JP2007260869A - ラップ装置 - Google Patents
ラップ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007260869A JP2007260869A JP2006091624A JP2006091624A JP2007260869A JP 2007260869 A JP2007260869 A JP 2007260869A JP 2006091624 A JP2006091624 A JP 2006091624A JP 2006091624 A JP2006091624 A JP 2006091624A JP 2007260869 A JP2007260869 A JP 2007260869A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- lapping
- weight
- holder
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 複数のワーク2をワークホルダ10で保持し、ワーク2をラップ盤1に対して摺動させて研摩する。ワークホルダ10に保持された各ワーク2上に個別にウェイト13を配置して所定のラッピング圧を被研摩面2aに付与すると共に、各ウェイト13とワーク2との間に調心部材11を配置し、ウェイト13とワーク2の芯合わせを行う。
【選択図】図2
Description
1a 凹部
1b 凸部
2 ワーク
3 キャリア
10 ワークホルダ
11 調心部材
12 調心部材ホルダ
13 ウェイト
13a テーパ状面
14 ウェイトホルダ
16 定盤
17 ラップフィルム
18 吸気孔
19 チャンバ
Claims (3)
- 複数のワークをワークホルダで保持し、ワークをラップ盤に対して摺動させて研摩するラップ装置において、
ワークホルダに保持された各ワーク上に個別にウェイトを配置し、各ウェイトとワークとの間に調心部材を配置したことを特徴とするラップ装置。 - 調心部材と、ワークおよびウェイトの少なくとも何れか一方との間にテーパ状面を介在させた請求項1記載のラップ装置。
- ワークの被研摩面が、動圧軸受装置の軸受面である請求項1記載のラップ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006091624A JP4813231B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | ラップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006091624A JP4813231B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | ラップ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007260869A true JP2007260869A (ja) | 2007-10-11 |
JP4813231B2 JP4813231B2 (ja) | 2011-11-09 |
Family
ID=38634367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006091624A Expired - Fee Related JP4813231B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | ラップ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4813231B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107745330A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-03-02 | 合肥波林新材料股份有限公司 | 一种端面研磨装置 |
JP2019130652A (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 浜井産業株式会社 | 片面研磨装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3931696A (en) * | 1974-03-04 | 1976-01-13 | Veb Rathenower Optische Werke | Device for making sections for specimens and specimen supports therefor |
JPS5845859A (ja) * | 1981-11-27 | 1983-03-17 | バロ−ス・コ−ポレ−シヨン | フロ−トラッピング固定具およびラッピング方法 |
JPS62213960A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | Hitachi Ltd | ラツピング治具 |
JPH01234160A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-19 | Yasushi Kato | 研磨方法及び研磨装置 |
JPH0343151A (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-25 | Mitsubishi Electric Corp | 研磨装置 |
JPH0366555A (ja) * | 1989-08-03 | 1991-03-22 | Japan Nuclear Fuel Co Ltd<Jnf> | コイルスプリングの端面研摩方法 |
JPH0396165U (ja) * | 1990-01-19 | 1991-10-01 | ||
JP2003305636A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-28 | Katsuhiko Uchida | 球体研摩装置 |
-
2006
- 2006-03-29 JP JP2006091624A patent/JP4813231B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3931696A (en) * | 1974-03-04 | 1976-01-13 | Veb Rathenower Optische Werke | Device for making sections for specimens and specimen supports therefor |
JPS5845859A (ja) * | 1981-11-27 | 1983-03-17 | バロ−ス・コ−ポレ−シヨン | フロ−トラッピング固定具およびラッピング方法 |
JPS62213960A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | Hitachi Ltd | ラツピング治具 |
JPH01234160A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-19 | Yasushi Kato | 研磨方法及び研磨装置 |
JPH0343151A (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-25 | Mitsubishi Electric Corp | 研磨装置 |
JPH0366555A (ja) * | 1989-08-03 | 1991-03-22 | Japan Nuclear Fuel Co Ltd<Jnf> | コイルスプリングの端面研摩方法 |
JPH0396165U (ja) * | 1990-01-19 | 1991-10-01 | ||
JP2003305636A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-28 | Katsuhiko Uchida | 球体研摩装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107745330A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-03-02 | 合肥波林新材料股份有限公司 | 一种端面研磨装置 |
JP2019130652A (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 浜井産業株式会社 | 片面研磨装置 |
JP7106067B2 (ja) | 2018-02-02 | 2022-07-26 | 浜井産業株式会社 | 片面研磨装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4813231B2 (ja) | 2011-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102335825A (zh) | 工作机械用分度装置 | |
US6554476B2 (en) | Dynamic pressure bearing device and method of manufacturing the same | |
JP6323136B2 (ja) | ころ軸受用軌道輪、ころ軸受及び動力伝達装置 | |
JP4813231B2 (ja) | ラップ装置 | |
JP3652187B2 (ja) | 流体軸受 | |
JP2012061566A (ja) | 研削装置におけるワーク保持装置および軸受軌道輪の製造方法 | |
JP5352034B2 (ja) | 吸着ロール | |
JP2010046747A (ja) | 軸受研削用治具 | |
JP2007260870A (ja) | ラップ装置 | |
JP2007260872A (ja) | ラップ装置 | |
JP2006077863A (ja) | 動圧軸受装置用軸部材およびその製造方法 | |
JP2001027242A (ja) | 動圧軸受装置 | |
JP2005337295A (ja) | 円錐型動圧軸受装置およびモータならびにディスク駆動装置 | |
JP4848693B2 (ja) | 圧延機バックアップロール用軸受の研磨治具 | |
JP2013119941A (ja) | スピンドルユニット | |
KR101466773B1 (ko) | 웨이퍼 폴리싱머신용 헤드어셈블리의 스핀들 | |
JPH07171761A (ja) | 研磨装置の研磨液供給機構 | |
US20030221959A1 (en) | Method and apparatus for forming grooved journals | |
JP3012224B2 (ja) | ラッピング/ポリッシングマシンの下定盤回転装置 | |
US8699181B2 (en) | Spindle motor for driving a hard disk drive | |
JP2007210095A (ja) | 動圧型軸受装置の製造方法 | |
JP2005188568A (ja) | スピンドルの回転支持装置 | |
JP6049181B2 (ja) | 動圧平面軸受構造および平面研磨装置 | |
JP2007078037A (ja) | 静圧スラスト軸受装置 | |
KR101402841B1 (ko) | 웨이퍼 연마 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090216 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110518 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110808 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110824 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4813231 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140902 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |