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Die
Erfindung betrifft Vorrichtungen und Verfahren zur optischen Spektroskopie
sowie optische Sensoren.
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Optische
Spektrometer können
eingeteilt werden in dispersive bzw. diffraktive Spektrometer und
Fourier-Transform-Spektrometer.
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Dispersive
(aus Prismen-) bzw. diffraktive (Gitter-) Spektrometer zerlegen
den einfallenden Lichtstrahl durch die Wellenlängenabhängigkeit eines Beugungs- bzw.
Reflexionswinkels in seine spektralen Komponenten. Die verschiedenen
spektralen Komponenten werden dadurch räumlich getrennt und die zu
bestimmende spektrale Komponente kann selektiert werden (Monochromator).
Die Aufnahme eines Spektrums erfolgt dann mit Hilfe beweglicher
Teile, indem die verschiedenen spektralen Komponenten nacheinander
selektiert und gemessen werden.
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Am
gebräuchlichsten
sind Monochromatoren mit einem Strahlengang nach Czerny-Turner, d.h. mit einem
drehbaren Plangitter (Beugungsgitter in Reflektion) zwischen einem
Eintritts- und einem Austritts-Spalt und voneinander unabhängigen Kollimator-
bzw. Kollektor-Spiegeln. Kollimator und Kollektor bewirken eine
Abbildung des Eintrittsspaltes in die Ebene des Austrittsspaltes.
Das Beugungsgitter befindet sich in der Fourier-Transform-Ebene
dieses abbildenden Systems.
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Die
Entwicklung ortsauflösender
Detektoren (CCD, Diodenarray) erlaubt inzwischen die gleichzeitige
Messung aller spektralen Komponenten, indem für jede spektrale Komponente
ein eigenes Element des Detektors vorgesehen wird. Eine derartige
Anordnung kommt ohne bewegliche Teile aus und nutzt das zur Verfügung stehende
einfallende Licht wesentlich effizienter.
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Fourier-Transform-Spektrometer
basieren auf einem Interferometer, bei dem die Differenz der optischen
Weglängen
der zur Interferenz gebrachten Teilstrahlen mit hoher Präzision eingestellt
werden kann. Aus einer Messung des Interferenzsignals über einen
geeigneten Bereich von Weglängendifferenzen kann
durch Fourier-Transformation
das Spektrum bestimmt werden.
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Geräte werden
in der Regel nach Art eines Michelson- bzw. Twyman-Green-Interferometers aufgebaut.
Technisch anspruchsvoll sind hier vor allem die mechanischen Komponenten
zur Einstellung der optischen Weglängen durch verschiebbare Spiegel oder
kippbare Spiegelpaare sowie der erforderliche Kollimator zur Erzeugung
ebener Wellenfronten.
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Eine
weitere Variante von Spektrometern verwendet statische Interferenzmuster
erzeugt durch Lichtstrahlen, die unter einem bestimmten Winkel zur Interferenz
gebracht werden, z.B. Fizeau-Interferometer. Durch Auszählen der
Interferenzstreifen oder über
eine Bestimmung der Raumfrequenzen des Interferenzmusters mit Hilfe
einer numerischen Fouriertransformation kann das Spektrum berechnet werden.
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Nachteilig
für diese
interferometrischen Spektrometer (sowohl für Michelson-/Twyman-Green-Interferometer mit veränderlichen
Weglängen
als auch für
statische Interferometer mit räumlichen
Interferenzmustern) ist die Tatsache, dass die relative spektrale
Auflösung
unmittelbar durch die Anzahl der im Interferenzmuster gemessenen
Linienpaare (Fizeau-Streifen) bestimmt ist. Werden N Linienpaare
für eine
bestimmte Wellenlänge λ gezählt, liegt
die spektrale Auflösung
in der Größenordnung von λ/N.
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Eine
neuere Variante von Fourier-Transform-Spektrometern ("spatial heterodyne
spectrometer") verwendet
dispersive bzw. diffraktive optische Elemente (Beugungsgitter),
um den Winkel zwischen zwei kollimierten Teilstrahlen eines statischen
Interferometers abhängig
von der Wellenlänge
zu verändern
und so die spektrale Auflösung
zu erhöhen.
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Zwingend
wird hier die Überlagerung
ebener Wellenfronten vorausgesetzt, um Interferogramme nach Fizeau
zu erhalten (Fizeau-Streifen), welche nach der Messung durch eine
numerische Fourier-Transformation in ihre spektralen Komponenten zerlegt
werden können.
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Derartige
Anordnungen basieren weiter auf der Translationsinvarianz der optischen
Fourier-Transformation. Das einfallende Licht wird zunächst durch
einen Kollimator kollimiert. Der kollimierte Strahl (ebene Wellenfronten)
wird geteilt (Amplitudenteilung) und über spektral dispersive oder
diffraktive Elemente geführt,
z.B. ein Beugungsgitter. Das spektral dispersive optische Element
liegt hierbei in der Fourier-Ebene
des Kollimators. Die wieder überlagerten
Teilstrahlen werden dann durch einen Kollektor und eine weitere
Fourier-Transformlinse derart abgebildet, dass ein ortsauflösender Detektor wieder
in eine Fourier-Transform-Ebene der Eintrittsapertur zu liegen kommt.
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Derartige
Anordnungen sind daher wie Fourier-Transform-Spektrometer oder konventionelle Monochromatoren
auf abbildende optische Systeme hoher Qualität angewiesen. Insbesondere
sind relativ große
Brennweiten der optischen Systeme erforderlich.
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Die
mögliche
Leistungsfähigkeit
dispersiver bzw. diffraktiver Spektrometer ist abhängig von
bestimmten Parametern, insbesondere den Abmessungen von Eintritts- bzw. Austrittsspalt,
der Brennweite und Apertur der abbildenden Elemente und den Eigenschaften
des dispersiven bzw. diffraktiven Elementes selbst. Moderne Geräte erreichen
fast diese physikalisch gesetzten Grenzen.
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Entsprechend
ist die mögliche
Leistungsfähigkeit
von Fourier-Transform-Spektrometern
durch bestimmte Parameter und hier insbesondere durch die Strecke
und die Schrittweite für
die Variation der optischen Weglängen
bestimmt. Die Leistungsfähigkeit
von Fourier-Transform-Spektrometern übersteigt bei weitem die Möglichkeit
von dispersiven bzw. diffraktiven Spektrometern.
