JP2007258706A - 励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生するための装置および方法 - Google Patents
励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生するための装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007258706A JP2007258706A JP2007064148A JP2007064148A JP2007258706A JP 2007258706 A JP2007258706 A JP 2007258706A JP 2007064148 A JP2007064148 A JP 2007064148A JP 2007064148 A JP2007064148 A JP 2007064148A JP 2007258706 A JP2007258706 A JP 2007258706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas discharge
- discharge space
- hollow waveguide
- discharge chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
- H05H1/461—Microwave discharges
- H05H1/4637—Microwave discharges using cables
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/4697—Generating plasma using glow discharges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
【課題】大マイクロ波能力で使用でき同時に気体放電チャンバの有効寿命が長い、プラズマ中で励起および/またはイオン化された粒子を発生する装置および方法を提供すること。
【解決手段】マイクロ波発生器19、中空導波管11、励起された、および/またはイオン化された粒子が形成される気体放電空間14と、気体放電空間14が形成される誘電体13を有する気体放電チャンバ12を有し、気体放電チャンバ12が中空導波管11内に設けられた、励起された、および/またはイオン化された粒子をプロセスガスからプラズマ内で発生するための装置であって、誘電体13が端面側ペース13aを形成し、そこから気体放電空間14を形成しながら側壁13bが延び、マイクロ波が端面側ペース13aに放出可能になっている。
【選択図】図1
【解決手段】マイクロ波発生器19、中空導波管11、励起された、および/またはイオン化された粒子が形成される気体放電空間14と、気体放電空間14が形成される誘電体13を有する気体放電チャンバ12を有し、気体放電チャンバ12が中空導波管11内に設けられた、励起された、および/またはイオン化された粒子をプロセスガスからプラズマ内で発生するための装置であって、誘電体13が端面側ペース13aを形成し、そこから気体放電空間14を形成しながら側壁13bが延び、マイクロ波が端面側ペース13aに放出可能になっている。
【選択図】図1
Description
本発明は、プロセスガスからプラズマ内で励起および/またはイオン化された粒子を発生する装置に関し、当該装置は、電磁波を発生する発生器、中空導波管、気体放電空間を有する気体放電チャンバを有し、気体放電空間内で励起および/またはイオン化された粒子が形成され、気体放電チャンバが誘電体を有し、その中で気体放電空間が形成され、気体放電チャンバが中空導波管内に設けられている。本発明は更にプロセスガスからプラズマ内で励起および/またはイオン化された粒子を発生する方法に関し、当該方法では電磁波が生成され気体放電チャンバの誘電体内に放出され、その際プロセスガスを供給または排気するための気体入口と気体出口を有する気体放電空間が誘電体内に形成され、また、中空導波管内に気体放電チャンバが設けられている。
高出力プラズマ装置は原則的には先行技術から既知である。これらは例えば外部プラズマ源、いわゆる「リモートプラズマ源」として、コーティングチャンバ、エッチングチャンバの洗浄に使用され、この際プラズマが、励起された気体をパイプまたは他の適した供給手段により反応チャンバ内へ導入すべく別個の空間内で生成される。高出力プラズマ装置の他の適用は例えば、装置を直接コーティングチャンバまたはエッチングチャンバに内蔵することである。この際リモートプラズマ源と逆に、所望の結果に達成するためには励起された気体が反応チャンバ内である程度の立体角に渡って均一に分配される点を考慮すべきである。
高効率の高周波プラズマ装置は半導体素子およびマイクロメカ製品のエッチングプロセスおよびコーティングプロセス用使用に適している。このためには特殊プラズマ装置が必要であり、この際プロセスガスは高周波電磁波により最狭空間で分解され、その断片が更に励起される。高出力プラズマ装置を使用することにより、例えばNF3,CF4,C2F6,SF6,O2といったエッチガスがほとんど完全に構成部分に分解され、それにより特に環境にやさしい。電磁波としては一般にマイクロ波が使われる。マイクロ波エネルギーが最狭空間に集積することにより気体放電チャンバの物質は特に高度の熱負荷にさらされ、その際同時に放電チャンバの内部表面もまた、周知のように物質温度とともに指数増加する化学的腐食に曝されている。
既知の高出力プラズマ装置は例えば特開07029889(JP07029889A)に開示されている。ここでは、放電チャンバが中空導波管の部分領域に設けられ、その放電チャンバから離れた端部にはマイクロ波発生器により生成されたマイクロ波が放出される(JP07029889Aの図4参照)。かような装置では、中空導波管領域のマイクロ波が放電チャンバに侵入しなければならず、このことは例えば水冷装置により放電チャンバを被覆することで妨害されるかもしれないため、プラズマ帯域または放電チャンバの効果的冷却が不可能である。マイクロ波が同軸導体システムにより放電チャンバにもたらされ、その際内側導体が気体放電チャンバのほぼ全長に亘って延びるJP07029889Aの図1および図3の高出力プラズマ装置においても、放電チャンバを水冷で完全に被覆することはやはり不可能である。これにより放電チャンバの部分的な高度な熱負荷は回避不可能である。不均等な熱負荷により、一般的には脆性セラミックまたは脆性ガラスからなる放電チャンバの多大な機械的ストレスが結果として生じる。より大きなマイクロ波能力では放電チャンバ内のクラックを引き起こし、その結果上記の装置は大幅に制限された能力においてのみ使用可能である。更に予期される化学的腐食は放電チャンバの強度に加熱された部分では顕著なものである。
