JP2007275920A - 基体の製造方法、表示装置、電気光学装置、電子機器 - Google Patents
基体の製造方法、表示装置、電気光学装置、電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007275920A JP2007275920A JP2006104022A JP2006104022A JP2007275920A JP 2007275920 A JP2007275920 A JP 2007275920A JP 2006104022 A JP2006104022 A JP 2006104022A JP 2006104022 A JP2006104022 A JP 2006104022A JP 2007275920 A JP2007275920 A JP 2007275920A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- manufacturing
- filler
- laser beam
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】レーザ光を用いて基体を切断・分割する方法において、基体に厚さのばらつきや、ソリなどがあっても、基体を精度よく切断・分割することが可能な基体の製造方法、表示装置、および、電気光学装置、並びに、電子機器を提供する。
【解決手段】基体としての基板Pの製造方法は、基板Pに充填材J1を配置する工程と、充填材J1の配置側から基板Pにレーザ光45を照射させて、材料変質部47を形成する工程と、基板Pに応力を加えて、分割片Qを形成する工程と、を備えている。
【選択図】図2
【解決手段】基体としての基板Pの製造方法は、基板Pに充填材J1を配置する工程と、充填材J1の配置側から基板Pにレーザ光45を照射させて、材料変質部47を形成する工程と、基板Pに応力を加えて、分割片Qを形成する工程と、を備えている。
【選択図】図2
Description
本発明は、レーザ加工方法による基体の製造方法、表示装置、および、電気光学装置、並びに、電子機器に関する。
従来、半導体材料基板、圧電材料基板、ガラス基板などの基板を切断する場合、基板にレーザ光を照射させて、切断・分割する方法があった。
例えば特許文献1に開示されているように、半導体材料基板、圧電材料基板、ガラス基板などの基板を切断・分割する方法では、その切断予定ラインに沿って基板が吸収するレーザ光を照射し、多光子吸収による改質領域部としての材料変質部を基板の表面から裏面に向けて形成し、形成された材料変質部に沿って切断・分割することで分割片を製造する方法が提案されていた。
ところが、特許文献1の製造方法では、基板の厚みがばらついているようなときや、基板がうねっているようなときには、基板表面に対して光の入射角が変わってしまうため、オートフォーカス(以後AFと表記)機構が必須となる。一般的なAF機構では、焦点位置を上下させるだけの機構なので、基板表面に対して光の入射角が一定でない場合は、基板に対して焦点位置を正確に合わせることは困難であった。基板に焦点位置を正確に合わせることができないと、形成する材料変質部の位置がばらついてしまうことになり、材料変質部の位置を精度よく形成することが困難であった。材料変質部の位置を精度よく形成することができないと、分割するときに、応力が不均一に基板に加わることになる。そして、基板に不均一に加わった応力よって基板の切断・分割時に分割不良が発生することがあった。また、異物発生の要因となることがあった。そこで、基板表面に対して光の入射角を常に一定(理想:0度)にしようとすると、レーザ加工装置は、入射角測定機構と、その調整機構とが、必要となる。しかし、レーザ加工装置にこれらの機構を付加すると、装置そのものが複雑になり、しかも大型化してしまうことになるので好ましいとはいえない。
本発明の目的は、レーザ光を用いて基体を切断・分割する方法において、基体に厚さのばらつきや、ソリなどがあっても、基体を精度よく切断・分割することが可能な基体の製造方法、表示装置、および、電気光学装置、並びに、電子機器を提供することである。
本発明の基体の製造方法は、前記基体に充填材を配置する工程と、前記充填材の配置側から前記基体にレーザ光を照射させて、材料変質部を形成する工程と、前記基体に応力を加えて、分割片を形成する工程と、を備えていることを特徴とする。
この発明によれば、基体に充填材を配置することによって、各加工点での光の入射角が常に一定になり、レーザ光の反射ロスを抑制することができるから、レーザ光の照射強度を減衰させることなく効率よく利用できるので、基体の内部に材料変質部をほぼ均一に形成することができる。そして、材料変質部が基体の内部にほぼ均一に形成されていれば、基体の外部から加える応力もほぼ均一にできるので、分割時の分割不良などに起因する品質問題を抑制することができる。しかも、切断・分割時に異物が発生しにくくなるので、異物付着などに起因する品質の低下を抑制することもできる。また、材料変質部をほぼ均一に形成することができるから、分割後の断面状態をも均一にできる。
本発明の基体の製造方法は、前記基体が、レーザ光に対して透過性を有する材料で構成されており、前記材料変質部を形成する工程では、前記基体に前記レーザ光を集光素子で集光して照射させて、前記材料変質部を形成することが望ましい。
この発明によれば、基体にレーザ光を集光素子で集光して照射させると、基体がレーザ光を透過することができる材料であるから、基体がレーザ光を吸収することができるので、基体の所定の位置に材料変質部を形成することができる。
本発明の基体の製造方法は、前記充填材を配置する工程では、前記充填材が、レーザ光に対して透過性を有する材料であることが望ましい。
この発明によれば、充填材がレーザ光を透過することができる材料であるから、充填材がレーザ光を吸収することができるので、充填材を透過したレーザ光によって、基体の所定の位置に材料変質部を形成することができる。
本発明の基体の製造方法は、前記充填材を配置する工程では、前記充填材の屈折率が、前記基板の屈折率と略等しいことが望ましい。
この発明によれば、基板の屈折率と、充填材の屈折率とが、略等しいので、レーザ光を直進させることができ、基板と充填材との両方にレーザ光を透過させやすくなるので、基体の所定の位置に材料変質部を形成することができる。