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Auch
Fourier-Transform-Spektrometer können
die physikalischen Grenzen ihrer Leistungsfähigkeit beinahe erreichen,
jedoch ist der technische Aufwand gegebenenfalls sehr hoch. Da Fourier-Transform-Spektrometer
auf einem Interferometer basieren, müssen alle optischen Komponenten
und insbesondere auch die beweglichen Teile mit einer Präzision von
Bruchteilen der zu messenden Wellenlängen gefertigt und positioniert
werden.
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Spatial
heterodyne Spektrometer sind technisch weniger aufwendig, benötigen aber
gleichfalls sowohl abbildende als auch dispersive bzw. diffraktive
optische Komponenten hoher Qualität.
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Die
spektrale Auflösung
dλ bei einer
Wellenlänge λ aller genannten
Spektrometer steht in direktem Zusammenhang zu einer entsprechenden
Kohärenzlänge l = λ2/dλ.
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Um
eine bestimmte spektrale Auflösung
zu erreichen, muss die spektrometrische Anordnung definierte Differenzen
der optischen Weglängen
von mindestens der Länge
l erzeugen.
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Allen
genannten Spektrometern gemeinsam ist somit die Notwendigkeit einer
Kollimation des einfallenden Lichtes. Der Kollimator ist dabei ein
abbildendes optisches Element einer gewissen Brennweite f, z.B.
ein Hohlspiegel oder eine Linse.
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Die
Eintrittsöffnung
des Spektrometers befindet sich im Brennpunkt des Kollimators.
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Die
Spektrometer nutzen nun explizit die speziellen Eigenschaften der
optischen Fouriertransformation, insbesondere die Translationsinvarianz der
Fouriertransformation, d.h. die Transformation einer Translation
in der Brennebene zu einer Änderung der
Ausbreitungsrichtung in der Fourierebene des Kollimators.
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Monochromatoren
("4f-System": Eintrittsspalt
- f - Kollimator - f - Beugungsgitter - f - Kollektor - f - Austrittsspalt)
beeinflussen durch ein Beugungsgitter die Ausbreitungsrichtung des
Lichtes in der Fourierebene des abbildenden Systems und erzeugen
so die gewünschte
spektrale Dispersion ohne die Abbildung vom Eintrittsspalt auf den
Austrittsspalt bzw. Detektor wesentlich zu stören (l ist dabei durch die
Geometrie des Gitters im Strahlengang definiert, f >> l). Der Kollimator führt eine optische Fourier-Transformation
aus, der Kollektor übernimmt
die optische Rücktransformation
und bewirkt so die optische Abbildung des Eintrittsspaltes in die
Ebene des Austrittsspaltes bzw. des Detektors.
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Fourier-Transform-Spektrometer
(2f-System) benötigen
zwingend den Kollimator (in der Regel mit f wesentlich größer als
l), um die Interferenz trotz unterschiedlich langer optischer Wege
aufrechtzuerhalten, d.h. die Wellenfronten am Detektor passend zusammenzuführen. Hier
wird insbesondere die Translationsinvarianz der Fourier-Transformation genutzt.
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Bei
einem Fourier-Transform-Spektrometer ersetzt die numerische Fouriertransformation
die beim Monochromator verwendete optische Rücktransformation.
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Fourier-Transform-Spektrometer
mit dispersiven Elementen, die ein räumliches Interferenzmuster
auswerten (spatial heterodyne spectrometer) benötigen den Kollimator explizit
im Kontext einer optischen Fouriertransformation, einerseits um
ein Verschmieren der Interferenzmuster trotz endlich großer Eintrittsöffnung zu
vermeiden (Translationsinvarianz), andererseits um den definierten
und eindeutigen Zu sammenhang zwischen optischem Spektrum und Anteilen
an Raumfrequenzen im resultierenden Muster herzustellen, der die
Grundlage der numerischen Rücktransformation
bildet.
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Diese
Spektrometer erfordern überdies
eine zusätzliche
abbildende Optik ("6f-System": Eintrittsspalt
- f - Kollimator - f - Interferometer mit Beugungsgitter - f - Kollektor
- f - Austrittsblende - f - abbildendes Element - f - Detektor-Ebene)
Da sowohl interferometrische Anordnungen als auch hochauflösende abbildende
Systeme durch hochwertige Optiken mit ggf. großen Brennweiten realisiert
werden müssen und
eine Mindestgrösse
der Komponenten bzw. Weglängen – abhängig von
der jeweiligen genauen Anordnung – durch den o.g. Wert l fest
vorgegeben ist, steigt der technische Aufwand mit wachsenden Anforderungen
an die spektrale Auflösung
schnell an. Eine kennzeichnenden Größe ist hier die trotz Kollimation
auftretende sogenannte spektrale Apertur-Verbreiterung (aperture
broadening).
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Aus
der WO 00/62026 ist eine Vorrichtung zur optischen Spektroskopie
mit Mitteln zur Erzeugung eines Interferenzmusters und einem räumlich auflösenden Detektor
bekannt, der das erzeugte Interferenzmuster aufnehmen kann.
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Weitere
Spektrometer sind aus der WO 96/12294 A1 und der
US 4,558,951 A bekannt.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren
zu schaffen zur Realisierung von Spektrometern mit hoher spektraler Auflösung bei
gleichzeitig wesentlich niedrigeren Ansprüchen an die Qualität der optischen
Komponenten.
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Erfindungsgemäß wird die
Aufgabe durch eine interferometrische Vorrichtung nach Anspruch
1 sowie durch die Verwendungs- und Verfahrensansprüche gelöst.
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Wesentlich
für die
erfindungsgemäße Realisierung
eines preiswerten und spektral hochauflösenden Spektrometers oder Sensors
ist die Einkopplung des Lichts über
definierte räumliche
Moden bzw. eine Mono-Mode-Einkopplung. Unter diesen Umständen verschwindet
die Aperturverbreiterung, insbesondere bleibt das Interferenzmuster
auch ohne optische Fouriertransformation durch einen Kollimator
erkennbar und kann mit Hilfe der dargestellten Verfahren ausgewertet
werden.
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Ein
derartiges optisches Spektrometer erlaubt in Kombination mit dispersiven
oder diffraktiven optischen Elementen zur wellenlängenabhängigen Beeinflussung
der Wellenfronten sehr viel kompaktere und flexiblere Aufbauten
als bisherige Ansätze
mit abbildenden optischen Elementen.
