JP2007203705A - 液体吐出ヘッドの駆動方法及び液滴吐出装置の駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】液滴の吐出に影響がない範囲で印可する駆動電圧パルスを設定し、発生するピーク電流を低減する液滴吐出ヘッドの駆動方法及び液滴吐出装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド100の駆動方法は、所定間隔で対向配置されている個別電極31と振動板22との間に、台形状の駆動波形を有する駆動電圧パルスを印加し、これらの電極間に発生する静電気力によって振動板22を駆動させることにより液体圧力変動を発生させ、この液体圧力変動を利用して液滴を吐出させる液体吐出ヘッド100の駆動方法であって、駆動電圧パルスの放電時間の設定値を変更可能にしたことを特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド100の駆動方法は、所定間隔で対向配置されている個別電極31と振動板22との間に、台形状の駆動波形を有する駆動電圧パルスを印加し、これらの電極間に発生する静電気力によって振動板22を駆動させることにより液体圧力変動を発生させ、この液体圧力変動を利用して液滴を吐出させる液体吐出ヘッド100の駆動方法であって、駆動電圧パルスの放電時間の設定値を変更可能にしたことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明は、静電駆動方式の静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドの駆動方法及び液滴吐出装置の駆動方法に関する。
液滴を吐出するための液滴吐出ヘッドとして、たとえばインクジェット記録装置に搭載されるインクジェットヘッドが知られている。一般に、このインクジェットヘッドは、インク滴を吐出するための複数のノズル孔が形成されたノズル基板と、このノズル基板に接合されノズル孔に連通する吐出室や、リザーバ等のインク流路が形成されたキャビティ基板とを備え、吐出室に圧力を加えることによりインク滴を選択されたノズル孔より吐出するように構成されている。このようにインク滴を吐出させる手段としては、静電気力を利用する静電駆動方式や、圧電素子による圧電方式、発熱素子を利用するバブルジェット(登録商標)方式等が存在する。
このうち、静電駆動方式のインクジェットヘッドにおいては、吐出室の底部を振動板としたキャビティ基板と、この振動板に所定のギャップ(空隙)を介して対向する個別電極を形成したガラス基板とを接合させた構成となっている。この個別電極は、振動板の変位を可能とするよう所定のギャップ長を確保するために、たとえばガラス基板の表面に形成された凹部の底面にITO(Indium Tin Oxide)等をスパッタして形成されている。
そして、インク滴を吐出する際には、個別電極に駆動電圧を印加してプラスに帯電させ、対応する振動板に駆動電圧を印加してマイナスに帯電させる。そうすると、この時に生じる静電引力により振動板が個別電極側に弾性変形する。この駆動電圧をオフにすると、振動板が復元する。このとき、吐出室の内部の圧力が急激に上昇し、吐出室内のインクの一部をインク滴としてノズル孔から吐出されることになる。このような静電駆動方式は、圧電素子による圧電方式、発熱素子を利用するバブルジェット(登録商標)方式等と比較して、消費電力が少ないという特徴を有している。
近年、このような静電駆動方式のインクジェットヘッドにおいては、ノズル孔の高密度化及び駆動周波数の高周波化が進行している。そのようなものとして、「ノズルと、該ノズルに連通するインク流路と、該流路の一部に設けられた振動板と、該振動板に対向して設けられた電極とを有し、前記振動板と前記電極間に電気パルスを印加し、前記振動板を静電気力により変形させ、前記ノズルからインク液滴を記録紙に向け吐出し印刷を行うインクジェットヘッドの駆動方法において、前記振動板と前記電極が接触するに十分な電荷を前記振動板、前記電極間に充電する第1のステップと、前記振動板、前記電極間に蓄えられた電荷を急激に放電する第2のステップを有することを特徴とする」インクジェットヘッドの駆動方法が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載のインクジェットヘッドの駆動方法は、振動板と電極との間に蓄えられた電荷が急速に放電されてインク等の液滴が吐出するようになっている。このような静電駆動方式では、インクの吐出時に電荷が急速に放電されるために、この瞬間にのみ急激な電流が流れることになる。この急激な電流は、ピーク電流と呼ばれ、ドライバIC等の駆動回路内にも流れることになる。このピーク電流は、吐出時において瞬間的にのみ流れるために、流れる頻度によっては駆動回路が破壊されることはない。しかしながら、ピーク電流が繰り返し駆動回路内を流れることになると、経時的に駆動回路を破壊してしまうことがある。
