JP2007286043A - 回折格子を備えるスペクトル分析ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のスペクトル分析ユニットでは、ある波長範囲を有する平行な光束(10)が、回折格子(1)に入射して異なる波長が回折によって第1の方向にスペクトル分割され、スペクトル分割された非循環の1次回折光束(11)が形成され、回折格子(1)によって光束が第2の方向に向けられ非循環の0次回折光束(12)が形成される。非循環の0次回折光束(12)は、偏向ミラー(4、5、6)により回折格子(1)に入射し、第1の循環からの1次回折光束(13)と、第1の循環からの0次回折光束(14)とが発生可能となるように方向付けされ、それぞれの波長範囲部分の該非循環の1次回折光束(11)と、該第1の循環からの1次回折光束(13)とが光学系(2)によって検出器列(8)のそれぞれの個別素子(7)に結像され、発生したスペクトルを情報として収集して表示する。
【選択図】 図1
Description
従属請求項2から13は、主請求項の有利な実施形態である。
ほぼ平行な入射光束10が、回折格子1に当たる。この光束は、回折格子1が対応する寸法設定である場合、1次回折光束11へとスペクトル回折され、かつ、0次回折光束12へと分割される。1次回折光束11は、光学系2としての合焦ミラーに当たり、列受光器3の検出器列8上に、列の広がる方向に沿って集中される。検出器列8はCCD個別素子7からなっている。列の広がる方向では1次回折光束のスペクトル分割が検出される。
− 2サイクル後の強度=70%+70%×30%=91%(9%が0次回折に留まる)
− 3サイクル後の強度=91%+70%×9%=97.3%(2.7%が0次回折に留まる)
この試算では吸収損は無視できるので考慮に入れられない。
座標原点は回折格子1の頂点にあり、正のZ軸は延長された入射光束10の方向を示す。構成素子の移動もしくは傾動の順序は以下のとおりである。
−それぞれの平面に固有のX軸の周りでの回転(アルファ角)
−それぞれの平面に固有のY軸の周りでの回転(ベータ角)
−それぞれの平面に固有のZ軸の周りでの回転(ガンマ角)
第1の偏向ミラー4および第2の偏向ミラー5は平面ミラーであり、光学系2は半径が151.0mm(cc)のミラーである。
この場合は、入射光束10はy軸の周りで軽く傾いて回折格子1に入射し、その際に回折格子1と偏向ミラー4は好ましくは互いに平行である。0次回折光束は、この場合は偏向ミラー4がある図面の平面の下で回折格子1に再反射される。
図8は、回折格子と2つの偏向ミラーと、光学系2としての集光レンズとを備える、図1に対応するスペクトル分析ユニットを示している。
試料27から出た光束は、対物レンズ26、鏡筒レンズ25、走査光学系23、x−yスキャナ22、主ビームスプリッタ21およびピンホール光学系28、ピンホール29、コリメーション光学系30、およびエミッション・フィルタ31を経て回折格子1に達する。
さらに、本発明を既存のレーザ走査顕微鏡やその他の分光測定機器に組み込むことができることも特に有利である。
2 光学系(合焦ミラー、レンズ)
3 列受光器(CCDのセンサ素子)
4 第1の偏向ミラー(平面ミラー)
5 第2の偏向ミラー(平面ミラー)
6 第3の偏向ミラー(平面ミラー)
7 個別素子
8 検出器列
9 評価エレクトロニクス
10 入射光束(平行)
11 非循環の1次回折光束(入射光束からの)
12 非循環の0次回折光束(入射光束からの)
13 第1の循環からの1次回折光束
14 第1の循環からの0次回折光束
15 第2の循環からの1次回折光束
16 第2の循環からの0次回折光束
17 第3の循環からの1次回折光束
18 第3の循環からの0次回折光束は無視できる
20 光源
21 主ビーム・スプリッタ
22 x−yスキャナ
23 走査光学系
24 中間像
25 鏡筒レンズ
26 対物レンズ
27 試料
28 ピンホール光学系
29 ピンホール
30 コリメーション光学系
31 エミッション・フィルタ
40 プリズム部
41 入射面
42 ミラー面
43 ミラー面
44 出射面
100 スペクトル分析ユニット
101 共焦点レーザ走査顕微鏡
a 0次回折光束の入射光束からの間隔
α 入射光束に対する0次回折光束の角度
h 個別受光器の高さ、検出器列の高さ
b 個別受光器の幅
d 検出器列の幅
n 個別受光器の個数
Claims (13)
- ある波長範囲を有する平行な光束(10)が、回折格子(1)に入射して異なる波長が回折によって第1の方向にスペクトル分割され、該光束を非循環の1次回折光束(11)と称し、該回折格子(1)によって光束が第2の方向に向けられ、該光束を非循環の0次回折光束(12)と称し、さらに該スペクトル分割された非循環の1次回折光束(11)の波長部分範囲は光学系(2)によって検出器列(3)上に合焦可能であり、評価エレクトロニクス(9)が、発生したスペクトルを情報として収集し表示する検出器列(8)に接続されている、回折格子を備えるスペクトル分析ユニットであって、