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Voraussetzung
für die
Funktion derartiger Aufbauten ist das dargestellte Messverfahren,
bzw. die dargestellte Methode zur Orthogonalisierung der gemessenen
Interferenzmuster, da diese nicht unmittelbar mit Hilfe einer numerischen
Fouriertransformation ausgewertet werden können.
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Vorzugsweise
Ausführungsformen
der Erfindung ergeben sich aus den sich an den Hauptanspruch anschließenden Unteransprüchen 2 bis
34. Erfindungsgemäße Verwendungen
ergeben sich aus den Ansprüchen
35 bis 38 und ein erfindungsgemäßes Verfahren
und bevorzugte Verfahrensvarianten ergeben sich aus den Ansprüche 39 bis
48.
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Die
Erfindung umfaßt
eine Vorrichtung, die dispersive bzw. diffraktive optische Elemente
mit einem Interferometer mit Einkopplung einzelner räumlicher
Moden und mit einem Detektor, der die Intensität des resultierenden Interferenzmuster
an einer Vielzahl räumlicher
Positionen messen kann, kombiniert, sowie ein Verfahren, das es
erlaubt das Spektrum des einfallenden Lichtes oder unmittelbar Messwerte,
die aus einem solchen Spektrum ableitbar sind, aus einem so gemessenen
Interferenzmuster zu rekonstruieren.
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Die
erfindungsgemäße Vorrichtung
ist so ausgelegt, daß sich
die Interferenzmuster jeweils verschiedener spektraler Komponenten
des zu untersuchenden spektralen Bereichs stark voneinander unterscheiden.
Ein derartiges einer bestimmten spektralen Komponente zugeordnetes
Interferenzmuster wird im folgenden als Basismuster bezeichnet.
Die Muster können
eindimensional oder zweidimensional betrachtet werden. Ein durch
eine erfindungsgemäße Vorrichtung
erzeugtes Interferenzmuster wird als Überlagerung einer Reihe von
jeweils unterschiedlichen Basismustern betrachtet.
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Die
Aufnahme des Interferenzmusters erfolgt durch den Detektor durch
Messung der Intensitäten an
einer großen
Anzahl diskreter räumlicher
Positionen. Ein Interferenzmuster liegt also jeweils in Form einer
fixen Anzahl von (Meß-)
Werten vor. Genauigkeit und darstellbare Raumfrequenzen folgen aus dem
Sampling-Theorem.
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Beim
erfindungsgemäßen Verfahren
wird ein Interferenzmuster als Reihe von (Mess-)Werten und damit
im Kontext der linearen Algebra als Vektor interpretiert oder insbesondere
als Element eines Folgenraumes der entsprechenden Dimension. Die oben
eingeführten
Basismuster werden im Kontext der linearen Algebra zunächst als
linear unabhängige Basisvektoren
dieses Folgenraumes interpretiert.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren
beruht auf der Möglichkeit,
für eine
erfindungsgemäße Vorrichtung
die jeweils erforderlichen Basismuster entweder rechnerisch oder
durch Messung zu bestimmen. Beim erfindungsgemäßen Verfahren kann dann das Spektrum
des einfallenden Lichtes durch Zerlegung des Interferenzmusters
in diese Basismuster gewonnen werden.
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Die
besonderen Vorteile von Vorrichtung und Verfahren für die Realisierung
hochauflösender
oder sehr kompakter optischer Spektrometer resultieren aus der optischen
Mono-Mode Einkopplung, die einen Verzicht auf die Eigenschaft der
Translationsinvarianz der optischen Transformation und damit den Verzicht
auf einen Kollimator erlaubt. Die Vorrichtung kann daher völlig ohne
die Verwendung abbildender optischer Elemente realisiert werden.
Dies wird möglich
in Kombination mit den beschriebenen Verfahren, welche die Tatsache
nutzen, dass wenigstens näherungsweise
eine numerische Rücktransformation
des am Detektor gemessenen Interferenzsignals zum gesuchten Spektrum
für fast
beliebige, ausreichend komplizierte optische Transformationen gefunden
werden kann.
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Das
Verfahren kann in verschiedenen Varianten realisiert werden, zur
Diskussion führen
wir folgende Definitionen ein:
s sei ein Spektrum, dargestellt
durch diskrete spektrale Komponenten bestimmter Intensität, d.h.
als ein Vektor mit den Komponenten sn n:1..N.
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s
umfasst einen bestimmten spektralen Bereich des optischen Spektrums,
die einzelnen Komponenten liegen spektral dicht bezogen auf die
betrachtete spektrale Auflösung.
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i
sei das am Detektor gemessene Interferenzmuster. i ist damit ein
Vektor, der z.B. die einzelnen Elemente eines Array-Detektors repräsentiert mit
den Komponenten im m:1..M
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o
sei das durch das Verfahren als Messergebnis rekonstruierte Spektrum
oder ein Vektor, der unmittelbar die aus einem Spektrum abgeleiteten Messwerte
repräsentiert,
dargestellt entsprechend s durch Komponenten ok k:1..K.
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Falls
o ein Spektrum repräsentiert
in der Regel mit K=N.
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Die
optische Transformation T kann dargestellt werden als Matrix durch
T s = i. Die Auswertung wird zunächst
dargestellt als Rücktransformation
R durch R i = o.
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Unter
sehr günstigen
Umständen
(gutes Signal/Rauschverhältnis,
fixe Phasenlage, "spektral dicht" liegende Basismuster)
könnte
eine direkte (näherungsweise)
Berechnung von R als inverse von T erfolgen. o wird dann (näherungsweise)
gleich s.
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Die
Komponenten (Vektoren) der Matrix T können anhand der Beziehung Ten = tn bestimmt werden,
die en sind dabei die Einheitsvektoren der
spektralen Komponenten. Besonders interessant ist nun die Möglichkeit,
die spektralen Komponenten en etwa mit Hilfe
einer monochromatischen Referenzlichtquelle tatsächlich zu erzeugen und die
tn und damit die Matrix T experimentell
zu bestimmen (Referenz bzw. Eichmessung).
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In
der Regel ist eine Bestimmung von R durch Inversion der (gemessenen)
Matrix T nicht möglich,
die Rücktransformation
kann bei bekannten tn jedoch näherungs weise
durch eine Korrelation erfolgen. Verschiedene Korrelationsverfahren
sind möglich,
ein gängiges
Verfahren ist "cross-correlation" basierend auf dem
Skalarprodukt der diskreten Fouriertransformierten der jeweils zu
vergleichenden Folgen bzw. Vektoren. Mit der diskreten Fouriertransformation
F kann o und damit näherungsweise
s berechnet werden als on = :F(i)F–1(tn):.