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、液滴の吐出に影響がない範囲で印加する駆動電圧パルスを設定し、発生するピーク電流を低減する液滴吐出ヘッドの駆動方法及び液滴吐出装置の駆動方法を提供することを目的とする。
本発明に係る液滴吐出ヘッドの駆動方法は、所定間隔で対向配置されている個別電極と振動板との間に、台形状の駆動波形を有する駆動電圧パルスを印加し、これらの電極間に発生する静電気力によって振動板を駆動させることにより液体圧力変動を発生させ、この液体圧力変動を利用して液滴を吐出させる液体吐出ヘッドの駆動方法であって、駆動電圧パルスの放電時間の設定値を変更可能にしたことを特徴とする。したがって、電荷が急速に放電されることにより発生するピーク電流を、液体吐出性能に影響を与えない範囲で小さくすることが可能となる。
本発明に係る液滴吐出ヘッドの駆動方法は、放電時間を、駆動電圧パルスの印加時間よりも長く設定することを特徴とする。このように、放電時間を長くすると、急速に電荷が放電されずに、放電時に発生していたピーク電流を、液体吐出性能に影響を与えない範囲で小さくすることが可能となる。また、ピーク電流の発生頻度を低減することが可能になる。
本発明に係る液滴吐出ヘッドの駆動方法は、放電時間を、該放電時間と液滴吐出ヘッドが有する固有振動数との関係に基づいて設定することを特徴とする。こうすることによって、液滴吐出ヘッドの有する固有振動数に基づいて、個々の液滴吐出ヘッドに応じた最適な放電時間が設定でき、放電時に発生していたピーク電流を、液体吐出性能に影響を与えない範囲で小さくすることが可能となる。
本発明に係る液滴吐出ヘッドの駆動方法は、放電時間と固有振動数との関係をβ=放電時間/固有振動数で表し、このβの値が、0.15より大きく、0.35より小さい範囲となるように該放電時間を設定することを特徴とする。このように放電時間を設定するので、ピーク電流と吐出性能との均衡を図ることができ、個々の液滴吐出ヘッドに応じた最適な放電時間が設定でき、放電時に発生していたピーク電流を、液体吐出性能に影響を与えない範囲で小さくすることが可能となる。
本発明に係る液滴吐出装置の駆動方法は、上記の液滴吐出ヘッドの駆動方法を用いたことを特徴とする。したがって、上述した液滴吐出ヘッドの駆動方法が有する効果を同様に有することになる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る静電駆動方式の液滴吐出ヘッド100を備えたインクジェットプリンタ150を示す概略構成図である。図1に基づいて、インクジェットプリンタ150の構成について説明する。ここでは、静電駆動方式で駆動する静電アクチュエータを搭載したデバイスの代表としてインクジェットプリンタを例に説明するものとする。また、図1を含め、以下の図面では各構成部材の大きさの関係が実際のものとは異なる場合がある。
図1は、本発明の実施の形態に係る静電駆動方式の液滴吐出ヘッド100を備えたインクジェットプリンタ150を示す概略構成図である。図1に基づいて、インクジェットプリンタ150の構成について説明する。ここでは、静電駆動方式で駆動する静電アクチュエータを搭載したデバイスの代表としてインクジェットプリンタを例に説明するものとする。また、図1を含め、以下の図面では各構成部材の大きさの関係が実際のものとは異なる場合がある。
インクジェットプリンタ150は、被印刷物である記録紙151を副走査方向Yに向けて搬送するプラテン152と、このプラテン152にインクノズル面が対峙し、記録紙151にインクを吐出する液滴吐出ヘッド100と、この液滴吐出ヘッド100を主走査方向Xに向けて往復移動させるためのキャリッジ153と、液滴吐出ヘッド100の各インクノズルにインクを供給するインクタンク154とを有している。プラテン152から主走査方向Xに外れた位置には、ノズルキャップ155が配置されており、このノズルキャップ155はインクポンプ156を介して廃インク回収部157に連通している。
そして、図示省略の送りネジが回転することによって液滴吐出ヘッド100がプラテン152の主走査方向Xに移動する。一方、プラテン152は、図示省略のモータ等により回転駆動されるようになっている。ここでは、液体をインクとして記録紙151に吐出するようにしている場合を例に説明したが、これ限定するものではない。たとえば、カラーフィルタとなる基板に吐出させる用途においては、カラーフィルタ用の顔料を含む液体であってもよい。また、有機化合物等の電界発光素子を用いた表示パネル(OLED等)の基板に吐出させる用途においては、発光素子となる化合物を含む液体であってもよい。さらに、基板上に配線する用途においては、導電性金属を含む液体であってもよい。
図2は、液滴吐出ヘッド100の概略構成を示す断面図である。ここでは、この液滴吐出ヘッド100が、ノズル基板の表面側に設けられたノズル孔から液滴を吐出するフェイスイジェクトタイプである場合を例に説明するものとする。図2に示すように、この液滴吐出ヘッド100は、ノズル基板10、キャビティ基板20及び電極ガラス基板30の3つの基板が順に積層されるように接合された3層構造で構成されている。このキャビティ基板20の一方の面(上面)にはノズル基板10が接合されており、他方の面(下面)には電極ガラス基板30が接合されている。すなわち、キャビティ基板20を電極ガラス基板30とノズル基板10とが上下から挟む構造となっている。
各基板の接合は、たとえば、電極ガラス基板30とキャビティ基板20とは陽極接合により行い、キャビティ基板20とノズル基板10とはエポキシ樹脂等の接着剤を用いて行うとよい。また、液滴吐出ヘッド100の電極ガラス基板30に形成する個別電極31は、図示省略のドライバIC等の駆動回路を有する電力供給手段50によって駆動信号(パルス電圧)が供給されるようになっている。なお、実施の形態では、3層構造の液滴吐出ヘッド100を例に説明するが、これに限定するものではない。つまり、本発明は、静電駆動方式のアクチュエータであれば適用可能である。
[電極ガラス基板30]
電極ガラス基板30は、たとえば、厚さ1mmのホウ珪酸ガラス等のガラスを主要な材料として形成するとよい。ここでは、電極ガラス基板30がホウ珪酸ガラスで形成されている場合を例に示すが、電極ガラス基板30を単結晶シリコンで形成してもよい。この電極ガラス基板30の表面には、後述するキャビティ基板20の吐出室21の形状に合わせて複数のガラス溝32が形成されている。
電極ガラス基板30は、たとえば、厚さ1mmのホウ珪酸ガラス等のガラスを主要な材料として形成するとよい。ここでは、電極ガラス基板30がホウ珪酸ガラスで形成されている場合を例に示すが、電極ガラス基板30を単結晶シリコンで形成してもよい。この電極ガラス基板30の表面には、後述するキャビティ基板20の吐出室21の形状に合わせて複数のガラス溝32が形成されている。
また、このガラス溝32の内部(特に底部)には、固定電極となる個別電極31が、一定の間隔を有してキャビティ基板20の各吐出室21(振動板22)と対向するように作製されている。そして、このガラス溝32は、その一部が個別電極31を装着できるように、これらの形状に類似したやや大きめの形状にパターン形成されている。この個別電極31は、たとえばITO(Indium Tin Oxide:インジウム錫酸化物)を0.1μmの厚さでスパッタして作製するとよい。
さらに、個別電極31は、その一端が電力供給手段50と接続されており、その電力供給手段50から個別電極31に駆動信号が供給されるようになっている。この液滴吐出ヘッド100は、複数の個別電極31が長辺及び短辺を有する長方形状に形成されており、この個別電極31が、互いの長辺が平行になるように配置されている。なお、個別電極31の短辺が長辺に対して斜めに形成されており、個別電極31が細長い平行四辺形状になっている場合には、長辺方向に直角方向に伸びる電極列を形成するようにすればよい。
[キャビティ基板20]
キャビティ基板20は、たとえば厚さ約50μm(マイクロメートル)のシリコン単結晶基板(以下、単にシリコン基板と称する)を主要な材料として構成されている。このキャビティ基板20には、底壁が振動板22となる吐出室(または、圧力室)21が複数形成されている。この吐出室21は、個別電極31の電極列に対応して形成されるようになっている。
キャビティ基板20は、たとえば厚さ約50μm(マイクロメートル)のシリコン単結晶基板(以下、単にシリコン基板と称する)を主要な材料として構成されている。このキャビティ基板20には、底壁が振動板22となる吐出室(または、圧力室)21が複数形成されている。この吐出室21は、個別電極31の電極列に対応して形成されるようになっている。
