JP2007200388A - 半導体記憶装置及び半導体記憶装置の使用方法 - Google Patents

半導体記憶装置及び半導体記憶装置の使用方法 Download PDF

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Abstract

【課題】半導体記憶装置でのデータ誤りを抑制することが可能な技術を提供する。
【解決手段】メモリセルアレイ6は、設定されるしきい値電圧に応じた値のデータを記憶するメモリセルトランジスタを備える。書き込み制御部3は、メモリセルトランジスタへのデータの書き込みを制御する。メモリセル駆動部5は、書き込み制御部3の制御によってメモリセルトランジスタに対してデータを書き込む。書き込み制御部3は、メモリセル駆動部5を制御して、メモリセルトランジスタに対して互いに値の異なる少なくとも3種類のしきい値電圧を設定することが可能であり、メモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、当該少なくとも3種類のしきい値電圧のうち、値が隣接していない複数種類のしきい値電圧のみを使用する。
【選択図】図1

Description

本発明は、メモリセルトランジスタにデータを記憶する半導体記憶装置及び当該半導体記憶装置の使用方法に関する。
従来から、1つのメモリセルトランジスタに3種類以上のしきい値電圧を設定することにより、1セルあたり3値以上のデータを記憶することが可能な、多値メモリと呼ばれる半導体記憶装置が提案されている。例えば特許文献1には、1セルあたり3ビット、つまり“000”〜“111”までの8値のデータを記憶することが可能なフラッシュメモリに関する技術が記載されている。また特許文献2にも多値メモリに関する技術が記載されている。
なお、特許文献3には、電荷を蓄積する領域を物理的に2箇所有する不揮発性メモリに関する技術が記載されている。
特開平11−339495号公報 特開平11−154394号公報 特開2003−273256号公報
さて、上述のような従来の半導体記憶装置では、メモリセルトランジスタに設定したしきい値電圧の遷移や、読み出し時のセンスアンプに発生する電流ノイズなどが原因となって、メモリセルトランジスタに書き込まれたデータを正常に読み出すことができず、読み出しデータに誤りを生じることがあった。
そこで、本発明は上述の問題に鑑みて成されたものであり、メモリセルトランジスタを有する半導体記憶装置でのデータ誤りを抑制することが可能な技術を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、設定されるしきい値電圧に応じた値のデータを記憶する第1のメモリセルトランジスタと、前記第1のメモリセルトランジスタへのデータの書き込みを制御する書き込み制御部と、前記書き込み制御部の制御によって前記第1のメモリセルトランジスタに対してデータを書き込むメモリセル駆動部とを備え、前記書き込み制御部は、前記メモリセル駆動部を制御して、前記第1のメモリセルトランジスタに対して互いに値の異なる少なくとも3種類のしきい値電圧を設定することが可能であり、前記第1のメモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、前記少なくとも3種類のしきい値電圧のうち、値が隣接していない複数種類のしきい値電圧のみを使用する半導体記憶装置である。
また、請求項2の発明は、請求項1に記載の半導体記憶装置であって、前記書き込み制御部は、前記メモリセル駆動部を制御して前記第1のメモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、前記少なくとも3種類のしきい値電圧のうち最小及び最大のしきい値電圧のみを使用する。
また、請求項3の発明は、請求項1及び請求項2のいずれか一つに記載の半導体記憶装置であって、設定されるしきい値電圧に応じた値のデータを記憶する第2のメモリセルトランジスタをさらに備え、前記書き込み制御部は、前記第2のメモリセルトランジスタへのデータの書き込みをも制御し、前記メモリセル駆動部は、前記書き込み制御部の制御によって前記第2のメモリセルトランジスタに対してもデータを書き込み、前記書き込み制御部は、前記メモリセル駆動部を制御して前記第2のメモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、前記少なくとも3種類のしきい値電圧のすべてを使用する。
また、請求項4の発明は、設定されるしきい値電圧に応じた値のデータを記憶し、互いに値が異なる少なくとも3種類のしきい値電圧を設定することが可能なメモリセルトランジスタを備える半導体記憶装置の使用方法であって、前記メモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、前記少なくとも3種類のしきい値電圧のうち値が隣接していない複数種類のしきい値電圧を使用する。
請求項1及び請求項4の発明によれば、メモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、当該メモリセルトランジスタに設定可能なしきい値電圧のうち、値が隣接していない複数種類のしきい値電圧のみを使用している。したがって、メモリセルトランジスタに実際に設定されるしきい値電圧の間隔を大きくすることができる。そのため、1つのメモリセルトランジスタあたりに記憶できる情報量は少なくなるものの、メモリセルトランジスタから読み出されるデータの誤りを低減できる。
また、請求項2の発明によれば、メモリセルトランジスタに設定可能なしきい値電圧のうち最小及び最大のしきい値電圧のみを使用しているため、メモリセルトランジスタに設定されるしきい値電圧の間隔をさらに大きくすることができる。よって、メモリセルトランジスタから読み出されるデータの誤りをより確実に低減することができる。
また、請求項3の発明によれば、メモリセルトランジスタにデータを書き込む際の当該メモリセルトランジスタに対するしきい値電圧の設定方法を相違させることによって、1つのメモリセルに記憶できる情報量は比較的少ないもののデータ誤りが発生する確率が比較的低い第1のメモリセルトランジスタと、データ誤りが発生する確率が比較的高いものの1つのメモリセルに記憶できる情報量が比較的多い第2のメモリセルトランジスタとを実現している。したがって、同じ構造を用いて第1及び第2のメモリセルトランジスタを構成することができる。よって、簡単な構造を用いて2種類のメモリセルを有する半導体記憶装置を実現でき、当該半導体記憶装置の製造コストを低減できる。
実施の形態1.
