JP7296239B2 - 光学計測装置、光学計測方法、及び光学計測プログラム - Google Patents
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Description
h(x、d)=f(x)*g(x、d) …(1)
Y(x、d)=Λ(x)*X(x、d) …(2)
X=Λ-1*Y …(3)
1.対象物TAによって反射された反射光を集光するセンサヘッド30と、
複数の画素のそれぞれが受光量を検出可能に構成される受光部40であって、集光された光について画素毎の受光量分布信号Srdを得る受光部40と、
受光部40を用いて測定される受光部特性信号Srcに基づいて、受光量分布信号Srdから受光量分布原信号Srpを復元する復元部51と、を備える、
光学計測装置100。
8.センサヘッド30と受光部40とを備える光学計測装置100の光学計測方法であって、
対象物TAによって反射された反射光をセンサヘッド30によって集光する集光ステップと、
複数の画素のそれぞれが受光量を検出可能に構成される受光部40によって、集光された光について画素毎の受光量分布信号Srdを得る受光ステップと、
受光部を用いて測定される受光部特性信号Srcに基づいて、受光量分布信号Srdから受光量分布原信号Srpを復元する復元ステップと、を含む、
光学計測方法。
15.コンピュータに実行される、センサヘッド30と受光部40とを備える光学計測装置100の光学計測プログラムであって、
対象物TAによって反射された反射光をセンサヘッド30によって集光する集光ステップと、
複数の画素のそれぞれが受光量を検出可能に構成される受光部40によって、集光された光について画素毎の受光量分布信号Srdを得る受光ステップと、
受光部を用いて測定される受光部特性信号Srcに基づいて、受光量分布信号Srdから受光量分布原信号Srpを復元する復元ステップと、を含む、
光学計測プログラム。
Claims (11)
- 対象物によって反射された反射光を集光する光学系と、
複数の画素のそれぞれが受光量を検出可能に構成される受光部であって、前記集光された光について前記画素毎の受光量分布信号を得る受光部と、
前記受光部を用いて得られる出力特性に基づいて、前記受光量分布信号から受光量分布原信号を復元する復元部と、を備え、
前記光学系は、複数の波長成分を含む光に対して光軸方向に沿う色収差を生じさせ、色収差を生じさせた光を前記対象物に照射し、
前記受光部は、前記集光された光について前記波長成分毎の前記受光量分布信号を得るように構成され、
前記受光量分布原信号に基づいて、前記光学計測装置から前記対象物までの距離を計測する計測部をさらに備える、
光学計測装置。 - 前記復元部は、前記出力特性を表す受光部特性関数と前記受光量分布信号を表す受光量関数との逆畳み込み演算を行い、前記受光量分布原信号を表す受光量原関数を求める、
請求項1に記載の光学計測装置。 - 前記受光部特性関数は、前記受光部にそれぞれ異なる波長の光を入射して得られる複数の前記出力特性のうち、前記受光量分布信号におけるピーク受光量の波長成分に基づいて選択された前記出力特性を用い、求められる、
請求項2に記載の光学計測装置。 - 前記受光部特性関数は、前記受光部にそれぞれ異なる波長の光を入射して得られる複数の前記出力特性を用い、求められる、
請求項2に記載の光学計測装置。 - 前記出力特性に関する情報を記憶する記憶部をさらに備える、
請求項1から4のいずれか一項に記載の光学計測装置。 - 光学系と受光部とを備える光学計測装置の光学計測方法であって、
対象物によって反射された反射光を前記光学系によって集光する集光ステップと、
複数の画素のそれぞれが受光量を検出可能に構成される前記受光部によって、前記集光された光について前記画素毎の受光量分布信号を得る受光ステップと、
前記受光部を用いて得られる出力特性に基づいて、前記受光量分布信号から受光量分布原信号を復元する復元ステップと、を含み、
前記光学系は、複数の波長成分を含む光に対して光軸方向に沿う色収差を生じさせ、色収差を生じさせた光を前記対象物に照射し、
前記受光部は、前記集光された光について前記波長成分毎の前記受光量分布信号を得るように構成され、
前記受光量分布原信号に基づいて、前記光学計測装置から前記対象物までの距離を計測する計測ステップをさらに含む、
光学計測方法。 - 前記復元ステップは、前記出力特性を表す受光部特性関数と前記受光量分布信号を表す受光量関数との逆畳み込み演算を行い、前記受光量分布原信号を表す受光量原関数を求めることを含む、
請求項6に記載の光学計測方法。 - 前記受光部特性関数は、前記受光部にそれぞれ異なる波長の光を入射して得られる複数の前記出力特性のうち、前記受光量分布信号におけるピーク受光量の波長成分に基づいて選択された前記出力特性を用い、求められる、
請求項7に記載の光学計測方法。 - 前記受光部特性関数は、前記受光部にそれぞれ異なる波長の光を入射して得られる複数の前記出力特性を用い、求められる、
請求項7に記載の光学計測方法。 - 前記出力特性に関する情報を記憶部に記憶する記憶ステップをさらに含む、
請求項6から9のいずれか一項に記載の光学計測方法。 - コンピュータに実行させる、光学系と受光部とを備える光学計測装置の光学計測プログラムであって、
対象物によって反射された反射光を前記光学系によって集光する集光ステップと、
複数の画素のそれぞれが受光量を検出可能に構成される前記受光部によって、前記集光された光について前記画素毎の受光量分布信号を得る受光ステップと、
前記受光部を用いて得られる出力特性に基づいて、前記受光量分布信号から受光量分布原信号を復元する復元ステップと、を含み、
前記光学系は、複数の波長成分を含む光に対して光軸方向に沿う色収差を生じさせ、色収差を生じさせた光を前記対象物に照射し、
前記受光部は、前記集光された光について前記波長成分毎の前記受光量分布信号を得るように構成され、
前記受光量分布原信号に基づいて、前記光学計測装置から前記対象物までの距離を計測する計測ステップをさらに含む、
光学計測プログラム。
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