JP2007271486A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各々のパターンがアドレスで示される時系列のテストパターンをデバイスに入力するテストパターン入力手段(104)と、前記デバイスの試験箇所の電圧の異常を検出する電圧検出手段(103)と、前記電圧の異常が検出されると、前記電圧の異常に対応して前記デバイスに入力されたテストパターン中のパターンのアドレスを通知するためにそのアドレスを出力する出力手段(104)とを有することを特徴とする半導体試験装置が提供される。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の第1の実施形態による半導体試験装置の構成例を示す図であり、図2はその動作を説明するためのタイミングチャートである。デバイス101は、試験対象の半導体デバイス(装置)であり、その電源端子が電源102に接続される。電源102は、デバイス101に最も近い電源であり、デバイス101に電源電圧VDDを供給する。テスタ104内の制御回路121は、制御プログラムに応じて動作し、各々のパターンがアドレスPAで示される時系列のテストパターンをデバイス101に入力するテストパターン入力手段を有する。デバイス101は、テストパターンを入力し、テスト動作を行う。例えば、期間T1ではパターンアドレスPAが2561のテストパターン、期間T2ではパターンアドレスPAが2562のテストパターン、期間T3ではパターンアドレスPAが2563のテストパターン、期間T4ではパターンアドレスPAが2564のテストパターンを入力する。制御回路121は、テストパターンアドレスPAを記憶したメモリを有する。電源電圧VDDは、期間T1、T3及びT4では3Vの定常電圧を維持し、期間T2で異常が発生した場合を例に説明する。
図3は、本発明の第2の実施形態による電流観測回路の構成例を示す図である。本実施形態による電流観測回路は、図1の半導体試験装置に追加接続されるものである。図1の電源102は、電源電圧VDDを出力するための電源電圧センス端子Vs及び電源電圧フォース端子Vfを有する。電源電圧フォース端子Vfは大電流用端子であり、電源電圧センス端子Vsは小電流用端子である。
図4は、本発明の第3の実施形態による電流観測回路の構成例を示す図である。本実施形態が第2の実施形態と異なる点を説明する。インダクタ401は、図3の電流検出用抵抗301の代わりに、電源電圧フォース端子Vf及びデバイス101間の接続線を巻くように設けられる。電源電圧フォース端子Vf及びデバイス101間の接続線に電流が流れると、磁束φが発生する。磁束φの変化により、電圧Vが発生する。すなわち、インダクタ401には、電圧V=dφ/dtが発生する。差動増幅回路303は、その電圧Vを増幅し、観測装置304に出力する。本実施形態も第2の実施形態と同じく電流観測回路である。これは電流プローブと同じ機能で、磁束φの変化量を電圧換算し電流を観測する方法である。
図5は、本発明の第4の実施形態による半導体試験装置の構成例を示す図であり、図1の一部を抜き出した図である。その他の部分については、本実施形態(図5)は第1の実施形態(図1)と同じである。本実施形態の半導体試験装置は、第1の実施形態のものの簡易版である。本実施形態が第1の実施形態と異なる点を説明する。図5の電圧検出回路103は、図1の電圧検出回路103に対して、電圧保持回路112、及び比較回路114,115を削除したものである。
102 電源
103 電圧検出回路
104 テスタ
111 ハイ側ピーク電圧保持回路
112 電圧保持回路
113 ロー側ピーク電圧保持回路
114,115 比較回路
116,117 スイッチ
118 バイパス回路
121 制御回路
122,123 比較回路
Claims (5)
- 各々のパターンがアドレスで示される時系列のテストパターンをデバイスに入力するテストパターン入力手段と、
前記デバイスの試験箇所の電圧の異常を検出する電圧検出手段と、
前記電圧の異常が検出されると、前記電圧の異常に対応して前記デバイスに入力されたテストパターン中のパターンのアドレスを通知するためにそのアドレスを出力する出力手段と
を有することを特徴とする半導体試験装置。 - 前記電圧検出手段は、
前記デバイスの試験箇所の最高電圧を保持する最高電圧保持手段と、
前記デバイスの試験箇所の最低電圧を保持する最低電圧保持手段とを有することを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - 前記電圧検出手段は、
前記デバイスの試験箇所の定常電圧を検出する定常電圧検出手段と、
前記デバイスの試験箇所の最高電圧を検出する最高電圧検出手段と、
前記デバイスの試験箇所の最低電圧を検出する最低電圧検出手段と、
前記最高電圧と前記定常電圧との差分を出力する第1の差分手段と、
前記最低電圧と前記定常電圧との差分を出力する第2の差分手段とを有することを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - さらに、前記デバイスの試験箇所に流れる電流を電圧に変換する変換手段と、
前記変換された電圧の波形を観測可能に表示する表示手段と
を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体試験装置。 - 前記電圧検出手段は、前記デバイスの電源電圧の異常を検出することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体試験装置。
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