図1は本発明の実施の形態1に係る情報処理装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態1に係る情報処理装置は、例えば、携帯電話機等の通信装置や、液晶ディスプレイ装置等の表示装置である。図1に示されるように、本実施の形態1に係る情報処理装置は、当該情報処理装置での主たる機能に関する信号処理を実行するメイン処理部1と、当該メイン処理部1の動作プログラムや当該メイン処理部1等からの各種データを不揮発的に記憶する半導体記憶装置2とを備えている。半導体記憶装置2は例えばメモリカードであって、コネクタによってメイン処理部1に対して着脱自在に接続される。
メイン処理部1は、本実施の形態に係る情報処理装置が例えばデジタル通信方式の携帯電話機である場合には、複合化処理や符号化処理等の基地局あるいは相手端末との通信に関する信号処理を行い、本実施の形態に係る情報処理装置が例えば液晶ディスプレイ装置である場合には、画像処理等の画像表示に関する信号処理を行う。
半導体記憶装置2は、書き込み制御部3と、読み出し制御部4と、メモリセル駆動部5と、メモリセルアレイ6とを備えている。書き込み制御部3は、記憶部として機能するメモリセルアレイ6へのデータの書き込みを制御する。読み出し制御部4は、メモリセルアレイ6からのデータの読み出しを制御する。メモリセル駆動部5は、アドレスデコーダ回路、ワード線ドライバ、ビット線ドライバ、及びセンスアンプ回路等を備えている。メモリセル駆動部5は、書き込み制御部3の制御によってメモリセルアレイ6にデータを書き込み、読み出し制御部4の制御によってメモリセルアレイ6からデータを読み出す。
図2はメモリセルアレイ6の構成を示すブロック図である。図2に示されるように、メモリセルアレイ6は、行列状に配置された複数のメモリセルトランジスタ16を備えている。複数のメモリセルトランジスタ16は、第1メモリ領域MR1と、第2メモリ領域MR2とに区分されている。第1メモリ領域MR1では、複数のメモリセルトランジスタ16が記憶単位MU1を構成しており、当該記憶単位MU1ごとにM値(M≧3)のデータを記憶することが可能である。本実施の形態1では、例えば、2個のメモリセルトランジスタ16で記憶単位MU1を構成しており、2ビットのデータ、つまり00”,“01”,“10”,“11”の4値のデータを記憶単位MU1ごとに記憶することができる。以後、記憶単位MU1を構成する2個のメモリセルトランジスタ16の一方を「メモリセルトランジスタ16a」と呼び、他方を「メモリセルトランジスタ16b」と呼ぶことがある。
一方で、第2メモリ領域MR2では、一つのメモリセルトランジスタ16で記憶単位MU2を構成しており、記憶単位MU2ごと、つまりメモリセルトランジスタ16ごとにM値のデータ、例えば“00”,“01”,“10”,“11”の4値のデータを記憶することが可能である。
本実施の形態1に係るメモリセルトランジスタ16は、フラッシュメモリで採用されるような、導電性のフローティングゲートを有するメモリセルトランジスタである。メモリセルトランジスタ16では、フローティングゲートに注入する電子の量を変更することによって、そのしきい値電圧を変化させることができる。そして、メモリセルトランジスタ16は、設定されるしきい値電圧に応じた値のデータを記憶する。
本実施の形態1に係るメモリセルトランジスタ16には、メモリセル駆動部5が書き込み制御部3によって制御されることにより、互いに値が異なるM種類のしきい値電圧Vth1〜VthMを設定することが可能である。例えば、メモリセルトランジスタ16には4種類のしきい値電圧Vth1〜Vth4(Vth1<Vth2<Vth3<Vth4)を設定することが可能である。そして、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16にデータを書き込む際には、しきい値電圧Vth1〜Vht4のうち、値が隣接しないN(≧2)種類のしきい値電圧しか使用せず、第2メモリ領域MR2のメモリセルトランジスタ16にデータを書き込む際には、4種類のしきい値電圧Vth1〜Vht4のすべてを使用する。
