JP2009190241A - 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構成でありながら、より低い電圧でより大きな振動板４の変位を得ることができる静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】変形可能で電極となる振動板４と、振動板４に対向して所定のギャップを介して配設された第１対向電極１１と、振動板４の第１対向電極１１側の表面の一部に形成された圧電体膜Ａ１０１と、振動板４の第１対向電極１１と反対側の表面の一部に形成された圧電体膜Ｂ１０２と、第２圧電体膜の表面に形成された第２対向電極１０３とを備えたものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、インクジェットヘッド等の駆動機構として用いられている静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関するものである。

インクジェット記録装置は、高速印字が可能、記録時の騒音が極めて小さい、インクの自由度が高い、安価な普通紙を使用できる等の多くの利点を有する。近年、インクジェット記録装置の中でも、記録が必要なときにのみインク液滴を吐出する、いわゆるインク・オン・デマンド方式のインクジェット記録装置が主流となっている。このインク・オン・デマンド方式のインクジェット記録装置は、記録に不要なインク液滴の回収を必要としない等の利点がある。

このインク・オン・デマンド方式のインクジェット記録装置には、インク液滴を吐出させる方法として、駆動手段に振動板とそれに対向する対向電極を備えた静電アクチュエータを利用した、いわゆる静電駆動方式のインクジェット記録装置がある。また、駆動手段に圧電素子（ピエゾ素子）を利用した、いわゆる圧電駆動方式のインクジェット記録装置や、発熱素子等を利用した、いわゆるバブルジェット（登録商標）方式のインクジェット記録装置等がある。

静電駆動方式の記録装置のインクジェットヘッドは、振動板と対向電極とを帯電させることにより、振動板を対向電極側に吸引して撓ませ、その後、帯電を停止させて振動板を元の状態に復帰させることでインク吐出圧力を得ている。この際、振動板が対向電極に貼り付かないように、振動板と対向電極との間には、短絡を防止するための絶縁膜が形成されている。

このような静電駆動方式のインクジェットヘッドでは、できるだけ低い電圧で振動板を大きく変位させて、多くの液滴を吐出させることが効率的である。このため、振動板を駆動するための対向電極を、振動板の短辺または長辺方向に沿って階段状に形成することで、比較的低い電圧でより大きな振動板の変位を得る等の発明が従来から提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００−３１８１５５号公報（第２頁、図２等）

しかしながら、特許文献１のように対向電極を階段状に形成することは、対向電極を形成している電極基板に予め複数の段差を形成すること等が必要となり、その構造も複雑化する。

本発明は、上記課題に鑑み、簡易な構成でありながら、より低い電圧でより大きな振動板の変位を得ることができる静電アクチュエータを提案し、さらに、それを利用した液滴吐出ヘッドや液滴吐出装置を得ることを目的とする。

本発明に係る静電アクチュエータは、変形可能で電極となる振動板と、振動板に対向して所定のギャップを介して配設された第１対向電極と、振動板の第１対向電極側の表面の一部に形成された第１圧電体膜と、振動板の第１対向電極と反対側の表面の一部に形成された第２圧電体膜と、第２圧電体膜の表面に形成された第２対向電極とを備えたものである。
この構成の静電アクチュエータは、振動板、第１対向電極及び第２対向電極にそれぞれ対応の電圧波形を印加すると、圧電体膜が歪むため、それに伴って（それに起因して）振動板が撓み、振動板と第１対向電極との間のギャップが狭まる。さらに、その狭くなったギャップに静電力が作用して、振動板が第１対向電極側に撓む。静電力はギャップの２乗に反比例するため、ギャップが狭くなった分少ない電圧で振動板を変位させることができる。これにより、従来必要とされた電圧より低い電圧で大きな振動板の変位を得ることが可能となる。

また、本発明に係る静電アクチュエータは、振動板と第１対向電極と第２対向電極とにそれぞれ対応の電圧波形を印加する電圧印加手段を備え、電圧印加手段は、振動板と第２対向電極間の電位差が０となり、振動板と第１対向電極間に電位差が生じるように各電圧波形を印加する第１駆動方法を有し、第１駆動方法によって振動板と第１対向電極間に発生する静電吸引圧力により、振動板を第１対向電極側に撓ませるものである。
このようにして、振動板を変位させることが可能である。