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Für den Fall,
dass die optische Transformation eine exakte Fouriertransformation
ist, wird nur eine Komponente des Ausdrucks F–1(tn) ungleich 0 sein, nämlich diejenige, welche die
jeweils entsprechende Raumfrequenz und damit unmittelbar eine spektrale
Komponente des Spektrums darstellt. Hier sind die Basisvektoren
tn nicht nur linear unabhängig sondern
auch orthogonal und bilden überdies
die Einheitsvektoren der Raumfrequenzen. Für genau diesen Spezialfall
reduziert sich also die Berechnung von o auf die Fouriertransformation
von i.
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Besonderes
Interesse verdienen jedoch folgende zwei Möglichkeiten:
Die Eigenschaften
der optischen Transformation können Ähnlichkeit
mit denen einer Fouriertransformation aufweisen oder die optische
Transformation kann völlig
irregulär
sein, d.h. z.B. sogenannte "speckle pattern" bilden ("Granulation").
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Der
erste Fall kann repräsentiert
werden durch eine grob fehlerhafte optische Fourier-Transformation,
etwa erzeugt durch eine erfindungsgemäße optische Anordnung ohne
Kollimator und mit sehr preiswerten optischen Elementen. Die Basismuster sind
durch die systematische Erzeugung damit noch linear unabhängig aber
nur noch näherungsweise
orthogonal.
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Der
zweite Fall kann repräsentiert
werden durch eine erfindungsgemäße optische
Anordnung mit einem Interferometer basierend auf einer zerkratzten
Glasscherbe (extrem preiswert). Die Basisvektoren können hier
als statistisch verteilt angenommen werden.
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Für den ersten
Fall stellt das Verfahren eine Korrektur dar, d.h. die schlechte
Qualität
der optischen Transformation kann durch eine angepasste Rücktransformation
weitestgehend kompensiert werden.
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Im
zweiten Fall wird das Spektrum durch eine rein statistische Korrelation
der Messwerte mit den Basisvektoren bestimmt. In diesem Fall sollte von
einer hohen Anzahl an Elementen des Detektors ausgegangen werden,
insbesondere ist es günstig
M sehr viel größer als
N zu wählen,
etwa durch Verwendung eines zweidimensionalen Detektorarrays. Die Basismuster
sind aufgrund ihrer statistischen Natur nicht linear unabhängig. Trotzdem
zeigt die Korrelation für
große
N gute Ergebnisse. Sehr gute Ergebnisse werden erzielt für sehr große M, da
in diesem Fall, d.h. der statistischen Verteilung von N Basisvektoren in
einem M-dimensionalen Raum, die Basisvektoren wenigstens näherungsweise
linear unabhängig
werden.
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In
diesem Kontext kommen auch andere Korrelationsfunktionen für das Verfahren
in Frage, insbesondere stochastische Korrelationen.
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Besonders
vorteilhaft ist eine weitergehende Berechnung bzw. Verfeinerung
der Ergebnisse durch Dekonvolution, sofern das gewählte Verfahren
auf einen Satz unterschiedlicher Transferfunktionen angewandt werden
kann.
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Bei
einer Verwendung der erfindungsgemäßen Anordnung als Sensor kann
es vorteilhaft sein, als Ergebnis der Berechnungen nicht das Spektrum sondern
unmittelbar die gesuchten Messwerte anzustreben.
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Für einen
Chemosensor werden die Basisvektoren dann nicht durch Messung spektraler
Komponenten sondern durch Aufnahme von Spektren der gesuchten Substanzen
bestimmt. Ein Basisvektor und damit eine Komponente des Ergebnisvektors
repräsentiert
damit nicht eine einzelne spektrale Komponente sondern unmittelbar
den gesuchten Messwert, d.h. z.B. die Konzentration einer bestimmten Substanz
entsprechend einem Absorptionsspektrum.
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Entsprechendes
gilt etwa für
die Messung von Schichtdicken anhand der charakteristischen spektralen
Modulation von durch dünne
Schichten transmittiertem oder reflektiertem Licht.
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Diese
adaptive Vorgehensweise erlaubt die Realisierung von optischen Sensoren
für eine
Vielzahl von Anwendungen. Die Auswertung der Messungen durch Korrelation
mit zuvor aufgenommenen Basismustern erlaubt die direkte Bestimmung
der gesuchten Größen ohne
den Umweg über
eine Analyse des optischen Spektrums.
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Soweit
die Interferenzmuster, d.h. die Basismuster für die in Frage kommenden spektralen
Komponenten, im Rahmen der Auflösung
und Genauigkeit der Messung linear unabhängig sind, können die jeweiligen
spektralen Komponenten des einfallenden Lichtes und damit das Spektrum
durch Korrelation der jeweiligen Basismuster mit dem aufgenommenen Interferenzmuster
bestimmt werden.
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Soweit
die Eigenschaften aller Komponenten der Vorrichtung ausreichend
präzise
bestimmt sind, kann der erforderliche Satz Basismuster berechnet werden.
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Besonders
interessant ist die Möglichkeit, mit
Hilfe einer geeigneten einstellbaren monochromatischen Referenzlichtquelle
einen Satz von Basismustern für
den jeweiligen konkreten Aufbau der Vorrichtung zu messen. Da die
Basismuster in diesem Fall alle Arten von in der jeweiligen Vorrichtung
auftretenden optischen Aberrationen bereits enthalten, sind die
Ansprüche
an die optische Qualität
der Komponenten der Vorrichtung relativ gering, soweit die Basismuster
näherungsweise
linear unabhängig
bleiben.
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Bei
Fouriertransform-Spektrometern sind die aufgenommenen "perfekten" Interferenzmusters
linear unabhängig
(Superposition von sinusoidalen Komponenten) und die Fouriertransformation
stellt ein Orthogonalisierungsverfahren dar. Die einzelnen Fourierkoeffizienten
stellen die spektralen Komponenten des gemessenen Spektrums dar.
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Eine
direkte Fouriertransformation der mit einer erfindungsgemäßen Anordnung
aufgenommenen Muster ist sinnlos, jedoch ist eine Orthogonalisierung
bzgl. spektraler Komponenten möglich
nach einer geeigneten Transformation der aufgenommenen Interferenzmuster.
