JP4079865B2 - 電気部品の電気的特性の検査方法および装置 - Google Patents
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特に、半導体装置の集積度の向上に伴い、上記エレクトロマイグレーションの問題は、半導体装置の信頼性を確保する上で、重要視されるようになってきている。
このため、半導体装置の受け入れ、出荷段階ではエレクトロマイマイグレーション試験を行い、エレクトロマイグレーションが発生する半導体装置を摘出し、半導体メーカや半導体製造部門にフィードバックして、品質改善を図っている。
上記エレクトロマイグレーションの発生を検査するため、現状では、図8に示すように、リード端子T1,T2間に直列に負荷抵抗(例えば50kΩ)Rと電源E(例えば5V)を接続するとともに、リード端子間に並列に電圧計VMを接続し、電圧計VMでリード端子間の電圧を測定して、リード端子間の電圧の低下を検出している。
ところで、上記のようにリード端子T1,T2間の電圧を電圧計VMにより観測していると、エレクトロマイグレーションが発生した場合、上記測定電圧が0Vになったり、電源電圧 (5V)になったりする現象が、連続的に繰り返し、かつ頻繁に発生することがわ
かった。
測定電圧が0Vになる場合は、リード端子T1,T2間の抵抗値が0(Ω)になっている状態(状態1という)であり、エレクトロマイグレーションが完全に形成されている状態である。また、測定電圧が例えば5Vになる場合は、リード端子T1,T2間の抵抗値が∞(Ω)になっている状態(状態2という)であり、エレクトロマイグレーションが完全に形成されていない状態である。上記状態1、状態2は、数十msの間隔で繰り返し現れた。
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであって、エレクトロマイグレーションの形成を維持した状態でリード端子間への電圧の供給を停止して前記検査を停止することにより、半導体メーカや半導体製造部門での障害調査で、エレクトロマイグレーションが形成されていることを確実に確認できるようにすることである。
エレクトロマイグレーションは、図1(a)に模式的に示すように+側端子から成長して、−側端子に至り測定点間が短絡状態(前記した状態1)になるが、測定点間が短絡状態となり測定点間に流れる電流が増大すると、エレクトロマイグレーションによる短絡状態が解消され、測定点間は再び絶縁状態(前記した状態2)となる現象を繰り返し、前記したように状態1、状態2が繰り返し交互に現れるものと考えられる。
そこで、上記のように、抵抗Rの値を測定点間の電圧に応じて切り換えることで、エレクトロマイグレーションの形成状態を維持することができる。
図1(b)は、上記電圧計VMによりモニタされる測定点T1,T2の電圧の変化を示す図であり、横軸は時間tである。なお、横軸には時間tとともに測定点T1,T2間の内部抵抗を示している。
同図のBに示すように、測定点T1,T2間の内部抵抗は、ある値(同図では50(kΩ))を越えると急激に低下するが、このとき、上記抵抗Rの値を50(kΩ)→70(kΩ)→90(kΩ)のように増大させることで、同図のAに示すように測定点T1,T2間の内部抵抗の減少率を小さくし、エレクトロマイグレーションの形成状態を維持させることができる。
前記したように、状態1、状態2は数十msの間隔で繰り返し現れるため、エレクトロマイグレーションが形成された状態で検査を終了しようとしても、検査を終了するタイミングを決定するのが難しく、また、数十ms以下の間隔でデータを取得すると情報量が膨大となるが、上記のように抵抗Rの値を増大させることで、エレクトロマイグレーションの形成状態をある程度の時間維持させることができ、エレクトロマイグレーションが形成された状態で測定点間への電圧の印加を停止して試験を終了するタイミングを比較的容易に決めることができる。また、エレクトロマイグレーションが形成された状態を維持させることで、データの取得も比較的容易になる。
また、半導体装置の複数のリード端子間に電源と抵抗器の直列回路を接続し、上記複数のリード端子間の電圧をそれぞれ測定する電圧測定手段を設け、上記電圧測定手段により測定されたそれぞれの測定電圧を予め設定された判定値と比較し、上記測定電圧のうちのうち少なくとも1つの測定電圧が上記判定値より小さくなったとき、上記判定値を変更するように構成し、測定電圧が上記判定値より小さくなった測定点間の電圧および判定値を出力するようにしてもよい。
これにより、半導体装置のリード端子間の内、最も電圧の低下が大きいリード端子間の電圧の推移を観測することができ、また、全測定点間の測定電圧を出力する場合と比べ、出力されるデータも少なく、データの整理、分析が容易となる。
このため、半導体装置などの受け入れ、出荷時の検査ではエレクトロマイグレーションが発生したにもかかわらず、半導体メーカや半導体製造部門にフィードバックして、障害調査を行う際、エレクトロマイグレーションを確認できないといった問題が生ずることがなく、エレクトロマイグレーション発生の原因の調査等を確実に行うことができる。