また、本発明に係る静電アクチュエータは、電圧印加手段が、振動板と第２対向電極間、及び振動板と第１対向電極間のそれぞれに電位差が生じるように各電圧波形を印加する第２駆動方法を有し、第２駆動方法の電圧波形は、第１駆動方法の電圧波形の極性と逆であり、前記第２駆動方法によって、振動板と第２対向電極間の電位差により発生する圧電体膜の歪みによる圧力と、振動板と第１対向電極間の電位差により発生する静電吸引圧力とにより、振動板を第１対向電極側に撓ませるものである。
このように、圧電体膜の歪みによる圧力と、静電吸引圧力との両方により、振動板の変位量を大きくすることが可能となる。

また、本発明に係る静電アクチュエータは、電圧印加手段が、第１駆動方法と第２の駆動方法とを、１回おき又は定期的に入れ替えて行うものである。
これにより、残留電荷の解消と振動板駆動との両方が同時に可能になる。また、残留電荷に起因した静電アクチュエータの駆動特性変化を防止でき、安定的な吐出が可能となる。

本発明に係る液滴吐出ヘッドは、上記の何れかの静電アクチュエータと、ノズルと、ノズルに連通し振動板が一部に形成されている液滴流路とを備えたものである。
また、本発明に係る液滴吐出装置は、液体の吐出部に上記の液滴吐出ヘッドを備えたものである。
これらの液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置は、上記静電アクチュエータを備えているため、比較的低い印加電圧で、大きな振動板の変位を生じさせることができ、液滴の吐出量を安定的に多くすることができる。

実施の形態１．
以下、本発明の静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドについて説明する。なお、ここでは液滴吐出ヘッドの一例として、ノズル基板の表面に設けられたインクノズルからインク液滴を吐出するフェイス吐出型のインクジェットヘッドについて図１及び図２を参照して説明する。また、本発明は、以下の図に示す構造、形状に限定されるものではなく、基板の端部に設けられたインクノズルからインク液滴を吐出するエッジ吐出型のインクジェットヘッドにも適用できるものである。なお、本発明のインクジェットヘッドは、以下の図１に示す構造、形状に限定されるものではなく、吐出室とリザーバ部が別々の基板に設けられた４枚の基板を積層した４層構造のものにも適用することができる。

図１は、本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。図２は、図１のインクジェットヘッドの断面図である。なお、構成部材を図示し、見やすくするため、図１を含め、以下の図面では各構成部材の大きさの関係が実際のものと異なる場合がある。

実施の形態１のインクジェットヘッドは、主にキャビティ基板１、電極基板２及びノズル基板３が接合されることにより構成されている。キャビティ基板１は、例えば単結晶シリコン基板（以下、単にシリコン基板という）からなり、以下に示す所定の加工が施されている。なお、図１では、キャビティ基板１として（１１０）面方位のシリコン基板を使用している。キャビティ基板１には、シリコン基板を異方性ウェットエッチングすることにより、底壁が振動板４として形成されてインク液滴の吐出室５となる凹部５ａと、各吐出室５に供給すべきインク液滴を溜めるリザーバー６を構成する凹部６ａとが形成されている。また、キャビティ基板１には、共通電極端子７が設けられており、図２に示す駆動回路（電圧印加手段）２２と接続されている。

振動板４は、高濃度のボロン・ドープ層から形成されている。このボロン・ドープ層は、ボロンを高濃度（約５×１０¹⁹ａｔｏｍｓ／ｃｍ³以上）にドープして形成されており、例えばアルカリ性水溶液で単結晶シリコンをエッチングしたときに、エッチング速度が極端に遅くなるいわゆるエッチングストップ層となっている。ボロン・ドープ層がエッチングストップ層として機能するため、振動板４の厚み及び吐出室５の容積を高精度で形成することができるようになっている。かかる構成の振動板４は、各吐出室５側の共通電極として機能する。

また、キャビティ基板１の電極基板２側の接合界面全体には、絶縁膜４ａ（図２参照）が形成されている。この絶縁膜４ａは、本例では例えばシリコン酸化膜（ＳｉＯ₂ 膜）により形成されている。

電極基板２は、例えば厚さが１ｍｍのホウ珪酸ガラスからなり、キャビティ基板１の振動板４側に接合されている。この電極基板２には、振動板４との間にギャップ１０を構成する例えば深さが０．２μｍの電極用凹部１０ａがエッチングにより形成されている。そして、この電極用凹部１０ａの内部には、振動板４に対向して第１対向電極１１が形成されている。第１対向電極１１は、リード部１１ａと、フレキシブル配線基板（図示せず）に接続される端子部１１ｂとを有し、端子部１１ｂで駆動回路２２と接続されている。第１対向電極１１は、酸化錫をドープしたＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ、インジウム錫酸化物）等からなり、例えばスパッタにより厚さ０．１μｍで形成されている。