本発明の基体の製造方法は、前記充填材を配置する工程では、前記充填材が、液体、接着剤、シートのうちのいずれか一つであることが望ましい。
この発明によれば、充填材が液体、接着剤、シートのうちのいずれかであるから、基体上に簡単に配置することができる。
本発明の基体の製造方法は、前記材料変質部を形成する工程では、前記レーザ光は、YAGレーザ、チタンサファイアレーザのいずれかであり、前記基体に前記YAGレーザ、または前記チタンサファイアレーザのいずれかを照射させて、前記材料変質部を形成することが望ましい。
この発明によれば、レーザ光がYAGレーザなどに代表される短パルスレーザや、チタンサファイアレーザに代表される超短パルスレーザであるので、基体の所定の位置に材料変質部を形成することができる。
本発明の基体の製造方法は、前記材料変質部を形成する工程では、前記レーザ光を回折光学素子により複数のビームに分岐させ、前記複数のビームを照射させて、前記材料変質部を形成することが望ましい。
この発明によれば、レーザ光を回折光学素子により複数のビームに分岐させることで、ビームが分割されるから、分割されたビームを基体に照射することによって、基体に材料変質部を複数形成できる。
本発明の基体の製造方法は、前記分割片を形成する工程では、前記基体に曲げ応力または引っ張り応力のうち、いずれか一方の応力を加えて、前記分割片を形成することが望ましい。
この発明によれば、基体に応力を加えるだけで基体を切断・分割することができるので、分割片を簡単に形成することができる。
本発明の表示装置は、前述に記載の基体の製造方法を用いて形成されていることを特徴とする。
この発明によれば、品質問題を抑制することが可能な製造方法で製造されているので、より品質の良好な表示装置を提供することができる。
本発明の電気光学装置は、前述に記載の表示装置を備えていることを特徴とする。
この発明によれば、より品質の良好な表示装置を備えているので、より表示品質の良好な電気光学装置を提供することができる。
本発明の電子機器は、前述に記載の電気光学装置を備えていることを特徴とする。
この発明によれば、より表示品質の良好な電気光学装置を備えているので、より表示性能の良好な電子機器を提供することができる。
以下、本発明の基体の製造方法について実施形態を挙げ、添付図面に沿って詳細に説明する。なお、本発明の特徴的な製造方法について説明する前に、基体、材料変質部の形成方法、について説明する。
<基体>
<基体>
本発明に用いうる基体は、その材料にガラス、石英、水晶、シリコン、などの材料(主に、セラミックス材料)を用いることができる。なお、ここでは、基体材料として石英を用いた。
<材料変質部の形成方法>
<材料変質部の形成方法>
レーザ光を照射して基体に材料変質部を形成する方法について説明する。
図1は、レーザ光による改質層としての材料変質部の形成方法を説明するための説明図である。
図1において、基体としての基板Pの内部にレーザ光45を集光素子としてのレンズ46で集光して照射させて、スキャン方向X(分割方向)に、レーザ光45をスキャンする。レーザ光45は集光素子としてのレンズ46で集光されるから、基板Pの内部に焦点を合わせることができる。スキャン方向X(分割方向)に、レーザ光45をスキャンさせると、基板Pの内部に材料変質部47を形成できる。なお、レーザ光45のスキャン方向Xにおける移動速度は、100mm/secである。基板Pの厚さは約200μmである。
また、レーザ光45を1回スキャンさせるだけでは、改質層としての材料変質部47のできる量が数十μmであるので、基板Pの深さ方向全域に材料変質部47を形成するためには、レーザ光45を何回かスキャン方向X(分割方向)にスキャンさせる必要がある。そして、レーザ光45をスキャンさせるごとに、集光素子としてのレンズ46の焦点位置を基板Pの下面から上面に向かって上昇させる。ここで、基板Pの下面から上面に向けてレーザ光45の焦点位置を上昇させるのは、先に形成された材料変質部47によってレーザ光45が散乱してしまい、基板Pの深さ方向全域にわたって材料変質部47を形成することができなくなることを避けるためである。
しかしながら、一般的に使用される基板Pには、うねりや、ソリが存在することが知られている(図2(a)参照)。また、このような基板Pを何枚か重ねて積層してできた積層体においても、うねりや、ソリが増幅されてしまうことも知られている。
ここで、基板Pの面E1(図2(a)参照)に対して直角にレーザ光45を照射する場合、基板Pのソリの少ない部分Gnでは、照射するレーザ光45は、基板Pの面E1に対してほぼ直角に入射することになるから、レーザ光45の反射ロスが少ない。一方、ソリの多くある部分G1では、基板Pに対するレーザ光45は、ある傾きをもって入射することになるから、傾いた分、レーザ光45の反射ロスが多くなる。照射するレーザ光45に反射ロスが多くなると、レーザ光45のレーザ照射強度が減衰してしまうため、基板Pの内部に効率よくレーザ光45を集光させることができなくなってしまう。
(第1実施形態)
本実施形態では、基板に充填材としての液体を付加し、この付加した充填材の側からレーザ光を照射させて、基板の内部に材料変質部を形成し、基板の外部から応力を加えて基板を切断・分割して分割片を形成する製造方法について説明する。
本実施形態では、基板に充填材としての液体を付加し、この付加した充填材の側からレーザ光を照射させて、基板の内部に材料変質部を形成し、基板の外部から応力を加えて基板を切断・分割して分割片を形成する製造方法について説明する。
図2は、本実施形態における基板を切断・分割して分割片を形成する製造方法を示す図であり、同図(a)は、基板の高さを測定する状態を示す図であり、同図(b)は、充填材としての液体を配置した状態を示す図であり、同図(c)は、材料変質部の形成過程を示す図であり、同図(d)は、分割片を示す図である。図3は、基板を切断・分割して分割片を形成する製造手順を説明するためのフローチャートである。
図2および図3を参照して、分割片の製造方法について説明する。
図3のステップS1では、図2(a)に示すように、基板Pの高さH(H1〜Hn)を事前に測定しておく。同図において、基板Pの面E1に対して、レーザ光45が直角に反射しやすい部分Gnでの基板Pの高さは、高さHnである。同様に、基板Pの面E1に対して、レーザ光45が直角に反射しにくい部分G1での基板Pの高さは、高さH1である。レーザ光45が直角に反射しにくい部分G1では、レーザ光45が直角に反射しやすい部分Gnと比べて、その反射光が斜めに反射しやすい。また、基体としての基板Pは、その材料が石英であり、屈折率が約1.45である。