また、上記電圧測定手段により測定されたそれぞれの測定電圧を予め設定された判定値と比較し、上記測定電圧のうちのうち少なくとも1つの測定電圧が上記判定値より小さくなったとき、上記判定値を変更するように構成し、測定電圧が上記判定値より小さくなった測定点間の電圧および判定値を出力することで、半導体装置のリード端子間の内、最も電圧の低下が大きいリード端子間の電圧の推移を観測することができ、また、出力されるデータも少ないので、データの整理、分析が容易となる。
上記スイッチSW11〜SW1n,スイッチSWm1〜SWmnは、前記したように、上記電圧計VM11〜VM1n,VMm1〜VMmnにより測定された測定電圧に応じて切り換えられ、上記リード端子11〜1n,m1〜mnに直列に接続される抵抗は、抵抗R1→抵抗R2→抵抗R3となる。
上記電圧計VM11〜VM1n,VMm1〜VMmnにより測定された各半導体装置D1〜Dmのリード端子間の測定電圧V11〜V1n,Vm1〜Vmnは、AD変換器20により、デジタル信号に変換され、所定のサンプリング周期で処理装置30に取り込まれる。
処理装置30は、後述するように、各リード端子の測定電圧V11〜V1n,Vm1〜Vmnを予め設定された判定値と比較し、この判定値より各半導体装置の測定電圧V11〜V1n、Vm1〜Vmnの内の、少なくともひとつのリード端子の電圧が小さくなると、そのときの測定電圧、判定値及び検査を開始してから経過した時間(経過時間という)を、検査結果を記録するファイル50に出力し、これと同時に上記判定値を測定電圧の値から所定の値(例えば0.1V)だけ小さい値とする。
また、所定時間(例えば60秒)経過する毎に、上記判定値を初期値(例えば4.9V)に戻し、ついで、判定値を直前の値にする。
上記処理を繰り返し、上記測定電圧が第1の設定値(例えば3.0V)より小さくなると、出力インタフェース40を介して、スイッチSW11〜SW1n,スイッチSWm1〜SWmnの切換信号を出力し、測定電圧が第1の設定値より小さくなったリード端子に直列に接続される抵抗の値を増大させ(例えば50kΩから70kΩする)、さらに、第2の設定値(例えば2.5V)より小さくなると、上記スイッチSW11〜SW1n,スイッチSWm1〜SWmnを切り替えて、測定電圧が第2の設定値より小さくなったリード端子に直列に接続される抵抗の値をさらに増大させる(例えば70kΩから90kΩする)。
そして、上記測定電圧が第3の設定値(例えば、2.0V)より小さくなると、上記スイッチスイッチSW11〜SW1n,スイッチSWm1〜SWmnの内、測定電圧が第3の設定値より小さくなったスイッチをオフ状態に切り替える。また、上記測定電圧が第1〜第3の設定値より小さくなったときの経過時間、そのときの測定電圧、および判定値を上記ファイル50に出力する。
まず、図4に示す第1のタイマ36、第2のタイマ37をスタートさせる(図5のステップS1)。なお、第1のタイマ36は、検査開始時にスタートし、検査終了時間がくるとタイムアップ(例えば検査を開始してから48時間後にタイムアップ)するタイマであり、第2のタイマ37は例えば60秒毎にタイムアップするタイマである。
次に、半導体素子D1のリード端子間の電圧V11〜V1nを経過時間とともに出力する(図5のステップS2)。すなわち、図4に示す測定値/判定値記録手段38は、電圧V11〜V1nと時間を、検査結果を格納するファイル50に出力する。
P/F判定手段32でFAILと判定されると、測定値/判定値記録手段38は、FAILと判定されたリード端子のそのときの測定電圧、判定値および時間をファイル50に出力する(図5のステップS4)。
また、判定値変更手段33は判定値31aを変更し、そのときの測定電圧−0.1Vを新しい判定値とする(図5のステップS5)。また、P/F判定手段32でPASSと判定された場合には、何もせずに図6のステップS6に行く。
図5のステップS6で、タイマ37をスタートしてから60秒を経過したかを判定する。60秒経過すると、判定値変更手段33は、判定値を初期値(4.9V)に戻し、上記と同様、F/P判定手段32でFAILかPASSかの判定を行う(図5のステップS13,S14)。そして、FAILであれば、FAILと判定されたリード端子のそのときの測定値、判定値及び時間を出力し(ステップS15)、判定値変更手段33は判定値を上記初期値に戻す前の値に戻す(ステップS16)。また、タイマ37は計数を再スタートする(ステップS17)。
そして、上記電圧V11〜V1nが第1の抵抗切り換え設定値(3.0V)より小さくなると、スイッチ操作手段35は、スイッチSW11〜SW1nの内、電圧が上記設定値(3.0V)より小さくなったリード端子に接続されたスイッチを切り換え、該リード端子に接続された抵抗の値を70kΩにする。
また、上記電圧V11〜V1nが第2の抵抗切り換え設定値(2.5V)より小さくなると、スイッチ操作手段35は、スイッチSW11〜SW1nの内、電圧が上記設定値(2.5V)より小さくなったリード端子に接続されたスイッチを切り換え、該リード端子に接続された抵抗の値を90kΩにする。