また、電極基板２には、リザーバー６に液滴を供給するための液体供給口１２が設けられている。また、ギャップ１０は封止材１０ｂによって封止されている。なお、電極基板２は、ホウ珪酸ガラスではなくシリコン基板等で形成してもよい。

ノズル基板３は、例えば単結晶シリコン基板からなり、ノズル基板３の厚さ方向に貫通するノズル２０が形成されている。ノズル２０は、ノズル基板３の下面側が吐出室５に連通し、ノズル基板３の上面側が液滴を吐出するための開口部となっている。このノズル２０は、ノズル基板３の上面側が横断面の面積の小さい第１の孔２０ａからなり、ノズル基板３の下面側が横断面の面積の広い第２の孔２０ｂとなっており、階段状の２段ノズルとなっている。また、ノズル基板３の下面には、吐出室５とリザーバー６を連通するためのオリフィス２１となる凹部２１ａが設けられている。

なお、実際にはノズル基板３の外表面全体にシリコン酸化膜が形成されているが、図１及び図２においてその図示は省略している。また、図１では、ノズル２０及び吐出室５が２列に並んだインクジェットヘッドを示しているが、ノズル２０及び吐出室５が１列に並んだものであってもよい。

また、電極基板２とキャビティ基板１の接合方法は特に問わないが、電極基板２がホウ珪酸ガラスからなり、キャビティ基板１がシリコン基板からなる場合には、絶縁膜（シリコン酸化膜）４ａを介してそれらを陽極接合によって接合すると、高品質に精密接合できる。

本例のインクジェットヘッドでは、更に、振動板４の第１対向電極１１側と反対側の表面のそれぞれの一部に、圧電体の膜（以下、圧電体膜Ａ１０１、圧電体膜Ｂ１０２という）が形成されている。この圧電体膜Ａ１０１及び圧電体膜Ｂ１０２は、強誘電体で構成され、具体的には例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等が使用できる。また、圧電体膜Ｂ１０２の表面には、第２対向電極１０３が形成されており、駆動回路２２と接続されている。なお、図示しないが、第２対向電極１０３の流路側には液滴による腐食を防ぐため、モールドが施されている。

次に、図１及び図２に示すインクジェットヘッドの動作について説明する。
駆動回路２２により共通電極端子７、第１対向電極１１及び第２対向電極１０３のそれぞれに後述の表１に示すようなパルス電圧を印加すると、静電引力と以下に詳述する圧電体膜Ａ１０１及び圧電体膜Ｂ１０２の作用とにより、振動板４が第１対向電極１１側に撓み、それが圧電体膜Ａ１０１を介して第１対向電極１１に当接する。これにより、リザーバー６の内部に溜まっていたインク等の液滴が吐出室５に流れ込む。そして、振動板４と第１対向電極１１との間に印加されていた電圧、及び圧電体膜Ｂ１０２に印加されていた電圧を解除すると、振動板４が元の位置に戻って吐出室５の内部の圧力が高くなり、ノズル２０からインク等の液滴が吐出する。

ここで、本例のインクジェットヘッドにおいては、振動板４と、第１対向電極１１と、圧電体膜Ａ１０１と、圧電体膜Ｂ１０２と、第２対向電極１０３とを有する静電アクチュエータ１００を備えており、この静電アクチュエータ１００により、圧電体膜Ａ１０１と圧電体膜Ｂ１０２がない構成の静電アクチュエータに比べて、低い印加電圧で振動板４を大きく変位させることが可能となっている。以下、静電アクチュエータ１００について更に詳細に説明する。

図３は、本発明の実施の形態１の静電アクチュエータの構成及び作用を示す説明図である。次の表１は、本発明の実施の形態１の静電アクチュエータの駆動方法を示す表である。

本例の静電アクチュエータ１００は、共通電極（振動板４）と第２対向電極１０３間の電位差が０となり、振動板４と前記第１対向電極１１間に電位差が生じるように各電圧波形を印加して振動板４を変位させる駆動方法１（表１の（ｂ）に対応）と、振動板４と第２対向電極１０３間、及び振動板４と第１対向電極１１間のそれぞれに電位差が生じるように各電圧波形を印加して振動板４を変位させる駆動方法２（表１の（ｄ））とを行うようにしており、以下、それぞれの駆動方法について順に説明する。