したがって本発明の課題は、大マイクロ波能力で使用でき同時に気体放電チャンバの有効寿命が長い、プラズマ中で励起および/またはイオン化された粒子を発生する装置および方法を提供することである。この課題は請求項1の上位概念に記載の装置により解決され、当該装置では誘電体が端面側ベースを形成し、このベースから気体放電空間を形成しながら同様に誘電からなる側壁が延びる。またこの装置は、電磁波が端面側ベースに放出可能に形成されている。
つまり本発明の装置は気体放電チャンバを有し、これがまた誘電体、例えばセラミック、および誘電体内で形成された空洞である気体放電空間からなる。気体放電空間内でプラズマが生成される。本発明の気体放電チャンバは、誘電体が端面側ベースを形成するように構成される。これは、誘電体が気体放電チャンバの端面にベースまたは底部を形成することを意味する。ベースは原則的にはいかなる任意の形状または便宜な形状を有することができ、誘電体からなる。このベースから側壁が延び、これらも同様に誘電体からなる。ベースと側壁はともに空洞を形成し、この空洞は気体放電空間としての役割を果たす。したがって側壁は周回するように形成されていると好都合である。また本発明では発生器で発生する電磁波が気体放電チャンバの端面側ベースに放出される。つまり先行技術と反対に本発明では電磁波は点限定的にまたは局部に限定されてのみ気体放電チャンバに放出されるかまたは導入される。すると電磁波は端面側ベースから気体放電チャンバの残部、つまり誘電体からなる側壁と、マイクロ波により励起される必要な気体が存在する気体放電空間を通過し続けて広がる。
本発明の特殊形態により、また、とりわけ電磁波が気体放電チャンバ内に点限定的にのみ放出されることにより、放電空間で発生する熱をできるだけ均一に冷却流体、例えば水、に排出するために気体放電チャンバがほぼ全面的な冷却機構を有することが可能となる。これにより、プラズマ帯域内で生成された均一な熱供給が冷却機構を通じてやはり均一に排出され、それにより誘電体内の機械的ストレス、例えばセラミック体やガラス体が最小限に抑えられることが確実になる。そのうえ前面冷却により放電チャンバの温度ができるだけ低く抑えられるため、チャンバ材への化学的腐食が最小限に抑えられる。本発明の更なる利点は、励起チャンバまたは放電チャンバの放電空間を、放電チャンバの均一な熱負荷が達成され、それにより機械的ストレスが最小化されるように構成できることである。つまり本発明により全体的に、高出力プラズマ装置の生産性、とりわけ半導体生産装置に使われるものの生産性が向上し、プロセスの環境へのやさしさがアップする。
本発明による装置では電磁波、とりわけ通例かつ公的に許可された周波数である915MHz,2,45GHzまたは5,8GHzを有するマイクロ波が、好適にはそれを通ってマイクロ波発生器の波が気体放電チャンバへと導かれる同軸線の一部である放出ピンにより、気体放電チャンバへ放出される。原則的にはマイクロ波エネルギーの、同軸システムから中空導波管システムへの放出ピンによる内への放出もしくは外への放出が一般的に知られている。本発明による装置では放出ピンの構造は全マイクロ波エネルギーが気体放電チャンバ内に、エネルギーの一部が反射されることなしに放出されるように選択される。この際、誘電体内の波の波及速度がε−1/2(相対誘電率の根)で減少し、それにより放出ピンの寸法と、それと反射面との距離が相応に適応されなくてはならないことを考慮すべきである。例えば相対誘電率が約9のアルミナが誘電体として使われると、誘電体内のマイクロ波の波及速度は空中または真空中の値の3分の1に減り、誘電体とピンの相応の寸法により放出は相応に適応されるため波反射は起こらない。
更に放出ピンは、同軸線から気体放電チャンバの誘電体への過渡時にインピーダンスの飛躍が起こらず、それにより全エネルギーが誘電体内に、反射損が発生することなしに放出されるように寸法付けされ気体放電チャンバの誘電体内にはめ込まれると好都合である。放出ピンが気体放電チャンバの誘電体部分と中空導波管への通路部分における相応した寸法付けにより電磁振動回路として形成されているととりわけ有利である。これによりマイクロ波はとりわけ効果的に気体放電チャンバに供給され得る。これは例えば、放出ピンが誘電体部分と中空導波管通路部分においてその直径と長さが、放出ピンが与えられたマイクロ波周波数において振動回路として作用するように形成することにより達成される。これにより例えば、103の圧力差や、また異なったプロセスガスといった、装置のおよそ可能な限り異なった動作条件が装置の反射された能力に及ぼす影響は無視できるものである。
更に放出ピンの端部が直接密接して、放出ピンと誘電体の間に隙間がないように、誘電体内にはめ込まれると有利である。これによりマイクロ波はとりわけ良好かつ無反射で誘電体内に供給され得る。その上同軸導体内でマイクロ波の表面電流により発生した熱は放出ピンを介して誘電体内に排出され得る。この構成はとりわけマイクロ波能力が高い装置に適している。マイクロ波を放出ピンで放出する他の利点は、能力と圧力に関し装置の動作条件が可及的に異なるにもかかわらず後調整が不要であることである。
放出ピンによりマイクロ波エネルギーを誘電体内へ容量放出する他にもコイルによる誘導放出も可能である。この方法は特に小さめの周波数においてよく適している。そのうえマイクロ波はとりわけ非常に高い周波数においては中空導波管供給によっても誘電体に供給される。
本発明の好適な実施形態では気体放電チャンバは中空導波管をほぼ満たすように形成されている。これは、気体放電チャンバが、中空導波管の内部空間がほぼ完全に気体放電チャンバで覆われるように寸法付けされていることと理解できる。つまり誘電体の外側表面は中空導波管の内側表面に当接し、誘電体の内部にはまた気体放電空間が形成されている。この形成形態は、それにより一方で場所をとらないコンパクトな構造が製造可能であるから有利であり、他方ではこれによりマイクロ波の全エネルギーが気体放電チャンバに集中されたままであるからこのエネルギーは気体放電空間内で消費されることが達成される。中空導波管は通常金属製であり、とりわけこの実施形態では冷却体として形成されると好適である。つまり中空導波管に冷却手段、とりわけ水冷手段を設けると好適である。これは気体放電チャンバをその端面側ベースから気体出口まで取り囲む。マイクロ波が点限定的にのみ気体放電チャンバに放出され、その他の点では、比較的小さく構成され局部限定されたプロセスガス用入口のみが気体放電チャンバ内へ延びるため、冷却手段は気体放電チャンバの表面に大面積で隣接でき、それにより最適な冷却結果が達成できる。
気体放電チャンバを、気体放電空間の端面側ベースに対向する端部に気体放電空間用気体出口が設けられているように形成されると好都合である。また、気体出口を端面側ベースに隣接する気体放電空間の端部に設けると好都合である。それによりプラズマが放電空間全体に亘って均一に広がるようになる。これにより熱負荷は気体放電チャンバ全体に渡って見ると比較的一定に保持され、これがまた誘電体内の破損の防止に寄与する。また、気体放電空間内に導入される全プロセスガスがマイクロ波により把握され、それにより高効率となることが確実である。
気体放電チャンバが中空導波管の長手軸を基準に対称に形成されると好都合である。このような形成は熱負荷の均一分布に貢献し、本発明の装置の製造が簡単になる。