また、キャビティ基板20には、各吐出室21にインク等の液滴を供給するためのリザーバ23が形成されている。このリザーバ23の底面には、リザーバ23の底面を貫通する図示省略の液体取り入れ口が形成されている。このリザーバ23から各吐出室21に液滴を移送するために、リザーバ23と各吐出室21とを連通するオリフィス24が、キャビティ基板20とノズル基板10との間に形成されている。
さらに、キャビティ基板20の下面(電極ガラス基板30と対向する面)には、振動板22と個別電極31との間を電気的に絶縁するためのTEOS膜(ここでは、Tetraethyl orthosilicate Tetraethoxysilane:テトラエトキシシラン(珪酸エチル)を用いてできるSiO2 膜をいう)からなる絶縁膜をプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition:TEOS−pCVDともいう)法を用いて、0.1μm成膜している。これは、振動板22の駆動時における絶縁破壊及びショートを防止するためと、インク等の液滴によるキャビティ基板20のエッチングを防止するためのものである。
ここでは、絶縁膜がTEOS膜である場合を例に説明したが、これに限定するものではなく、絶縁性能が向上する物質であればよい。たとえば、Al2O3(酸化アルミニウム(アルミナ))を用いてもよい。また、キャビティ基板20には、電力供給手段50から振動板22に個別電極31と反対の極性の電荷を供給する際の端子となる共通電極端子27が設けられている。
なお、振動板22は、高濃度のボロンドープ層で形成するようにしてもよい。水酸化カリウム水溶液等のアルカリ溶液による単結晶シリコンのエッチングにおけるエッチングレートは、ドーパントがボロンの場合、約5×1019atoms/cm3 以上の高濃度の領域において、非常に小さくなる。このため、振動板22の部分を高濃度のボロンドープ層とし、アルカリ溶液による異方性エッチングによって吐出室21を形成する際に、ボロンドープ層が露出してエッチングレートが極端に小さくなる、いわゆるエッチングストップ技術を用いることにより、振動板22を所望の厚さに形成することができる。
[ノズル基板10]
ノズル基板10は、たとえば厚さ約100μmのシリコン基板を主要な材料として構成されている。そして、キャビティ基板20の上面(電極ガラス基板30を接合する面の反対面)と接合している。ノズル基板10の上面には、吐出室21と連通するノズル孔11が複数形成されている。各ノズル孔11は、吐出室21から移送されたインク液滴12を外部に吐出するようになっている。なお、ノズル孔11を複数段状(たとえば、2段)やテーパ状で形成すると、インク液滴12を吐出する際の直進性の向上が期待できる。
ノズル基板10は、たとえば厚さ約100μmのシリコン基板を主要な材料として構成されている。そして、キャビティ基板20の上面(電極ガラス基板30を接合する面の反対面)と接合している。ノズル基板10の上面には、吐出室21と連通するノズル孔11が複数形成されている。各ノズル孔11は、吐出室21から移送されたインク液滴12を外部に吐出するようになっている。なお、ノズル孔11を複数段状(たとえば、2段)やテーパ状で形成すると、インク液滴12を吐出する際の直進性の向上が期待できる。
ここでは、ノズル孔11を有するノズル基板10を上面とし、電極ガラス基板30を下面として説明しているが、実際に用いられる場合には、ノズル基板10の方が電極ガラス基板30よりも下面となることが多い。なお、実施の形態では、キャビティ基板20にオリフィス24を形成した場合を例に示したが、ノズル基板10にオリフィス24を形成するようにしてもよい。また、ノズル基板10には、振動板22によりリザーバ23側の液体に加わる圧力を緩衝するためのダイヤフラムを設けるとよい。さらに、振動板22と個別電極31との間に形成される空隙(ギャップ)は、湿気や埃等が侵入しないようエポキシ樹脂等の封止材40で気密に封止されている。
ここで、液滴吐出ヘッド100の動作について説明する。リザーバ23には、図示省略のインク供給穴を介して外部からインク等の液滴が供給されている。また、吐出室21には、オリフィス24を介してリザーバ23から液滴が供給されている。そして、ドライバIC等の電力供給手段50によって選択された個別電極31には0V〜40V程度のパルス電圧が印加され、その個別電極31を正に帯電させる。
このとき、共通電極端子27を介してキャビティ基板20には負の極性を有する電荷が供給され、正に帯電された個別電極31に対応する振動板22を相対的に負に帯電させる。そのため、選択された個別電極31と振動板22との間では静電気力が発生することになる。そうすると、振動板22は、静電気力によって個別電極31側に引き寄せられて撓むことになる。これによって吐出室21の容積が増大する。
