JP2007260624A - 真空装置に用いる真空容器及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被処理体Wに対して所定の処理を施すため、或いは前記被処理体を搬送するために内部が真空雰囲気に設定される真空装置が用いられ、プロセスチャンバ4、トランスファチャンバ6やロードロック室10で構成される。プロセスチャンバに用いられる真空容器30は、筒体状に成形された容器本体30Aとこの天井板30Bと底部を閉じる底板30Cとにより構成されており、トランスファチャンバやロードロック室の真空容器32、34も同様に構成される。上記真空容器構成部材をSi含有量が4〜6%の範囲内のアルミニウム合金を用いて鋳造し、アルマイト皮膜を形成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、鋳造法により容器本体を形成することにより、大幅なコストダウンを図ることを可能とすると共に、鋳物で製造することにより、複雑な形状の真空容器を一体的に形成でき、低コストでできるのみならず、リークや接地不良などの心配のない真空装置に用いる真空容器及びこの製造方法を提供することにある。
このように、Si含有量が4〜6%の範囲内のアルミニウム合金を用いて鋳造法により容器本体を形成することにより、従来の削り出しによって形成した場合と同等の特性を維持しつつ大幅なコストダウンを図ることを可能とすると共に、鋳物で製造することにより、複雑な形状の真空容器を一体的に形成でき、低コストでできるのみならず、リークや接地不良などの心配も無くすことができる。
また、例えば請求項3に規定するように、前記真空装置は、前記被処理体に対して真空雰囲気下にて所定の処理を施すためのプロセスチャンバである。
また例えば請求項4に規定するように、前記真空装置は、前記被処理体を真空雰囲気下で搬送するためのトランスファチャンバである。
また例えば請求項5に規定するように、前記真空装置は、前記被処理体を搬送するために真空引き及び大気圧復帰が繰り返されるロードロック室である。
この場合、例えば請求項7に規定するように、前記容器構成部材の表面にアルマイト皮膜を形成するアルマイト工程を有する。
また例えば請求項9に規定するように、前記アルマイト工程の前工程として、前記容器構成部材の表面に存在する共晶Siを除去するSi除去処理を施す。
また例えば請求項10に規定するように、前記Si除去処理は、薬液を用いた化学的処理である。
また例えば請求項11に規定するように、前記Si除去処理は、洗浄水を用いた物理的処理である。
また例えば請求項12に規定するように、前記アルマイト工程の前後には、前記容器構成部材のシール面に引き目加工処理を施す。
Si含有量が4〜6%の範囲内のアルミニウム合金を用いて鋳造法により容器本体を形成することにより、大幅なコストダウンを図ることを可能とすると共に、鋳物で製造することにより、複雑な形状の真空容器を一体的に形成でき、低コストでできるのみならず、リークや接地不良などの心配も無くすことができる。
図1は本発明に係る真空装置の真空容器を用いた処理システムの一例を示す概略平面図、図2は処理システムを示す概略断面図である。
上記プロセスチャンバ4内では、例えば処理ガスが供給されて、真空雰囲気中にて所定の処理、例えば成膜処理等が行われ、所定の処理ガスやN2 ガス等を導入するガス導入部28が設けられる。
上記洗浄やエッチングにより、図3(A)に示すように、容器本体32Aの表面に晶出しているSi40を除去したり、他の付着物を除去する。なお、表面のSi40を除去しないままアルマイト処理を行うと、Siがアルマイト皮膜中に取り込まれるため、表面を拭いた際、黒粉が付着し好ましくない。
これに対して、アルマイト生成性は、溶湯中のSi含有量が少ない程好ましく、Si含有量が多くなる程、その後に形成されるアルマイト皮膜の特性が劣化してしまう。この場合、Si含有量の上限値は6であり、この上限値6よりもSi含有量が多くなると、真空容器の材料としては耐腐食性及び絶縁耐性が過度に低下し、採用することができない。
この結果、上記溶湯の流動性の特性とアルマイト生成性の特性を共に満足させるSi含有量は4〜6%の範囲内であることが確認できた。この場合、より好ましいSi含有量は4.0〜5.0%の範囲内である。
特に、必要とする真空圧が最も低い場合、すなわち高いシール性が要求される場合には、特に、アルマイト処理工程S5の前後に図5に示したようにそれぞれ引き目加工処理S3、S6を加えるのがよい。
下記の表1は引き目加工処理のシール性に対する影響を示すデータである。
これに対して、アルマイト処理の前後でそれぞれ1回ずつ引き目加工処理を行った場合には、従来方法のようにブロック材料から削り出しによって製造した場合と略同等の高いシール性を確保できることが確認できた。
上記実施例では、被処理体として半導体ウエハを例にとって説明したが、これに限定されず、ガラス基板、LCD基板等を処理する真空装置に用いる真空容器にも本発明を適用できるのは勿論である。
4A〜4D プロセスチャンバ(真空装置)
6 トランスファチャンバ(真空装置)
10A,10B ロードロック室(真空装置)
30,32,34 真空容器
30A,32A,34A 容器本体
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (12)
- 被処理体に対して所定の処理を施すため、或いは前記被処理体を搬送するために内部が真空雰囲気に設定される真空装置に用いる真空容器において、
Si含有量が4〜6%の範囲内のアルミニウム合金を用いて鋳造されることを特徴とする真空装置に用いる真空容器。 - 前記真空容器の表面にアルマイト処理が施されていることを特徴とする請求項1記載の真空装置に用いる真空容器。
- 前記真空装置は、前記被処理体に対して真空雰囲気下にて所定の処理を施すためのプロセスチャンバであることを特徴とする請求項1または2記載の真空装置に用いる真空容器。
- 前記真空装置は、前記被処理体を真空雰囲気下で搬送するためのトランスファチャンバであることを特徴とする請求項1または2記載の真空装置に用いる真空容器。
- 前記真空装置は、前記被処理体を搬送するために真空引き及び大気圧復帰が繰り返されるロードロック室であることを特徴とする請求項1または2記載の真空装置に用いる真空容器。
- 被処理体に対して所定の処理を施すため、或いは前記被処理体を搬送するために内部が真空雰囲気に設定される真空装置に用いる真空容器の製造方法において、
前記真空容器を形成する容器構成部材を、Si含有量が4〜6%の範囲内のアルミニウム合金を用いて鋳造によって形成する鋳造工程を有することを特徴とする真空容器の製造方法。 - 前記容器構成部材の表面にアルマイト皮膜を形成するアルマイト工程を有することを特徴とする請求項6記載の真空容器の製造方法。
- 前記鋳造工程の直後に、前記容器構成部材を加熱することにより溶体化処理を施し、次いで人工時効処理を施すことを特徴とする請求項6または7記載の真空容器の製造方法。
- 前記アルマイト工程の前工程として、前記容器構成部材の表面に存在する共晶Siを除去するSi除去処理を施すようにしたことを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の真空容器の製造方法。
- 前記Si除去処理は、薬液を用いた化学的処理であることを特徴とする請求項9記載の真空容器の製造方法。
- 前記Si除去処理は、洗浄水を用いた物理的処理であることを特徴とする請求項9記載の真空容器の製造方法。
- 前記アルマイト工程の前後には、前記容器構成部材のシール面に引き目加工処理を施すことを特徴とする請求項6乃至11のいずれかに記載の真空容器の製造方法。
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