端面側ベースをマッシーフ体、円筒体または半円形体として形成すると有利である。中空導波管の内部形状は、好適には直接端面側ベースに隣接するように相応に適応するべきである。この結果放電空間を側壁との協働で形成するべく有利な形状が生まれ、端面側ベースに放出されたマイクロ波はより均一に全気体放電チャンバを通じて分配され得る。
本発明の更なる実施形態では、気体放電チャンバの側壁は少なくとも一つの断面テーパを有する。この断面テーパが周回するように形成されるととりわけ好適である。とりわけ好適には気体出口部分に設けられた、この少なくとも一つの意図的断面テーパもしくは誘電体断面の縮小により、気体放電チャンバ内に放出されたマイクロ波は断面テーパ部分で誘電体からより多く気体放電空間内へ出ることができ、それにより気体放電空間または気体放電チャンバの端部、つまり気体出口部分で最大放電値が防がれる。かような最大放電値はそこでは気体放電チャンバの破損につながりかねない。
複数の断面テーパを設けると有利であり、その際、誘電体の断面縮小を気体入口から気体出口へ向かって段階的に設けるととりわけ有利である。なぜなら、それにより気体放電チャンバの端面で端面側ベース内に供給されるマイクロ波エネルギーが段階的に気体放電空間に供給され得るからである。ここで、テーパの大きさが気体出口へ向かって増加すると、とりわけ均一でそれにより有利なマイクロ波エネルギー分配が達成できる。つまり、テーパ部分の誘電体の断面は気体出口の方向に減少する。
少なくとも一つの断面テーパが周回する谷部形状、とりわけ周回する環状溝として形成されていると有利である。この環状溝は例えばU字型断面輪郭を有することができ、誘電体の内側に形成されると好適である。
本発明の更なる実施形態においては、気体放電チャンバの側壁を、その断面が気体出口の方向へ恒常的にテーパするよう形成する。これは、端面側ベースの側壁の始点から気体出口におけるその終点までその断面が恒常的に縮小することを意味する。断面のここの恒常的縮小は一定の縮小度または部分的に異なる縮小度でも所定され得る。断面テーパ度が一定であると好適である。これは例えば放電空間の円錐状形成により達成でき、その際側壁の外側は互いに平行に形成されるべきである。これによりマイクロ波は誘電体のテーパ断面から均一に出るためプロセスガスは均一に全円錐空間に亘って励起される。更にこの実施形態においては、円錐のしゅん度が、気体出口が円錐底部の全幅に渡り延びるように形成されている時に気体放電空間から励起された気体が出る立体角を所定すると有利である。立体角は励起されたプロセスガスができるだけ均一に各対象物に渡って分配されるべく所定できる。
本発明の更なる実施形態においては、放電チャンバの側壁が少なくとも一つの、とりわけ周回的に形成された突起を有する。突起は側壁の中空導波管側サイドから突出し、突起の通常U字形の断面の、側壁を越えた周囲は誘電体内の電磁波(λ/2)の波長の半分に相当する。つまり、この周囲はU字形断面の場合、両U字脚の長さとU字脚間の接合片の和から構成される。突起の断面は原則的にはあらゆる他の任意の形状を有することもでき、その際、断面周囲がλ/2に相当することを常に考慮すべきである。この少なくとも一つの突起はマイクロ波遮断素子として作用し、マイクロ波の波及制限の役割を果たす。したがって、この少なくとも一つの突起が気体出口に設けられ、それにより気体放電チャンバの端部に気体流方向に設けられると有利である。これによりマイクロ波の波及は気体放電チャンバの端部、つまり気体出口部分に制限され得る。これにより、マイクロ波が気体放電チャンバから、処理工程に悪影響を与えかねない、対象物を励起されたプロセスガスにより処理されるように設けるべく後続された処理室または反応室の中へ侵入する可能性が防がれる。この少なくとも一つの突起が周回するビード、とりわけ比較的幅の狭い誘電体リングとして形成されるととりわけ好適である。この誘電体リングは誘電体側壁上に載置される。好適にはU字形に形成された少なくとも一つの突起がマイクロ波の波長の半分の断面周囲を有することにより突起の一面にポジティブな半波が、他方の面にネガティブな半波が発生し、これらは重なり合ってゼロに補償される。この結果電磁波が放電チャンバの端面側ベースに対向する端部に到達してそこで破損につながりかねないことが防止される。特に高いマイクロ波能力においては、遮断素子を側壁の断面テーパと組み合わせ、エネルギーが気体出口まで確実に気体放電チャンバ内で消費されるようにするととりわけ好適である。同様に少なくとも一つの突起を、側壁が気体出口の方向へ恒常的にテーパする断面を有して形成される本発明による装置に設けてもよい。
更なる好適な実施形態においては、側壁の内面に少なくとも一つの、とりわけ周回的に形成された肩部を設ける。複数の肩部を相前後して設け、それにより気体放電空間をピラミッド状階段にするととりわけ好適である。その階段を、気体放電空間が気体排出方向へ広がるように設けると有利である。肩部の長さはλ/4誘電体内電磁波路に相当する。それにより肩部に、先行する電磁波と側壁の肩部で反射された逆行電磁波から形成される多数の極大が発生し、その際極大中の気体放電の有効性は意図的に改良されるうえマイクロ波エネルギーは均一間隔で気体放電空間に分配され得る。ピラミッド状に段階づけられた放電空間においては、気体がこの空間から出る立体角は所定可能でありピラミッドの傾斜に相当する。このためには気体出口を段階づけられたピラミッドの全底部に渡って延びるように形成するべきである。それにより立体角は処理対象物の寸法に適合可能である。λ/4の代わりに肩部の長さはλ/4+nλ、n=1,2,3,…,であってもよい。
中空導波管はほぼ平行六面体、円筒形、楕円形または円錐形にすると好適である。中空導波管が円柱形に形成されている時は、中空導波管の直径は端面側ベース部分に、電磁波の臨界波長より大きく、それにより少なくとも基本モードで電磁波が波及することが可能であるよう選択すると有利である。円筒形中空導波管内電磁波の界磁配位は円筒座標で表すと最上である。円筒座標ではベッセル関数が波動方程式の解を与える。気体放電チャンバの放電空間領域でもその直径はマイクロ波の臨界波長より大きくなるよう選択すべきである。中空導波管が平行六面体に形成される時は中空導波管の幅は電磁波のλ/2より大きく所定すると有利である。円形中空導波管の直径を相応に選択することにより、あるいは平行六面体の中空導波管の幅を相応に選択することにより電磁波モードを有利な数だけ形成することが可能となる。
更に中空導波管は部分的に様々な形状を有するように形成することができる。更なる実施形態によれば中空導波管は端面側ベース部分に円筒状に形成され、特に大きな立体角を有する燃焼室もしくは気体放電空間を有する気体放電チャンバを可能とするために、気体放電空間の他の領域で円錐状に広がる。これにより例えば直径が300mmの半導体ウエハのような大面積対象物を励起ガスで非常に均一に処理できる。本発明の更なる実施形態においては、気体放電チャンバの気体放電空間は同様に円錐状に構成され、誘電体の側壁の断面は気体出口の方向へ均一にテーパするためマイクロ波が均一に出ることができる。気体放電空間の端部にはマイクロ波遮断素子が周回環状ビードの形状で設けられている。更にこの実施形態においては側壁の内面に肩部を設けることも可能である。気体放電チャンバを囲む中空導波管の断面は円形、楕円形または長方形に形成すると有利である。