（駆動方法１）
図４は、駆動方法１の説明図で、表１の（ｂ）の電圧波形を印加した場合を示す図である。図４において、図１と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。図４において、ｘ軸は振動板４の第２対向電極１０３側の面に設定され、ｙ軸は振動板４の変位量を示すものである。また、図中のｙ_g は振動板４と第１対向電極１１との間のギャップ１０の距離である。
図３（ａ）の静電アクチュエータ１００において、表１の（ｂ）の電圧波形が印加されると、振動板４と第２対向電極１０３間の電位差は０となる一方、振動板４と第１対向電極１１間には、電位差Ｖ₁ （ここでは２５Ｖ）が印加される。

このように振動板４と第１対向電極１１間に電圧Ｖ₁ が印加されると、圧電体膜Ａ１０１には実効電圧Ｖ_A が印加される。この電圧Ｖ_A により、圧電体膜Ａ１０１は圧電特性によりｘ方向に圧電定数ｄ３１に比例して伸びる。これにより、圧電体膜Ａ１０１の端部に位置する振動板４部分に集中モーメントＭ₀ が作用する。ここで、圧電体膜Ａ１０１は振動板４の全体ではなく一部に設けられているため、振動板４に作用した集中モーメントＭ₀ により、図３（ｂ）のように、振動板４がたわむ。なお、圧電体膜Ａ１０１を振動板４の全体に設けた場合には、圧電体膜Ａ１０１の端部が、振動板４の固定端部分に位置するため、振動板４がたわまない。実効電圧Ｖ_A は振動板４のたわみ量に応じて変化する値となる。

ここで、圧電体膜Ａ１０１が発生するモーメントＭ_A は、Ｍ_A ∝Ｅ_A×ｄ３１×Ｖ_A となる。
但し、Ｅ_A：圧電体のヤング率、ｄ３１：圧電体の圧電定数、Ｖ_A：圧電体の実効電圧、Ｖ_A＝ｈ_AＶ₀ ／（ｈ_A＋ε_A（ｙ_g −ｙ））、ｈ_A：圧電体の厚み、ε_A：圧電体の比誘電率、電極間ギャップの比誘電率＝１としている。

さらに、図３（ｃ）のように、振動板４が静電力により第１対向電極１１側に引きつけられて撓み、圧電体膜Ａ１０１を介して第１対向電極１１に接触する。
このように、振動板４が図３の（ａ）→（ｂ）→（ｃ）のように変位することで、振動板４を静電力のみで図３の（ａ）から（ｃ）の状態に変位させる場合に比べて、より低い電圧で振動板４を同量以上変位させることができる。

（駆動方法２）
図５は、駆動方法２の説明図で、表１の（ｄ）の電圧波形を印加した場合を示す図である。図５において、図１と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。図３において、ｘ軸は振動板４の対向電極側の面に設定され、ｙ軸は振動板４の変位量を示すものである。また、図中のｙ_g は振動板４と第１対向電極１１との間のギャップ１０の距離である。
図３（ａ）の静電アクチュエータ１００において、表１の（ｄ）の電圧波形が印加されると、振動板４と第２対向電極１０３間には電位差Ｖ₀ （ここでは１５Ｖ）が印加され、振動板４と第１対向電極１１間には、電位差Ｖ₁ （ここでは４０Ｖ）が印加される。これにより、圧電体膜Ａ１０１はモーメントＭ_A を発生し、圧電体膜Ｂ１０２はモーメントＭ_B を発生する。

なお、Ｍ_A ＜Ｍ_B となるように電圧が設定されており、これにより振動板４は、図３（ｂ）のように、振動板４がたわむ。さらに、図３（ｃ）のように、振動板４が静電力により第１対向電極１１側に引きつけられて撓み、圧電体膜Ａ１０１を介して第１対向電極１１に接触する。
このように、振動板４が図３の（ａ）→（ｂ）→（ｃ）のように変位することで、振動板４を静電力のみで図３の（ａ）から（ｃ）の状態に変位させる場合に比べて、より低い電圧で振動板４を同量以上変位させることができる。

