JP2005257472A - 物理量検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 装置の小型化を可能としつつ、高精度な物理量検出が可能な物理量検出装置を提供すること。
【解決手段】 光源21から発せられた第1光束L1および光源22から発せられた第2光束L2を圧力検出部30に導く光ファイバと、圧力検出部30からの反射光を光分波器41に導く光ファイバとを一本の光ファイバ24により構成するとともに、波長の異なる第1および第2光束L1,L2を球レンズ34によって集光して反射板33に投射するように構成する。第1および第2光束L1,L2に対応する第4および第5光束L4,L5の受光量ML1,ML2をレンズの色収差を利用して取得し、これらの受光量ML1,ML2または光量比から光ファイバ24とダイアフラム32との相対距離を求め、この相対距離からダイアフラム32が受ける圧力を求める。
【選択図】 図1
【解決手段】 光源21から発せられた第1光束L1および光源22から発せられた第2光束L2を圧力検出部30に導く光ファイバと、圧力検出部30からの反射光を光分波器41に導く光ファイバとを一本の光ファイバ24により構成するとともに、波長の異なる第1および第2光束L1,L2を球レンズ34によって集光して反射板33に投射するように構成する。第1および第2光束L1,L2に対応する第4および第5光束L4,L5の受光量ML1,ML2をレンズの色収差を利用して取得し、これらの受光量ML1,ML2または光量比から光ファイバ24とダイアフラム32との相対距離を求め、この相対距離からダイアフラム32が受ける圧力を求める。
【選択図】 図1
Description
本発明は、気体、液体中の圧力、温度等の物理量検出に利用される物理量検出装置に関する。
従来、光ファイバおよび光学変換素子を用いて光学的検出原理を利用する物理量検出装置は、電気信号を利用しないため、高絶縁性、防爆性、耐電磁雑音性、耐環境性など優れた特徴を有し、医療分野などにおいて広く利用されている。このような光ファイバおよび光学変換素子を用いた物理量検出装置の一例として特許文献1に示されるような圧力センサがある。この圧力センサを図5を参照しながら説明すると、光源11から出射された光束は送光ファイバ12の一端に入射して送光ファイバ12の他端に導かれ、送光ファイバ12の他端に対抗させて設けられた反射板を兼ねたダイアフラム13に投射される。ダイアフラム13に投射された光束は、ダイアフラム13の反射面にて反射され、異なる特性を持つ複数からなる受光ファイバ14にそれぞれ入射する。これらの受光ファイバ14に入射した反射光は圧力検出光として、それぞれの受光器15によって受光され光・電気変換される。ここで、ダイアフラム13は被検出圧力に応じてその反射面が変形するため、この変形量に応じた光量の反射光を受光ファイバ14に投射することになる。また、受光ファイバ14はそれぞれ異なる特性(例えばコア径、クラッド径等)により構成されていることから、それぞれの圧力検出光の光量に差が生じることになる。
そして、演算回路16はそれぞれの圧力検出光間の光量差を利用して光量比を算出し、この算出した光量比を用い、予め実験等により求められている光量比と送光および受光ファイバ12,14からダイアフラム13の相対距離との関係から同相対距離を算出する。この算出した相対距離を用いて予め決められた相対距離とダイアフラム13に付与される圧力の関係から、被検出圧力を算出して、表示回路17により表示するようにしている。この方法で得られる送光および受光ファイバ12,14から、ダイアフラム13までの相対距離に対する圧力検出光の光量比の関係を図6に示す。
特開昭60−146112
しかしながら、前記した従来例においては、送光用および受光用として最低3本(送光用1本、受光用2本)の光ファイバを必要とするため、装置の小型化に限界がある。また、図6から明らかなように、1つの受光量に対し2つ以上の相対距離が存在する場合があるため、被検出圧力を算出する場合に極めて不都合である。さらに、送光ファイバによって導かれた光束は送光ファイバ12からダイアフラム13の反射面に直接投射されることから、受光ファイバ14は反射光の一部しか入射しないため、効率的な反射光量すなわち効率的な圧力検出光量を得ることができない結果、被検出圧力を算出する場合に高精度な圧力検出ができないという問題があった。