本実施の形態1では、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16にデータを書き込む際には、それに設定可能なしきい値電圧Vth1〜Vth4のうち、最小のしきい値電圧Vth1及び最大のしきい値電圧Vth4の2種類を使用する。そして、この2種類のしきい値電圧Vth1,Vth4を使用して、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16には1ビットのデータを書き込む。例えば、メモリセルトランジスタ16に“0”のデータを書き込む際にはしきい値電圧Vth1を設定し、“1”のデータを書き込む際にはしきい値電圧Vth4を設定する。そして、2つのメモリセルトランジスタ16a,16bで構成される記憶単位MU1全体で2ビットのデータを記憶する。例えば、記憶単位MU1に書き込む2ビットのデータの上位ビットB1の値をメモリセルトランジスタ16aに書き込み、下位ビットB0の値をメモリセルトランジスタ16bに書き込む。記憶単位MU1からデータを読み出す際には、当該記憶単位MU1を構成するメモリセルトランジスタ16a,16bのそれぞれから1ビットのデータを読み出して、それらを組み合わせて2ビットのデータとして出力する。なお、しきい値電圧Vth1、Vth4を使用する代わりに、しきい値電圧Vth1,Vth3を使用しても良いし、しきい値電圧Vth2,Vth4を使用しても良い。
一方で、第2メモリ領域MR2のメモリセルトランジスタ16に対しては、しきい値電圧Vth1〜Vth4を使用して2ビットのデータを書き込む。例えば、メモリセルトランジスタ16に“11”のデータを書き込む際にはしきい値電圧Vth1を設定し、“01”のデータを書き込む際にはしきい値電圧Vth2を設定する。またメモリセルトランジスタ16に“00”のデータを書き込む際にはしきい値電圧Vth3を設定し、“10”のデータを書き込む際にはしきい値電圧Vth4を設定する。
図3は第2メモリ領域MR2におけるメモリセルトランジスタ16のしきい値電圧の分布を示す図である。図中の横軸はメモリセルトランジスタ16のしきい値電圧を示しており、縦軸はそのしきい値電圧を有するメモリセルトランジスタ16の数を示している。図3に示されるように、メモリセルトランジスタ16に“11”のデータを書き込んだ場合であっても、当該メモリセルトランジスタ16の実際のしきい値電圧は必ずしもVth1とはならず、しきい値電圧Vth1を中心とした分布の山を形成する。しきい値電圧Vth2〜Vth4についても同様である。そして、多値メモリにおいては、隣り合うしきい値電圧の分布の山の間隔は2値メモリと比べて狭くなっているため、ある分布の山に属するメモリセルトランジスタ16のしきい値電圧がわずかに変化した場合であっても、当該しきい値電圧は他の分布の山に入りやすくなってしまう。そのため、多値メモリにおいては、読み出しデータに誤りが発生する確率は2値メモリに比べて高くなる。
一方で、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に対しては、設定可能な4種類のしきい値電圧Vth1〜Vth4のうち、値が隣接していないしきい値電圧Vth1,Vth4しか実際には設定されないため、設定されるしきい値電圧の間隔を大きくすることができる。したがって、ある分布の山に属するメモリセルトランジスタ16のしきい値電圧が多少変化した場合であっても、当該しきい値電圧が他の分布の山に入ることはない。その結果、一つのメモリセルトランジスタ16に記憶できる情報量は少なくなるものの、メモリセルトランジスタ16からの読み出しデータに誤りが発生しにくくなる。
以下に、第1メモリ領域MR1及び第2メモリ領域MR2へのデータの書き込み方法、及び第1メモリ領域MR1及び第2メモリ領域MR2からのデータの読み出し方法について詳細に説明する。
書き込み制御部3は、第1メモリ領域MR1に対する2ビットの書き込みデータをメイン処理部1から受け取ると、メモリセル駆動部5を制御することによって、書き込み対象の記憶単位MU1に当該書き込みデータを書き込む。具体的には、2ビットの書き込みデータのうち上位ビットB1の値に対応したしきい値電圧を、書き込み対象の記憶単位MU1が有する一方のメモリセルトランジスタ16aに設定して当該上位ビットB1の値を書き込み、下位ビットB0の値に対応するしきい値電圧を他方のメモリセルトランジスタ16bに設定して当該下位ビットB0の値を書き込む。
一方で、書き込み制御部3は、第2メモリ領域MR2に対する2ビットの書き込みデータをメイン処理部1から受け取ると、メモリセル駆動部5を制御することによって、書き込み対象の記憶単位MU2に当該書き込みデータを書き込む。具体的には、書き込み対象の記憶単位MU2を構成するメモリセルトランジスタ16に対して、しきい値電圧Vth1〜Vth4のうち書き込みデータの値に対応したしきい値電圧を設定し、当該書き込みデータを書き込む。
