JP2007269511A - 光学ガラス用成形型およびそれを用いた光学ガラスのプレス成形法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、離型性と耐久性に優れた、精密プレス成形法に好適な光学ガラス用成形型の提供を目的とする。
【解決手段】型母材と、該型母材上に、1または2以上の層からなる保護膜とを有する、光学ガラスを成形するための金型であって、前記保護膜の最表面層が、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる元素群から選ばれる少なくとも1種以上の元素を含むことを特徴とする光学ガラス用成形型。
【選択図】図1
【解決手段】型母材と、該型母材上に、1または2以上の層からなる保護膜とを有する、光学ガラスを成形するための金型であって、前記保護膜の最表面層が、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる元素群から選ばれる少なくとも1種以上の元素を含むことを特徴とする光学ガラス用成形型。
【選択図】図1
Description
本発明は、光学ガラスの成形型、特に、プレス成形後、磨き工程等を必要としない高精度のプレス成形に使用される光学ガラス用成形型に関する。
近年、ガラスレンズなどの光学ガラス素子をプレス成形し、成形面を研磨等せずにそのまま使用する精密プレス成形法が注目されている。精密プレス成形法に使用される金型は、形状精度、表面の平滑性において高レベルものが要求されるほか、約400〜800℃の高温において光学ガラスと反応、密着せずに離型性に優れていること、耐擦傷性、耐熱性、耐熱衝撃性があること、などの量産時の耐久性に優れていることも要求される。
このような光学ガラス用金型として特許文献1または特許文献2には、型母材上に白金などの貴金属合金からなる表面層を形成したものが提案されているが、光学ガラスと密着しやすく離型性が充分でないため、レンズなどの光学ガラス素子が金型に強固に付着して製品を取り出せない、製品取出し時にクラックができる等の問題点がある。
また、特許文献3には、耐擦傷性や耐摩耗性の良好な型として貴金属合金中に0.01〜10質量%のZr、TiまたはHf元素を添加した薄膜をコーティングした型が提案されている。しかし、提案された型でもTiなどは光学ガラスとの反応性が高く離型性の点では、依然として問題がある。
本発明は、離型性と耐久性に優れた、精密プレス成形法に好適な光学ガラス用成形型の提供を目的とする。
本発明は、型母材と、該型母材上に、1または2以上の層からなる保護膜とを有する、光学ガラスを成形するための金型であって、前記保護膜の最表面層が、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる元素群から選ばれる少なくとも1種以上の元素を含むことを特徴とする光学ガラス用成形型を提供する。
本発明の光学ガラス用成形型(以下、本型という)は、型母材と、該型母材上に、1または2以上の層からなる保護膜とを有し、前記保護膜の最表面層が、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる元素群から選ばれる少なくとも1種以上の元素を含み、光学ガラスとの反応性が低いため、光学ガラスとの離型性が著しく改善される。また、前記元素を含むことにより、成形型としての耐擦傷性、耐磨耗性等の特性が向上し、耐久時間が長期化できる。
さらに、型母材として超硬合金質または炭化ケイ素質を採用することによりさらに、機械的特性、形状等の精度にも優れた成形用型となり、精密プレス成形法の好適な成形用型を提供できる。
本型は、型母材と、該型母材上に、1または2以上の層からなる保護膜とを有する、レンズなどの光学ガラス素子を成形するための型である。本型は、前記保護膜の最表面層が、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる元素群(以下、Ce等元素群と略す)から選ばれる少なくとも1種以上の元素を含むことを特徴とする。