なお、静電アクチュエータ１００では、振動板４と第１対向電極１１間にパルス電圧を印加した後に、圧電体膜Ａ１０１に電荷が残留する。この残留電荷は、インク液滴の吐出量やインクスピードの低下等の吐出不良の原因となり、例えば印字濃度や画素ずれ等の印刷品質不良や画素抜け等の信頼性の低下を招く可能性がある。このため、特開平７−２１４７７５号公報と同様な駆動方法により、駆動電圧を印加することにより蓄積された残留電荷を消滅させるようにしている。
すなわち、振動板４を変形させる正駆動（共通電極＝Ｈｉｇｈ、第１対向電極１１＝ＧＮＤ）（駆動方法１に対応）を行う一方、所定時（例えば、駆動１回おき、又は定期的）に、極性の異なる逆駆動（共通電極＝ＧＮＤ、第１対向電極１１＝Ｈｉｇｈ）（駆動方法２に対応）を行うようにしている。

また、非駆動ノズルに対しては、表１の（ａ），（ｃ）に示すように、第１対向電極１１及び第２対向電極１０３側に加える電圧波形を駆動ノズルと変えることにより、共通電極に共通の電圧波形を印加しても非駆動を実現することが可能である。

図６は、駆動方法１による駆動時における、静電アクチュエータ１００の内部に働く各圧力を振動板４の変位毎にグラフ化したデータの一例を示す図である。図６において、横軸は振動板４の変位量ｙ（図４参照）を示し、縦軸は圧力Ｐを示している。ここでは、静電圧力（図中記号静電圧力）、圧電体膜Ａ１０１による圧力（図中記号ＰＺＴ圧力）、振動板４の復元圧力（図中記号復元圧力）及び振動板４に作用する圧力（図中記号静電＋ＰＺＴ）を図示している。ここで、圧電体膜Ａ１０１による圧力は図４で説明した集中モーメントＭ_A を圧力に換算することで表現している。また、図６において、グラフ内記号(＋)(―)は、符号を表し(＋)側は振動板４が第１対向電極１１に近づく方向を、(―)側は振動板４が第１対向電極１１から離れる方向をそれぞれ示している。

本例のアクチュエータ寸法構成において、静電圧力のみで駆動を行う場合は振動板変位量がｙ₀ 〜ｙ₁ の範囲で、
（復元圧力）＞（静電圧力）
となり、復元圧力が静電圧力を上回ってしまい、振動板４を第１対向電極１１に当接させることができない。
すなわち、振動板４は、振動板変位量がｙ₀ まで撓んだ後、復元圧力により定常位置に戻ってしまい、振動板４を第１対向電極１１に当接させることができない。
しかし、圧電体膜Ａ１０１の発生する圧力も加えることにより、振動板４が変位量０〜ｙ_g に至る全過程で、
（復元圧力）＜（静電圧力）＋（ＰＺＴ圧力）
となり、振動板４を第１対向電極１１に当接させることが可能となる。

なお、図示省略するが、駆動方法２の場合も同様に、静電圧力のみで駆動を行う場合に比べて、Ｍ_B −Ｍ_A に基づく圧力（ＰＺＴ圧力）が振動板４に加わることにより、振動板４が変位量０〜ｙ_g に至る全過程で、
（復元圧力）＜（静電圧力）＋（ＰＺＴ圧力）
となり、振動板４を第１対向電極１１に当接させることが可能となる。

すなわち、静電圧力のみの構成で駆動する静電アクチュエータに比べて、本発明の静電アクチュエータ１００の方がギャップ量を深くすることが可能となる。ギャップ量を深くすることが可能となるとインクジェットヘッドの特性としては吐出インク量を増やすことが可能となり良好な印刷が得られる。

このように、本実施の形態１によれば、圧電体膜Ａ１０１及び圧電体膜Ｂ１０２を設けたことにより、これらの圧電体膜がない場合よりも低い電圧で大きな振動板変位を得ることが可能となる。すなわち、駆動方法１及び駆動方法２のどちらの場合も、圧電体膜Ａ１０１と圧電体膜Ｂ１０２の作用により振動板４が撓み、振動板４と第１対向電極１１との間のギャップ１０が狭まる。さらに、その狭くなったギャップ１０に静電力が作用して、振動板４が第１対向電極１１側に撓む。静電力はギャップ１０の２乗に反比例するため、ギャップ１０が狭くなった分少ない電圧で振動板４を変位させることができる。これにより、従来必要とされた電圧より低い電圧で大きな振動板４の変位を得ることでき、インク液滴の吐出量を安定的に多くすることができる。