第1メモリ領域MR1からデータを読み出す際には、読み出し制御部4は、メモリセル駆動部5を制御して、読み出し対象の記憶単位MU1を構成するメモリセルトランジスタ16a,16bのそれぞれから1ビットのデータを読み出す。具体的には、読み出し制御部4は、メモリセル駆動部5に対してデータを読み出す記憶単位MU1を通知し、メモリセル駆動部5は、通知された記憶単位MU1を構成するメモリセルトランジスタ16a,16bのそれぞれからデータを読み出し、読み出したデータを読み出し制御部4に出力する。
読み出し制御部4は、メモリセルトランジスタ16aから読み出した1ビットのデータを上位ビットB1とし、メモリセルトランジスタ16bから読み出した1ビットのデータを下位ビットB0として両データを組み合わせて2ビットのデータを生成し、当該2ビットのデータを読み出し対象の記憶単位MU1が記憶するデータとしてメイン処理部1に出力する。
一方で、第2メモリ領域MR2からデータを読み出す際には、読み出し制御部4は、メモリセル駆動部5を制御することによって、読み出し対象の記憶単位MU2を構成するメモリセルトランジスタ16からデータを読み出して、そのままメイン処理部1に出力する。具体的には、読み出し制御部4は、メモリセル駆動部5に対してデータを読み出す記憶単位MU2を通知し、メモリセル駆動部5は、通知された記憶単位MU2を構成するメモメモリセルトランジスタ16から2ビットのデータを読み出し、読み出したデータを読み出し制御部4に出力する。そして読み出し制御部4は、受け取った2ビットのデータを読み出し対象の記憶単位MU2が記憶するデータとしてメイン処理部1に出力する。
以上のように、本実施の形態1に係るメモリセルアレイ6の第1メモリ領域MR1では、メモリセルトランジスタ16に対してデータを書き込む際には、当該メモリセルトランジスタ16に設定可能なM種類のしきい値電圧Vth1〜VthMのうち、値が隣接していないN種類のしきい値電圧のみを使用している。したがって、メモリセルトランジスタ16に実際に設定されるしきい値電圧の間隔を大きくすることができる。そのため、1つのメモリセルトランジスタ16に記憶できる情報量は少なくなるものの、メモリセルトランジスタ16から読み出されるデータの誤りを低減できる。その結果、記憶単位MU1から読み出されるデータの誤りを低減できる。
また一般的に、メモリセルトランジスタ16に対するデータの書き込み回数が増加するにつれて、しきい値電圧の分布の山が変形し、読み出しデータに誤りが発生しやすくなる傾向がある。したがって、しきい値電圧の間隔が狭い多値メモリにおいては、メモリセルトランジスタ16に対するデータ書き込みの許容回数が大きく制限される。本実施の形態1に係る第1メモリ領域MR1では、メモリセルトランジスタ16に設定されるしきい値電圧の間隔が大きいため、データの書き込み回数の増加によりしきい値電圧の分布の山が多少変形したとしてもメモリセルトランジスタ16から正確にデータを読み出すことができる。よって、メモリセルトランジスタ16に対するデータ書き込みの許容回数を増加させることができる。
また、本実施の形態1では、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16にデータを書き込む際には、4種類のしきい値電圧Vth1〜Vth4のうち最小のしきい値電圧Vth1と最大のしきい値電圧Vth4のみを使用しているため、メモリセルトランジスタ16に設定されるしきい値電圧の間隔を最も広くとることができる。そのため、当該メモリセルトランジスタ16から読み出されるデータの誤りをより確実に低減することができる。
また、本実施の形態1では、メモリセルトランジスタ16にデータを書き込む際の当該メモリセルトランジスタ16に対するしきい値電圧の設定方法を相違させることによって、1つのメモリセルに記憶できる情報量は比較的少ないもののデータ誤りが発生する確率が比較的低い第1メモリ領域MR1中のメモリセルトランジスタ16と、データ誤りが発生する確率が比較的高いものの1つのメモリセルに記憶できる情報量が比較的多い第2メモリ領域MR2中のメモリセルトランジスタ16とを実現している。したがって、本実施の形態1のように、同じ構造を用いて、第1メモリ領域MR1及び第2メモリ領域MR2のメモリセルトランジスタ16を構成することができる。よって、簡単な構造を用いて2種類のメモリセルを有する半導体記憶装置を実現でき、当該半導体記憶装置の製造コストを低減できる。
実施の形態2.
