JP2007211292A5 - - Google Patents
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Description
なお、ｐ層シリコン薄膜、ｉ層シリコン薄膜、及びｎ層シリコン薄膜をそれぞれ異なる製膜室６で形成しても良い。更には異なる薄膜製造装置で形成しても良い。また、必要に応じて各層の間に他の薄膜を形成しても良い。そのような他の膜や透明導電膜、裏面導電膜については、本発明の薄膜製造装置を用いなくても良い。また、特に記載していないが、太陽電池として直列集積構造するために、途中工程にＹＡＧレーザーなどを用いた膜のエッチング工程を実施する。
Claims (10)
- 製膜室と、
前記製膜室内に設けられた放電電極と、
前記放電電極に対向するように接地されて設けられ、基板を保持可能な対向電極と、
前記放電電極の給電点に伝送線路を介して高周波電力を供給する高周波電源と、
前記伝送線路の途中に接続され、前記高周波電源と前記放電電極とのインピーダンスを整合する整合器と、
前記放電電極に電気的に接続され、前記放電電極のインピーダンスを調整する電極インピーダンス調整部と
を具備する薄膜製造装置。 - 請求項１に記載の薄膜製造装置において、
前記電極インピーダンス調整部は、インダクタンス素子及びキャパシタンス素子の少なくとも一つである薄膜製造装置。 - 請求項２に記載の薄膜製造装置において、
前記放電電極に対して前記対向電極と反対の側に設けられ、接地された防着板を更に具備し、
前記電極インピーダンス調整部は、一端を前記放電電極に、他端を前記防着板に電気的に接続されている薄膜製造装置。 - 請求項２に記載の薄膜製造装置において、
前記電極インピーダンス調整部は、一端が前記放電電極に電気的に接続され、他端が前記製膜室の外側で接地され、
前記インダクタンス素子及び前記キャパシタンス素子のうちの前記製膜室の外側にあるものはインピーダンスが可変である薄膜製造装置。 - 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の薄膜製造装置において、
前記放電電極は、
互いに略平行に第１方向へ伸びる二本の横電極と、
前記二本の横電極の間に設けられ、互いに略平行に前記第１方向に略垂直な第２方向へ伸びる複数の縦電極と、
前記二本の横電極の間に設けられ、前記複数の縦電極のうちの少なくとも二本を電気的に接続する補助横電極と
を備える薄膜製造装置。 - 請求項５に記載の薄膜製造装置において、
前記補助横電極は、前記第１方向へ伸び、前記複数の縦電極を電気的に接続する薄膜製造装置。 - 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の薄膜製造装置において、
前記高周波電力が供給される前記放電電極の給電点の位置は変更可能である薄膜製造装置。 - 薄膜製造装置を用いた太陽電池の製造方法であって、
前記薄膜製造装置は、
製膜室と、
前記製膜室内に設けられた放電電極と、
前記放電電極に対向するように接地されて設けられ、基板を保持可能な対向電極と、
前記放電電極の給電点に伝送線路を介して高周波電力を供給する高周波電源と、
前記伝送線路の途中に接続され、前記高周波電源と前記放電電極とのインピーダンスを整合する整合器と、
前記放電電極に電気的に接続され、前記放電電極のインピーダンスを調整する電極インピーダンス調整部と
を備え、
前記太陽電池の製造方法は、
（ａ）前記対向電極に基板を保持する工程と、
（ｂ）前記製膜室内に前記供給ガスを導入する工程と、
（ｃ）前記供給ガスを導入しつつ、前記電極インピーダンス調整部によりインピーダンスが調整された前記放電電極と前記対向電極との間に、前記整合器により前記高周波電源と前記放電電極とのインピーダンスの整合をしながら前記高周波電力を印加して、前記供給ガスの前記プラズマを形成し、前記基板上に太陽電池用の薄膜を形成する工程と
を具備する太陽電池の製造方法。 - 請求項８に記載の太陽電池の製造方法において、
前記電極インピーダンス調整部は、一端が前記放電電極に電気的に接続され、他端が前記製膜室の外側で接地され、
前記インダクタンス素子及び前記キャパシタンス素子のうちの前記製膜室の外側にあるものはインピーダンスが可変であり、
前記（ｃ）工程は、
（ｃ１）前記インダクタンス素子、前記キャパシタンス素子及び前記スタブのうちのインピーダンスが可変なものを用いて、前記放電電極のインピーダンスを調整する工程を備える太陽電池の製造方法。 - 請求項８または９に記載の太陽電池の製造方法において、
（ｄ）前記高周波電力が供給される前記放電電極の給電点の位置を変更する工程を更に具備する太陽電池の製造方法。
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