その後、個別電極31への電荷の供給を止めると、振動板22と個別電極31との間の静電気力がなくなり、振動板22はその弾性力により元の状態に復元する。振動板22に電荷の供給を止めたときから、振動板22が元の状態に復元するまでに要する時間は、放電時間や立下がり時間等(図5参照)と称されている。このとき、吐出室21の容積が急激に減少するため、吐出室21内部の圧力が急激に上昇する。これにより、吐出室21内のインクの一部がインク液滴12としてノズル孔11より吐出されることになる。このインク液滴12が、たとえば記録紙151に着弾することによって印刷等が行われるようになっている。その後、新たな液滴がリザーバ23から吐出室21内に補給され、初期状態に戻る。
図3は、インクジェットプリンタ150の制御系を示す概略ブロック図である。図3に基づいて、液滴吐出ヘッド100を備えたインクジェットプリンタ150の制御系について説明する。インクジェットプリンタ150は、液滴吐出ヘッド100を駆動制御するための駆動制御装置110を有している。この駆動制御装置110は、CPU61を中心に構成された制御部60を備えている。
CPU61には、パーソナルコンピュータや遠隔制御装置(リモコン)、操作部等の外部装置70から印刷情報が入力されるようになっている。この印刷情報は、バス71を介して入力されたり、赤外線信号等の無線信号で入力されたりするようになっている。また、CPU61には、内部バス65を介してROM62、RAM63、キャラクタジェネレータ64及び論理ゲートアレイ66が接続されている。
CPU61では、RAM63内の記憶領域を作業領域として用いて、ROM62内に格納されている制御プログラムを実行し、キャラクタジェネレータ64から発生するキャラクタ情報に基づき、液滴吐出ヘッド100を駆動するための制御信号を生成する。制御信号は、論理ゲートアレイ66及び駆動パルス発生回路67を介して、印刷情報に対応した駆動制御信号となって、コネクタ75を経由して液滴吐出ヘッド100に内蔵された電力供給手段50に供給されるほか、COM発生回路68にも供給される。
また、ドライバIC等の電力供給手段50には、印字用の駆動パルス信号V3、制御信号LP、極性反転制御信号REV等(図4参照)も供給されるようになっている。なお、COM発生回路68は、たとえば駆動パルスを発生するための共通電極IC等で構成するとよい。COM発生回路68では、供給された各信号に基づき、液滴吐出ヘッド100の共通電極端子27、すなわち各振動板22に印加すべき駆動信号をその図示省略の共通出力端子COMから出力するようになっている。
また、電力供給手段50では、供給された各信号及び電源回路80から供給される駆動電圧Vpに基づき、各個別電極31に印加すべき駆動信号を、各個別電極31に対応した個数の個別出力端子SEGから出力するようになっている。そして、共通出力端子COMの出力と個別出力端子SEGの出力との電位差が、各振動板22とそれに対向する個別電極31との間に印加されるようになっている。振動板22の駆動時(液滴の吐出時)には指定された向きの駆動電位差波形を与え、非駆動時には駆動電位差を与えないようになっている。
図4は、電力供給手段50及びCOM発生回路68の内部構成の一例を示す概略ブロック図である。なお、電力供給手段50及びCOM発生回路68は、1組で64個の個別電極31及び振動板22に駆動信号を供給するものとする。また、電力供給手段50が、電源回路80から高電圧系の駆動電圧Vp及び論理回路系の駆動電圧Vccが供給されて動作するCMOSの64ビット出力の高耐圧ドライバである場合を例に示している。
電力供給手段50は、供給された駆動制御信号に応じて、駆動電圧パルスとGND電位の一方を、個別電極31に印加する。電力供給手段は、64ビットのシフトレジスタ81を有し、シフトレジスタ81はシリアルデータとして論理ゲートアレイ66より送信された64ビット長のDI信号入力を、DI信号に同期する基本クロックパルスであるXSCLパルス信号入力によりデータをシフトアップし、シフトレジスタ81内のレジスタに格納するスタティクシフトレジスタとなっている。DI信号は、64個の個別電極31のそれぞれを選択するための選択情報をオン/オフにより示す制御信号であり、この信号がシリアルデータとして送信される。