該非循環の0次回折光束(12)は、該光束が該回折格子(1)に入射し、第1の循環からの1次回折光束(13)と、第1の循環からの0次回折光束(14)とが発生可能となるように方向付け、かつ位置決めされている偏向装置(4、5、6)に当たり、それぞれの波長部分範囲の該非循環の1次回折光束(11)および該第1の循環からの1次回折光束(13)が、該光学系(2)によって該検出器列(8)のそれぞれの個別素子(7)上に結像可能であることを特徴とするスペクトル分析ユニット。 - 前記反射した0次回折光束は、前記入射した光束(10)と同じ角度であるが、該入射光束(10)に対してX方向の間隔(a)を隔てて前記回折格子(1)に入射することを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記反射した0次回折光束は、前記入射光束(10)と、別の角度(α)であるが同じ位置で前記回折格子(1)に入射することを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記第1の循環からの前記0次1次回折光束(14)が、前記偏向装置(4、5、6)に当たり、さらに前記回折格子(1)に入射し、前記第2の循環からの1次回折光束(15)と、前記第2の循環からの0次回折光束(16)とが発生可能であり、それぞれの波長部分範囲の前記非循環の1次回折光束、前記第2の循環からの前記1次回折光束(13)および前記第2の循環からの1次回折光束が、前記光学系(2)によって前記検出器列(8)のそれぞれの個別素子(7)上に結像可能であることを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 第2の循環からの前記0次回折光束(16)と、さらに別の循環からの0次回折光束(18)とが前記偏向装置に当たり、前記回折格子(1)で反射され、スペクトル分割されることを特徴とする請求項4に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記反射した0次回折光束(12、14、16)は、前記入射光束(10)と同じ角度であるが、該入射光束(10)に対してX方向に間隔(a1、a2、a3)だけずれて前記回折格子(1)に入射することを特徴とする請求項5に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記反射した0次回折光束(12、14、16)は、前記入射光束(10)と、異なる角度(α1、α2、α3)であるが同じ位置で前記回折格子(1)に入射し、ある波長部分範囲の全ての1次回折光束(11、13、15、17)が、前記検出器列(8)の幅(d)に対して垂直方向にずれてそれぞれの検出器列(8)上に結像可能であり、前記個別素子(7)の高さ(h)が、ある波長部分範囲の全ての1次回折光束(11、13、15、17)が検出可能であるような寸法であることを特徴とする請求項5に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記偏向装置が、前記回折格子(1)から回折した0次回折光束(12、14、16、...)を反射後に再び該回折格子(1)に向ける第1の偏向ミラー(4)であることを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記偏向装置が、前記回折格子(1)から回折した0次回折光束(12、14、16、...)を2度の反射後に再び該回折格子(1)に向ける第1の偏向ミラー(4))と第2の偏向ミラー(5)の組合せであることを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記偏向装置が2つ以上の偏向ミラーの組合せであることを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記偏向装置が、前記回折格子(1)の分散面に対して垂直な少なくとも4つの光学作用面を備えるプリズム部(40)であり、該回折格子(1)が光入射面(41)に対向し、該回折格子(1)が該プリズム部(40)内に設置され、さらに前記1次回折光束用の光出射面(44)と、前記0次回折光束の反射用の少なくとも1つのミラー面(42、43)とが備えられていることを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記光学系(2)が合焦ミラーであることを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
- 前記光学系(2)が集束レンズであることを特徴とする請求項1に記載の回折格子を備えるスペクトル分析ユニット。
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