Hierzu muss für
jeden Messpunkt die relative Weglängendifferenz der zur Interferenz gebrachten
Teilstrahlen bestimmt werden.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung kann das Interferenzmuster
durch Teilung der Amplitude des einfallenden Lichtfeldes mit Hilfe
eines halbdurchlässigen
Spiegels oder eines geeigneten Gitters (gegebenenfalls in mehr als
zwei Teilstrahlen) und anschließender Überlagerung
der Teilfelder am Ort des Detektors erzeugt werden. Hier kommen
alle klassischen Interferometer in Frage, die gegebenenfalls durch
dispersive oder diffraktive Elemente ergänzt werden, beispielsweise:
Michelson-, Mach-Zehnder-, Sagnac-, -Fabry-Perot oder Scherungs-Interferometer. Weiterhin
kommt jede Anordnung, die Interferenzmuster mit räumlichen
Perioden erzeugt, die der jeweilige Detektor auflösen kann,
in Frage. Durch geeignete Dimensionierung der Vorrichtung können die
am Detektor auftretenden Raumfrequenzen unabhängig vom jeweils zu untersuchenden
Wellenlängenbereich
gewählt
werden.
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Weiterhin
kommt – besonders
begünstigt durch
die Beschränkung
auf einzelne räumliche
Moden des Lichtfeldes – auch
die Erzeugung der Teilfelder durch Teilung der Wellenfront in Frage,
etwa durch ein Fresnellsches Biprisma, andere Kombinationen von
Prismen oder Spiegeln, mit Hilfe unregelmäßig geformter Oberflächen oder
ebenfalls mit Hilfe diffraktiver Elemente.
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Die
erforderliche spektrale Dispersion kann in allen Fällen durch
geeignete Ausführung
des Strahlteilers selbst oder durch zusätzliche optische Elemente eingebracht
werden.
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Der
Detektor kann versehen mit einer geeignet kleinen Blende durch das
Interferenzmuster bewegt werden (scannen). Es ist auch möglich durch Bewegung
anderer Komponenten der Vorrichtung oder mit Hilfe eines zusätzliche
beweglichen Spiegels, die verschiedenen Messpunkte nacheinander aufzunehmen.
Dieses Verfahren bietet sich besonders an für extrem hochauflösende Messungen
oder in Wellenlängenbereichen
für die
keine geeigneten ortsauflösenden
Detektoren verfügbar
sind.
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Als
räumlich
auflösender
Detektor bietet sich im eindimensionalen Fall ein geeignetes Diodenarray oder
eine CCD-Zeile an.
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Besonders
interessant ist die Verwendung zweidimensionaler Detektoren (CCD
oder andere), da in diesem Fall mit der Erhöhung der Anzahl der Messwerte
erheblich größerer Spielraum
für die
Eigenschaften der Basisfunktionen besteht und bei "besser" linear unabhängigen Funktionen
die jeweiligen Korrelationen entsprechend schärfer berechnet werden können.
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Die
Abbildungen zeigen bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung in jeweils
unterschiedlichen Kombinationen der verschiedenen Ansprüche.
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1 zeigt
eine außerordentlich
kompakte Anordnung nach Anspruch 1, wobei die optischen Komponenten
in einem monolithischen Glasblock integriert sind. Die Lichteinkopplung
(M) erfolgt gemäss
Anspruch 6 unmittelbar aus einer Monomode Glasfaser in den Block,
so dass sich das Feld zunächst
als Kugelwelle entwickelt. Durch eine unmittelbar auf den Glasblock
aufgebrachten Beugungsstruktur (G) wird die Amplitude der Welle
gemäss
Anspruch 2 geteilt in eine gebeugte und eine reflektierte Komponente,
welche zu jeweils einem der direkt auf den Glasblock aufgebrachten
Spiegel (S1, S2) laufen. Die Beugungsstruktur wirkt dabei gemäss Anspruch
27 sowohl als Strahlteiler als auch als spektral hoch dispersives
optisches Element, das die Wellenfront des gebeugten Strahls spektral
abhängig
verändert.
Im weiteren Verlauf werden die Teilfelder reflektiert und wieder überlagert.
Die abgebildete Anordnung arbeitet hier gemäss der Ansprüche 28 bis
30. Das resultierende Feld verlässt
den Glasblock über die
freie Fläche.
Ein aus nicht verwendeten gebeugten Anteilen bestehendes zweites
Feld trifft im wesentlichen auf diejenige Fläche des Glaskörpers über welche
die Einkopplung der Kugelwelle er folgte. Dieser Anteil sollte durch
geeignete Beschichtung dieser Fläche
absorbiert werden.
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Der
Detektor (D) hat eine kleine räumliche Ausdehnung
bzw. verfügt über eine
geeignete Blende und befindet sich gemäß Anspruch 7 auf einem beweglichen
Arm, dargestellt mit einem Drehpunkt (P). Der Detektor wird durch
das Lichtfeld bewegt und nimmt dessen Intensität an einer Vielzahl von räumlichen
Positionen nacheinander auf. In der dargestellten Anordnung erfolgt
die Bewegung des Arms mit Hilfe eines Exzenters (X) der durch einen
Motor (R) angetrieben wird.
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Ein
Satz derartiger Messungen, d.h. eine Menge von an definierten Positionen
aufgenommenen Messwerten bildet ein Muster, das mit Hilfe der Verfahren
gemäss
Anspruch 39–48
ausgewertet werden kann.
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Eine
Anordnung nach 2 unter Verwendung eines separaten
Strahlteilers (S) zur Teilung der Amplitude der Wellen gemäß Anspruch
2 und zwei dispersiven Elementen (G1, G2) in den Armen des Interferometers
wird möglich
durch eine Monomode-Einkopplung (M) gemäß Anspruch 4. Vorteilhaft ist
eine Aperturblende (A) wie dargestellt. Eine derartige Anordnung
kommt ohne Fouriertransformoptik bzw. ganz ohne abbildende optische
Elemente aus, da auf die Translationsinvarianz der Fouriertransformation
verzichtet werden kann. Die Auswertung der Interferenzmuster, welche
eine derartige Anordnung erzeugt, kann somit auch nicht unmittelbar
durch eine numerische Fouriertransformation erfolgen, sondern erfordert
eines der in den Ansprüchen
39 bis 48 dargestellten Verfahren. Die in 2 dargestellte
Anordnung verwendet einen ortsauflösenden Detektor (CCD) gemäß Anspruch
9. Besonders vorteilhaft wirkt sich ein Phasenmodulator (P) gemäß Anspruch 14,
etwa in Form des in der Abbildung symbolisierten Piezoaktuators,
aus.