次に、図3のステップS2では、図2(b)に示すように、基板Pの表面に充填材J1を配置する。ここで配置する充填材J1は、液体である。より具体的には、パラフィン油である。そして、使用する充填材J1の屈折率は1.48であって、基板Pの屈折率1.45とほぼ等しい。入射したレーザ光45が基板Pの表面E1に対して直角に反射しやすい部分Gn(図2(a)参照)では充填材J1の量が少なく配置され、入射したレーザ光45が基板Pの表面E1に対して直角に反射しにくい部分G1(図2(a)参照)では充填材J1の量が多く配置される傾向になる。そして、充填材J1の面E2は、ほぼ均一な平面になる。なお、充填材J1にパラフィン油を採用したが、これにこだわることはない。例えば基板Pと充填材J1との屈折率が略等しければよいので、粘性を有する液体や、接着剤などを用いてもかまわない。
次に、図3のステップS3では、図2(c)に示すように、基板Pの内部にレーザ光45を照射して、材料変質部47を形成する。なお、レーザ光45は、基板Pに配置された充填材J1の側から照射される。レーザ光45が充填材J1の面E2に対してほぼ直角に照射されることになる。そして、基板Pを内部加工する位置の深さD(D1〜Dn)の値と、事前に取得しておいた基板Pの高さH(H1〜Hn)の値とを元にして、AF機構をかける。基板Pの厚さがばらついていることや、基板Pにソリがあったとしても材料変質部47をほぼ同じ位置に形成することができる。しかも、基板Pと充填材J1との界面において、レーザ光の入射角の違いによって生じていたレーザ光45の照射強度ロスを低減することができる。
なお、照射されるレーザ光45は、基板Pの深さ方向全域で焦点位置が合うように配置される。そして、集光点を基板Pの下面側から徐々に上面側に移動させながらレーザ光45を照射していき、多光子吸収という現象を利用することにより、基板Pの深さ方向全域に改質層としての材料変質部47を形成する。
ここで使用するレーザ光45の詳細な条件は以下のとおりである。レーザ光源は、半導体レーザを励起するものである。レーザ媒質:Nd:YAG。レーザ波長:1064nm。レーザ光スポット断面積:3.14×10-8cm2。発振形態:Qスイッチパルス。繰り返し周波数:100KHz。パルス幅:30ns。出力:20μJ/パルス。レーザ光品質:TEM00。偏光特性:直線偏光(C)。集光用レンズ倍率:50倍。NA:0.55。レーザ光波長に対する透過率:60%(D)。移動速度:100mm/secである。
YAGレーザのレーザ波長は、1064nmにこだわることはなく、例えばYAGレーザの第2高調波を用いてもよい。第2高調波のレーザ波長は、532nmである。また、レーザ光45は、YAGレーザでなくてもよく、例えばチタンサファイアレーザに代表される超短パルスレーザを採用してもよい。超短パルスレーザであるチタンサファイアレーザを使用すれば、収差の影響でビーム径が多少大きくなったとしても、問題なく内部加工ができ、材料変質部47を形成することができる。この場合のレーザ光の波長は、約800nmである。パルス幅は、約300fs(フェムト秒)である。パルス周期は、1kHzである。出力は、約700mWである。
最後に、図3のステップS4では、図2(d)に示すように、充填材J1を基板Pから取り除いてから、基板Pの上面側から基板Pに対して応力Fを加える。基板Pの外部から応力Fを加える方法としては、例えば切断予定ラインに沿って基板Pに曲げや、せん断応力を加えることである。また、基板Pに温度差を与えることによって熱応力を発生させることもできる。なお、基板Pの厚さがより薄いような場合には、材料変質部47を形成することにより、基板Pは、材料変質部47に沿って自然に割れることがある。材料変質部47を有する基板Pに対して外部から応力Fを加えると、分割片Qを形成することができる。
以上のような実施形態では、以下の効果が得られる。
(1)基板Pに基板Pと略等しい屈折率を有する充填材J1を配置することによって、各加工点でのレーザ光45の入射角が常に一定になり、レーザ光45の反射ロスを抑制することができるから、レーザ光45の照射強度を減衰させることなく効率よく利用できるので、基板Pの内部に材料変質部47をほぼ均一に形成することができる。そして、材料変質部47が基板Pの内部にほぼ均一に形成されていれば、基板Pの外部から加える応力もほぼ均一にできるので、分割時の分割不良などに起因する品質問題を抑制することができる。しかも、切断・分割時に異物が発生しにくくなるので、異物付着などに起因する品質の低下を抑制することもできる。また、材料変質部47をほぼ均一に形成することができるから、分割後の断面状態をも均一にできる。
(2)基板Pにレーザ光45を集光素子としてのレンズ46で集光して照射させると、基板Pがレーザ光45を透過することができる材料であるから、基板Pがレーザ光45を吸収することができるので、基板Pの所定の位置に材料変質部47を形成することができる。
(3)充填材J1がレーザ光45を透過することができる材料であるから、充填材J1がレーザ光45を吸収することができるので、基板Pの所定の位置に材料変質部47を形成することができる。
(4)基板Pの屈折率と、充填材J1の屈折率とが、略等しいので、レーザ光45を直進させることができ、基板Pと充填材J1とにレーザ光を透過させやすくなるので、基板Pの所定の位置に材料変質部47を形成することができる。
(5)充填材J1が液体であるので、基板P上に簡単に配置することができる。
(6)レーザ光45がYAGレーザなどに代表される短パルスレーザや、チタンサファイアレーザに代表される超短パルスレーザであるので、基体Pの所定の位置に材料変質部47を形成することができる。
(7)基板Pに応力を加えるだけで基板Pを切断・分割することができるので、分割片Qを簡単に形成することができる。しかも、レーザ加工装置は、複雑な機構(例えば、入射角測定機構や、その調整機構)を、必要とせずに構成できるから、簡素で小型なレーザ加工装置を利用できる。
(2)基板Pにレーザ光45を集光素子としてのレンズ46で集光して照射させると、基板Pがレーザ光45を透過することができる材料であるから、基板Pがレーザ光45を吸収することができるので、基板Pの所定の位置に材料変質部47を形成することができる。