ここで、保護膜の最表面層とは、成形時に光学ガラスと接する面を含む層をいい、型母材上の保護膜が1層からなる場合は、該1層が最表面層となり、型母材上の保護膜が2層からなる場合は、型母材から数えて2層目が最表面層となる。同様にして、保護膜がn層からなる場合は、型母材から数えてn層目が最表面層となる。保護膜が2層以上からなる場合には、型母材と接する層、すなわち、型母材から数えて1層目を型母材と保護層との密着性を上げるための層としてもよい。このような層としては、Tiを含む層が好ましいものとして挙げられる。
本型の一例を図1に示す。図1は、プレス成形型の下型の縦断面図である。図1中、(1)は型母材上の保護膜が1層からなる場合であり、(2)は型母材上の保護膜が2層からなる場合である。図中、1は型母材を、2は保護膜を、3は保護膜の最表面層を、それぞれ示す。図1の(1)の場合、保護膜2は、保護膜の最表面層3でもある。
Ce等元素群は、光学ガラスとの反応性が低いため、最表面層に含まれていることで、型に光学ガラス素子が付着せずに離型しやすくなる。前記Ce等元素群の中でもCe、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd元素を添加すると、金型からの製品の離型性が良いので好ましく、特には、Ce、Pr、Eu、Gd元素が好ましい。
また、Ce等元素群が最表面層に含まれていることで、最表面層の硬度が高くなり、成形用型の耐擦傷性や耐磨耗性が著しく向上する。Ce等元素群の中でもCe、Pr、Nd、Smなどは、硬度などの機械的特性の点で好ましい。最表面層が、Ce等元素群以外に第5族〜11族の金属元素を含むものであると、機械的特性が向上して好ましい。最表面層が実質的に、第5族〜11族の金属元素とCe等元素群とからなる場合には、同様の理由でさらに好ましい。この場合には、Ce等元素群の元素の存在により最表面層の第5族〜11族の金属元素粒子が微細化し、その結果、保護膜の最表面の組織が微細化することにより機械的特性が向上するものと思われる。
前記最表面層が、実質的に、第5族〜11族の金属元素と前記Ce元素群から選ばれる少なくとも1種以上の元素とからなる場合は、最表面層中、Ce等元素群の元素を1〜45atom%とし、第5族〜11族の金属元素を55〜99atom%とするのが好ましい。Ce等元素群の元素の含有量が、1atom%未満であると、光学ガラスとの密着力を下げる効果や保護膜の硬度を上げる効果が充分に得られないおそれがある。Ce等元素群の元素の含有量の下限としては、5atom%が好ましく、より好ましくは10atom%である。
一方、Ce等元素群の元素の含有量が、45atom%を超えると、保護膜の最表面層の組織が粗大化して、プレス成形面の鏡面性が確保できないほか、膜が剥離し易くなる。Ce等元素群の元素の含有量の上限としては、40atom%が好ましく、30atom%とするとさらに好ましい。
同様に、第5族〜11族の金属元素の含有量が99atom%を超えると、光学ガラスとの密着力を下げる効果や保護膜の硬度を上げる効果が充分に得られないおそれがある。第5族〜11族の金属元素の含有量の上限としては、95atom%が好ましく、より好ましくは90atom%である。一方、第5族〜11族の金属元素の含有量が55atom%未満であると、保護膜の最表面層の組織が粗大化して、プレス成形面の鏡面性が確保できないほか、膜が剥離し易くなる。第5族〜11族の金属元素の含有量の下限としては、65atom%が好ましく、75atom%とするとさらに好ましい。なお、最表面層がCe等元素群を含む層で、その下層が第5族〜11族の金属元素からなる層でも、最表面層が実質的に、第5族〜11族の金属元素とCe等元素群の元素とからなる場合と同様の効果が得られる。
本型において、第5族〜11族の金属元素としては、周期律表の第5族〜第11族に属する金属元素であれば、特に、制限されないが、貴金属元素やRe、Ta、Wなどが好ましい元素として挙げられる。第5族〜11族の金属元素として、Ir、Re、Os、Pd、Pt、Au、Rh、Ru、TaおよびWからなる金属元素群(以下、Ir等金属元素群と略す)から選ばれる少なくとも1種以上の金属元素であれば、所望の特性がバランスしてより好ましい。Ir等金属元素群の中でもIr、Re、Pt、Rh、Ruのいずれか1種以上を含むようにすると、成形用型の耐擦傷性や耐摩耗性、耐久性の点でさらに好ましい。特に好ましくは、Irを含むようにするとよい。
本型において、前記保護膜の形成法としては、特に、制限されないが、スパッタターゲットを使用するスパッタリング法、真空蒸着法、イオン注入法などが好適な方法として挙げられる。