また、電力供給手段50は、64ビットのラッチ回路82を有し、ラッチ回路82はシフトレジスタ81内に格納された64ビットデータを制御信号(ラッチパルス)LPによりラッチしてデータを格納し、格納されたデータを64ビット反転回路83に信号出力するスタティクラッチである。ラッチ回路82では、シリアルデータのDI信号が各振動板22の駆動を行うための64セグメント出力を行うための64ビットのパラレル信号へと変換される。
反転回路83では、ラッチ回路82から入力される信号と、REV信号との排他的論理和をレベルシフタ84へ出力する。レベルシフタ84は、反転回路83からの信号の電圧レベルをロジック系の電圧レベル(5Vレベル又は3.3Vレベル)からヘッド駆動系の電圧レベル(0〜45Vレベル)に変換するレベルインターフェイス回路である。SEGドライバ85は、64チャンネルのトランスミッションゲート出力となっていて、レベルシフタ84の入力によりSEG1〜SEG64のセグメント出力に対して、駆動電圧パルス入力か又はGND入力のいずれかを出力する。COM発生回路68に内蔵されたCOMドライバ87は、REV入力に対して駆動電圧パルスか又はGND入力のいずれかをCOMへ出力する。
XSCL、DI、LP及びREVの各信号は、ロジック系の電圧レベルの信号であり、論理ゲートアレイ66より電力供給手段50に送信される信号である。このように、電力供給手段50及びCOM発生回路68を構成することにより、駆動するセグメント数(振動板22の数)が増加した場合においても容易に液滴吐出ヘッド100の振動板22の駆動する駆動電圧パルスとGNDとを切り替えることが可能となる。
図5は、駆動パルス発生回路67で生成される駆動電圧パルス波形を説明するための説明図である。図5に基づいて、個別電極31及び共通電極端子27に印加される駆動電圧の波形について説明する。この駆動パルス発生回路67は、図5に示すような台形状の駆動波形を生成して電力供給手段50に出力するようになっている。つまり、個別電極22及び共通電極端子27に台形状の駆動波形を有する駆動電圧パルスが印加されると(印加電圧Va )、その個別電極31と振動板22との間に静電気力が発生し、振動板22が個別電極31側に撓むことになる。その後、電圧の印加を止めると、振動板22と個別電極31との間の静電気力がなくなり、振動板22はその弾性力により元の状態に復元する。
ここでは、電圧の印加を止めたときを0(以下の説明における時間の起点とする)とし、静電気力がなくなるまでの立ち下がり時間を放電時間td として示している。この放電開始直後に、電荷が急激に放電されるために、この瞬間にのみ急激な電流が流れることになる。この電流は、ピーク電流と呼ばれ、電力供給手段50にも流れることになる。このピーク電流は、瞬間的に流れるので、発生頻度が低い場合は特に問題とならない。しかしながら、発生頻度が高くなる場合には、経時的に電力供給手段50を破壊することになる。
そこで、インク液滴12の吐出に影響を与えずに、ピーク電流を小さくすることが望ましい。このピーク電流を小さくするには、放電時間td の設定値を長くするように設定すればよい(詳細については、図6で説明する)。ただし、ピーク電流を小さくするには、単に放電時間td 長くすればよいということではなく、放電時間td と液滴吐出ヘッド100の有する固有振動数との関係も考慮しなければならない(詳細については、図7で説明する)。
図6は、放電時間td と液滴吐出ヘッド100の固有振動数との関係を変化させたときの放電時電流の波形を示す説明図である。ここで、(放電時間td )/(液滴吐出ヘッド100の固有振動数)をβとして、放電時間td と液滴吐出装置100の固有振動数との割合を定義して以下の説明で使用する。放電時間が開始したとき(つまり、図5で示す0)より、振動板22は自由振動により振動する。その振動の値は、式(1)により算出できる。
x(t)は振動板22の変位(自由振動)を、gはギャップ量(つまり、当接時の振動板22の変位量)を、ω0 は液滴吐出ヘッド100の固有振動数を、tは時間をそれぞれ表している。
次に、平行平板(つまり、振動板22及び個別電極31)に蓄えられる静電気容量は、式(2)により算出できる。
C(t)は静電気容量を、Sは振動板22の平面面積を、ε0 はギャップ内の空気の誘電率を、tsは絶縁膜の厚みを、ε1は絶縁膜の比誘電率をそれぞれ表している。
また、台形状の放電電圧は、式(3)により算出できる。
V(t)は放電電圧を、Va は上述した印加電圧をそれぞれ表している。そして、駆動回路内を流れる電荷は、式(4)により算出できる。
Q(t)は回路内電荷を、C(t)は上述した静電気容量を、V(t)は上述した台形状の放電電圧をそれぞれ表している。