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Die
Möglichkeit,
Interferenzmuster bei einer Vielzahl unterschiedlicher relativer
Phasenlagen der beteiligten Felder aufzunehmen, bietet den dargestellten
Verfahren erhebliche Vorteile.
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In
diesem Fall bildet die Menge der jeweils vom ortsauflösenden Detektor
aufgenommenen Intensitäten
ein Muster, das mit Hilfe der Verfahren gemäss Anspruch 39–48 ausgewertet
werden kann.
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Neben
den Vorteilen von Anordnungen nach Anspruch 1, die aus dem möglichen
völligen
Verzicht auf abbildende optische Elemente erwachsen, erlaubt eine
Monomoden-Einkopplung insbesondere auch interferometrische Anordnung,
die auf einer Teilung der Wellenfront gemäß Anspruch 3 basieren. Dies
erlaubt über
den Verzicht auf abbildende optische Elemente hinaus auch noch den
Verzicht auf einen Strahlteiler als diskretes optisches Element.
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3 zeigt
eine Anordnung gemäß Anspruch
1 und 3. Voraussetzung ist eine Einkopplung (M) etwa nach Anspruch
4. Das eingekoppelte Lichtfeld breitet sich von M ausgehend als
Kugelwelle aus. In der dargestellten Anordnung verfügt der Spiegel (S) über eine
geeignete Öffnung,
die das eingekoppelte Feld passieren kann. Ein Teil der Welle trifft
auf ein Beugungsgitter (G1), ein anderer Teil trifft auf ein Beugungsgitter
(G2), damit ist die Wellenfront geteilt. Vorteilhaft ist eine Aperturblende
(A) wie dargestellt. Die Gitter beugen das Licht mit möglichst
hoher Effizienz zurück
auf den beweglichen Spiegel (S), wo es zu einer Überlagerung der Wellenfelder
kommt.
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Der
bewegliche Spiegel reflektiert gemäss Anspruch 8 das resultierende
Feld auf den Detektor (D), welcher in Abhängigkeit von der Stellung des Spiegels
die Intensität
des Feldes an einer Vielzahl unterschiedlicher Positionen aufnehmen
kann.
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Es
ist günstig
aber nicht unbedingt notwendig einen Phasenmodulator gemäß Anspruch
14 vorzusehen, etwa in Form des dargestellten Piezoaktuators (P).
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Eine
alternative Möglichkeit
nach Anspruch 15 zur Erzeugung unterschiedlicher Interferenzmuster,
welche in den dargestellten Verfahren nutzbar sind, kann in einer
derartigen Anordnung einfach durch räumliche Versetzung des Einkopplers
realisiert werden.
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In
diesem Fall ist das durch ein Verfahren gemäß einem der Ansprüche 39 bis
48 auszuwertende Muster durch einen Satz Messwerte, die für unterschiedliche
Positionen des Spiegels S gemessen wurden gegeben.
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Die
Leistungsfähigkeit
der Vorrichtung und des im folgenden beschriebenen Verfahrens kann wesentlich
verbessert werden, wenn die relative Phasenlage der Teilstrahlen
geeignet beeinflusst werden kann. Dies kann geschehen etwa durch
die Verwendung eines über
eine Strecke in der Größenordnung der
Wellenlänge
linear verschiebbaren Spiegels, durch den die relative Phasenlage
des reflektierten Lichtes mit großer Genauigkeit verändert werden kann
oder z.B. im Falle eines Aufbaus nach Art eines Scherungs-Interferometers
oder z.B. im Falle eines Gitters mit mehreren Raumfrequenzkomponenten als
Strahlteiler durch eine geeignete "seitliche" Verschiebung der Komponenten.
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Die
dargestellten interferometrischen Vorrichtungen können weiter
derart ausgeführt
oder weitergebildet werden, dass die Differenzen der optischen Weglängen, unter
denen die Teilstrahlen zur Interferenz gebracht werden, über ein
durch das oder die dispersiven Elemente eingebrachtes Maß hinaus differieren.
Die Interferenzen werden dann auf Komponenten des einfallenden Lichtes
mit entsprechend hoher Kohärenzlänge bzw.
kleiner Bandbreite begrenzt.
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Es
wird nur dann ein Interferenzsignal erzeugt, wenn die einfallende
Strahlung im Bereich der optischen Weglängendifferenzen Kohärenzeigenschaften
bzw. Autokorrelationseigenschaften zeigt. Bei einer Anwendung im
Bereich der optischen Spektroskopie können auf diese Weise selektiv
Linienspektren aufgenommen werden. In diesem Fall tragen nur spektral
schmalbandige Komponenten der einfallenden Strahlung mit entsprechend
großen
Kohärenzlängen zum
gemessenen Signal bei.
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Bei
einer Anwendung im Bereich der optischen Datenübertragung können selektiv
Träger
mit definierten Autokorrelationseigenschaften aufgenommen bzw. vermes sen
werden. Dies ist insbesondere interessant für eine Anwendung im Bereich
des Kohärenzlängen-Multiplexing.
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Für beide
Anwendungsbereiche besteht der besondere Vorteil der Anordnung darin,
dass die spektrale Auflösung
(Spektroskopie) bzw. Bandbreite (Datenübertragung) unabhängig von
der zu selektierenden Linienbreite (Spektroskopie) bzw. Autokorrelationslänge (Datenübertragung)
eingestellt werden kann.
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Eine
ganz außerordentlich
kompakte und preiswerte Möglichkeit,
eine erfindungsgemäße Anordnung
zu realisieren, zeigt 4. Verwendet wird ein diffraktives
optisches Element (D) nach Anspruch 11 in einer Funktion gemäss Anspruch
27, in diesem Fall ein Diffusor mit einer Körnigkeit geeigneter Größenordnung.
Voraussetzung für
den Betrieb ist wiederum eine Einkopplung des Lichtfeldes (M) in
Form nur eines oder weniger räumlichen
Moden gemäss Anspruch
4 bis 6. Vorteilhaft ist eine geeignete Aperturblende (A) wie gezeigt.
Die dargestellte Variante verfügt
zweckmäßigerweise über einen
bildgebenden Detektor (CCD) nach Anspruch 10. An die Stelle des
Diffusors können
je nach Anwendung diffraktive Elemente nach Anspruch 25 treten,
welche ein hoch strukturiertes Interferenzfeld erzeugen können. Genutzt
werden kann in diesem Kontext auch eine Variante des Talbot- bzw.
