して形成される。
光源4と受光器5とはスプリッタ44を介して送受信用光ケーブル43の一端に接続される。光源4とスプリッタ44とは光源側光ファイバ(光源側光伝送路)46で接続され、受光器5とスプリッタ44とは受光器側光ファイバ(受光器側光伝送路)47で接続される。スプリッタ44は、制御部2内に設置される。
一端をスプリッタ44に接続された送受信用光ケーブル43は、N本の入出力用光ファイバ43aからなる。各入出力用光ファイバ43aの他端は、各入出力用光ファイバ43aの他端から出射される入射光の光路と回転ディスク42の面とが垂直になるよう、回転ディスク42の中心付近から径方向に配設される。このように入出力用光ファイバ43aが配設されることにより、回転ディスク42の反射膜45に反射された光である反射光は入出力用光ファイバ43aに受光される。各入出力用光ファイバ43aと回転ディスク42との間には、各入出力用光ファイバ43aに対応した入出力用レンズ44aが配置される。
光ロータリーエンコーダ41では、光源4から出射された入射光は、スプリッタ44を通り、送受信用光ケーブル43を通って、送受信用光ケーブル43の他端より回転ディスク42に出射する。
送受信用光ケーブル43の他端より出射した入射光は、反射膜45が形成された領域で反射されて、再び送受信用光ケーブル43の他端より入射し、光源4からの入射光と反対方向に送受信用光ケーブル43を伝搬し、スプリッタ44を通って、受光器5に入射する。
第3の実施形態に係る光ロータリーエンコーダ1は、反射型の回転ディスク42を用い、入射光および反射光を共通の送受信用光ケーブル43で伝搬させるため、制御部2と計測部3とを結ぶ入出力用光ファイバ43aの本数をN本とすることができる。すなわち、図1の光ロータリーエンコーダ1と比較して制御部2と計測部3とを結ぶ光ファイバの本数を半分にすることができ、束ねた光ファイバの太さを細く、扱いやすくすることができる。
次に、第4の実施形態を説明する。
図5に示すように、第4の実施形態に係る光ロータリーエンコーダ51は、基本的に図4の光ロータリーエンコーダ41と同じ構成であり、送受信用光ケーブル(送受信用光伝送路)52を備える点、スプリッタ44とPD(フォトダイオード)からなる受光素子5aを備える受光器5との間に設けられた出力側アレイ導波路回折格子53を備える点、計測部3に入射光を分波し反射光を合波する入出力用アレイ導波路回折格子52bを備える点、および光源4としてλ1、λ2、…、λNの波長の光を含むスペクトル幅の広いもの、例えばASE(Amplified Spontaneous Emission)光源などを用いる点で異なる。
送受信用光ケーブル52は、スプリッタ44に一端を接続された1本の入出力用光ファイバ52aと、入出力用アレイ導波路回折格子52bに一端を接続された分岐用光ファイバ(分岐用光伝送路)52cとからなる。この分岐用光ファイバ52cの他端は、反射型の回転ディスク42に光を出射可能で、かつ反射膜45によって反射された反射光を受光可能に配設される。また、分岐用光ファイバ52cと反射型の回転ディスク42との間には、各分岐用光ファイバ52cに対応した入出力用レンズ44aが配置される。
スプリッタ44と出力側アレイ導波路回折格子53とは、受光器側光ファイバ(受光器側光伝送路)47で接続され、出力側アレイ導波路回折格子53と受光器5の各受光素子5aとは、N本の受光器側分岐用光ファイバ(受光器側分岐用光伝送路)54で接続される。
第4の実施形態に係るロータリーエンコーダ51では、反射型の回転ディスク42を用い、入射光および反射光を共通の送受信用光ケーブル52で伝搬させており、さらに、アレイ導波路回折格子(入出力用アレイ導波路回折格子52bおよび出力側アレイ導波路回折格子53)とスペクトル幅の広い光源4を用い、波長λ1、λ2、…、λNの光を合分波して回転ディスク42の回転角を検出するため、制御部2と計測部3とを、1本の入出力用光ファイバ52aで接続することができる。よって、制御部2と計測部3とを結ぶ光ファイバを扱いやすくすることができ、コストを抑制することができる。