本発明は、前記問題に対処するためなされたもので、その目的は、物理量検出装置の小型化を可能としつつ、高精度な物理量検出を可能とする物理量検出装置の提供にある。
前記目的を達成するため、本発明の特徴は、第1の波長を有する第1光束および第1の波長とは異なる第2の波長を有する第2光束を発する光源部と、反射板が設けられていて外部からの物理量の変化に応じて変形する検出部と、一端にて第1および第2光束を入射するとともに他端から出射して反射板に導き、反射板による反射光を他端にて入射して反射光を一端から出射する光ファイバと、光ファイバの一端から出射する反射光のうちで第1の波長を有する光束を受光する第1受光器と、光ファイバの一端から出射する反射光のうちで第2の波長を有する光束を受光する第2受光器とを備えたことにある。この場合、光源部からの第1および第2光束を結合する光学手段を用いて、第1および第2光束を光ファイバの一端に入射させるとよい。
前記のように構成した本発明の特徴によれば、第1光束および第2光束を反射板の設けられた検出部に導く光ファイバと、同検出部から反射される反射光を第1受光器および第2受光器に導く光ファイバとを、一本の光ファイバで構成しているため、装置の小型化を図ることができる。さらに、このような第1および第2受光器で受光されるそれぞれの反射光から光量比を計算して光ファイバと反射板との相対距離の関係を求めるようにすれば、光量比と相対距離との関係は図3に示すようになり、この図から明らかなように光量比から相対距離を一義的に求めることができる。
また、本発明の他の特徴は、光ファイバの他端と反射板との間に設けられて、光ファイバの他端から出射された第1および第2光束を反射板に集光する第1の光学手段を設けたことにある。これによれば、第1および第2光束を集光して反射板に投射しているため、より多くの反射光を得ることが可能となり、高精度な被検出物理量の検出が可能となる。
また、本発明の他の特徴は、第1の光学手段が、第1および第2の波長に対してそれぞれ異なる焦点距離を有するようにしたことにある。この場合、例えば、第1の光学手段を球レンズで構成できる。より具体的には、球体レンズとして光学的屈折率の波長分散が大きい硝種により、すなわち第1および第2の波長に対し光学的屈折率の違いの大きい材料を用いて構成するとよい。これによれば、第1および第2光束の波長が異なることによって光量差がより顕著に現れるようになり、さらに、高精度な被検出物理量の検出が可能となる。
以下、本発明の物理量検出装置の一実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は、同実施形態に係る物理量検出装置の全体を概略的に示す構成図である。本実施形態においては、検出する物理量として気体、液体等の圧力を採用している。
この物理量検出装置は、所定の第1波長λ1(例えば、波長0.65μm)を有する第1光束L1を発する光源21と、前記第1波長λ1とは異なる所定の第2波長λ2(例えば、波長0.78μm)を有する第2光束L2を発する光源22とを備えている。この光源21および光源22は光結合器23に接続されている。光結合器23は、第1光束L1と第2光束L2を光学的に結合することにより結合光束L3を生成して、光ファイバ24(例えば、コア径10μm、クッラド径125μm)の一端に向けて出射している。光ファイバ24は、光信号を伝送するコア部と、このコア部を覆うクラッド部から構成されており、その他端側に圧力検出部30を備えている。
圧力検出部30は、保持筒31、ダイアフラム32、反射板33および球レンズ34により構成されている。保持筒31は中空円筒状に形成されており、その一端に光ファイバ24の他端側が挿入されて固着されている。ダイアフラム32は薄板かつ円形状に形成され、保持筒31の他端面に液密的かつ気密的に固着されており、外側の面にて受ける圧力の変化によって変形する。反射板33は、入射光を反射するもので円形に構成されており、その中心を保持筒31の中心軸に一致させるとともに光ファイバ24の他端面に対向させてダイアフラム32に固着されている。球レンズ34は光ファイバ24の他端面とダイアフラム32との間にて、保持筒31の内周面に固着されていて、第1および第2光束L1,L2を反射板33に集光する。厳密には、この球レンズ34は色収差により第1および第2光束L1,L2を、それらの若干異なる焦点位置に集光させるもので、球レンズ34の中心と反射板33との相対距離は、第1および第2波長λ1,λ2を有する第1および第2光束L1,L2による球レンズ34の各焦点距離にほぼ等しく設定されている。