この図6に示すグラフは、ある諸元寸法によって製造された液滴吐出ヘッド100に対して、放電時間td を変動させたとき、つまりβの値を変動させたときの放電時電流(縦軸)を放電開始から時間(横軸)に対して計算したものである。このβの値を、(a)が0.01、(b)が0.02、(c)が0.03、(d)が0.04、(e)が0.05、(f)が0.1、(g)が0.15、(h)が0.2、(i)が0.25、(j)が0.3、(k)が0.4、(l)が0.5とした場合の放電時電流の波形を表している。図6に示すとおり、βの値を変化させたとしても放電開始からある時間においての電流値が最大となることがわかる。そして、この電流の最大値がピーク電流である。
図6から明らかなように、βの値が大きくなると、ピーク電流も小さくなる。すなわち、βの値が0.01の場合ではピーク電流が大きく、βの値が0.02、0.03、0.04、0.05と大きくなるにしたがってピーク電流が小さくなっていることがわかる。このβの値を大きくするには、液滴吐出ヘッド100の固有振動数に対しての放電時間td を長くすればよいことになる。このように、βの値を設定することにより、液滴吐出ヘッド100が有する固有振動数に対応して、液滴吐出ヘッド100毎に放電時間td を設定できる。
しかしながら、放電時間td を長くすると、放電開始直後での静電吸引力が大きいため、振動板22が自由振動しながら個別電極31から離脱しなくなるという現象が発生する。このような場合は、振動板22の復元力が吐出室21内のインクに対して効果的に圧力を発生させることができずに、吐出するインク液滴12の速度が低下したり、吐出するインク液滴12の量が少なくなったりすることになる。このため、インクジェットプリンタ150の印刷性能が低下し、適正な印刷ができなくなってしまうことになる。
したがって、放電時間td を一定以上に長くすることはできないということがわかる。そこで、放電時間tdの長さは、放電時間tdの長さと、ピーク電流の大きさとの関係からを決定するとよい。実験を重ねた結果、βの値を概ね0.35より大きく(β>0.35)すると、上述したような問題が発生することがわかった。そうすると、βの値は、0.35よりも小さくなるように(β<0.35)設定することが望ましい。
図7は、βの値と放電時におけるピーク電流との関係を示す説明図である。図7では、液滴吐出ヘッド100のヘッド構成及び印加電圧Va を種々変化、つまり条件を種々変化させた場合(ここでは、条件1〜条件7として表している)におけるβの値とピーク電流との関係を示している。図7では、βの値を0.025に対して規格化している場合を表している。また、縦軸が放電時におけるピーク電流の割合を、横軸がβの値として示している。
ここでは、条件1〜条件7までしか示していないが、これ以上の条件でβの値とピーク電流との関係を計測しても、この7つの条件の範囲内に収束することがわかった。つまり、ヘッド構成及び印加電圧Va を種々変化させても、図7に示す7つの条件の範囲内に該当することになる。そして、図7に示す通り、放電時のピーク電流は、βの値が大きくなると急激に小さくなる。すなわち、いずれの条件においてもβの値を大きくすればピーク電流が小さくなる。
しかしながら、βの値を所定の値より大きくしたとしても、その値以降、ピーク電流にはほとんど変化がなくなってしまう。そこで、βの値は、液滴吐出ヘッド100の構成と印加電圧Va との関係からを決定するとよい。実験を重ねた結果、βの値を概ね0.15より大きく(β>0.15)すると、ピーク電流がそれ以上小さくならないということがわかった。そこで、βの値は、β>0.15の範囲で設定すればよい。
図6及び図7の関係から、β((放電時間td )/(ヘッド固有振動数))は、0.15<β<0.35の範囲に設定することが最適である。つまり、駆動パルス発生回路67は、βの値がこの範囲となるように台形状の駆動波形を生成、詳細には放電時間td を調整して電力供給手段50に出力するとよい。そうすれば、インク液滴12の吐出に影響を与えることなく、放電時に発生するピーク電流の値を小さくすることが可能になる。
なお、更に詳細なβの値は、上記に示す範囲の中から、抵抗値(抵抗成分の影響)等を考慮して実機で調整するとよい。また、βの値は、放電時間td と、液滴吐出ヘッド100の有するヘッド固有の振動数との関係によって設定可能なので、液滴吐出ヘッド100毎に最適なβの値を設定することができる。さらに、実施の形態では、静電駆動方式のアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド100を例に説明したが、静電駆動方式のアクチュエータを備えたものであればよい。