さらに、上記電圧V11〜V1nが電源オフ設定値(2.0V)より小さくなると、スイッチ操作手段35は、スイッチSW11〜SW1nの内、電圧が上記設定値(2.0V)より小さくなったリード端子に接続されたスイッチをオフ状態にし、上記リード端子への電圧の印加を停止する。
以上の動作を第1のタイマ36がタイムアップするまで繰り返し、タイマ36がタイムアップすると、リード端子に接続されすべてのスイッチSW11〜SW1nをオフにして、検査を終了する。
例えば、一定時間毎にリード端子間の電圧を取得して記録する場合には、リード端子間の電圧低下率が大きいときにも十分なデータ量を得ようとすると、電圧を記録する頻度を多くする必要があり、記録されるデータ量も膨大となるが、上記のように、判定値を所定の値ずつ低下させながら測定電圧と判定値および時間を出力することで、記録されるデータ量を少なくすることができ、事後にデータを整理して検証する際の作業も容易となる。 また、半導体装置のリード端子電圧V11〜V1nの内のいずれか一つの電圧が上記判定値より小さいとFAILと判定し、測定電圧、判定値、および時間を記録するようにしたので、測定電圧が最も低いリード端子に着目してリード端子の電圧推移を記録することがでる。
さらに、第2のタイマ37に設定された時間(例えば60秒)毎に、判定値を初期値に戻しているので、測定電圧が最も低いリード端子以外のリード端子の電圧を観測して、記録することができる。
同図に示すように、測定開始時に測定電圧、そのときの判定値を出力した後、所定のサンプリング周期で測定電圧を処理装置に取り込んで前記したようにFAIL、PASS判定を行い、測定電圧が判定値より小さくなる毎に、測定データを出力し、判定値をそのときの測定電圧より−0.1V低い電圧に変更する。また、60秒経過する毎に判定値を4.9Vに戻して、そのとき測定電圧が4.9Vより小さいとき、そのリード端子の測定電圧を出力する。
図7は、複数の半導体装置を検査した場合に出力される測定データの時間的推移を示す図である。
同図に示すように、測定開始時点では、全リード端子間の測定電圧を出力し、その後は、各半導体装置についてFAIL判定される毎にリード端子間の測定データを出力する。そして、リード端子間の電圧が2.0Vより小さくなると、そのリード端子への電圧の印加を停止する。また、リード端子間の電圧が2.0Vより小さくならない場合には、上記測定データの出力を繰り返し、例えば48時間経過すると、検査を終了する。
11〜1n,m1〜mn リード端子
VM11〜VM1n 電圧計
VMm1〜VMmn 電圧計
SW11〜SW1n スイッチ
SWm1〜SWmn スイッチ
20 AD変換器
30 処理装置
50 ファイル
40 出力インタフェース
Claims (3)
- 電気部品の測定点間で生ずるエレクトロマイグレーションの発生の有無を検査する電気部品の電気的特性の検査方法であって、
上記測定点間に電源と抵抗器の直列回路を接続し、該測定点間の電圧を測定することにより、エレクトロマイグレーションの発生の有無を検査し、
エレクトロマイグレーションにより上記測定点間の内部抵抗が小さくなったとき、上記抵抗器の抵抗値を増大させ、エレクトロマイグレーションが発生した状態で上記電源から電圧の印加を停止し、エレクトロマイグレーション発生した状態を保持させる
ことを特徴とする電気部品の電気的特性の検査方法。 - エレクトロマイグレーションの発生の有無を検査する検査装置であって、
上記電気部品の測定点間に接続された電源と抵抗器の直列回路と、測定点間の電圧を測定する電圧測定手段と、
エレクトロマイグレーションの発生により、上記電圧測定手段により測定された電圧が予め設定された第1の値より小さくなったとき、上記抵抗器の抵抗値を増大する手段と、
上記測定された電圧が、予め設定された第2の値より小さくなったとき、上記測定点間への電圧の印加を停止し、エレクトロマイグレーションが発生した状態を保持させる手段とを備えた
ことを特徴とする電気部品の電気的特性の検査装置。 - エレクトロマイグレーションの発生の有無を検査する半導体装置の検査装置であって、
上記半導体装置の複数のリード端子間に接続された電源と抵抗器の直列回路と、
上記複数のリード端子間の電圧をそれぞれ測定する電圧測定手段と、
上記電圧測定手段により測定されたそれぞれの測定電圧を予め設定された判定値と比較し、上記測定電圧が判定値より小さくなったとき出力を発生する判定手段と、
上記測定電圧のうちのうち少なくとも1つの電圧が上記判定値より小さくなったとき、上記判定値を変更する判定値変更手段と、
エレクトロマイグレーションの発生により、上記測定電圧が予め設定された第1の値より小さくなったとき、当該リード端子に直列に接続された上記抵抗器の抵抗値を増大する手段と、
上記測定電圧が、予め設定された第2の値より小さくなったとき、当該リード端子への電圧の印加を停止し、エレクトロマイグレーションが発生した状態を保持させる手段と、
上記判定手段が出力を発生したときの判定値、および判定手段が出力を発生したときの上記電圧測定手段により測定されたリード端子間の電圧を記録する記録手段を備えた
ことを特徴とする半導体装置の検査装置。
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