(3)充填材J1がレーザ光45を透過することができる材料であるから、充填材J1がレーザ光45を吸収することができるので、基板Pの所定の位置に材料変質部47を形成することができる。
(4)基板Pの屈折率と、充填材J1の屈折率とが、略等しいので、レーザ光45を直進させることができ、基板Pと充填材J1とにレーザ光を透過させやすくなるので、基板Pの所定の位置に材料変質部47を形成することができる。
(5)充填材J1が液体であるので、基板P上に簡単に配置することができる。
(6)レーザ光45がYAGレーザなどに代表される短パルスレーザや、チタンサファイアレーザに代表される超短パルスレーザであるので、基体Pの所定の位置に材料変質部47を形成することができる。
(7)基板Pに応力を加えるだけで基板Pを切断・分割することができるので、分割片Qを簡単に形成することができる。しかも、レーザ加工装置は、複雑な機構(例えば、入射角測定機構や、その調整機構)を、必要とせずに構成できるから、簡素で小型なレーザ加工装置を利用できる。
(第2実施形態)
本実施形態では、基板に充填材としてのシートを付加し、この付加した充填材の側からレーザ光を照射させて、基板の内部に材料変質部を形成し、外部から応力を加えて基板を切断・分割して分割片を形成する製造方法について説明する。なお、前述の第1実施形態と異なる点は、充填材に液体ではなく、シートを用いたことである。また、前述の第1実施形態と同じ部品および同様な機能を有する部品には同一記号を付し、説明を省略する。
本実施形態では、基板に充填材としてのシートを付加し、この付加した充填材の側からレーザ光を照射させて、基板の内部に材料変質部を形成し、外部から応力を加えて基板を切断・分割して分割片を形成する製造方法について説明する。なお、前述の第1実施形態と異なる点は、充填材に液体ではなく、シートを用いたことである。また、前述の第1実施形態と同じ部品および同様な機能を有する部品には同一記号を付し、説明を省略する。
図4は、本実施形態における基板を切断・分割して分割片を形成する製造方法を示す図であり、同図(a)は、基板高さを測定する状態を示す図であり、同図(b)は、充填材としてのシートを貼りあわせた状態を示す図であり、同図(c)は、基板を貼りあわせた状態を示す図であり、同図(d)は、材料変質部の形成過程を示す図であり、同図(e)は、分割片を示す図である。図5は、基体を切断・分割して分割片を形成する製造手順を説明するためのフローチャートである。
図4および図5を参照して、分割片の製造方法について説明する。
図5のステップS11では、図4(a)に示すように、基板Pの高さH(H1〜Hn)を事前に測定しておく。
次に、図5のステップS12では、図4(b)に示すように、基板Pの面E1に充填材J2を配置する。ここで配置する充填材J2は、シートである。より具体的には、エポキシ系の樹脂材料をシート状にしたものである。エポキシ系の樹脂材料をシート状にしたものであるから、ある程度の弾力性を有しており、柔軟性もあり、外部から力を加えることで充填材J2を変形させることができる。また、エポキシ系の樹脂材料に添加材を加えることによって、充填材J2の屈折率を1.3〜1.6の間で制御することもできる。充填材J2の屈折率を制御できるから、基板Pの屈折率1.45とほぼ等しいものを選択することができる。なお、シート材料としてエポキシ系の樹脂材料を用いたが、これにこだわることはなく、基板Pと充填材J2との屈折率がほぼ等しければアクリル系の樹脂材料を用いてもかまわない。
次に、図5のステップS13では、図4(c)に示すように、充填材J2の面E2に基板Pとは別な基板P5を配置する。ここで配置する基板P5の材料は、石英であり、その屈折率は、基板Pと同じ1.45である。なお、弾力性および柔軟性を有している充填材J2は、基板Pと、基板P5との、間に挟まれており、同図に示すように、部分的に押しつぶされた状態になっている。そして、基板Pの面E1に充填材J2を介して配置された基板P5の面は、ほぼ均一な平面になる。
次に、図5のステップS14では、図4(d)に示すように、基板Pの内部にレーザ光45を集光素子としてのレンズ46で集光し照射させて、材料変質部47を形成する。なお、レーザ光45は、基板P5の側から照射される。照射されたレーザ光45は、基板P5および充填材J2ならびに基板Pを透過する。照射されたレーザ光45は、基板P5の面に対してほぼ直角に照射されることになるから、充填材J2の面E2に対してもほぼ直角に照射されることになる。基板Pの厚さがばらついていることや、基板Pにソリがあったとしても材料変質部47をほぼ同じ位置に形成することができる。
最後に、図5のステップS15では、図4(e)に示すように、基板P5および充填材J2を基板Pから取り除いてから、基板Pの上面側から基板Pに対して応力Fを加える。材料変質部47を有する基板Pに対して外部から応力Fを加えると、分割片Qを形成することができる。
第1実施形態で述べた(1)〜(7)の効果に加えて、第2実施形態では次のような効果が得られる。
(8)充填材J2がシートであるから、基板P上に密着させて配置することができるので、簡単である。
(8)充填材J2がシートであるから、基板P上に密着させて配置することができるので、簡単である。
次に、本発明に係る表示装置としての液晶パネルについて説明する。
図6は、本実施形態における液晶パネルの構造を示す概略図であり、同図(a)は、概略平面図であり、同図(b)は、同図(a)のA−A線に沿って切断した概略断面図である。
図6(a)および(b)に示すように、液晶パネル10は、TFT3を有するTFT基板1と、対向電極6を有する対向基板2と、シール材4によって接着されたTFT基板1と、対向基板2との隙間に充填された液晶5とを備えている。
TFT基板1には、厚さ約1.2mmの石英基板が用いられており、その表面には画素
を構成する画素電極(図示省略)と、複数のトランジスタ素子(図示省略)で構成されて
いるTFT3とが形成されている。TFT3を構成する個々のトランジスタ素子の3端子
のうちの一つは画素電極に接続されており、残りの二つは、画素電極を囲んで互いに絶縁
状態で格子状に配置されたデータ線(図示省略)と走査線(図示省略)とに接続されてい
る。データ線および走査線は、配線パターン11を介して端子部1aにおいて駆動回路部9に接続されている。駆動回路部9の入力側配線パターン12は、端子部1aに配列形成された実装端子13に接続されている。