この実施の形態によれば、液滴吐出ヘッド100の駆動時における放電時のピーク電流を、インク液滴12の吐出に影響の無い範囲で最小とすることができる。これにより、多ノズル化した液滴吐出ヘッド100や駆動周波数を高周波で駆動した場合においても、ドライバIC等の駆動回路を有する電力供給手段50に流れるピーク電流を小さくすることが可能となる。したがって、ピーク電流による経時的な電力供給手段50の破壊の発生を低減することが可能となる。また、安価な電力供給手段50を選定することが可能となり、インクジェットプリンタ150全体に要するコストを低減できる。
実施の形態では、液滴吐出ヘッド100が電極ガラス基板30、キャビティ基板20及びノズル基板10の3つの基板が積層されて構成されている場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。たとえば、リザーバ基板を追加して4つの基板が積層されて構成される4層構造の液滴吐出ヘッドについても適用することができる。また、液滴吐出ヘッド100は、ノズル基板10の上面に設けたノズル孔11からインク液滴12を吐出させるフェイスエジェクトタイプである場合を例に説明したが、インク液滴12を基板の端部に設けたノズル孔から吐出させるエッジエジェクトタイプでもよい。
さらに、実施の形態では、液体をインクとしてプリント紙110に吐出するようにしている場合を例に説明したが、液滴吐出ヘッド100をディスペンサとし、生体分子のマイクロアレイとなる基板に吐出する用途に用いてもよい。この場合では、DNA(Deoxyribo Nucleic Acids:デオキシリボ核酸)や、RNA(Ribo Nucleic Acid:リボ核酸)、PNA(Peptide Nucleic Acids:ペプチド核酸)等のタンパク質プローブを含む液体を吐出させるようにするとよい。その他、布等の染料の吐出等にも利用することができる。
10 ノズル基板、11 ノズル孔、12 インク液滴、20 キャビティ基板、21 吐出室(圧力室)、22 振動板、23 リザーバ、24 オリフィス、27 共通電極端子、30 電極ガラス基板、31 個別電極、32 ガラス溝、40 封止材、50 電力供給手段、60 制御部、61 CPU、62 ROM、63 RAM、64 キャラクタジェネレータ、65 内部バス、66 論理ゲートアレイ、67 駆動パルス発生回路、68 COM発生回路、70 外部装置、71 バス、75 コネクタ、80 電源回路、81 シフトレジスタ、82 ラッチ回路、83 反転回路、84 レベルシフタ、85 SEGドライバ、86 COM発生回路、87 COMドライバ、100 液滴吐出ヘッド、110 駆動制御装置、150 インクジェットプリンタ、151 記録紙、152 プラテン、153 キャリッジ、154 インクタンク、155 ノズルキャップ、156 インクポンプ、157 廃インク回収部。
Claims (5)
- 所定間隔で対向配置されている個別電極と振動板との間に、台形状の駆動波形を有する駆動電圧パルスを印加し、これらの電極間に発生する静電気力によって前記振動板を駆動させることにより液体圧力変動を発生させ、この液体圧力変動を利用して液滴を吐出させる液体吐出ヘッドの駆動方法であって、
前記駆動電圧パルスの放電時間の設定値を変更可能にしている
ことを特徴とする液滴吐出ヘッドの駆動方法。 - 前記放電時間を、前記駆動電圧パルスの印加時間よりも長く設定する
ことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの駆動方法。 - 前記放電時間を、該放電時間と前記液滴吐出ヘッドが有する固有振動数との関係に基づいて設定する
ことを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出ヘッドの駆動方法。 - 前記放電時間と前記固有振動数との関係をβ=放電時間/固有振動数で表し、
このβの値が、0.15より大きく、0.35より小さい範囲となるように該放電時間を設定する
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの駆動方法。 - 前記請求項1〜4のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの駆動方法を用いた
ことを特徴とする液滴吐出装置の駆動方法。
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