処理対象物の大きさと必要なマイクロ波能力の大きさに関する各要求に応じて大きさの異なる励起室を作り、そのために相当して適したマイクロ波周波数(例えば915MHz、2.45GHzまたは5.8GHz)を選択できる。つまり、例えば915MHzの装置は同じ構造で5.8GHz装置より約6倍大きい。
更なる好適な実施形態においては気体放電チャンバは押圧はめ合いにより中空導波管内にはめ込まれる。それにより気体放電時に発生する熱は冷却ジャケットの気体放電チャンバ上への押圧はめ合いによりとりわけ良好に冷却流体へ運ばれ、それにより気体放電チャンバを非常に良好に冷却できるようになる。
以下本発明により形成された高出力プラズマ装置の典型的適用例を幾つか挙げる。
リモートプラズマ源
コーティングチャンバおよびエッチングチャンバの洗浄のためのプロセス
マイクロ波能力: 2kW〜30kW、好適には2kW〜6kW
周波数: 2.45GHzもしくは915MHz
圧力: 0.5Torr〜5Torr
気体: NF3, C2F6+O2, SF6+O2, Cl2+NF3
コーティングチャンバおよびエッチングチャンバの洗浄のためのプロセス
マイクロ波能力: 2kW〜30kW、好適には2kW〜6kW
周波数: 2.45GHzもしくは915MHz
圧力: 0.5Torr〜5Torr
気体: NF3, C2F6+O2, SF6+O2, Cl2+NF3
円錐状気体出口と比較的大きい立体角を有するプラズマ源
ホトレジスト剥離と対象物エッチング
マイクロ波能力: 0.5kW〜30kW、好適には0.5kW〜4kW
周波数: 2.45GHzもしくは915MHz
圧力: 0.1Torr〜5Torr
気体: O2, N2, フォーミングガス、NF3, CF4
表面の活性化と洗浄
マイクロ波能力: 0.5kW〜30kW、好適には0.5kW〜4kW
周波数: 2.45GHz
圧力: 0.05Torr〜5Torr
気体: O2, N2, H2フォーミングガス, CF4, Ar
ホトレジスト剥離と対象物エッチング
マイクロ波能力: 0.5kW〜30kW、好適には0.5kW〜4kW
周波数: 2.45GHzもしくは915MHz
圧力: 0.1Torr〜5Torr
気体: O2, N2, フォーミングガス、NF3, CF4
表面の活性化と洗浄
マイクロ波能力: 0.5kW〜30kW、好適には0.5kW〜4kW
周波数: 2.45GHz
圧力: 0.05Torr〜5Torr
気体: O2, N2, H2フォーミングガス, CF4, Ar
課題はまた、電磁波が生成され気体放電チャンバの誘電体に放出される、励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内でプロセスガスから発生するための方法で、誘電体内で気体放電チャンバが形成され、この気体放電チャンバがプロセスガスを供給および/または排気する気体入口と気体出口を有する方法により解決される。更に電磁波が誘電体の端面側ベースに放出され、その際端面側ベースと気体出口の間に気体放電空間が設けられている。またこの方法においては、誘電体の適した形態により、端面側ベースで気体放電チャンバに放出された電磁波のエネルギーが気体放電空間内で気体出口に到達するまでに消費される。
以下に記載される様々な実施形態においては同様の構成部分は同じ符号を付ける。図に記載のものは全て本発明の装置の縦断面である。
図1はプロセスガスから励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生する装置10を示す。プラズマ発生装置10は適した材料、とりわけ金属から製造された円筒形に形成された中空導波管11を有する。中空導波管11は同様に円筒形で端面側に閉鎖された端部に半円形に形成された空洞を有し、その中に気体放電チャンバ12が設けられている。気体放電チャンバはまた誘電体13からなる物体と、誘電体13内に形成された気体放電空間14からなる。誘電体13の全外側表面は中空導波管11の内面に隣接している。誘電体13は端面側ベース13aおよび側壁13bからなり、側壁13bは端面側ベース13aから延び空洞はまたは気体放電空間14を形成する。端面側ベース13aは中空導波管11の閉鎖端部に隣接している。側壁13bは周回的に形成されている。また側壁13bは一定幅で周方向に形成され、側壁13bの内側と外側はほぼ互いに平行である。中空導波管11も誘電体13もオープンな自由端を有し、その際開口の寸法はそれぞれほぼ同じであり、両開口は同じ大きさでぴったり重なりあって設けられている。これら開口は気体出口16を形成する。気体出口16の直径は気体放電空間14の直径にほぼ相当する。これは端面側ベース13aに対向して設けられている。気体出口15はまた端面側ベース13aに直接形成され、気体供給機構17と接合され、この気体供給機構17を介して気体が気体放電空間14内にもたらされる。
中空導波管11には開口が設けられ、それを通じて、誘電体13の端面側ベース13aで終結する同軸導体18が延びている。同軸導体18はその端部に放出ピン18aを有し、これは誘電体13に全サイドに隣接するように端面側ベース13aにはめ込まれている。この同軸導体18はマイクロ波発生器19と接合されている。マイクロ波発生器19により発生したマイクロ波は同軸導体18とその放出ピン18aにより端面側ベース13aに放出される。そこからマイクロ波は全気体放電チャンバ12を通じて広がる。同軸導体18は斜め左上からプラズマ発生装置内にもたらされる。中空導波管11内にはその端面側領域にも側壁にも冷却管20があり、その中で冷却流体、とりわけ水が冷却用に気体放電チャンバ12に沿って流れる。冷却管20は気体放電チャンバ12のほぼ全表面部分を覆い、同軸導体18および気体供給機構17によってのみ局部的に中断される。誘電体13の側壁13bの内面には二つの周回的環状溝21が設けられている。環状溝21は長方形断面を有し、長手方向に見ると側壁13bの気体出口16の方を向いた部分に設けられている。上部の環状溝は下部の環状溝より深くない。つまり、下部環状溝部分の誘電体の厚みは上部の環状溝のそれより小さい。
図2に示されたプラズマ発生装置10は図1のそれと反対に断面テーパや環状溝21を有さない。その代わりに誘電体13に二つの周回して形成された突起が設けられ、これらは周回する環状ビード22として形成されている。環状ビード22は側壁13bの下端部に気体出口16部分に設けられている。これらは側壁13bの外面の表面から突出する。中空導波管11には相応の谷部が設けられ、これらは環状ビード22をポジティブフィットではめ込む。環状ビード22はU字形断面を有し、側壁13bにほぼ直交するように存在する。その断面は、ビード断面の周周りが電磁波路λ/2に相当し、その結果ポジティブ半波とネガティブ半波の重なりがゼロに補償され、電波が放電チャンバ23の下端部に到達することが防がれるように寸法付けされる。本発明の図1と図2に示した実施形態はとりわけ、いわゆる「リモートプラズマ源」に有利に適している。