また、型母材に第5族〜11族の金属元素の保護膜を付けた型で、Ce等元素群の中の元素、例えば、Gd、Ceなどを含むガラスをプレス成形して、当該第5族〜11族の金属元素層の上に、該Gd、Ceが析出した層または該Gd、Ceを含む層を形成して、結果として、保護膜の最表面層として、Ce等元素群の中の元素が析出した層またはCe等元素群の中の元素を含む層を第5族〜11族の金属元素層等の上に形成してもよい。
本型において、母材としては、WCをメインとする超硬合金質材またはSiCをメインとする炭化ケイ素質材を選択すると、機械的特性、耐熱性、鏡面性、製作性などの点で好ましい。
以下に本発明の実施例を説明する。
テストに使用した光学ガラスは、ホウケイ酸ガラスSK5(屈折率nd=1.589、アッベ数νd=61.2、転移点Tg=527℃、屈伏点=567℃、組成は質量%(以下、単に%と略す)で、SiO2:44%、B2O3:11%、Al2O3:4%、Li2O:7%、SrO:16%、CaO:7%、BaO:1%、ZnO:4%、ZrO2:4%)およびランタン系ガラスLaSF03(屈折率nd=1.806、アッベ数νd=40.9、転移点Tg=610℃、屈伏点=637℃、組成は、SiO2:6%、B2O3:21%、WO3:4%、BaO:3%、Al2O3:1%、ZnO:12%、ZrO2:4%、La2O3:39%、Nb2O5:10%)の2種類である。
テストに使用した光学ガラスは、ホウケイ酸ガラスSK5(屈折率nd=1.589、アッベ数νd=61.2、転移点Tg=527℃、屈伏点=567℃、組成は質量%(以下、単に%と略す)で、SiO2:44%、B2O3:11%、Al2O3:4%、Li2O:7%、SrO:16%、CaO:7%、BaO:1%、ZnO:4%、ZrO2:4%)およびランタン系ガラスLaSF03(屈折率nd=1.806、アッベ数νd=40.9、転移点Tg=610℃、屈伏点=637℃、組成は、SiO2:6%、B2O3:21%、WO3:4%、BaO:3%、Al2O3:1%、ZnO:12%、ZrO2:4%、La2O3:39%、Nb2O5:10%)の2種類である。
[実験A]
評価した金型の作成法を述べる。直径18mm×高さ50mmの超硬合金製円柱を加工して曲率半径が16mmの凹形状のプレス面を有する上下の型からなる一対の光学ガラスレンズのプレス成形用型とした。前記上型、前記下型のプレス面を0.1μmのダイヤモンド砥粒を用いて鏡面に研磨後、この鏡面に、スパッタリング法により、保護膜の第1層として50nmの厚さのTi層を形成後、膜厚が250nmで表1に示す組成(元素の横の数字はatom%)の最表面層を形成して、評価用の型とした。膜組成のバリエーションはIrターゲットの上に所望の組成になるように各金属のチップを所望の枚数置くことで得られた。
評価した金型の作成法を述べる。直径18mm×高さ50mmの超硬合金製円柱を加工して曲率半径が16mmの凹形状のプレス面を有する上下の型からなる一対の光学ガラスレンズのプレス成形用型とした。前記上型、前記下型のプレス面を0.1μmのダイヤモンド砥粒を用いて鏡面に研磨後、この鏡面に、スパッタリング法により、保護膜の第1層として50nmの厚さのTi層を形成後、膜厚が250nmで表1に示す組成(元素の横の数字はatom%)の最表面層を形成して、評価用の型とした。膜組成のバリエーションはIrターゲットの上に所望の組成になるように各金属のチップを所望の枚数置くことで得られた。
次に、これらの型を使用してガラス光学素子(レンズ)の成形を行って離型性、コーティング膜の剥離等を評価した。テストに用いたプレス成形装置の断面概略図を図2に示す。図中、24はチャンバー、25は上軸、26は下軸、27、28はヒーターを内蔵したブロック(ヒーターブロック)、29は上型、30は下型、31は被成形物である光学ガラス、32は油圧シリンダーである。図2では被成形物31は、成形後のレンズ形状として示してあるが、成形前の材料としては、直径8mmの研磨ボールプリフォーム(ボールレンズ)を使用した。
プレス成形の手順は以下のとおりである。チャンバー24を不図示の真空ポンプによって真空引きした後、N2ガスを導入し、チャンバー24内をN2雰囲気にした後、ヒーターブロック27、28により上型29、下型30を加熱し、成形するガラスの粘度で10−9d・Pa・sに対応する温度(SK5:596℃、LaSFO3:660℃)になったら、油圧シリンダー32により、下軸26を引き下げ、下型30の上に不図示のオートハンドにより被成形物(ボールレンズ)をセットした。