図4は本発明の実施の形態2に係る情報処理装置が備えるメモリセルトランジスタ16の構造を示す断面図である。本実施の形態2に係る情報処理装置は、上述の実施の形態1に係る情報処理装置において、構成としては、図4に示されるメモリセルトランジスタ16をメモリセルアレイ6に使用したものである。以下では、実施の形態1に係る情報処理装置とは異なる点を中心に、本実施の形態2に係る情報処理装置について説明する。
本実施の形態2に係るメモリセルトランジスタ16は、上述の特許文献3に記載されているような、電荷を蓄積する領域を物理的に2箇所有するメモリセルトランジスタであって、図4に示されるように、p型の半導体基板260の上面内に所定距離を成して形成された2つのn型の不純物領域261,262と、不純物領域261,262の間の半導体基板260の上面上に形成された第1シリコン酸化膜263と、第1シリコン酸化膜263上に形成されたシリコン窒化膜264と、シリコン窒化膜264上に形成された第2シリコン酸化膜265と、第2シリコン酸化膜265上に形成されたゲート電極266とを備えている。シリコン窒化膜264は、電荷を蓄積する2箇所の電荷蓄積領域270,271を有している。
本実施の形態2に係るメモリセルトランジスタ16では、電荷蓄積領域270が蓄積する電荷の量に応じた値のデータを記憶する。そして、当該データとは別に、電荷蓄積領域271が蓄積している電荷の量に応じた値のデータを記憶する。
ここで、電荷蓄積領域271が蓄積している電荷の量は、不純物領域261,262がそれぞれドレイン領域及びソース領域として機能する場合のメモリセルトランジスタ16のしきい値電圧を決定する。また、電荷蓄積領域270が蓄積している電荷の量は、不純物領域261,262がそれぞれソース領域及びドレイン領域として機能する場合のメモリセルトランジスタ16のしきい値電圧を決定する。したがって、本実施の形態2に係るメモリセルトランジスタ16は、不純物領域261,262がそれぞれドレイン領域及びソース領域として機能する場合のしきい値電圧に応じた値のデータを記憶するとともに、不純物領域261,262がそれぞれソース領域及びドレイン領域として機能する場合のしきい値電圧に応じた値のデータを記憶する。以後、不純物領域261,262がそれぞれドレイン領域及びソース領域として機能する場合を「第1動作モード」と呼び、不純物領域261,262がそれぞれソース領域及びドレイン領域として機能する場合を「第2動作モード」と呼ぶ。
本実施の形態2に係るメモリセルトランジスタ16には、書き込み制御部3によって制御されるメモリセル駆動部5が電荷蓄積領域271に電荷を蓄積することによって、第1動作モードにおけるM種類のしきい値電圧VAth1〜VAthMを設定することが可能である。また、本実施の形態2に係るメモリセルトランジスタ16には、書き込み制御部3によって制御されるメモリセル駆動部5が電荷蓄積領域270に電荷を蓄積することによって、第2動作モードにおけるM種類のしきい値電圧VBth1〜VBthMを設定することが可能である。なお、しきい値電圧VAth1〜VAthMと、しきい値電圧VBth1〜VBthMとは、完全に同一であっても良いし、部分的にあるいは完全に異なっていても良い。また、しきい値電圧VAth1〜VAthMは相互に値が異なっており、しきい値電圧VBth1〜VBthMも相互に値が異なっている。
本実施の形態2では、例えば、メモリセルトランジスタ16に対して、第1動作モードにおけるしきい値電圧として4種類のしきい値電圧VAth1〜VAth4(VAth1<VAth2<VAth3<VAth4)を設定することが可能であり、第2動作モードにおけるしきい値電圧として4種類のしきい値電圧VBth1〜VBth4(VBth1<VBth2<VBth3<VBth4)を設定することが可能である。そして、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に対して第1動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際には、しきい値電圧VAth1〜VAht4のうち、値が隣接しないN(≧2)種類のしきい値電圧しか使用せず、第2動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際にも、しきい値電圧VBth1〜VBht4のうち、値が隣接しないN種類のしきい値電圧しか使用しない。一方で、第2メモリ領域MR2のメモリセルトランジスタ16に対して第1動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際には4種類のしきい値電圧VAth1〜VAht4のすべてを使用し、第2動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際にも4種類のしきい値電圧VBth1〜VBht4のすべてを使用する。
本実施の形態2では、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に対して第1動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際には、設定可能なしきい値電圧VAth1〜VAth4のうち、最小のしきい値電圧VAth1及び最大のしきい値電圧VAth4の2種類を使用し、第2動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際には、設定可能なしきい値電圧VBth1〜VBth4のうち、最小のしきい値電圧VBth1及び最大のしきい値電圧VBth4の2種類を使用する。そして、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16には、2種類のしきい値電圧VAth1,VAth4を使用して第1動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータを書き込み、2種類のしきい値電圧VBth1,VBth4を使用して第2動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータを書き込む。例えば、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に“0”のデータを書き込む際にはしきい値電圧VAth1,VBth1を設定し、“1”のデータを書き込む際にはしきい値電圧VAth4,VBth4を設定する。これにより、第1メモリ領域MR1中の一つのメモリセルトランジスタ16には、合計2ビットのデータ、つまり4値のデータを書き込むことができる。
