JP2007235340A - 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部に凹部Cを有する基体1と、この凹部C内に収納され基部1に実装される圧電振動素子2と、圧電振動素子2を実装した基板1の凹部Cを塞いで気密封止する蓋体3とからなる圧電デバイスDであって、圧電振動素子2は、基体1に片持ち梁の状態で長手方向の一方の端部で実装され、他方の端部に磁性体膜10が設けられて構成されている。
【選択図】図2
Description
尚、凹部Cは、前記積層体の上部に配されるセラミックグリーンシートの所定位置、具体的には、各基板1の中央域に空間を形成しておくことによって形成される。
なお、この磁性体膜10は磁石とはならない。
ここで、図2(a)は、基体に圧電振動素子を搭載する前の状態を示す図であり、(b)は圧電振動素子を平行に維持する状態の一例を示す図であり、(c)は本発明の一実施形態に係る圧電デバイスの一例を示す図である。
最初に、図2(a)に示すように、水晶振動素子2に設けられている励振電極2Aから伸びる搭載用の引き出し電極が形成されている端部と反対側の端部の先端に磁性体膜10を形成する。次に、図2(a)に示すように上述した基体1の凹部C内に設けられた搭載パッド6に導電性接着剤9を塗布し、搭載用の引き出し電極が形成されている端部と搭載パッド6とを電気的・機械的に接続して、水晶振動素子2を基体1に搭載する。
図2(b)に示すように、基体1に水晶振動素子2を搭載した状態で、かつ、導電性接着剤9が硬化する前に、平行維持手段11を水晶振動素子2、特に水晶振動素子2に設けた磁性体膜10の上に配置する。
この平行維持手段11は、平行手段本体11Aと水晶振動素子2の先端に設けられた磁性体膜10に当接する凸部11Bとからなり、平行手段本体11Aが基体1の上面に接触しつつ、凸部11Bが水晶振動素子2を基体1の表面と平行となる位置まで張り出した状態となっている。
これにより、平行手段本体11A又は凸部11Bが電磁石となっても水晶振動素子2の磁性体膜10を磁力により引き付けすぎないようにして、水晶振動素子2を基体1の表面と平行にすることができる。
次に、図3(b)に示すように平行維持手段11を用いて、水晶振動素子2を水平状態に維持させながら、導電性接着剤9を硬化させる。
平行維持手段11は、所定の制御に基づきON/OFF制御される。導電性接着剤9の硬化開始時期から制御をONすることによって、水晶振動素子2の先端に形成されている磁性体膜10が平行維持手段11に引き付けられることによって、水晶振動素子2を水平に維持した状態で接合することができる。よって、硬化時に、水晶振動素子2が基体1に接触しないため、安定した発振周波数を出力することが可能となる。
最後に、図3(c)に示すように基体1に蓋体3を搭載し、気密封止する。
このような蓋体3を、基体1の封止用導体パターン4に金錫(Au−Sn)等からなる封止材8を介して載置させ、しかる後、これを例えば、300℃〜350℃の温度に保たれた加熱炉の中に入れ、前記封止材8を高温で加熱・溶融させることによって、蓋体3が基体1に接合される。その後、一体化された基体1と蓋体3は徐々に室温まで冷却される。
また、図3及び図4に示すように、凹部Cを有する基体1を複数個隣接させて、これらをマトリックス状に配置したシート基板12を用いても構わない(図3(a)参照)。
そして、各基体の凹部Cに蓋体3を設けて気密封止する(図4(a)参照)。気密封止をすべて行った後、個片化し、複数の電子デバイスDを得ることができる(図4(b)参照)。
2 水晶振動素子(圧電振動素子)
3 蓋体
4 封止用導体パターン
6 搭載パッド
7 外部端子
8 封止材
9 導電性接着剤
10 磁性体膜
11 平行維持手段
12 シート基板
D 水晶振動子(電子デバイス)
C 凹部
Claims (3)
- 内部に凹部を有する基体と、
この凹部内に収納され前記基部に実装される圧電振動素子と、
前記圧電振動素子を実装した前記基板の凹部を塞いで気密封止する蓋体とからなる圧電デバイスであって、
前記圧電振動素子は、前記基体に片持ち梁の状態で一方の端部で実装され、他方の端部に磁性体膜が設けられて構成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 一方の端部に磁性体膜が形成された圧電振動素子の他方の端部を、凹部が形成された基体の該凹部内に塗布された導電性接着剤上に配置する工程と、
電磁石となる平行維持手段を前記圧電振動素子の上方に配置する工程と、
前記平行維持手段を通電させて電磁石としながら前記圧電振動素子を引き寄せて前記基板の表面と前記圧電振動素子の表面との間が一定に保たれるようにしながら前記導電性接着剤を硬化させる工程と、
前記導電性接着剤が硬化した後に、前記平行維持手段の通電を止めて圧電振動素子から離し、前記基体の凹部を気密封止する工程とから構成されることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 前記基体がマトリックス状に配列されたシート基板となっており、前記平行維持手段が、前記シート基板の全体を覆うように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電デバイスの製造方法。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5465497A (en) * | 1977-11-02 | 1979-05-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator unit |
JPS55613A (en) * | 1978-06-13 | 1980-01-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type oscillator |
JPS58133937A (ja) * | 1982-02-02 | 1983-08-09 | ダイムラ−ベンツ・アクチエンゲゼルシャフト | 車両用車外後写鏡 |
JPH0385213A (ja) * | 1989-08-23 | 1991-04-10 | Nippon Chemicon Corp | チップ型電子部品の包装方法 |
JPH09181433A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面実装電子部品の実装方法及びこれに用いる実装用工具 |
JP2003046356A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-14 | Kinseki Ltd | 圧電振動子の製造方法 |
JP2005295041A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の製造方法 |
JP2005303097A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体素子用トレイ |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5465497A (en) * | 1977-11-02 | 1979-05-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator unit |
JPS55613A (en) * | 1978-06-13 | 1980-01-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type oscillator |
JPS58133937A (ja) * | 1982-02-02 | 1983-08-09 | ダイムラ−ベンツ・アクチエンゲゼルシャフト | 車両用車外後写鏡 |
JPH0385213A (ja) * | 1989-08-23 | 1991-04-10 | Nippon Chemicon Corp | チップ型電子部品の包装方法 |
JPH09181433A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面実装電子部品の実装方法及びこれに用いる実装用工具 |
JP2003046356A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-14 | Kinseki Ltd | 圧電振動子の製造方法 |
JP2005295041A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の製造方法 |
JP2005303097A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体素子用トレイ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016181879A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-13 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電デバイスの製造方法 |
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