そのままの型温度で3分間保持後、油圧シリンダー32により下軸26を上昇させ、上型29と下型30とでボールレンズを3000Nの力で1分間プレスした。その後、100℃/分で冷却し、上型、下型の温度が所望の温度(SK5:515℃、LaSFO3:600℃)になった時点で下型30を下降させ、不図示のオートハンドで下型30上の成形品31を取り出し、続いて不図示の置換装置を通して成形品31をチャンバー24より取り出した。以上を1サイクルとして、1000ショットのプレス成形を行った。
例1〜例26では成形品31にはクラック等の成形不良は観察されず、また、金型にも変化は観察されなかった。例27と例28では上型29と下型30のコーティング膜中のCe等元素群の添加がない場合でありクラックのあるものが、多数観察された。例29は、Ce等元素群の添加量が1atom%未満とした場合であり、離型性の低下が観察され、クラックの発生が散発したが例27と例28と比較すると発生率が低く、程度も軽度のためやや良好と判定した。
また、例30と例31は上型29と下型30のコーティング膜中のCe等元素群の添加量を45atom%超とした場合であり、離型性の低下は観察されなかったものの、型表面の鏡面性がやや低下した。しかし、鏡面性の低下はあるものの光学素子として使用できないレベルではないので、やや良好と判定した。なお、硝材による差は認められなかった。
[実験B]
実験Aと同様にして、型母材に保護膜の第1層として50nmの厚さのTi層を形成後、第2層として第2表に示す第5族〜11族の金属元素合金膜をスパッタリング法で250nmの厚さで形成し、第3層、すなわち、最表面層として、50nmの厚さでBiおよび/またはTeと第5族〜11族の金属元素との合金(複合)膜をスパッタリングで成膜した型を使用するほかは、実験Aと同様にして成形試験を実施した。成形試験結果を膜組成と共に表2に例32〜例44として示す。
実験Aと同様にして、型母材に保護膜の第1層として50nmの厚さのTi層を形成後、第2層として第2表に示す第5族〜11族の金属元素合金膜をスパッタリング法で250nmの厚さで形成し、第3層、すなわち、最表面層として、50nmの厚さでBiおよび/またはTeと第5族〜11族の金属元素との合金(複合)膜をスパッタリングで成膜した型を使用するほかは、実験Aと同様にして成形試験を実施した。成形試験結果を膜組成と共に表2に例32〜例44として示す。
[実験C]
実験Bと同様にして、第2層として第5族〜11族の金属元素合金膜をスパッタリング法で250nmの厚さで形成した。最表面層は、成分としてCe、Gd、Pr元素を含む光学ガラスを予備的に成形することによって形成した。具体的には、Ce、Gd、Pr元素を表3に示す量だけ含む光学ガラスを直径8mmの研磨ボールプリフォームとし、これを実験Aと同様のプレス条件で、予備的に5ショット成形した。この後、型の最表面部分をESCA(X線光電子分光法)により分析したところ、Ce、Gd、Pr元素が、測定場所によりばらつきがあるものの、合量で5〜60atom%であることが確認された。予備的に5ショット成形した型をそのまま使用して、実験Aと同様の成形実験を行った結果を表3に例45〜例50として示す。いずれも良好な成形試験結果が得られた。
実験Bと同様にして、第2層として第5族〜11族の金属元素合金膜をスパッタリング法で250nmの厚さで形成した。最表面層は、成分としてCe、Gd、Pr元素を含む光学ガラスを予備的に成形することによって形成した。具体的には、Ce、Gd、Pr元素を表3に示す量だけ含む光学ガラスを直径8mmの研磨ボールプリフォームとし、これを実験Aと同様のプレス条件で、予備的に5ショット成形した。この後、型の最表面部分をESCA(X線光電子分光法)により分析したところ、Ce、Gd、Pr元素が、測定場所によりばらつきがあるものの、合量で5〜60atom%であることが確認された。予備的に5ショット成形した型をそのまま使用して、実験Aと同様の成形実験を行った結果を表3に例45〜例50として示す。いずれも良好な成形試験結果が得られた。
[実験D]
