JP2007227939A - 発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】順次積層された第1半導体層(n型窒化物半導体層)120と、活性層130と、第2半導体層(p型窒化物半導体層)140と、で構成される窒化物半導体層であって、第2半導体層140から第1半導体層120の一部までメサエッチングを行うことによって第1半導体層120の一部が露出された窒化物半導体層と、第1半導体層120の一部と、活性層130と、第2半導体層140と、を貫通して形成された少なくとも一つの溝180と、を含んで発光素子を構成する。
【選択図】図2
Description
sinθC=N1/N2
I=I0{exp(−αL)}
110 バッファ層
120 n型窒化物半導体層
130 活性層
140 p型窒化物半導体層
150 透明電極
160 p型電極
170 n型電極
180 溝
Claims (20)
- 順次積層された第1半導体層と、活性層と、第2半導体層と、で構成される窒化物半導体層であって、
前記第2半導体層から前記第1半導体層の一部までをメサエッチングすることによって前記第1半導体層の一部が露出された窒化物半導体層と、
前記第1半導体層の一部と、前記活性層と、前記第2半導体層と、を貫通して形成された少なくとも一つの溝と、を含んで構成されることを特徴とする発光素子。 - 前記溝は複数個形成され、
最初の光の強さをI0、物質の吸収係数をα、光が距離Lだけ進行したときの強さをI=I0{exp(−αL)}としたとき、I/I0が0.5以上になるように互いに離隔して形成されることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。 - 前記溝は1〜10マイクロメートルの幅を有することを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記溝は前記窒化物半導体層の垂直線上に対し、0〜70度の角度で傾斜することを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記溝はストライプ状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記第2半導体層上に順次形成される透明電極と、第2電極と、をさらに含み、
前記溝は前記透明電極を貫通して形成されることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。 - 前記透明電極は、Ni/Auの二重層またはTCO(Transparent Conducting Oxide)層からなることを特徴とする請求項6に記載の発光素子。
- 前記第1半導体層の露出部に形成される第1電極をさらに含む請求項1に記載の発光素子。
- 順次形成された第1半導体層と、活性層と、第2半導体層と、で構成される窒化物半導体層と、
前記第2半導体層上に形成されるオーミック層と、
前記オーミック層上に形成される伝導性支持膜と、
前記第1半導体層の一部と、前記活性層と、前記第2半導体層と、前記オーミック層と、を貫通して形成された少なくとも一つの溝と、を含んで構成されることを特徴とする発光素子。 - 前記溝は、複数個形成され、
最初の光の強さをI0、物質の吸収係数をα、光が距離Lだけ進行したときの強さをI=I0{exp(−αL)}としたとき、I/I0が0.5以上になるように互いに離隔して形成されたことを特徴とする請求項9に記載の発光素子。 - 前記溝は1〜10マイクロメートルの幅を有することを特徴とする請求項9に記載の発光素子。
- 前記溝は前記窒化物半導体層の垂直線上に対し、0〜70度の角度で傾斜することを特徴とする請求項9に記載の発光素子。
- 前記第1半導体層上に形成される第1電極をさらに含む請求項9に記載の発光素子。
- 基板上に、バッファ層と、第1半導体層、活性層及び第2半導体層からなる窒化物半導体層と、透明電極と、を順次形成する段階と、
前記透明電極から前記第1半導体層の一部までのメサエッチングによって、前記第1半導体層の一部を露出させる段階と、
前記透明電極から前記第1半導体層の一部までの前記メサエッチングによって、少なくとも一つの溝を形成する段階と、を含んで構成されることを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記バッファ層及び前記窒化物半導体層は、気相蒸着法で形成されることを特徴とする請求項14に記載の発光素子の製造方法。
- 前記溝を形成する段階では、
パターニングされたフォトレジストをマスクとして、前記透明電極及び前記窒化物半導体層をメサエッチングすることを特徴とする請求項14に記載の発光素子の製造方法。 - 前記透明電極及び前記窒化物半導体層の前記メサエッチングは、ICP/RIE方式による乾式エッチングで行われることを特徴とする請求項16に記載の発光素子の製造方法。
- 基板上に、第1半導体層、活性層及び第2半導体層で構成される窒化物半導体層と、オーミック層と、を順次形成する段階と、
前記オーミック層と、前記第2半導体層と、前記活性層と、前記第1半導体層の一部と、を貫通する少なくとも一つの溝を形成する段階と、を含んで構成されることを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記オーミック層上に伝導性支持膜を形成する段階と、
前記基板をレーザーリフトオフ法で除去する段階と、
前記第1半導体層上に第1電極を形成する段階と、をさらに含む請求項18に記載の発光素子の製造方法。 - 前記オーミック層を形成する段階では、
ニッケル及び/または金を酸素雰囲気で熱処理し、10−3〜10−4オーム(ohm)cm2の非接触抵抗を有するオーミック接触を形成することを特徴とする請求項18に記載の発光素子の製造方法。
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