図3に示されたプラズマ発生装置10では側壁13bの内側に肩部24が設けられている。肩部24は端面側ベース13aから気体出口16まで並んで設けられ、周回的に形成されているため、気体放電空間14のピラミッド状もしくは段階上階段が結果生じ、その際気体放電空間14が気体出口16の方へ広がる。一つの肩部はそれぞれほぼ直交して重なり合う鉛直フランクと水平フランク24a、24bを有する。鉛直フランク24aの長さは電磁波路のλ/4である。それにより端面側ベース13aに導入されたマイクロ波のエネルギーは気体放電チャンバ12のオープン端23までに使い尽くされる。
図4に示された装置10では気体放電空間14は円錐状に形成され、その際、円錐先端が端面側ベース13aに接し、円錐の底部が気体出口16を形成する。気体放電空間14を同時に側壁13bの外側を鉛直かつ互いに平行に整合しながら円錐状に形成することにより、端面側ベース13aから気体放電チャンバ23の端部へ向かって側壁13bが恒常的にテーパする。気体放電チャンバ23の端部には環状ビードとして形成された遮断素子22が設けられている。図3でも図4でも励起された気体はそれぞれ円錐または階段状ピラミッドのピッチにより所定された特定の立体角で装置10から出る。それによりこれらの装置では、気体出口に直接接続して処理対象物を有する反応室を設け、処理対象物が完全に励起気体によりカバーされるように気体出口16の下に設けることが提供される。
図5は中空導波管11が端面側ベース13a部分では円筒形に、そして残りの部分、つまり側壁13bを囲む部分では円錐形に形成されるプラズマ発生装置10を示す。更に側壁13bは図4の装置に相応して、断面が気体出口16の方へ向かってテーパするように形成されている。中空導波管も気体放電空間14も円錐状に形成することにより図5の装置10で、そのもとに励起された気体が放電空間14から出るとりわけ大きな立体角が達成できる。また気体出口16の部分に遮断素子として作用する周回環状ビード22が設けられている。
図6に示された装置10は図5の装置に類似して形成されている。違う点は側壁13bの内側には階段状肩部24が設けられていることである。それによりとりわけプラズマ密度の高い規則的ゾーンが作られ、このことは所期のプロセス結果に関してとりわけ有利である。マイクロ波の放電チャンバを越えた波及を遮断するために、この装置においてもまた周回環状ビード22が気体出口16部分に設けられている。図5と図6に示された装置10では同軸導体もしくはそれに設けられた放出ピン18aが端面側ベース13aのサイドに収容される。端面側ベース13aの形成においてはマイクロ波エネルギーの無反射放出を許す形状を選択するよう考慮すべきである。
図7の装置は図6の装置に類似して形成され、その際これと異なって全中空導波管11も全誘電体13も円錐状に形成されている。これは、端面側ベース13aが誘電体13の円錐の先端部分を形成することを意味する。また当該ケースではそれぞれ斜め上から装置10内に延び、気体放電空間14の上部端点で終結する2つの気体供給機構17が設けられている。また図6と反対に同軸導体18は垂直に上から装置10内に収容される。
図8と図10はそれぞれ装置10を示し、この装置10においては端面側ベース13aは完全に誘電体13からなる円筒状体として形成されている。これに側壁13bが気体放電空間14を形成しながら接続される。側壁13bは環状溝21と環状ビード22を有する。気体放電空間14の上端部分は半円形に形成され、その端面は端面側ベース13aに接する。図8では同軸導体18がサイドに、図10では垂直に上から端面側ベース13aに収容される。
図9と図11では図8と図10の装置と反対に端面側ベース13aが半円形に形成されている。気体放電チャンバの端面側ベースの半円形の形成は、反射された能力が装置の全適用において特に少ないため、斜め上からのマイクロ波の放出に特に適している。また図11では放出ピンの代わりにコイル18bが設けられる。それゆえ図11の装置でのマイクロ波エネルギーの端面側ベース13aへの放出は誘導的に行なわれる。両装置において同軸導体18はそれぞれ斜め左上から装置10内に収容される。
図12と図13の装置ではマイクロ波エネルギー発生器19のマイクロ波はそれぞれ中空導波管供給管25を介して端面側ベース13aに放出される。中空導波管供給管25は中空導波管11内の谷部を貫通し、端面側ベース13aの外縁部分で終結するように形成されている。図12の装置では中空導波管供給管25はサイドで、図13の装置では垂直に上から装置10内に収容される。
以下本発明を図面の実施例を参照して記述する
側壁に断面テーパを有する、励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生する装置の概略図。 断面テーパのかわりに側壁から外へ突出する突起が形成された図1の装置の概略図。 相前後して設けられた階段状肩部を有する、励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生する装置の概略図。 側壁が恒常的にテーパする断面を有する、励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生する装置の概略図。 部分的に円錐状の中空導波管を有する、励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生する装置の概略図。 側壁の内側に相前後して設けられた階段状肩部が設けられた図5の装置の概略図。 全中空導波管が円錐状に形成された図6の装置の概略図。 同軸導体がマイクロ波をサイドで端面側ベースに放出した、励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生する装置の概略図。 同軸導体が電磁波を上から斜めに端面側ベースへ放出する、励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生する装置の概略図。 放出が上から行なわれる、図8の装置の概略図。 マイクロ波が誘導放出される、図9の装置の概略図。 マイクロ波が中空導波管供給管によりサイドから放出される、図8の装置の概略図。 放出が上から行なわれる図12の装置の概略図。
Claims (28)
- 電磁波を発生する発生器(19)、中空導波管(11)、励起された、および/またはイオン化された粒子が形成される気体放電空間(14)と、気体放電空間(14)が形成される誘電体(13)を有する気体放電チャンバ(12)を有し、気体放電チャンバ(12)が中空導波管(11)内に設けられた、励起された、および/またはイオン化された粒子をプロセスガスからプラズマ内で発生するための装置であって、誘電体(13)が端面側ペース(13a)を形成し、そこから気体放電空間(14)を形成しながら側壁(13b)が延び、電磁波が端面側ペース(13a)に放出可能であることを特徴とする励起された、および/またはイオン化された粒子をプロセスガスからプラズマ内で発生するための装置。