を構成する画素電極(図示省略)と、複数のトランジスタ素子(図示省略)で構成されて
いるTFT3とが形成されている。TFT3を構成する個々のトランジスタ素子の3端子
のうちの一つは画素電極に接続されており、残りの二つは、画素電極を囲んで互いに絶縁
状態で格子状に配置されたデータ線(図示省略)と走査線(図示省略)とに接続されてい
る。データ線および走査線は、配線パターン11を介して端子部1aにおいて駆動回路部9に接続されている。駆動回路部9の入力側配線パターン12は、端子部1aに配列形成された実装端子13に接続されている。
対向基板2は、対向基板本体2a、マイクロレンズ15およびカバーガラス16より構成されている。対向基板本体2aには、厚さ約1.1mmの石英基板が用いられており、TFT基板1の画素電極に対向する部分にはマイクロレンズ面2bが形成されている。マイクロレンズ15は、対向基板本体2aのマイクロレンズ面2bに合性樹脂を充填することにより形成したものである。カバーガラス16には、厚さ約50μmの石英基板が用いられており、マイクロレンズ15を形成している合性樹脂により、対向基板本体2aに接着されている。
マイクロレンズ15は、液晶パネル10の開口率を向上させる働きをしており、画素電
極とは一対一で対応している。カバーガラス16は、対向基板本体2aの全域を覆うこと
により、マイクロレンズ15を保護している。
極とは一対一で対応している。カバーガラス16は、対向基板本体2aの全域を覆うこと
により、マイクロレンズ15を保護している。
対向基板2には、共通電極としての対向電極6が設けられている。対向電極6は、対向
基板2の四隅に設けられた上下導通部14を介してTFT基板1側に設けられた配線パタ
ーン(図示省略)と導通しており、当該配線パターンも端子部1aに設けられた実装端子
13に接続されている。液晶5に面するTFT基板1の表面および対向基板2の表面には、それぞれ配向膜7、8が形成されている。
基板2の四隅に設けられた上下導通部14を介してTFT基板1側に設けられた配線パタ
ーン(図示省略)と導通しており、当該配線パターンも端子部1aに設けられた実装端子
13に接続されている。液晶5に面するTFT基板1の表面および対向基板2の表面には、それぞれ配向膜7、8が形成されている。
液晶パネル10は、外部駆動回路(図示省略)と電気的に繋がる中継基板(図示省略)
が実装端子13に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が駆動回路部9に入
力されることにより、TFT3が画素電極ごとにスイッチングされ、画素電極と対向電極
6との間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。
が実装端子13に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が駆動回路部9に入
力されることにより、TFT3が画素電極ごとにスイッチングされ、画素電極と対向電極
6との間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。
TFT基板1に厚さのばらつきや、ソリがあったとしても、TFT基板1が、本発明の切断・分割方法で製造されているので、分割時の品質の低下を抑制することができる。
次に、本発明に係る電気光学装置の一例である液晶表示装置について説明する。
図7は、電気光学装置としての液晶表示装置の分解斜視図である。
図7に示すように、液晶表示装置500は、本実施形態で説明した多層回路基板30を備えている。そして、液晶表示装置500は、カラー表示用の液晶パネル10と、液晶パネル10に接続される多層回路基板30と、多層回路基板30に実装される液晶駆動用IC100などで構成されている。なお必要に応じて、バックライト等の照明装置や、その他の付帯機器が、液晶パネル10に付設される。なお、液晶表示装置500は、COF(Chip・On・Film)構造である。
液晶パネル10は、シール材4によって接着された一対のTFT基板1および対向基板2を有し、これらのTFT基板1と、対向基板2との、間に形成される間隙(セルギャップ)に液晶5が封入され、封入された液晶5は、TFT基板1と、対向基板2とに、よって挟持される。これらのTFT基板1と、対向基板2とは、一般には透光性材料、例えば石英、ガラス、合成樹脂等によって形成される。TFT基板1および対向基板2の外側表面には偏光板56が貼り付けられている。
また、TFT基板1の内側表面には画素電極66が形成され、対向基板2の内側表面には対向電極6が形成される。これらの画素電極66、対向電極6は、例えばITO((Indium・Tin・Oxide):インジウムスズ酸化物)等の透光性材料によって形成される。TFT基板1は対向基板2に対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の実装端子13が形成されている。これらの実装端子13は、TFT基板1上に画素電極66を形成するときに画素電極66と同時に形成される。従って、これらの実装端子13は、例えばITOによって形成される。これらの実装端子13には、画素電極66から一体に延びるもの、および導電材(図示省略)を介して対向電極6に接続されるものが含まれる。
一方、多層回路基板30の表面には、配線パターン39a、39bが形成されている。すなわち、多層回路基板30の一方の短辺から中央に向かって入力用配線パターン39aが形成され、他方の短辺から中央に向かって出力用配線パターン39bが形成されている。これらの入力用配線パターン39aおよび出力用配線パターン39bの中央側の端部には、電極パッド(図示省略)が形成されている。
多層回路基板30の表面には、液晶駆動用IC100が実装されている。具体的には、多層回路基板30の表面に形成された複数の電極パッドに対して、液晶駆動用IC100の能動面に形成された複数のバンプ電極が、ACF(Anisotropic・Conductive・Film:異方性導電膜)160を介して接続されている。このACF160は、熱可塑性又は熱硬化性の接着用樹脂の中に、多数の導電性粒子を分散させることによって形成されている。このように、多層回路基板30の表面に液晶駆動用IC100を実装することにより、いわゆるCOF構造が実現されている。