実験Cにおいて、直径8mmの研磨ボールプリフォームの代わりに直径18mm、厚さ2mmの2面研磨した円柱を使用し、実験Aのプレス条件で予備的に5ショット成形する代わりに上下型の間に挟んで実質的に加圧しないで実験Aの温度サイクルのみ予備的に3回行った以外は実験Cと同様に成形試験を行った。成形試験結果は、いずれも良好であった。なお、実験Cと同様に、型の最表面をESCAにより分析したところ、型の平面部分では、Ce、Gd、Pr元素が合量で5〜60atom%、型の曲率のついた部分では、Ce、Gd、Pr元素が合量で0〜3atom%であった。曲率の付いた部分でCe、Gd、Pr元素が少なかったのは、熱サイクル時にガラスが接触しておらず、わずかな揮発分のみが堆積したことによるものと思われる。なお、この結果から、外周部に平面部を有するレンズの場合は、平面部が型で拘束されてクラックが発生するので、少なくとも型の平面部を本型の膜とすればよいことが分かる。
実験Cにおいて、直径8mmの研磨ボールプリフォームの代わりに直径18mm、厚さ2mmの2面研磨した円柱を使用し、実験Aのプレス条件で予備的に5ショット成形する代わりに上下型の間に挟んで実質的に加圧しないで実験Aの温度サイクルのみ予備的に3回行った以外は実験Cと同様に成形試験を行った。成形試験結果は、いずれも良好であった。なお、実験Cと同様に、型の最表面をESCAにより分析したところ、型の平面部分では、Ce、Gd、Pr元素が合量で5〜60atom%、型の曲率のついた部分では、Ce、Gd、Pr元素が合量で0〜3atom%であった。曲率の付いた部分でCe、Gd、Pr元素が少なかったのは、熱サイクル時にガラスが接触しておらず、わずかな揮発分のみが堆積したことによるものと思われる。なお、この結果から、外周部に平面部を有するレンズの場合は、平面部が型で拘束されてクラックが発生するので、少なくとも型の平面部を本型の膜とすればよいことが分かる。
本発明により、耐久性や光学ガラスとの離型性に優れた精密プレス成形法に好適な光学ガラス用成形型を提供できる。また、本型を使用して光学ガラスをプレス成形することにより各種光学素子を成形後に研磨等することなく製造できるため、量産性があり、かつ、原価面でも有利な光学素子製造法を提供できる。
1:型母材、2:保護膜、3:最表面層、10:下型、24:チャンバー、25:プレス上軸、26:プレス下軸、27、28:ヒーターブロック、29:上型、30:下型、31:被成形物である光学ガラス、32:油圧シリンダー。
Claims (6)
- 型母材と、該型母材上に、1または2以上の層からなる保護膜とを有する、光学ガラスを成形するための金型であって、前記保護膜の最表面層が、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる元素群から選ばれる少なくとも1種以上の元素を含むことを特徴とする光学ガラス用成形型。
- 前記最表面層が、第5族〜11族の金属元素を含む請求項1記載の光学ガラス用成形型。
- 前記最表面層が、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる元素群から選ばれる少なくとも1種以上の元素を1〜45atom%と、第5族〜11族の金属元素を55〜99atom%と、を含む請求項2記載の光学ガラス用成形型。
- 前記第5族〜11族の金属元素がIr、Re、Os、Pd、Pt、Au、Rh、Ru、TaおよびWからなる金属元素群から選ばれる少なくとも1種以上の金属元素である請求項2または3記載の光学ガラス用成形型。
- 前記型母材が超硬合金質または炭化ケイ素質である請求項1〜4のいずれかに記載の光学ガラス用成形型。
- 上型と下型とを有するプレス成形型を用いて光学ガラスをプレス成形する方法であって、前記上型または前記下型の少なくともいずれか片方を請求項1〜5のいずれかに記載の光学ガラス用成形型とすることを特徴とする光学ガラスのプレス成形法。
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JP2011225388A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Ohara Inc | 成形型及びその製造方法、並びに、光学素子及び光学機器の製造方法 |
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