- 気体放電チャンバ(12)が中空導波管(11)をほぼ満たすことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- プロセスガスを気体放電空間(14)に供給する、および/またはそこから排気するための気体入口(15)および気体出口(16)を有し、気体入口(16)が気体放電空間(14)の端面側ベース(13a)に対向する端部に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の装置。
- 気体入口(15)が気体放電空間(14)の端面側ベース(13a)向き端部に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の装置。
- 気体放電チャンバ(12)が中空導波管(11)の長手軸に関し対称に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の装置。
- 端面側ベース(13a)が円筒状または半円形体として形成されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の装置。
- 気体放電チャンバ(12)の側壁(13b)が少なくとも一つの、とりわけ周回的に形成された断面テーパ(21)を有することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の装置。
- プロセスガスを気体放電空間(14)に供給する、および/またはそこから排気するための気体入口(15)および気体入口(16)を有し、少なくとも一つの断面テーパ(21)が気体出口(16)部分に設けられていることを特徴とする請求項7に記載の装置。
- プロセスガスを気体放電空間(14)に供給する、および/またはそこから排気するための気体入口(15)および気体出口(16)を有し、複数の断面テーパ(21)が設けられ、その際断面テーパ(21)の大きさが気体出口(16)の方向へ増大することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の装置。
- 少なくとも一つの断面テーパ(21)が周回的環状溝形状で形成されていることを特徴とする請求項7から請求項9のいずれかに記載の装置。
- プロセスガスを気体放電空間(14)に供給する、および/またはそこから排気するための気体入口(15)および気体出口(16)を有し、気体放電チャンバ(12)の側壁(13b)が、断面が気体出口(16)の方向へ恒常的にテーパするように形成されていることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれかに記載の装置。
- 気体放電チャンバ(12)の側壁(13b)が、側壁(13b)の中空導波管(11)向きサイドから突出し、その断面周周りが電磁波の半波長に相当する、少なくとも一つのとりわけ周回的に形成された突起(22)を有することを特徴とする請求項1から請求項11のいずれかに記載の装置。
- プロセスガスを気体放電空間(14)に供給する、および/またはそこから排気するための気体入口(15)および気体出口(16)を有し、少なくとも一つの突起(22)が気体出口(16)部分に設けられていることを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 少なくとも一つの突起(22)が周回的ビードとして形成されていることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の装置。
- 側壁(13b)の気体放電空間(14)を向いたサイドに少なくとも一つの、とりわけ周回的に形成された肩部(24)が設けられ、その長さ(24a)が電磁波の波長の4分の1に相当することを特徴とする請求項1から請求項14のいずれかに記載の装置。
- プロセスガスを気体放電空間(14)に供給する、および/またはそこから排気するための気体入口(15)および気体出口(16)を有し、気体出口(16)が気体放電空間(14)の端面側ベース(13a)に対向する端部に設けられ、複数の周回的に形成された肩部(24)が相前後して階段状に、気体放電空間(14)が気体排出方向に広がるように設けられていることを特徴とする請求項15に記載の装置。
- 中空導波管(11)がほぼ平行六面体、円筒体または円錐状に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項16のいずれかに記載の装置。
- 中空導波管(11)が平行六面体に形成され、その際中空導波管(11)の幅が電磁波の波長の半分より大きいことを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 中空導波管(11)が円筒として形成され、その際、円筒直径が電磁波の臨界波長より大きいことを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 中空導波管(11)が部分的に様々な形状で形成されていることを特徴とする請求項1から請求項19のいずれかに記載の装置。
- 中空導波管(11)が端面側ベース(13a)部分では円筒状に、そして気体放電空間(14)部分では円錐状に形成されていることを特徴とする請求項20に記載の装置。
- 気体放電チャンバ(12)が押圧はめ合いで中空導波管(11)内にはめ込まれていることを特徴とする請求項1から請求項21のいずれかに記載の装置。
- 中空導波管(11)に気体放電チャンバ(12)を大面積で覆う冷却機構(20)が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項22のいずれかに記載の装置。
- 電磁波が端面側ベース(13a)に同軸胴体(18)の放出ピン(18a)または放出コイル(18b)で放出可能であることを特徴とする請求項1から請求項23のいずれかに記載の装置。
- 放出ピン(18a)が端部に誘電体(13)に直接隣接して設けられた接合点を有することを特徴とする請求項24に記載の装置。
- 電磁波が端面側ベース(13a)内に中空導波管供給管(25)で放出可能であることを特徴とする請求項1から請求項23のいずれかに記載の装置。
- 電磁波が生成され気体放電チャンバ(12)の誘電体(13)に放出され、その際誘電体(13)内に気体放電空間(14)が形成され、気体放電空間(14)が プロセスガスを供給する、および/またはそこから排気するための気体入口(15)および気体出口(16)を有し、気体放電チャンバ(12)が中空導波管(11)内部に設けられた、励起された、および/またはイオン化された粒子をプロセスガスからプラズマ内で発生するための方法であって、電磁波が誘電体(13)の端面側ベース(13a)内に放出され、その際気体放電空間(14)が端面側ベース(13a)と気体出口(16)の間に設けられていることを特徴とする励起された、および/またはイオン化された粒子をプロセスガスからプラズマ内で生成するための方法。