そして、液晶駆動用IC100を備えた多層回路基板30が、液晶パネル10のTFT基板1に接続されている。具体的には、多層回路基板30の出力用配線パターン39bが、ACF140を介して、TFT基板1の実装端子13と電気的に接続されている。なお、多層回路基板30は可撓性を有するので、自在に折り畳むことによって省スペース化を実現しうるようになっている。
上記のように構成された液晶表示装置500では、多層回路基板30の入力用配線パターン39aを介して、液晶駆動用IC100に信号が入力される。すると、液晶駆動用IC100から、多層回路基板30の出力用配線パターン39bを介して、液晶パネル10に駆動信号が出力される。これにより、液晶パネル10において画像表示が行われるようになっている。
品質が良好で、より安価な表示装置としての液晶パネル10を備えているので、表示品質が良好で、より安価な電気光学装置としての液晶表示装置500を提供することができる。
次に、本実施形態の電気光学装置としての液晶表示装置を搭載した電子機器について説明する。
図8は、電子機器としての携帯電話の斜視図である。
図8に示すように、本実施形態の電子機器としての携帯電話2000は、上述した液晶表示装置500を表示手段として搭載している。携帯電話2000は、表示部2001を備えている。このように本発明に係る電子機器としての携帯電話2000は、簡単に切断・分割することが可能な電気光学装置としての液晶表示装置500を備えることができるので、生産効率の良好な電子機器としての携帯電話2000を提供できる。また、電子機器としては、携帯電話2000にこだわることはなく、例えばプリンタ、腕時計、NOTE―PC、PDA、電子ペーパ、と呼ばれる携帯型情報機器、携帯端末機器、パーソナルコンピュータ、ワードプロセッサ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、モニタ直視型のデジタルビデオレコーダ、カーナビゲーション装置、電子手帳、ワークステーション、テレビ電話機、POS端末機等々の画像表示手段として好適に用いることができる。このようにすれば、電気光学装置としての液晶表示装置500の用途は広がり、いろいろな電子機器を提供できる。
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造および形状に設定できる。
(変形例1)
前述の第1実施形態および第2実施形態で、レーザ光5の集光方法として、基板Pの厚さ方向に集光点を移動させながら集光素子としてのレンズ46で集光して照射させたが、例えば図9に示すように、レーザ光5を回折光学素子である集光素子としてのレンズ6により複数のビームに分岐して多点同時に照射してもかまわない。このようにすれば、実施形態と同様の効果が得られる他に、材料変質部47の形成にかかる時間を短縮することができるから、加工効率を向上することが可能となる。
前述の第1実施形態および第2実施形態で、レーザ光5の集光方法として、基板Pの厚さ方向に集光点を移動させながら集光素子としてのレンズ46で集光して照射させたが、例えば図9に示すように、レーザ光5を回折光学素子である集光素子としてのレンズ6により複数のビームに分岐して多点同時に照射してもかまわない。このようにすれば、実施形態と同様の効果が得られる他に、材料変質部47の形成にかかる時間を短縮することができるから、加工効率を向上することが可能となる。
(変形例2)
前述の第1実施形態および第2実施形態で、充填材J1、J2を利用して液晶パネル10の製造方法に採用したが、これに限らない。例えばインクジェットヘッドなどであるように、何枚かの基板が積層して構成された積層体を切断・分割するときにも応用できる。このようにすれば、積層体に厚さのばらつきや、ソリなどがあったとしても、積層体を精度よく、しかも、効率的に切断・分割することができるので、液滴の吐出性能に優れたインクジェットヘッドを提供できる。
前述の第1実施形態および第2実施形態で、充填材J1、J2を利用して液晶パネル10の製造方法に採用したが、これに限らない。例えばインクジェットヘッドなどであるように、何枚かの基板が積層して構成された積層体を切断・分割するときにも応用できる。このようにすれば、積層体に厚さのばらつきや、ソリなどがあったとしても、積層体を精度よく、しかも、効率的に切断・分割することができるので、液滴の吐出性能に優れたインクジェットヘッドを提供できる。
(変形例3)
前述の第1実施形態および第2実施形態で、基板Pの材料に石英を採用したが、これに限らない。石英基板の他に、ガラス材料からなるガラス基板、シリコン材料からなるシリコン基板などその他の材料を基板Pとして使用してもかまわない。このようにしても、いろいろな材料の基板Pを切断・分割することができるので、本発明の製造方法の用途は広い。
前述の第1実施形態および第2実施形態で、基板Pの材料に石英を採用したが、これに限らない。石英基板の他に、ガラス材料からなるガラス基板、シリコン材料からなるシリコン基板などその他の材料を基板Pとして使用してもかまわない。このようにしても、いろいろな材料の基板Pを切断・分割することができるので、本発明の製造方法の用途は広い。
また、上記の第1実施形態、第2実施形態、および変形例で把握される技術的思想は、以下のとおりである。
(技術的思想)
基体の製造方法であって、基体に有する二つの面のうち少なくとも一方の面に充填材を配置する工程と、前記充填材の配置側から前記基体にレーザ光を照射させて、材料変質部を形成する工程と、前記基体に応力を加えて、分割片を形成する工程と、を備えていることを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の基体の製造方法。
基体の製造方法であって、基体に有する二つの面のうち少なくとも一方の面に充填材を配置する工程と、前記充填材の配置側から前記基体にレーザ光を照射させて、材料変質部を形成する工程と、前記基体に応力を加えて、分割片を形成する工程と、を備えていることを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の基体の製造方法。
このような基体の製造方法にすれば、基体としての基板に厚さのばらつきや、ソリなどがあったとしても、基板上に配置された充填材が、照射されるレーザ光に対して略直角になるように配置される。そして、配置された充填材の側からレーザ光を照射すれば、レーザ光の入射角が常に一定になり、レーザ光の反射ロスを抑制することができるから、レーザ光の照射強度を減衰させることなく効率よく利用できるので、基板の内部に材料変質部をほぼ均一に形成することができる。そして、形成された材料変質部に沿って応力を加えれば、基板を精度よく切断・分割することができる。しかも、効率的に基板を切断・分割することができるので、生産性の向上を実現することもできる。