さらに、第4の実施形態では、光源4として波長λ1、λ2、…、λNの光を含むスペクトル幅の広いものを用いているため、光源4を1つとすることができる。
図1(a)は本発明の好適な第1の実施形態を示す光ロータリーエンコーダの概略図であり、図1(b)はその要部拡大図である。 図1の光ロータリーエンコーダを用いた液面計の一例を示す概略図である。 第2の実施形態に係る光ロータリーエンコーダの概略図である。 第3の実施形態に係る光ロータリーエンコーダの概略図である。 第4の実施形態に係る光ロータリーエンコーダの概略図である。 従来の液面計の概略図である。
符号の説明
1 光ロータリーエンコーダ
2 制御部
3 計測部
4 光源
5 受光器
6 制御回路
7 送信用光ケーブル(送信用光伝送路)
8 受信用光ケーブル(受信用光伝送路)
10 回転ディスク

Claims (5)

  1. 透過型の回転ディスクと、該回転ディスクに光源からの光を伝搬させて照射する送信用光伝送路と、前記透過型の回転ディスクを透過した前記光を透過光として受信する受信用光伝送路と、該受信用光伝送路が伝搬した前記透過光を検出する受光器と、前記光源を制御し、かつ前記受光器からの電気信号を用いて前記回転ディスクの回転角を求める制御回路とを備えた光ロータリーエンコーダにおいて、
    前記光源と前記受光器および前記制御回路を有する制御部と、前記回転ディスクを有する計測部とが別体に構成されたことを特徴とする光ロータリーエンコーダ。
  2. 前記計測部内には前記光源の光を分波する入力側アレイ導波路回折格子と、前記透過型の回転ディスクを透過した前記透過光を合波する光結合器が配設され、前記制御部内には合波された前記透過光を分波する出力側アレイ導波路回折格子が設置され、
    前記送信用光伝送路は、前記入力側アレイ導波路回折格子に前記光源の光を伝搬する入力側光伝送路と、前記入力側アレイ導波路回折格子により分波された光を前記回転ディスクに出射可能に配設された入力側分岐用光伝送路とからなり、
    前記受信用光伝送路は、前記透過光を受信し前記光結合器に前記透過光を伝搬する出力側分岐用光伝送路と、前記光結合器から前記出力側アレイ導波路回折格子に合波された前記透過光を伝搬する出力側光伝送路と、前記出力側アレイ導波路回折格子から前記受光器に分波された前記透過光を伝搬する受光器側分岐用光伝送路とからなる請求項1記載の光ロータリーエンコーダ。
  3. 光を分岐するスプリッタと光源とを接続する光源側光伝送路と、前記スプリッタと接続された送受信用光伝送路と、該送受信用光伝送路から出射される光の一部を反射する反射型の回転ディスクと、該反射型の回転ディスクによって反射された光を前記スプリッタから受光器に伝搬する受光器側光伝送路と、前記光源を制御し、かつ前記受光器からの電気信号を用いて前記回転ディスクの回転角を求める制御回路とを備えた光ロータリーエンコーダにおいて、
    前記光源と前記スプリッタと前記受光器と前記制御回路とを有する制御部と、前記反射型の回転ディスクを有する計測部とが別体に形成されたことを特徴とする光ロータリーエンコーダ。
  4. 前記計測部内の前記送受信用光伝送路に配設された入出力用アレイ導波路回折格子と、該入出力用アレイ導波路回折格子に接続され前記反射型の回転ディスクに前記光源の光を出射可能に配設された分岐用光伝送路と、
    前記制御部内の前記受光器側光伝送路に配設された出力側アレイ導波路回折格子と、該出力側アレイ導波路回折格子と前記受光器とを接続する受光器側分岐用光伝送路とを備えた請求項3記載の光ロータリーエンコーダ。
  5. 液面の位置を計測する液面計であって、液面の変動に追従するフロートと、該フロートに接続された測長テープと、該測長テープに張力を付加する張力付加機構と、前記測長テープの移動量を回転量に変換するギア機構と、前記回転量から前記液面の位置を検出する請求項1〜4いずれかに記載の光ロータリーエンコーダとを備えたことを特徴とする液面計。
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