JP5178093B2 - 光式センサ - Google Patents
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Description
このように、光式センサが注目されている状況下において、本出願人は、特許文献9に開示されたような高い測定精度をもつ光式センサを提案している。
以上説明したように、相対距離Dは、強度比Fから導くことができる。すなわち、光源の光強度変動や、第1光ファイバにおいて曲げ損失等による光強度変動が生じたとしても、強度比Fは変化せず、精度良く相対距離Dを算出することができる。
1本の投光用光ファイバと、2本の受光用光ファイバと、1本以上のダミー用ファイバとが一括被覆されたテープ化部を有しており、該テープ化部では2本の受光用光ファイバはそれぞれ隣り合うように固定されているとともに、その2本の受光用光ファイバの両側にそれぞれ1本以上の投光用光ファイバ又はダミー用光ファイバを備え、前記テープ化部において、光ファイバケーブルを有することを特徴とする光式センサを提供する。
図5は、本発明の光式センサの第1実施形態を示す構成図である。本実施形態の光式センサは、光源11と、光源11からの光を被測定物であるダイアフラム16に伝送する1本の投光用の第1光ファイバ12と、このダイアフラム16の反射面15で反射された光を2つの受光部18A,18Bへとそれぞれ伝送する2本の受光用の第2、第3光ファイバ13,14と、2つの受光部18A,18Bのそれぞれの増幅器20A,20Bから出力された電気信号の比をもとに物理量を算出する演算処理部19とを主要な構成要素としている。反射面22に対向させた3本の光ファイバ12,13,14は、光ファイバ長手方向と反射面に対する法線とのなす角度θとなるように固定され、2本の受光用の第2及び第3光ファイバ13,14は平行であり、かつ投光用の第1光ファイバ12と、受光用の第2及び第3光ファイバ13,14との固定角度は反射面に対する法線を基準に対称であり、これら第1〜第3光ファイバ12〜14は、使用する波長においてシングルモードである。本実施形態の光式センサは、2本の受光用の第2及び第3光ファイバ13,14に、これらファイバを一括被覆した2心テープ化部21を設けたことを特徴としている。
本実施形態の光式センサは、前述した図5に示す第1実施形態の光式センサとほぼ同様の構成要素を備えて構成され、同一の構成要素には同一符号を付している。
本実施形態の光式センサは、前述した図5に示す第1実施形態及び図7に示す第2実施形態のそれぞれの光式センサとほぼ同様の構成要素を備えて構成され、同一の構成要素には同一符号を付している。
Claims (1)
- 光源と、前記光源からの光を被測定物に伝送する1本の投光用光ファイバと、被測定物の反射面から反射された光を2つの受光部へとそれぞれ伝送する2本の受光用光ファイバと、2つの受光部からの電気信号の比をもとに物理量を算出する演算処理部とを有し、反射面に対向させた3本の光ファイバは、光ファイバ長手方向と反射面に対する法線とのなす角度θとなるように固定され、2本の受光用光ファイバは平行であり、かつ投光用光ファイバと受光用光ファイバとの固定角度は反射面に対する法線を基軸に対称であり、各光ファイバは使用する波長においてシングルモードである光式センサにおいて、
1本の投光用光ファイバと、2本の受光用光ファイバと、1本以上のダミー用ファイバとが一括被覆されたテープ化部を有しており、該テープ化部では2本の受光用光ファイバはそれぞれ隣り合うように固定されているとともに、その2本の受光用光ファイバの両側にそれぞれ1本以上の投光用光ファイバ又はダミー用光ファイバを備え、前記テープ化部において、光ファイバケーブルを有することを特徴とする光式センサ。
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