JP2008191351A - 光学反射素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、枠体12と、この枠体12に溝13で分離されるとともにこの溝13内に設けられた支軸14により枠体12に支持された枠体15と、この枠体15に溝16で分離されるとともにこの溝16内に設けられた支軸17により枠体15に支持された光学反射部18と、枠体12にその一端を接続されるとともにその他端を支軸14に接続された圧電振動板20と、枠体15にその一端を接続されるとともにその他端を支軸17に接続された圧電振動板22とを備え、支軸17は支軸14にその軸方向が直交するよう設けるとともに、圧電振動板20の他端と支軸14との接続点は圧電振動板20の他端における略中央に配置する構成としたものである。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の実施の形態1における光学反射素子について、図面を参照しながら説明する。
13 溝
14 支軸
15 枠体
16 溝
17 支軸
18 光学反射部
19 接続点
20 圧電振動板
21 接続点
22 圧電振動板
Claims (9)
- 第1の枠体と、
この第1の枠体内に第1の溝で分離されるとともに、
この第1の溝内に設けられた第1の支軸により、
前記第1の枠体に支持された第2の枠体と、
この第2の枠体内に第2の溝で分離されるとともに、
この第2の溝内に設けられた第2の支軸により、
前記第2の枠体に支持された光学反射部と、
前記第1の枠体にその一端を接続されるとともに、
その他端を前記第1の支軸に接続された第1の圧電振動板と、
前記第2の枠体にその一端を接続されるとともに、
その他端を前記第2の支軸に接続された第2の圧電振動板とを備え、
前記第2の支軸は前記第1の支軸にその軸方向が直交するよう設けるとともに、
前記第1の圧電振動板の他端と前記第1の支軸との接続点は、
前記第1の圧電振動板の他端における略中央に配置する構成とした、
光学反射素子。 - 第2の圧電振動板の他端と第2の支軸との接続点は
前記第2の圧電振動板の他端における略中央部に配置する構成とした
請求項1に記載の光学反射素子。 - 第1の圧電振動板における他端の剛性は
前記第1の圧電振動板における電極端子形成部の剛性よりも低い構成とした
請求項1に記載の光学反射素子。 - 第1の圧電振動板は、
第1の支軸を中心として線対称に偶数個配置し、
前記第1の支軸を境界とする一方側の前記第1の圧電振動板に
正の電圧を印加する場合には
前記第1の支軸を境界とする他方側の前記第1の圧電振動板に
負の電圧を印加する構成とした
請求項1に記載の光学反射素子。 - 第2の圧電振動板は、
第2の支軸を中心として線対称に偶数個配置し、
前記第2の支軸を境界とする一方側の前記第2の圧電振動板に
正の電圧を印加する場合には
前記第2の支軸を境界とする他方側の前記第2の圧電振動板に
負の電圧を印加する構成とした
請求項4に記載の光学反射素子。 - 第2の枠体のねじれ共振周波数と
光学反射部のねじれ共振周波数とを異ならしめた
請求項1に記載の光学反射素子。 - 光学反射部の厚みは
第1の枠体の厚みと第2の枠体の厚みの内
少なくとも一方よりも厚い構成とした
請求項1に記載の光学反射素子。 - 光学反射部における光学反射面の裏面には凹部を設けた
請求項1に記載の光学反射素子。 - 光学反射部における最薄部の厚みと
第2の枠体の厚みとを略同一とした
請求項8に記載の光学反射素子。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010085872A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Nidek Co Ltd | 形状可変ミラー |
JP2014056020A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP5654158B1 (ja) * | 2014-05-07 | 2015-01-14 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射素子および二次元走査装置 |
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JP2008020701A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Stanley Electric Co Ltd | 2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法 |
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2007
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