10…表示装置としての液晶パネル、45…レーザ光、46…集光素子としてのレンズ、47…改質層としての材料変質部、500…電気光学装置としての液晶表示装置、2000…電子機器としての携帯電話、J1、J2…充填材、F…応力、P…基体としての基板、Q…分割片。
Claims (11)
- 基体の製造方法であって、
前記基体に充填材を配置する工程と、
前記充填材の配置側から前記基体にレーザ光を照射させて、材料変質部を形成する工程と、
前記基体に応力を加えて、分割片を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする基体の製造方法。 - 請求項1に記載の基体の製造方法において、
前記基体が、レーザ光に対して透過性を有する材料で構成されており、
前記材料変質部を形成する工程では、
前記基体に前記レーザ光を集光素子で集光して照射させて、
前記材料変質部を形成することを特徴とする基体の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の基体の製造方法において、
前記充填材を配置する工程では、
前記充填材が、レーザ光に対して透過性を有する材料であることを特徴とする基体の製造方法。 - 請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の基体の製造方法において、
前記充填材を配置する工程では、
前記充填材の屈折率が、前記基板の屈折率と略等しいことを特徴とする基体の製造方法。 - 請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の基体の製造方法において、
前記充填材を配置する工程では、
前記充填材が、液体、接着剤、シートのうちのいずれかであることを特徴とする基体の製造方法。 - 請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の基体の製造方法において、
前記材料変質部を形成する工程では、
前記レーザ光は、YAGレーザ、チタンサファイアレーザのいずれかであり、
前記基体に前記YAGレーザ、または前記チタンサファイアレーザのいずれかを照射させて、
前記材料変質部を形成することを特徴とする基体の製造方法。 - 請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の基体の製造方法において、
前記材料変質部を形成する工程では、
前記レーザ光を回折光学素子により複数のビームに分岐させ、前記複数のビームを照射させて、
前記材料変質部を形成することを特徴とする基体の製造方法。 - 請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載の基体の製造方法において、
前記分割片を形成する工程では、
前記基体に曲げ応力または引っ張り応力のうち、いずれか一方の応力を加えて、前記分割片を形成することを特徴とする基体の製造方法。 - 請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の基体の製造方法を用いて形成されていることを特徴とする表示装置。
- 請求項9に記載の表示装置を備えていることを特徴とする電気光学装置。
- 請求項10に記載の電気光学装置を備えていることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006104022A JP2007275920A (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | 基体の製造方法、表示装置、電気光学装置、電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006104022A JP2007275920A (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | 基体の製造方法、表示装置、電気光学装置、電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007275920A true JP2007275920A (ja) | 2007-10-25 |
Family
ID=38677958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006104022A Withdrawn JP2007275920A (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | 基体の製造方法、表示装置、電気光学装置、電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007275920A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010100495A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 薄板ガラス基板のスクライブ方法 |
KR20100062934A (ko) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | 테사 소시에타스 유로파에아 | 워크피스를 마킹 또는 기입하는 방법 |
JP2012160659A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | レーザダイシング装置及び方法並びにウェーハ処理方法 |
JP2012248704A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | レーザダイシング装置及び方法 |
JP2017024188A (ja) * | 2015-07-16 | 2017-02-02 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