また、振動板４と第１対向電極１１とを当接させることが可能な電圧を１回おき、又は定期的に逆電界に入れ替えて駆動するようにしたので、残留電荷の解消と振動板駆動との両方が同時に可能になる。また、残留電荷に起因した静電アクチュエータの駆動特性変化を防止でき、安定的な吐出が可能となる。

実施の形態２．
図７は、実施の形態１で説明したインクジェットヘッドを液滴吐出部に適用した液滴吐出装置であるインクジェットプリンタの斜視図である。
このインクジェットプリンタ２００は、そこに適用されているインクジェットヘッドの作用により、従来利用していた電圧より低い電圧を利用して、より多くの液滴吐出量を得ることができる。従って、ドット抜け等がなく印刷品質が向上する。また、耐久性や吐出安定性にも優れ、さらに小型でしかも駆動耐久性にも優れたものとなる。

なお、実施の形態１に示したインクジェットヘッドは、上記のインクジェットプリンタの他に、その吐出液を代えることで、液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造、有機ＥＬ表示装置の発光部分の形成、生体液体の吐出等にも適用することができる。
また、吐出液受容物は、記録用紙の他、フィルム、織布、不織布等の他のメディアや、ガラス基板、シリコン基板等の各種基板のようなワークであっても良い。

本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの分解斜視図。 図１のインクジェットヘッドの断面図。 本発明の実施の形態１の静電アクチュエータの構成及び作用説明図。 駆動方法１の説明図。 駆動方法２の説明図。 駆動方法１による駆動時における、振動板変位毎の各圧力を示す図。 本発明の実施の形態２に係るインクジェットプリンタの斜視図。

符号の説明

１ キャビティ基板、２ 電極基板、３ ノズル基板、４ 振動板、４ａ 絶縁膜、５ 吐出室、５ａ 凹部、６ リザーバー、６ａ 凹部、７ 共通電極端子、１０ ギャップ、１０ａ 電極用凹部、１０ｂ 封止材、１１ 第１対向電極、１１ａ リード部、１１ｂ 端子部、１２ 液体供給口、２０ ノズル、２０ａ 第１の孔、２０ｂ 第２の孔、２１ オリフィス、２１ａ 凹部、２２ 駆動回路、１００ 静電アクチュエータ、１０１ 圧電体膜Ａ、１０２ 圧電体膜Ｂ、１０３ 第２対向電極、２００ インクジェットプリンタ。

Claims (6)

1. 変形可能で電極となる振動板と、
   前記振動板に対向して所定のギャップを介して配設された第１対向電極と、
   前記振動板の前記第１対向電極側の表面の一部に形成された第１圧電体膜と、
   前記振動板の前記第１対向電極と反対側の表面の一部に形成された第２圧電体膜と、
   前記第２圧電体膜の表面に形成された第２対向電極と
   を備えたことを特徴とする静電アクチュエータ。
2. 前記振動板と前記第１対向電極と前記第２対向電極とにそれぞれ対応の電圧波形を印加する電圧印加手段を備え、前記電圧印加手段は、前記振動板と前記第２対向電極間の電位差が０となり、前記振動板と前記第１対向電極間に電位差が生じるように前記各電圧波形を印加する第１駆動方法を有し、前記第１駆動方法によって、前記振動板と前記第１対向電極間に発生する静電吸引圧力により、前記振動板を前記第１対向電極側に撓ませることを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエータ。
3. 前記電圧印加手段は、前記振動板と前記第２対向電極間、及び前記振動板と前記第１対向電極間のそれぞれに電位差が生じるように前記各電圧波形を印加する第２駆動方法を有し、前記第２駆動方法の電圧波形は、前記第１駆動方法の電圧波形の極性と逆であり、前記第２駆動方法によって、前記振動板と前記第２対向電極間の電位差により発生する前記圧電体膜の歪みによる圧力と、前記振動板と前記第１対向電極間の電位差により発生する静電吸引圧力とにより、前記振動板を前記第１対向電極側に撓ませることを特徴とする請求項２記載の静電アクチュエータ。
4. 前記電圧印加手段は、前記第１駆動方法と前記第２の駆動方法とを、１回おき又は定期的に入れ替えて行うことを特徴とする請求項３記載の静電アクチュエータ。
5. 請求項１乃至請求項４の何れかに記載の静電アクチュエータと、ノズルと、前記ノズルに連通し前記振動板が一部に形成されている液滴流路とを備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
6. 液体の吐出部に請求項５記載の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置。

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