Lau-Effektes, insbesondere die Fähigkeit
bestimmter Strukturen, sich selbst abzubilden. Gegebenenfalls können unterschiedliche
Interferenzfelder erzeugt werden durch eine räumliche Versetzung der Einkopplung
oder Versetzung bzw. Verkippung des Diffusors gemäss Anspruch
15.
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Diese
Anordnung wird zweckmäßigerweise mit
einer sehr hohen Anzahl von Messpunkten für das Interferenzfeld in Kombination
mit den dargestellten statistischen Verfahren betrieben.
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Die
Selektivität
der Anordnungen kann verbessert werden, indem Teile mehrfach mit
den Lichtfeldern wechselwirken, insbesondere wenn die Anordnung
vielfache Reflexionen erlaubt bzw. einen Resonator bildet. 5 zeigt
eine erfindungsgemäße Anordnung
nach Anspruch 16 mit dieser Eigenschaft.
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Wiederum
ist eine Einkopplung des Lichtfeldes (M) nach einem der Ansprüche 4 bis
6 erforderlich, um erkennbare Interferenzfelder zu erzeugen. Vorteilhaft
ist eine geeignete Aperturblende (A) wie gezeigt. Der Resonator
wird gemäß Anspruch
17 gebildet durch den Strahlteiler (S) und ein diffraktives Element
(G), welches gleichzeitig über
unterschiedliche Beugungsordnungen selbst als Strahlteiler dient. Über den
Strahlteiler (S) wird das Feld in den Resonator eingekoppelt, über das
diffraktive Element (G) das resultierende Interferenzfeld in Richtung
Detektor (CCD) ausgekoppelt. Weitere mehrfach reflektierte Teilstrahlen
tragen ebenfalls zur Interferenz bei.
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Als
diffraktives Element eigenen sich neben einfachen Gittern einerseits
und komplexen Beugungsstrukturen andererseits auch Multiplex-Gitter (Überlagerung
mehrerer Raumfrequenzen) oder mehrfach unterteilte Gitter, etwa
wie dargestellt in 6. In diesem Beispiel ist der
Strahlteiler (S) als halbdurchlässiger
Spiegel realisiert, während
das diffraktive Element (G) in der dargestellten Form durch streifenartig
nebeneinaderliegende Gitter mit unterschiedlichen Gitterkonstanten
realisiert ist. Der von den jeweiligen Gittern reflektierte Teil
des Feldes (0-te Beugungsordnung) verlässt den Resonator, während der
von den Gittern gebeugte Teil des Lichtfeldes (geeignete Wellenlänge vorausgesetzt)
zunächst
im Resonator verbleibt und zum Teil über den Strahlteiler (S) wieder
das diffraktive Element erreicht.
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Die
technische Ausführung
des Resonators ist dabei von untergeordneter Bedeutung. Neben einfachen
Resonatoren mit nur zwei Bauelementen kommen alle Arten von Resonatoren
insbesondere auch Ring-Kavitäten
in Frage.
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Durch
die Mehrfachreflexionen ergeben sich sehr komplexe Muster, die vorzugsweise
mit Hilfe der in den Verfahrensansprüchen genannten statistischen
Methoden (cross correlation) mit sehr vielen Messwerten behandelt
werden.
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Eine
weitere erfindungsgemäße Ausgestaltung
sieht vor, dass die Vorrichtung Mittel zur Drehung des Interferometers
bzw. Mittel zur Veränderung
oder Auswahl des Einfallswinkels aufweist, welche eine Einstellung
der Raumfrequenz bzw. der Raumfrequenzen des erzeugten Interferenzmusters ermöglichen.
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Der
Wellenlängenbereich,
den die Anordnung ohne bewegliche Teile erfassen kann, ist gegeben
durch die Fähigkeit
des Detektors, die entsprechenden Raumfrequenzen im Interferenzmuster nachzuweisen.
Von besonderem Vorteil für
eine technische Realisierung der Anordnung kann es sein, die Auswahl
eines Wellenlängenbereichs
d.h. in diesem Fall die Einstellung des Interferometers dergestalt, dass
die für
diesen Wellenlängenbereich
resultierenden Raumfrequenzen vom Detektor erfasst werden können, durch
eine Drehung des Interferometers als Ganzes bzw. durch eine geeignete
Veränderung
des Einfallswinkels zu erreichen. Für diese Bauform kommt das Interferometer
selbst – abgesehen
von den gegebenenfalls erforderlichen Mitteln zur Phasenmodulation – ohne bewegliche
Elemente aus und kann trotzdem für
verschiedene Wellenlängenbereiche
eingesetzt werden.
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In
diesem Fall können
die Komponenten des Interferometers gegeneinander fixiert werden,
was sich vorteilhaft auf die Stabilität der Justierung auswirkt.
Voraussetzung für
die Wellenlängenabstimmung über den
Einfallswinkel ist, dass der Winkel, unter dem die Teilfelder im
Interferometer überlagert werden
eine geeignete Abhängigkeit
vom Einfallswinkel zeigt. Dies ist z.B. dann der Fall, wenn die
Teilfelder spiegelbildlich überlagert
werden, d.h. die Teilfelder müssen
in einem diesbezüglich
asymmetrischen Interferometer über
eine jeweils um 1 verschiedene Anzahl von Spiegeln geführt werden.
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Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann diese Situation
bei symmetrischen Interferometern durch Einsatz eines Dieders oder
Retroreflektors erreicht werden.
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7 zeigt
eine besonders vorteilhafte Anordnung gemäß Anspruch 30. Das Lichtfeld
wird gemäß einem
der Ansprüche
4 bis 6 eingekoppelt (M). Die Aperturblende (A) begrenzt den Raumwinkel
zur Vermeidung von Streulicht.
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Das
Lichtfeld trifft dann auf eine diffraktive Struktur nach Anspruch
27 oder 28 (Beugungsgitter), vorzugsweise ausgeführt als Gitter oder Multiplexgitter.
Sehr vorteilhaft eingesetzt werden können an dieser Stelle holographisch
optische Elemente. Der reflektierte Teil des Feldes trifft auf einen
Spiegel (S2), der gebeugte Teil des Feldes trifft auf einen weiteren Spiegel
(S1). Anteile der jeweiligen Teilfelder werden von den Spiegeln
zum diffraktiven Element zurück
reflektiert und dort durch jeweils teilweise Reflektion und Beugung
zu zwei Interferenzfeldern überlagert. Eines
dieser Interferenzfelder erreicht den Detektor (CCD), wie in Anspruch
30 beschrieben. Die von Detektor aufgenommenen Muster können dann
in der bereits dargestellten Weise numerisch weiter bearbeitet werden.