KR101730046B1 (ko) * | 2008-12-01 | 2017-04-25 | 테사 소시에타스 유로파에아 | 워크피스를 마킹하거나 새기는 방법 |
JP2020518130A (ja) * | 2017-04-20 | 2020-06-18 | ジルテクトラ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 構成部材が設けられた固体層を薄化する方法 |
-
2006
- 2006-04-05 JP JP2006104022A patent/JP2007275920A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010100495A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 薄板ガラス基板のスクライブ方法 |
KR20100062934A (ko) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | 테사 소시에타스 유로파에아 | 워크피스를 마킹 또는 기입하는 방법 |
KR101633430B1 (ko) * | 2008-12-01 | 2016-06-24 | 테사 소시에타스 유로파에아 | 워크피스를 마킹 또는 기입하는 방법 |
KR101730046B1 (ko) * | 2008-12-01 | 2017-04-25 | 테사 소시에타스 유로파에아 | 워크피스를 마킹하거나 새기는 방법 |
JP2012160659A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | レーザダイシング装置及び方法並びにウェーハ処理方法 |
JP2012248704A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | レーザダイシング装置及び方法 |
JP2017024188A (ja) * | 2015-07-16 | 2017-02-02 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP2020518130A (ja) * | 2017-04-20 | 2020-06-18 | ジルテクトラ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 構成部材が設けられた固体層を薄化する方法 |
JP7130667B2 (ja) | 2017-04-20 | 2022-09-05 | ジルテクトラ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 構成部材が設けられた固体層を薄化する方法 |
US11869810B2 (en) | 2017-04-20 | 2024-01-09 | Siltectra Gmbh | Method for reducing the thickness of solid-state layers provided with components |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008018547A (ja) | 基体の製造方法、tft基板の製造方法、多層構造基板の製造方法、表示装置の製造方法 | |
US8828891B2 (en) | Laser processing method | |
US10322526B2 (en) | Laser processing method | |
US11007607B2 (en) | Laser processing device and laser processing method | |
US8755107B2 (en) | Laser processing system | |
JP2007275920A (ja) | 基体の製造方法、表示装置、電気光学装置、電子機器 | |
JP2007319881A (ja) | 基体の製造方法、レーザ加工装置、表示装置、電気光学装置、電子機器 | |
US20160052083A1 (en) | Laser machining device and laser machining method | |
JP2007283318A (ja) | 基体の製造方法、レーザ加工装置、表示装置、電気光学装置、電子機器 | |
JP2020027190A (ja) | 表示装置 | |
JP2008009189A (ja) | 表示装置 | |
JP2010014996A (ja) | 表示装置 | |
JP4775313B2 (ja) | レーザ切断方法 | |
JP2009172626A (ja) | 電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 | |
JP2007290011A (ja) | 基板ならびに基板の分断方法、電気光学装置、電子機器 | |
JP3991608B2 (ja) | レーザ切断方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器およびレーザ切断装置 | |
JP2007062074A (ja) | 表示パネル、表示パネルのレーザスクライブ方法及び電子機器 | |
JP2007319882A (ja) | 積層体の製造方法、レーザ加工装置、表示装置、電気光学装置、電子機器 | |
JP2007284269A (ja) | レーザスクライブ方法および電気光学装置 | |
JP2010159187A (ja) | 基板ブレイク方法、基板ブレイク装置及びブレイクバー | |
JP2007319880A (ja) | 基体の製造方法、レーザ加工装置、およびtft基板の製造方法、多層構造基板の製造方法、並びに液晶表示装置の製造方法 | |
JP6921793B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
JP4655915B2 (ja) | 層状基板の分割方法 | |
JP2011180405A (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
JP2009195944A (ja) | 基板分割方法、及び表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20090707 |