本実施の形態2に係るメモリセルアレイ6の第1メモリ領域MR1では、実施の形態1と同様に、2つのメモリセルトランジスタ16a,16bで記憶単位MU1が構成されており、記憶単位MU1全体で4ビットのデータを記憶することが可能である。例えば、記憶単位MU1に書き込む4ビットのデータの最下位ビットから最上位ビットまでをそれぞれビットB0〜B3とすると、図5に示されるように、上位2ビットB2,B3のデータを一方のメモリセルトランジスタ16aに書き込み、下位2ビットB0,B1のデータを他方のメモリセルトランジスタ16bに書き込む。記憶単位MU1からデータを読み出す際には、図6に示されるように、当該記憶単位MU1を構成する2つのメモリセルトランジスタ16a,16bのそれぞれから2ビットのデータを読み出して、それらを組み合わせて4ビットのデータとして出力する。
一方で、第2メモリ領域MR2中のメモリセルトランジスタ16に対しては、しきい値電圧VAth1〜VAth4を使用して第1動作モードのしきい値電圧に対応する2ビットのデータを書き込み、しきい値電圧VBth1〜VBth4を使用して第2動作モードのしきい値電圧に対応する2ビットのデータを書き込む。例えば、メモリセルトランジスタ16に“11”のデータを書き込む際にはしきい値電圧VAth1,VBth1を設定し、“01”のデータを書き込む際にはしきい値電圧VAth2,VBth2を設定する。またメモリセルトランジスタ16に“00”のデータを書き込む際にはしきい値電圧VAth3,VBth3を設定し、“10”のデータを書き込む際にはしきい値電圧VAth4,VBth4を設定する。これにより、第2メモリ領域MR2中の一つのメモリセルトランジスタ16には、合計4ビットのデータ、つまり16値のデータを書き込むことができる。本実施の形態2に係るメモリセルアレイ6の第2メモリ領域MR2では、実施の形態1と同様に、一つのメモリセルトランジスタ16で記憶単位MU2を構成しているため、記憶単位MU2ごとに4ビットのデータを記憶することができる。以後、しきい値電圧VAth1〜VAthMを総称して「しきい値電圧VAth」と、しきい値電圧VBth1〜VBthMを総称して「しきい値電圧VBth」と呼ぶことがある。
次に、本実施の形態2に係る情報処理装置での第1メモリ領域MR1及び第2メモリ領域MR2へのデータの書き込み方法、及び第1メモリ領域MR1及び第2メモリ領域MR2からのデータの読み出し方法について詳細に説明する。
書き込み制御部3は、第1メモリ領域MR1に対する4ビットの書き込みデータをメイン処理部1から受け取ると、メモリセル駆動部5を制御することによって、書き込み対象の記憶単位MU1に当該書き込みデータを書き込む。
例えば、書き込みデータの最下位ビットから最上位ビットまでをそれぞれビットB0〜B3とすると、書き込み対象の記憶単位MU1を構成する一方のメモリセルトランジスタ16aの電荷蓄積領域271に所定量の電荷を蓄積することによってビットB2の値に対応するしきい値電圧VAthをメモリセルトランジスタ16aに設定し、これによりメモリセルトランジスタ16aにビットB2のデータを書き込む。また、メモリセルトランジスタ16aの電荷蓄積領域270に所定量の電荷を蓄積することによってビットB3の値に対応するしきい値電圧VBthをメモリセルトランジスタ16aに設定し、これによりメモリセルトランジスタ16aにビットB3のデータを書き込む。また、書き込み対象の記憶単位MU1を構成する他方のメモリセルトランジスタ16bの電荷蓄積領域271に所定量の電荷を蓄積することによってビットB0の値に対応するしきい値電圧VAthをメモリセルトランジスタ16bに設定し、これによりメモリセルトランジスタ16bにビットB0のデータを書き込む。そして、メモリセルトランジスタ16bの電荷蓄積領域270に所定量の電荷を蓄積することによってビットB1の値に対応するしきい値電圧VBthをメモリセルトランジスタ16bに設定し、これによりメモリセルトランジスタ16bにビットB1のデータを書き込む。
一方で、書き込み制御部3は、第2メモリ領域MR2に対する4ビットの書き込みデータをメイン処理部1から受け取ると、メモリセル駆動部5を制御することによって、書き込み対象の記憶単位MU2に当該書き込みデータを書き込む。例えば、書き込み対象の記憶単位MU2を構成するメモリセルトランジスタ16の電荷蓄積領域271に所定量の電荷を蓄積して、4ビットの書き込みデータの上位2ビットB2,B3の値に対応するしきい値電圧VAthを当該メモリセルトランジスタ16に設定し、これによりメモリセルトランジスタ16に2ビットB2,B3のデータを書き込む。また、メモリセルトランジスタ16の電荷蓄積領域270に所定量の電荷を蓄積することによって、4ビットの書き込みデータの下位2ビットB0,B1の値に対応するしきい値電圧VBthをメモリセルトランジスタ16に設定し、これによりメモリセルトランジスタ16に2ビットB0,B1のデータを書き込む。
第1メモリ領域MR1からデータを読み出す際には、まず、読み出し制御部4が、メモリセル駆動部5に対してデータを読み出す記憶単位MU1を通知する。そして、メモリセル駆動部5は、通知された記憶単位MU1を構成するメモリセルトランジスタ16a,16bのそれぞれから、第1動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータと、第2動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータとを読み出す。