- 誘電体(13)の適した形態により端面側ベース(13a)内で気体放電チャンバ(12)に放出された電磁波のエネルギーが気体出口(16)に到達するまでに消費されることを特徴とする請求項27に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006006289A DE102006006289A1 (de) | 2006-02-10 | 2006-02-10 | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung angeregter und/oder ionisierter Teilchen in einem Plasma |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007258706A true JP2007258706A (ja) | 2007-10-04 |
Family
ID=38015592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007064148A Pending JP2007258706A (ja) | 2006-02-10 | 2007-02-13 | 励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生するための装置および方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070189918A1 (ja) |
EP (1) | EP1819208B1 (ja) |
JP (1) | JP2007258706A (ja) |
DE (1) | DE102006006289A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013105358A1 (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 表面波プラズマ処理装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090120882A1 (en) * | 2006-05-10 | 2009-05-14 | Heraeus Noblelight Gmbh | Device for Treating Fluids, Especially Water Sterilization, Comprising an Electrodeless Gas Discharge Lamp |
DE102008009624A1 (de) * | 2008-02-18 | 2009-08-20 | Cs Clean Systems Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung der Abgase einer Prozessanlage |
DE102015004414A1 (de) * | 2015-04-02 | 2016-10-06 | Centrotherm Photovoltaics Ag | Plasma-Behandlungsvorrichtung für Wafer |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0282524A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-23 | Anelva Corp | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JPH04214871A (ja) * | 1990-01-16 | 1992-08-05 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JPH08106994A (ja) * | 1991-05-24 | 1996-04-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JP2004039733A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Nisshin:Kk | プラズマ密度情報測定用プローブおよびそれを用いたプラズマ密度情報測定方法並びにその装置、プラズマ密度情報測定用プローブを用いたプラズマ処理方法およびその装置 |
JP2004266268A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法ならびにリモートプラズマ処理装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59130428A (ja) * | 1983-12-16 | 1984-07-27 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマエツチング装置 |
US5010276A (en) * | 1987-10-09 | 1991-04-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Microwave plasma CVD apparatus with plasma generating chamber constituting a cylindrical cavity resonator |
US5202095A (en) * | 1988-12-27 | 1993-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave plasma processor |
US5192717A (en) * | 1989-04-28 | 1993-03-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for the formation of a polycrystalline semiconductor film by microwave plasma chemical vapor deposition method |
JPH0729889A (ja) * | 1993-07-08 | 1995-01-31 | Anelva Corp | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JP3485896B2 (ja) * | 2000-07-11 | 2004-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US20060137613A1 (en) * | 2004-01-27 | 2006-06-29 | Shigeru Kasai | Plasma generating apparatus, plasma generating method and remote plasma processing apparatus |