光ファイバ24の一端には、前記光結合器23の他に、光分波器41も接続されている。光分波器41は、圧力検出部30から反射された結合光束L3を受光して第1波長λ1を有する第1光束L1に対応する第4光束L4および第2波長λ2を有する第2光束L2に対応する第5光束L5に分波して、受光器42および受光器43にそれぞれ供給する。受光器42および受光器43は、それぞれ受光した第4および第5光束L4,L5の光量ML1,ML2を電気信号に変換してコンピュータ装置44に供給する。
コンピュータ装置44は、CPU,ROM、RAM,タイマなどから構成されており、図4のフローチャートにより示されたプログラムを実行してダイアフラム32が受ける圧力を算出し、表示装置45に表示させる。また、コンピュータ装置44に内蔵されているROMには、第4および第5光束L4,L5の光量ML1,ML2または光量比からダイアフラム32が受ける圧力を求めるための第1および第2換算テーブルが格納されている。
第1換算テーブルは、第4および第5光束L4,L5の光量ML1,ML2または光量比から前記相対距離を換算するための換算表であり、予め実験等によりその関係が示されたものである。具体的には、第1換算テーブルは、第1および第2受光器42,43による両検出受光量ML1,ML2の比と前記相対距離との関係を表す第1特性(図3の実線X)を規定する変換データと、第1および第2受光器42,43による両検出受光量ML1,ML2と前記相対距離との各関係を表す第2および第3特性(図3の実線Y,Z)をそれぞれ規定する変換データとからなる。また、第2換算テーブルは前記相対距離からダイアフラム32が受ける圧力を換算するための換算表であり、これも予め実験等によりその関係が示されたものである。なお、前記相対距離と前記圧力はほぼ比例関係にある。
前記のように構成した実施形態の動作を説明する。まず、光源21は第1波長λ1を有する第1光束L1を光結合器23に発する。また、光源22は第2波長λ2を有する第2光束L2を光結合器23に発する。光結合器23は、この第1光束L1と第2光束L2を光学的に結合した結合光束L3を光ファイバ24の一端面に入射させる。光ファイバ24の一端面に入射した結合光束L3は、光ファイバ24のコア部を通り光ファイバ24の他端面から放射される。放射された結合光束L3は、球レンズ34により集光され反射板33に投射される。この場合、反射板33はダイアフラム32が受ける圧力に応じて変位しているため、この反射板33と光ファイバ24の他端面との相対距離も、その変位量に応じた距離となっている。そして、反射板33に投射された結合光束L3は、反射板33により反射されることになるが、その反射光量は、前記相対距離に応じた光量となる。
反射板33から反射した前記光量の結合光束L3は、球レンズ34を介して再び光ファイバ24の他端面に入射する。光ファイバ24に入射した結合光束L3は、前記の経路とは逆方向に導かれて光分波器41に入射する。光分波器41に入射した結合光束L3は、第1波長λ1を有する第1光束L1に対応する第4光束L4および第2波長λ2を有する第2光束L2に対応する第5光束L5に分波された後、それぞれに対応する受光器42および受光器43に入射される。この場合、その光量には相対距離との関係で図2に示すような光量差が生じている。これは、光の波長が異なることによって、レンズによる焦点距離が異なる、いわゆる色収差(軸上色収差)が生じることに起因している。この色収差の発生により、互いに波長の異なる第1光束L1および第2光束L2の焦点距離が異なる結果、その反射光の光量に差が生じ第4光束L4および第5光束L5として受光される光量ML1,ML2に差が生じることになる。
