JP2007250377A - 電子顕微鏡、及びそれに取り付けられる電子顕微鏡用試料室 - Google Patents
電子顕微鏡、及びそれに取り付けられる電子顕微鏡用試料室 Download PDFInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 10
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】本発明による電子顕微鏡では、試料室8の一部にアダプタ取り付け用の開口部14を設け、WDX11を備える電子顕微鏡として利用する場合には、当該開口部14に、試料3に対するX線取出し角を常に一定に保ち、ローランド円Xを満足する位置に試料3とWDX11を配置することができる、WDXを取付可能なフランジを備えるアダプタ12を取り付ける。試料3のサイズや試料3の移動範囲および観察範囲の大きい電子顕微鏡として利用する場合は、試料室8の一部を構成し、試料室8の空間を大きくし、搭載できる試料のサイズや試料の移動範囲および観察範囲を大きくすることができるアダプタ13を取り付ける。これにより試料室8そのものを交換しなくても容易に試料室8の形状を変更できるようにした。
【選択図】図3
Description
本発明に係る第1の実施形態について、図3乃至図6を用いて詳細に説明する。図3は、第1の実施形態の電子顕微鏡1に取付位置の制約の大きいWDX11を取り付けた様子を示す、電子顕微鏡1の概略図である。なお、この電子顕微鏡1はWDX11を取り付けられるとともに、後述のように、搭載できる試料のサイズや試料の移動範囲および観察範囲を大きく(搭載試料のサイズに自由度がある)することができるものである。つまり、試料室8をWDX11が取り付けられる大きさにも、WDX11でX線分析するための試料よりも大きい試料を搭載できる大きさにもすることができる。
電子顕微鏡1の試料室8に設けられたアダプタ取付用開口部14に取り付けられるアダプタは、第1の実施形態に限定されるものではない。
2 電子線
3 試料
4 分光結晶
5 受光スリット
6 X線検出器
7 電子光学系
8 試料室
9 試料ステージ
10 2次電子検出器
11 WDX
12 WDX用アダプタ
13 試料観察用アダプタ
14 アダプタ取付用開口部
15 真空配管
16 真空ポンプ
17 複合アダプタ
18 EDX
19 CCDカメラ
Claims (7)
- 内部の真空保持が必要な試料室と、前記試料室内部に設けられた試料を搭載する試料台と、前記試料に電子線を照射するための電子光学系と、前記試料から放出された2次電子を検出する検出部とを備え、
前記試料室には、前記試料室の形状を変更可能とする複数種類のアダプタを取り付けるための開口部が設けられていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 前記複数種類のアダプタは、外部装置を取り付けることができるフランジ部を有するアダプタを含むことを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡。
- 前記外部装置は分光結晶とX線検出器を有する波長分散型X線分析装置であって、
前記フランジは、前記波長分散型X線分析装置によって決定される、前記試料と前記分光結晶と前記X線検出器との配置条件を充足する位置に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の電子顕微鏡。 - 前記複数種類のアダプタは、検出器、観察装置や分析装置を含む複数の外部装置を取り付け可能なフランジを備えるアダプタを含むことを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡。
- 前記複数種類のアダプタは、前記試料台に搭載できる試料のサイズや試料の移動範囲および観察範囲を、外部装置を前記試料室に取り付ける場合よりも大きくすることができるアダプタを含むことを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡。
- 前記複数種類のアダプタは、取付位置に制約があるため試料サイズや試料の移動範囲が制限される波長分散型X線分析装置の取付が可能な、波長分散型X線分析装置の取付け条件に合わせたフランジを備えるアダプタと、搭載できる試料のサイズや試料の移動範囲および観察範囲を前記波長分散型X線分析装置を取り付ける場合よりも大きくすることができるアダプタとを含み、
前記試料室の開口部に取り付けるアダプタを変更することで、前記試料室の形状を変更可能とすることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡。 - 電子顕微鏡に取り付けられる、内部の真空保持が必要な電子顕微鏡用試料室であって、
前記試料室には、前記試料室の形状を変更可能とする複数種類のアダプタを取り付けるための開口部が設けられていることを特徴とする電子顕微鏡用試料室。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006072670A JP4679398B2 (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | 電子顕微鏡及びその試料室に取り付られる部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006072670A JP4679398B2 (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | 電子顕微鏡及びその試料室に取り付られる部材 |
Publications (2)
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---|---|
JP2007250377A true JP2007250377A (ja) | 2007-09-27 |
JP4679398B2 JP4679398B2 (ja) | 2011-04-27 |
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ID=38594432
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4679398B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016121471A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 二次粒子像から分析画像を擬似的に作成する荷電粒子線装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1012176A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Toshiba Corp | 形状観察装置 |
JP2004234960A (ja) * | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Jeol Ltd | 電子プローブマイクロアナライザ |
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JPWO2016121471A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2017-11-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 二次粒子像から分析画像を擬似的に作成する荷電粒子線装置 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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