DE10358329B4 (de) * | 2003-12-12 | 2007-08-02 | R3T Gmbh Rapid Reactive Radicals Technology | Vorrichtung zur Erzeugung angeregter und/oder ionisierter Teilchen in einem Plasma und Verfahren zur Erzeugung ionisierter Teilchen |
-
2006
- 2006-02-10 DE DE102006006289A patent/DE102006006289A1/de not_active Ceased
-
2007
- 2007-02-05 EP EP07002431.0A patent/EP1819208B1/de active Active
- 2007-02-12 US US11/704,978 patent/US20070189918A1/en not_active Abandoned
- 2007-02-13 JP JP2007064148A patent/JP2007258706A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0282524A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-23 | Anelva Corp | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JPH04214871A (ja) * | 1990-01-16 | 1992-08-05 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JPH08106994A (ja) * | 1991-05-24 | 1996-04-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JP2004039733A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Nisshin:Kk | プラズマ密度情報測定用プローブおよびそれを用いたプラズマ密度情報測定方法並びにその装置、プラズマ密度情報測定用プローブを用いたプラズマ処理方法およびその装置 |
JP2004266268A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法ならびにリモートプラズマ処理装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013105358A1 (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 表面波プラズマ処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070189918A1 (en) | 2007-08-16 |
EP1819208B1 (de) | 2015-10-14 |
DE102006006289A1 (de) | 2007-08-23 |
EP1819208A2 (de) | 2007-08-15 |
EP1819208A3 (de) | 2008-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5600394B2 (ja) | マイクロ波プラズマ反応装置 | |
JP5041114B2 (ja) | プラズマ処理におけるマイクロジェットによる低エネルギーイオン発生および輸送のための方法および装置 | |
JP4777717B2 (ja) | 成膜方法、プラズマ処理装置および記録媒体 | |
US7325511B2 (en) | Microwave plasma processing apparatus, microwave processing method and microwave feeding apparatus | |
JP2004055614A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4532897B2 (ja) | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法及び製品の製造方法 | |
KR20010023058A (ko) | 플라스마 처리장치 | |
JP2010258461A (ja) | プラズマ処理装置、およびプラズマ処理装置用の天板 | |
JP2004266268A (ja) | プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法ならびにリモートプラズマ処理装置 | |
JP2012216525A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ発生用アンテナ | |
JP2007258706A (ja) | 励起された、および/またはイオン化された粒子をプラズマ内で発生するための装置および方法 | |
JP5407388B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US20170087602A1 (en) | Method and apparatus for treating substrate | |
JP2007214211A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2010140681A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2008251674A5 (ja) | ||
KR100449524B1 (ko) | 플라즈마 처리방법 및 장치 | |
JPH09171900A (ja) | プラズマ発生装置 | |
JP4418227B2 (ja) | 大気圧プラズマ源 | |
JP7090521B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2005116362A (ja) | マイクロ波励起のプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JPH10255999A (ja) | マイクロ波励起プラズマ装置 | |
JP2007026861A (ja) | リモートプラズマ発生ユニットの電界分布測定装置、リモートプラズマ発生ユニット、処理装置及びリモートプラズマ発生ユニットの特性調整方法 | |
JP4446966B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JPS63122123A (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121002 |