JP2007298624A - Memsデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のMEMSデバイス1は、フレーム11と該フレーム11に対して揺動可能に支持された揺動部材12とを備えたMEMSデバイス1であって、前記フレーム11及び前記揺動部材12は、1枚の高抵抗基板10から形成され、前記フレーム11に、前記高抵抗基板10よりも電気抵抗が低い固定電極が形成され、揺動部材12に、前記高抵抗基板10よりも電気抵抗が低い可動電極が形成され、前記固定電極と前記可動電極との間に、交流電圧が印加されることによって生じる静電力によって前記揺動部材12が揺動するように構成されたことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
10 高抵抗基板
11 フレーム
12 揺動部材
16 固定櫛歯部
17 可動櫛歯部
18 第1端子形成部
19 第2端子形成部
20 絶縁連結部
Claims (3)
- フレームと該フレームに対して揺動可能に支持された揺動部材とを備えたMEMSデバイスであって、
前記フレーム及び前記揺動部材は、1枚の高抵抗基板から形成され、
前記フレームに、前記高抵抗基板よりも電気抵抗が低い固定電極が形成され、
揺動部材に、前記高抵抗基板よりも電気抵抗が低い可動電極が形成され、
前記固定電極と前記可動電極との間に、交流電圧が印加されることによって生じる静電力によって前記揺動部材が揺動するように構成されたことを特徴とするMEMSデバイス。 - 前記固定電極は、前記フレーム表面に設けられた金属膜で形成され、前記可動電極は、前記揺動部材表面に設けられた金属膜で形成されたことを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記固定電極は、前記フレームに不純物が注入されて設けられた、前記高抵抗基板よりも電気抵抗が低い不純物層で形成され、前記可動電極は、前記揺動部材に不純物が注入されて設けられた、前記高抵抗基板よりも電気抵抗が低い不純物層で形成されたことを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
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JP2006125119A JP2007298624A (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | Memsデバイス |
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JP2006125119A JP2007298624A (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | Memsデバイス |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016197060A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 株式会社東芝 | 電子装置及びその製造方法 |
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-
2006
- 2006-04-28 JP JP2006125119A patent/JP2007298624A/ja active Pending
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