読み出し制御部4は、読み出し対象の記憶単位MU1を構成する一方のメモリセルトランジスタ16aから読み出した、第1動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータと第2動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータとを、それぞれビットB2及びビットB3とし、読み出し対象の記憶単位MU1を構成する他方のメモリセルトランジスタ16bから読み出した、第1動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータと第2動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータとを、それぞれビットB0及びビットB1として、それらのデータを組み合わせて4ビットのデータを生成する。そして、読み出し制御部4は、生成した4ビットのデータを読み出し対象の記憶単位MU1が記憶するデータとしてメイン処理部1に出力する。
一方で、第2メモリ領域MR2からデータを読み出す際には、まず、読み出し制御部4が、メモリセル駆動部5に対してデータを読み出す記憶単位MU2を通知する。メモリセル駆動部5は、通知された記憶単位MU2を構成するメモリセルトランジスタ16の動作モードを第1動作モードに設定して、当該メモリセルトランジスタ16から、第1動作モードのしきい値電圧に対応する2ビットのデータを読み出して読み出し制御部4に出力する。また、メモリセル駆動部5は、読み出し対象の記憶単位MU2を構成するメモリセルトランジスタ16の動作モードを第2動作モードに設定して、当該メモリセルトランジスタ16から、第2動作モードのしきい値電圧に対応する2ビットのデータを読み出して読み出し制御部4に出力する。
読み出し制御部4は、読み出し対象の記憶単位MU2を構成するメモリセルトランジスタ16から読み出した、第1動作モードのしきい値電圧に対応する2ビットのデータと第2動作モードのしきい値電圧に対応する2ビットのデータとを、それぞれ上位2ビットB2,B3及び下位2ビットB0,B1として、それらのデータを組み合わせて4ビットのデータを生成する。そして、読み出し制御部4は、生成した4ビットのデータを読み出し対象の記憶単位MU2が記憶するデータとしてメイン処理部1に出力する。
以上のように、本実施の形態2に係るメモリセルアレイ6の第1メモリ領域MR1では、メモリセルトランジスタ16に対して第1動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際には、当該メモリセルトランジスタ16に設定可能なM種類のしきい値電圧VAth1〜VAthMのうち、値が隣接していないN種類のしきい値電圧のみを使用している。また、メモリセルトランジスタ16に対して第2動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際には、当該メモリセルトランジスタ16に設定可能なM種類のしきい値電圧VBth1〜VBthMのうち、値が隣接していないN種類のしきい値電圧のみを使用している。したがって、メモリセルトランジスタ16に実際に設定される第1動作モード及び第2動作モードのしきい値電圧の間隔を大きくすることができる。そのため、1つのメモリセルトランジスタ16に記憶できる情報量は少なくなるものの、メモリセルトランジスタ16から読み出されるデータの誤りを低減できる。その結果、記憶単位MU1から読み出されるデータの誤りを低減できる。
また、本実施の形態2に係る第1メモリ領域MR1では、メモリセルトランジスタ16に設定されるしきい値電圧の間隔が大きくなるため、データの書き込み回数の増加によりしきい値電圧の分布の山が多少変形したとしてもメモリセルトランジスタ16から正確にデータを読み出すことができる。よって、メモリセルトランジスタ16に対するデータ書き込みの許容回数を増加させることができる。
また、本実施の形態2では、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に第1動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際には、4種類のしきい値電圧VAth1〜VAth4のうち最小のしきい値電圧VAth1と最大のしきい値電圧VAth4のみを使用しているため、メモリセルトランジスタ16に設定される第1動作モードのしきい値電圧の間隔を最も広くとることができる。また、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に第2動作モードのしきい値電圧に対応するデータを書き込む際には、4種類のしきい値電圧VBth1〜VBth4のうち最小のしきい値電圧VBth1と最大のしきい値電圧VBth4のみを使用しているため、メモリセルトランジスタ16に設定される第2動作モードのしきい値電圧の間隔を最も広くとることができる。したがって、メモリセルトランジスタ16から読み出されるデータの誤りをより確実に低減することができる。
また、本実施の形態2では、メモリセルトランジスタ16にデータを書き込む際の当該メモリセルトランジスタ16に対するしきい値電圧の設定方法を相違させることによって、1つのメモリセルに記憶できる情報量は比較的少ないもののデータ誤りが発生する確率が比較的低い第1メモリ領域MR1中のメモリセルトランジスタ16と、データ誤りが発生する確率が比較的高いものの1つのメモリセルに記憶できる情報量が比較的多い第2メモリ領域MR2中のメモリセルトランジスタ16とを実現している。したがって、本実施の形態2のように、同じ構造を用いて、第1メモリ領域MR1及び第2メモリ領域MR2のメモリセルトランジスタ16を構成することができる。よって、簡単な構造を用いて2種類のメモリセルを有する半導体記憶装置を実現でき、当該半導体記憶装置の製造コストを低減できる。
