JP4340718B2 - 光ファイバ式温度計及び温度補償型光ファイバセンサ - Google Patents
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Description
本願は、2006年10月18日に日本に出願された特願2006−284027号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
この方法は、センシング部の構造が単純であり、光強度の変化を測定する測定器も比較的安価に提供できるという利点がある。
しかし、この方法では、投光用光ファイバで受光も行うため、反射光をフォトダイオードなどの受光器に入射するためには、光カプラなどの光分岐素子を使用する必要がある。この光分岐素子は、温度依存性や光源の波長依存性があるため、温度や光源の波長変化によって分岐比が変化してしまう。その結果、特許文献2,5及び6の構造では、光分岐比の変化により測定値が変化して測定精度の低化の要因となる問題があった。
この問題を回避するために、特許文献5では、当該光分岐部の温度を一定にする機構を追加し、測定精度の安定化を図っているが、構造が複雑になり、温度制御機構も必要なため価格が高くなり、実用上問題となっていた。
しかし、特許文献7及び8では、大きな光強度を受光するために、導光用光ファイバにマルチモードファイバや複数本の光ファイバを束ねて受光ファイバとしているため、温度、光源の波長変化、光ファイバへの外圧により光ファイバ中のモードが変化しやすい。このモード変化は測定精度の低化の要因となるため、高精度の測定は難しかった。
また、特許文献9では、大きな光強度を受光するために、検出部でレンズ系を使用している。このため、構造が複雑となり、価格が高くなってしまうことに加え、外部環境(温度・振動など)により、測定精度が低化しやすいという問題があった。
前記角度θは8°以上が好ましい。
前記角度θは4°以上が好ましい。
また、前記測定部を、前記投光用光ファイバと2本の受光用光ファイバの測定部側の端部をV溝アレイ基板に固定した温度測定用3心アレイと、前記ミラーとをアレイ固定基材に固定した構成としたので、作製が容易となり、より低価格で温度測定性能の一定な光ファイバ式温度計を提供可能となる。
また、前記ミラーの基材の線膨張係数が、前記アレイ固定基材の材料の線膨張係数より小さく、前記アレイ固定基材の線膨張係数が8.6×10−6〜27×10−6mm/mm/℃の範囲であり、および/または前記温度測定用3心アレイが石英ガラスからなるV溝アレイ基板と光ファイバ押え蓋とを有する構成とすることにより、繰り返しのヒートサイクルを受けても安定した測定が可能となり、測定精度をより向上させることができる。
また、他方の光学式物理センサを前記光ファイバ式温度計と同様に、あるいはファイバの固定角度だけ変更した構成としたことによって、共通部品を用いて安価な温度補償型光ファイバセンサを提供可能となる。
また、光ファイバ式温度計の測定部と、前記光学式物理センサの測定部とが、同じ外装体の隣接した位置に配置されていることが好ましい。
また、光学式物理センサのミラーを、外装体に取り付けられたダイアフラムに固定した構成とすることにより、高精度の圧力センサが構成可能となる。
また、光源からの光を前記光ファイバ式温度計の投光用光ファイバと前記光学式物理センサの投光用光ファイバとに分岐して導光する光分岐素子を設けた構成としたことにより、使用する光学素子を減らして、より安価な温度補償型光ファイバセンサを提供可能となる。
図1〜図2及び図7〜図8は、本発明の光ファイバ式温度計の一実施形態を示す図であり、図1は光ファイバ式温度計の構成図、図2は同じ光ファイバ式温度計の測定部を拡大した構成図、図7は図2中のA−A’部断面図、図8は測定部の構成を示す側面図である。これらの図中、符号1は光ファイバ式温度計、2は光源、3は投光用光ファイバ、4及び5は受光用光ファイバ、3A〜5Aはコア、6及び7は受光部、8及び9は増幅器、10は演算処理回路、11は測定部、12は温度測定用3心アレイ、13はミラー、14は反射面、15はV溝アレイ基板、16は光ファイバ押え蓋、17はアレイ固定基材、18は接着剤である。
このミラー13の構成基材の線膨張係数は、アレイ固定基材17の材料の線膨張係数より小さいことが好ましい。
また、アレイ固定基材17の線膨張係数は8.6×10−6〜27×10−6mm/mm/℃の範囲であることが好ましい。
さらに、温度測定用3心アレイ12は、石英ガラスからなるV溝アレイ基板15と光ファイバ押え蓋16とを有することが好ましい。
3心アレイによる測定は、図1に示すように、反射面14を有し、光ファイバ端面との相対距離が圧力や温度などの物理量に応じて変化する測定部11と、光源2からの光を測定部11に伝送する投光用光ファイバ3と、測定部11の反射面14で反射した光を二つの受光部6,7にそれぞれ伝送する受光用光ファイバ4,5と、受光部6,7からの電気信号の比をとり物理量を算出する演算処理回路10から構成されている。反射面14に対向させた3本の光ファイバ端面は、光ファイバ長手方向と反射面に対する法線とのなす角度がθとなるように固定されている。
図5は、LED特性(中心波長と出力パワー)及び前述した3心アレイで測定した、パワー比の温度依存性を示すグラフである。
この様に、発光中心波長や出力パワーが大きく変化しても、3心アレイで測定したパワー比は殆ど変化せず、安定した測定が可能となる。