Andere Teile der Felder verlassen die Anordnung ungenutzt. Der bei
einem der Spiegel (S2) dargestellte Aktuator (Phasenschieber) ermöglicht die
Aufnahme von Interferenzmustern bei unterschiedlichen relativen
Phasenlagen der Teilfelder.
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Eine
besonders vorteilhafte Kombination bildet die in 8 dargestellte
Anordnung. Über
das bereits in 7 dargestellten Element zur
Einkopplung des Lichtfeldes (M), eine Aperturblende (A), Spiegel
(S1, S2), ein diffraktives Element (Beugungsgitter) und den Detektor
(CCD) hinaus, kann gemäß Anspruch
31 ein abbildendes optisches Element (L) und eine Austrittsapertur
(A2) verwendet werden. Die Austrittsapertur schränkt Variabilität der auftretenden Interferenzmuster
ein. Für
den Fall, dass das diffraktive Element ein Beugungsgitter ist, kann
die Austrittsapertur auch den Wellenlängenbereich, der Felder, die
den Detektor erreichen können
einschränken.
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Die
für eine
Messung erforderliche Korrelation eines gemessenen Interferenzmusters
mit dem für
eine bestimmte spektrale Komponente oder eine Gruppe spektraler
Komponenten bekannten Interferenzmuster kann sehr vorteilhaft unmittelbar optisch mit
Hilfe einer Maske und ggf. geeigneter Phasenmodulation oder anderweitiger
Verstimmung des Interferometers erfolgen.
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Insbesondere
können
in einer einzelnen Maske bereits die Interferenzmuster eines spektralen Fingerprints
mit vielen spektralen Komponenten enthalten sein.
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Die
mehrfache Aufnahme des Interferenzmusters durch die dem Detektor
vorgelagerte Maske hindurch bei unterschiedlichen relativen Phasenlagen
der Teilstrahlen zeigt eine starke Abhängigkeit der jeweils gemessenen
integrierten gesamten Intensität
des Signals von der relativen Phasenlage nur für diejenigen spektralen Komponenten
des einfallenden Lichtes mit deren resultierenden Interferenzmustern die
Maske korreliert.
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Eine
direkte optische Korrelation ist unter günstigen Umständen numerischen
Verfahren bei weitem überlegen.
Besonders interessant wird diese Ausformung der Anordnung, bei Verwendung
einer variablen Maske, etwa eines LCD-Schirms (spatial light modulator,
SLM). Eine variable Amplituden-Maske (SLM), welche unterschiedliche
Muster zur optischen Korrelation darstellen kann, ist relativ einfach
zu realisieren, da die Maske nicht mehr Teil des eigentlichen Interferometers
ist.
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Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung erfolgt die Veränderung
der relativen Phasenlage der interferierenden Teilfelder und die
Veränderung
der Raumfrequenz bzw. der Raumfrequenzen des erzeugten Interferenzmusters gemeinsam
durch Bewegung mindestens eines Bauelements der Vorrichtung.
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Es
ist vorteilhaft, Messungen bei unterschiedlichen relativen Phasenlage
der Teilfelder vorzunehmen. Sind die optischen Weglängen der
Teilfelder ungleich und/oder führt
die Verkippung der optischen Elemente zu einer Veränderung
der Differenz der optischen Weglängen
der Teilfelder, dann ändert sich
bei der Einstellung der Wellenlänge
auch die relative Phasenlage des Interferenzmusters. Dieser Effekt
kann unmittelbar zur Messung bei verschiedenen Phasenlagen genutzt
wer den. Dies ist für
eine technische Ausführung
besonders vorteilhaft, da ein separater Mechanismus für die Modulation
der Phasenlage dann entfallen kann.
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Die
Drehung eines der optischen Elemente um einen Stützpunkt P außerhalb
des Strahlengangs bewirkt neben der Veränderung des Winkels und damit
der Einstellung der selektierten Wellenlänge gleichzeitig eine Veränderung
der optischen Weglänge
und damit eine Modulation der relativen Phasenlage.
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Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist das spektral
dispersive bzw. diffraktive Element ein Multiplex-Gitter, ein Multiplex-Hologramm,
ein holografisch-optisches Element oder ein computergeneriertes
Hologramm (CGH).
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Bei
Verwendung eines zweidimensional auflösenden Detektors kann es besonders
vorteilhaft sein, spektral dispersive Elemente zu verwenden, welche
nicht nur eine einfache Ablenkung des jeweiligen Teilstrahls bewirken.
Insbesondere im Zusammenhang mit den dargestellten Korrelationsverfahren
erscheint die Erzeugung komplizierterer Interferenzmuster vorteilhaft.
Derart komplexe Muster zeigen gegebenenfalls ein schärfer definiertes
Korrelationssignal als einfache Streifenmuster.
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Bei
Verwendung eines periodischen Beugungsgitters liegen (im Gegensatz
zu einem normalen Fourier-Transform-Spektrum !) die Positionen gleicher
optischer Weglänge
und damit maximaler Amplitude bzw. Modulation für die verschiedenen Wellenlängen an
unterschiedlichen Stellen des Detektors. Dies wirkt sich günstig auf
den erforderlichen dynamischen Bereich der Detektorelemente aus.
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Für spezielle
Anwendungen, etwa in der Chemometrie der Nachweis einer Substanz
durch die Bestimmung spektraler "Fingerprints" in bestimmten Bereichen
eines Absorptionsspektrums, oder die gleichzeitige Bestimmung bestimmter
spektraler Linien, können – wie auch
in den anderen erfindungsgemäßen Anordnungen – spezielle
Beugungsgitter verwendet werden. Neben räumlich getrennten oder räumlich überlagerten
Mehrfachgittern und gegebenenfalls einer Anordnung mit mehreren
Detektoren, kommen hier auch holographische Elemente in Betracht,
die z.B. ganze Gruppen von unterschiedlichen Spektrallinien unter
dem gleichen Winkel beugen können.
Diese Variante kann besonders günstig
sein bei Verwendung eines Detektors, der eine Maske zur Erkennung
von Mustern verwendet (optisches Korrelationsverfahren).