JP2007287401A - 導電性針およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単一の繊維状炭素物質と導電性基材の少なくともいずれかを真空下で加熱しながら、前記導電性基材の先端部に前記単一の繊維状炭素物質を接触させ、接触部位の少なくとも一部を導電性材料により被覆することにより、カーボンナノチューブと導電性基材との接合時にカーボンナノチューブ表面に付着するアモルファスカーボン層を大幅低減できる。
【選択図】図2
Description
図2は本発明の導電性針の製造装置における主要部分の断面図である。導電性針の製造は走査型電子顕微鏡(SEM)内で行われる。金属製の刃状板の刃先にカーボンナノチューブ3が分散,配向されたカーボンナノチューブカートリッジ4と、一方の端部が円錐状に形成された針状端5aを有する導電性基材5(例えば、0.15mm 径)が、3次元的に各々独立可動なステージ6,7上に取り付けられている。
5bにカーボンナノチューブ3を導電性基材5の中心軸に沿って接触させて固着した。この針状端5aの平坦面5bにカーボンナノチューブ3を接触させ、カーボンナノチューブ3と針状端5aの接触部位に適宜間隔で、あるいは連続させて導電性材料からなる被覆が形成され、これによって針状端5aの平坦面5bにカーボンナノチューブ3が強固に固着される。導電被覆層は、図3のようにカーボンナノチューブを広範囲で覆う場合や、図4のように数箇所を被覆することができる。
keVの電子線が好ましい。上記方法により導電性材料を形成すれば、短時間で十分な厚さの被覆を形成することができる。
図7に本発明の導電性針を電界放出型電子源として用いた走査型電子顕微鏡(SEM)の全体構成図を示す。走査型電子顕微鏡は、電子銃から放出される電子ビームに沿って、アライメントコイル15,コンデンサレンズ16,非点補正コイル17,偏向・走査コイル19,対物レンズ18,対物レンズ絞り22が配置されている。試料20は、試料ステージ23に設置され、電子ビームが照射されるようになっている。試料室内の側壁部に二次電子検出器21が設けられている。また、試料室は排気系24によって高真空に保持されるようになっている。このように構成されることから、電子銃から放出された電子ビームは陽極で加速され、電子レンズによって集束されて試料上の微小領域に照射される。この照射領域を二次元走査し、試料から放出される二次電子,反射電子等を二次電子検出器により検出し、その検出信号量の違いを基に拡大像を形成する。
図8は本発明の導電性針を電界放出型電子源として用いた電子線描画装置の全体構成例である。電子光学系の基本構成は前記した走査型電子顕微鏡とほぼ同様である。電子銃
14から電界放射により得られた電子ビームをコンデンサレンズ16で絞り、対物レンズ18で試料上に絞込み、ナノメータオーダーのビームスポットを得る。この時、試料への電子ビーム照射のON/OFFを制御するブランキング電極25の中心は、コンデンサレンズで作られるクロスオーバ点に一致した方が良い。
16…コンデンサレンズ、17…非点補正コイル、18…対物レンズ、19…偏向,走査コイル、20…試料、21…二次電子検出器、22…対物レンズ絞り、23…試料ステージ、24…排気系、25…ブランキング電極、26…電極支持台、27…電極駆動回路、28…電子レンズ、29…偏向器、30…電子ビーム。
Claims (5)
- 一の繊維状炭素物質を導電性基材に固定し、前記炭素物質と前記導電性基材との接触部位に導電性材料を被覆する導電性針の製造方法であって、
前記炭素物質を真空下で加熱しながら固定することを特徴とする導電性針の製造方法。 - 請求項1に記載された導電性針の製造方法であって、
前記炭素物質を保持する第一の保持部材を加熱しながら、前記炭素物質を前記導電性基材に接近させ、前記炭素物質を前記導電性基材に固定することを特徴とする導電性針の製造方法。 - 請求項1または2に記載された導電性針の製造方法であって、
前記導電性基材を加熱し、前記導電性基材を所定の温度以上に保持しながら前記炭素物質を前記導電性基材に固定することを特徴とする導電性針の製造方法。 - 一の繊維状炭素物質と、前記炭素物質を支持する導電性基材と、前記炭素物質と前記導電性基材との接触部位に形成された導電性材料の被覆材とを有する導電性針を製造する製造装置であって、
前記製造装置は、前記炭素物質を保持する第一の保持部材と、前記導電性基材を保持する第二の保持部材とを有し、少なくとも前記第一の保持部材を加熱する手段を有することを特徴とする導電性針の製造装置。 - 電界放出型電子源と該電界放出型電子源から電子を電界放出させる引出装置と、電子を加速させる加速装置から構成されることを特徴とする電界放出型電子銃であって、
前記電界放出型電子源は単一の繊維状炭素物質とそれを支持する導電性基材から構成される導電性針を有し、前記繊維状炭素物質は2nm以下のアモルファスカーボン層で被覆されていることを特徴とする電界放出型電子源。
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