図8は、この温度測定用3心アレイ12を用いた測定部11の構成例を示す図である。
この測定部11は、光ファイバ3〜5が固定された石英ガラス製の3心アレイ12をアレイ固定基材17に固定し、且つ光ファイバからの光を反射するミラー13も同様にアレイ固定基材17に固定して構成されている。環境温度が変化すると、アレイ固定基材17が熱膨張し、ファイバ端面からミラー13までの距離が変化するため、測定値が変化し、温度測定が可能となる。この際、3心アレイ12のV溝アレイ基板15をネジなどでアレイ固定基材17に留めると、3心アレイ12とアレイ固定基材17の間で歪みが発生するため、温度変化によるヒステリシスなどが大きくなり、安定した測定ができないことが分かった。このため、3心アレイ12とアレイ固定基材17は接着剤18で固定することが望ましい。ただし、熱硬化型の接着剤の場合、加熱硬化時に基材が膨脹してしまい、硬化後に接着面で大きな歪みが発生するため、接着剤18としては紫外線硬化型樹脂を用いる方が、繰り返し測定時における再現性の良いセンサとすることができる。
図10及び図11は、本発明に係る温度補償型光ファイバセンサの一実施形態を示し、図10は温度補償型光ファイバセンサ20の構成図、11は温度補償型光ファイバセンサ20における測定部の構造を示す断面図である。これらの図中、符号20は温度補償型光ファイバセンサ、21は圧力センサ、22は光源、23は投光用光ファイバ、24及び25は受光用光ファイバ、26及び27は受光部、28及び29は増幅器、30は演算処理回路、31は測定部、32は圧力測定用3心アレイ、33はミラー、34は反射面、35はダイアフラム、36は外装体、37は光分岐素子である。
この時、ファイバ固定角度θは、圧力変化による変化量に対応して決めることができる。角度θが4°よりも小さいと、感度が低く光パワーも小さくなるので、4°以上であることが望ましい。
図12は、前記測定部31の具体例に従って作製した圧力センサ21を用いた圧力測定の結果(温度補償なしの状態)を示すグラフである。図12に示す通り、この圧力センサ21においては、圧力変化とパワー比とが直線関係になっており、圧力センサとして十分な性能を有していることが分かる。
Claims (12)
- 光源からの光を測定部に伝送する1本の投光用光ファイバと、測定部に配置したミラーの反射面で反射した光を二つの受光部それぞれに伝送する2本の受光用光ファイバと、二つの受光部からの電気信号の比から測定部の温度を演算する演算処理回路とを有し、反射面に対向させた3つの光ファイバ端面は、光ファイバ長手方向と反対面に対する法線とのなす角度θが非ゼロとなるように固定され、2本の受光用光ファイバは平行であり、投光用光ファイバと受光用光ファイバの固定角度は反射面に対する法線を基準に対称であり、且つ前記各光ファイバは使用する波長においてシングルモードである光ファイバ式温度計。
- 前記角度θが8°以上である請求項1に記載の光ファイバ式温度計。
- 前記測定部は、前記投光用光ファイバと2本の受光用光ファイバの測定部側の端部をV溝アレイ基板に固定した温度測定用3心アレイと、前記ミラーとをアレイ固定基材に固定して構成された請求項1又は2に記載の光ファイバ式温度計。
- 前記ミラーの基材の線膨張係数が、前記アレイ固定基材の材料の線膨張係数より小さい請求項3に記載の光ファイバ式温度計。
- 前記アレイ固定基材の線膨張係数が8.6×10−6〜27×10−6mm/mm/℃の範囲である請求項3又は4に記載の光ファイバ式温度計。
- 前記温度測定用3心アレイが、石英ガラスからなるV溝アレイ基板と光ファイバ押え蓋とを有する請求項3〜5のいずれかに記載の光ファイバ式温度計。
- 光学式物理センサを二つ用い、一方のセンサで測定した温度により、他方の光学式物理センサの温度依存性を補償する温度補償型光ファイバセンサであって、
温度を測定する前記一方のセンサが、請求項1〜6のいずれかに記載の光ファイバ式温度計である温度補償型光ファイバセンサ。 - 前記他方の光学式物理センサが、光源からの光を測定部に伝送する1本の投光用光ファイバと、測定部に配置したミラーの反射面で反射した光を二つの受光部それぞれに伝送する2本の受光用光ファイバと、二つの受光部からの電気信号の比から測定部の温度を演算する演算処理回路とを有し、反射面に対向させた3つの光ファイバ端面は、光ファイバ長手方向と反対面に対する法線とのなす角度θが非ゼロとなるように固定され、2本の受光用光ファイバは平行であり、投光用光ファイバと受光用光ファイバの固定角度は反射面に対する法線を基準に対称であり、且つ前記各光ファイバは使用する波長においてシングルモードである請求項7に記載の温度補償型光ファイバセンサ。
- 前記角度θが4°以上である請求項8に記載の温度補償型光ファイバセンサ。
- 前記光ファイバ式温度計の測定部と、前記光学式物理センサの測定部とが、同じ外装体の隣接した位置に配置されている請求項9に記載の温度補償型光ファイバセンサ。
- 前記光学式物理センサのミラーが、前記外装体に取り付けられたダイアフラムに固定された請求項10に記載の温度補償型光ファイバセンサ。
- 光源からの光を前記光ファイバ式温度計の投光用光ファイバと前記光学式物理センサの投光用光ファイバとに分岐して導光する光分岐素子を設けた請求項9〜11のいずれかに記載の温度補償型光ファイバセンサ。
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