受光器42,43は、それぞれ受光した前記第4光束L4および第5光束L5をコンピュータ処理できる電気信号に変換した後、コンピュータ装置44に供給する。コンピュータ装置44は、図4のフローチャートに示されるプログラムを実行して、第4光束L4および第5光束L5の光量ML1,ML2からダイアフラム32が受ける圧力を算出して表示装置45によって表示させる。ここで、第4光束L4および第5光束L5の光量ML1,ML2からダイアフラム32が受ける圧力を算出する原理を説明する。第4光束L4および第5光束L5の光量ML1,ML2には、図2に示すような光量差が生じることは既に述べた通りである。この関係において、第4光束L4と第5光束L5の光量比を計算すると図3の実線Xが示すようになる。また、前記光量比と相対距離との関係を示す図3の実線Xの範囲以外において、第4光束L4および第5光束L5の受光量ML1,ML2と相対距離との関係は図3の実線Y,Zが示すようになる。
この図3から明らかなように、第4光束L4と第5光束L5の光量比が計算可能な範囲においては図3の実線Xから、光ファイバ24と反射板33との相対距離を一義的に定めることができる。また、同光量比が計算できない場合のうち第4光束L4または第5光束L5のどちらか一方が零である場合には、それぞれ第5光束L5または第4光束L4の受光量ML2,ML1(図3の実線Z,Y)から一義的に同相対距離を求めることができる。なお、第4光束L4および第5光束L5がともに零である場合は計算不能であり相対距離を求めることはできない。この光ファイバ24とダイアフラム32との相対距離は、ダイアフラム32が受ける圧力に対応して定まる距離であり両者には一定の比例関係が成り立つことから、ある相対距離が定まると、この値からダイアフラム32が受ける圧力を一義的に求めることができる。
したがって、コンピュータ装置44は、図3に示されるような光量ML1,ML2および光量比と相対距離との関係を第1換算テーブルとして、また、同相対距離とダイアフラム32が受ける圧力との関係を第2換算テーブルとして、内臓されているROMなどの記憶装置に予め記憶させておき、受光器42,43から供給される第4光束L4および第5光束L5の光量ML1,ML2の値から同第1換算テーブルを参照することによって相対距離を求め、同相対距離から第2換算テーブルを参照することによってダイアフラム32が受ける圧力を求めている。
このような原理に基づいたコンピュータ装置44の具体的な動作を説明すると、受光器44,45から第4および第5光束の受光量ML1,ML2に係る電気信号の供給を受けたコンピュータ装置44は、図4のステップS10にてプログラムの実行を開始し、ステップS12により第4光束L4の受光量ML1が零か否かを判定する。「Yes」と判定されればステップS16の判定に進み、「No」と判定されればステップS14の判定に進む。ステップS14では、第5光束L5の受光量ML2が零か否かを判定し、「Yes」と判定されればステップS20の処理に進み、「No」と判定されればステップS18の処理に進む。また、ステップS16ではステップS14と同様に第5光束L5の受光量ML2が零か否かを判定し、「Yes」と判定されればステップS24の処理に進み、「No」と判定されればステップS22の処理に進む。
これらのステップS12,S14,S16の判定処理は光ファイバ24とダイアフラム32との相対距離を、受光量ML1,受光量ML2,光量比のいずれを利用して求めるのかを判定している。すなわち、ステップS12およびステップS14にて、ともに「No」と判定されれば受光量ML1,ML2はともに零でないため、ステップS18にて受光量ML1とML2の比を計算する。そして、この光量比から第1換算テーブル(図3の実線X)を参照することによって相対距離を求める。また、受光量ML2のみ零である場合には、受光量ML1の値から第1換算テーブル(図3の実線Y)を参照することによって相対距離を求める。また、受光量ML1のみ零である場合には、受光量ML2の値から第1換算テーブル(図3の実線Z)を参照することによって相対距離を求める。なお、ステップS12およびステップS16にて、ともに「Yes」と判定されれば受光量ML1,ML2はともに零であるから、計算不能としてステップS24にて処理されてステップS28にて終了する。このようにして受光量ML1,ML2または光量比から求めた相対距離に基づいて、ステップS26にて第2換算テーブルを参照することによってダイアフラム32が受ける圧力を求めて、ステップS28にて終了する。
前記作動説明からも理解できるように、前記実施形態によれば、光源21,22からそれぞれ発せられた第1および第2光束L1,L2を圧力検出部30に導く光ファイバと圧力検出部30からの反射光を光分波器41に導く光ファイバとを、兼用する一本の光ファイバ24により構成したことにより物理量検出装置の小型化を図ることができる。また、受光器42,43で受光される第4光束L4の受光量ML1および第5光束L5の受光量ML2から光量比を計算して光ファイバ24とダイアフラム32との相対距離の関係を求めるようにしているため、同相対距離を一義的に求めることができる。
また、前記実施形態によれば、第1および第2光束L1,L2を反射板33に集光する球レンズ34を設けたことによって、より多くの反射光を得ることが可能となり、ダイアフラム32が受ける圧力を高精度に検出することができる。また、この球レンズ34を用いるにあたってレンズの色収差に着目して、第1光束L1および第2光束L2のそれぞれの焦点距離を異なるようにしたため、第4および第5光束L4,L5の光量差がより顕著に現れるようになり、さらに、高精度な圧力検出を可能としている。
さらに、本発明にあたっては、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
前記実施形態においては、光源21から発せられる第1光束L1の波長λ1を0.65μmとし、光源22から発せられる第2光束L2の波長λ2を0.78μmとしたが、これに限定されるものではなく、色収差の効果が利用できる範囲で波長の異なる光束であればよい。
また、前記実施形態においては、圧力検出部30内に用いるレンズとして球レンズ31を使用したが、これに限定されるものではなく、反射板33に対して光束を集光させるものであればよい。
また、前記実施形態においては、コンピュータ装置44が相対距離からダイアフラム32が受ける圧力を求める際に第2変換テーブルを採用していたが、これに限定されるものではなく、この相対距離とダイアフラム32が受ける圧力との間は一定の比例関係にあることから、求められた相対距離から計算によって直接、ダイアフラム32が受ける圧力を算出するようにしてもよい。
また、前記実施形態においては、検出する物理量として気体、液体等の圧力を採用したが、この被検出物理量も圧力に限定されるものではなく、検出される物理量の変化に応じて反射板33を変位させる物理量であればよく、例えば、温度の検出であってもよい。この場合、本実施形態において採用したダイアフラム32をバイメタルに変更して適用すればよい。
21,22…光源、23…光結合器、24…光ファイバ、30…圧力検出部、31…保持筒、32…ダイアフラム、33…反射板、34…球レンズ、41…光分波器、42,43…受光器、44…コンピュータ装置
Claims (5)
- 第1の波長を有する第1光束および前記第1の波長とは異なる第2の波長を有する第2光束を発する光源部と、
反射板が設けられていて外部からの物理量の変化に応じて変形する検出部と、
一端にて前記第1および第2光束を入射するとともに他端から出射して前記反射板に導き、前記反射板による反射光を前記他端にて入射して前記反射光を前記一端から出射する光ファイバと、
前記光ファイバの一端から出射する反射光のうちで前記第1の波長を有する光束を受光する第1受光器と、
前記光ファイバの一端から出射する反射光のうちで前記第2の波長を有する光束を受光する第2受光器と、
を備えたことを特徴とする物理量検出装置。 - 請求項1に記載した物理量検出装置において、
前記光ファイバの他端と前記反射板との間に設けられて、前記光ファイバの他端から出射された第1および第2光束を前記反射板に集光する第1の光学手段を設けたことを特徴とする物理量検出装置。 - 前記第1の光学手段は、前記第1および第2の波長に対してそれぞれ異なる焦点距離を有する請求項2に記載した物理量検出装置。
- 前記第1の光学手段を球レンズで構成した請求項3に記載した物理量検出装置。
- 請求項1ないし請求項4のうちのいずれか一つに記載した物理量検出装置において、
前記光源部からの前記第1および第2光束を結合して、前記光ファイバの一端に入射させる第2の光学手段を設けたことを特徴とする物理量検出装置。
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