JP2007260870A - ラップ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のワーク2をワークホルダ10で保持し、ワーク2をラップ盤1に対して摺動させて研摩する。定盤16にラップフィルム17をエア吸着してラップ盤1を構成し、エアの吸引・停止によりラップフィルムの脱着を行う。
【選択図】図2
Description
1a 凹部
1b 凸部
2 ワーク
3 キャリア
10 ワークホルダ
11 調心部材
12 調心部材ホルダ
13 ウェイト
13a テーパ状面
14 ウェイトホルダ
16 定盤
17 研摩パッド(ラップフィルム)
18 吸気孔
19 チャンバ
Claims (2)
- ワークをラップ盤に対して摺動させて研摩するラップ装置において、定盤に研摩パッドをエア吸着してラップ盤を構成したことを特徴とするラップ装置。
- ワークの被研摩面が、動圧軸受装置の軸受面である請求項1記載のラップ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006091641A JP2007260870A (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | ラップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006091641A JP2007260870A (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | ラップ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007260870A true JP2007260870A (ja) | 2007-10-11 |
Family
ID=38634368
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006091641A Pending JP2007260870A (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | ラップ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007260870A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06262512A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-20 | Digital Equip Corp <Dec> | ディスクスライダ保持用の取付け具装置 |
JPH09174421A (ja) * | 1995-12-13 | 1997-07-08 | Quantum Corp | スライダをラッピングするための装置および方法 |
JPH09262758A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Toshiba Corp | 研磨定盤およびそれを用いた研磨装置 |
JPH1177523A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-23 | Matsushita Electron Corp | 基板の研磨装置及び研磨パッドの固定方法 |
-
2006
- 2006-03-29 JP JP2006091641A patent/JP2007260870A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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