なお、本実施の形態2では、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に対しては、第1動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータと、第2動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータとの両方を記憶させていたが、どちらか一方の1ビットのデータのみを記憶させても良い。この場合には、記憶単位MU1で4ビットのデータを記憶するために、4つのメモリセルトランジスタ16で記憶単位MU1を構成することになる。以下に、この場合のメモリセルトランジスタ16に対するデータの書き込み方法及びデータの読み出し方法について説明する。以下の説明では、記憶単位MU1を構成する4つのメモリセルトランジスタ16をそれぞれメモリセルトランジスタ16a〜16dと呼ぶ。また、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に対しては、第1動作モードのしきい値電圧に対応する1ビットのデータのみを記憶させることにする。
第1メモリ領域MR1の記憶単位MU1に4ビットのデータを書き込む際には、図7に示されるように、当該4ビットのデータを1ビットずつに分離し、それによって得られた4つの1ビットデータを、当該記憶単位MU1を構成する4つのメモリセルトランジスタ16a〜16dにそれぞれ書き込む。例えば、書き込みデータの最上位ビットB3の値に対応したしきい値電圧VAthを、書き込み対象の記憶単位MU1におけるメモリセルトランジスタ16aに設定してビットB3の値を書き込む。また、書き込みデータの上位から2つのビットB2の値に対応したしきい値電圧VAthを、書き込み対象の記憶単位MU1におけるメモリセルトランジスタ16bに設定してビットB2の値を書き込む。また、書き込みデータの上位から3つのビットB1の値に対応したしきい値電圧VAthを、書き込み対象の記憶単位MU1におけるメモリセルトランジスタ16cに設定してビットB1の値を書き込む。また、書き込みデータの最下位のビットB0の値に対応したしきい値電圧VAthを、書き込み対象の記憶単位MU1におけるメモリセルトランジスタ16dに設定してビットB0の値を書き込む。これにより、記憶単位MU1を構成する各メモリセルトランジスタ16には1ビットのデータが書き込まれ、記憶単位MU1全体としては4ビットのデータが書き込まれる。
第1メモリ領域MR1中の記憶単位MU1からデータを読み出す際には、読み出し制御部4は、メモリセル駆動部5を制御して、図8に示されるように、読み出し対象の記憶単位MU1を構成する4つのメモリセルトランジスタ16a〜16dのそれぞれから1ビットのデータを読み出し、メモリセルトランジスタ16aから読み出した1ビットのデータをビットB3とし、メモリセルトランジスタ16bから読み出した1ビットのデータをビットB2とし、メモリセルトランジスタ16cから読み出した1ビットのデータをビットB1とし、メモリセルトランジスタ16dから読み出した1ビットのデータをビットB0として、それらのデータを組み合わせて4ビットのデータを生成する。そして、読み出し制御部4は、生成した4ビットのデータを読み出し対象の記憶単位MU1が記憶するデータとしてメイン処理部1に出力する。
このように、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に対して、第1及び第2動作モードのどちらか一方のしきい値電圧に対応するデータのみを書き込むことによって、言い換えれば、第1メモリ領域MR1のメモリセルトランジスタ16に対して、2箇所の電荷蓄積領域270,271のうちどちらか一方の領域のみに電荷を蓄積することによって、当該メモリセルトランジスタ16からの読み出しデータの誤りをさらに低減することができる。そして、当該メモリセルトランジスタ16に対するデータ書き込みの許容回数をさらに増加させることができる。
なお、第1メモリ領域MR1を2つの領域に区分して、一方の領域におけるメモリセルトランジスタ16に対しては第1動作モードのしきい値電圧に対応するデータと第2動作モードのしきい値電圧に対するデータとの両方を記憶し、他方の領域におけるメモリセルトランジスタ16に対しては第1及び第2動作モードのいずれか一方のしきい値電圧に対応するデータのみを記憶しても良い。この場合には、メモリセルアレイ6には、1ビットのデータを記憶する、データ誤りの発生確率が非常に低いメモリセルトランジスタ16と、2ビットのデータを記憶する、データ誤りの発生確率がある程度低いメモリセルトランジスタ16と、4ビットのデータを記憶する、データ誤りの発生確率が比較的高いメモリセルトランジスタ16との3種類のメモリセルトランジスタ16が含まれることになる。つまり、メモリセルアレイ6には、記憶できる情報量及びデータ誤りの発生確率が異なる3種類のメモリセルトランジスタ16が含まれることになる。したがって、この場合には、メモリセル構造は共通にしながらも、3種類のメモリセルトランジスタ16を書き込みデータの種類等に応じて使い分けることができる。
また、上述の実施の形態1、2では、M=4であったが、M=8であっても同様に読み出しデータの誤りを低減できる。以下に、実施の形態1を例に挙げて、M=8の場合の第1メモリ領域MR1へのデータの書き込み方法及び当該第1メモリ領域MR1からのデータの読み出し方法について説明する。以下の説明では、記憶単位MU1,MU2のそれぞれは3ビットのデータ、つまり、“000”〜“111”までの8値のデータを記憶することができ、メモリセルトランジスタ16にはしきい値電圧Vth1〜Vth8までを設定することが可能であるものとする。また、しきい値電圧Vth1〜Vth8はこの順に大きい値となるように設定されている。
M=8の場合には、第1メモリ領域MR1中のメモリセルトランジスタ16に対してデータを書き込む際には、例えば、8種類のしきい値電圧Vth1〜Vth8のうち2種類のしきい値電圧Vth1,Vth8を使用する。そして、3つのメモリセルトランジスタ16で記憶単位MU1を構成し、当該記憶単位MU1を構成する各メモリセルトランジスタ16に、2種類のしきい値電圧Vth1,Vth8を用いて、1ビットのデータを書き込む。例えば、メモリセルトランジスタ16に“0”のデータを書き込む際にはしきい値電圧Vth1を設定し、“1”のデータを書き込む際にはしきい値電圧Vth8を設定する。そして、3つのメモリセルトランジスタ16で構成される記憶単位MU1全体で3ビットのデータを記憶する。
第1メモリ領域MR1中の記憶単位MU1からデータを読み出す際には、読み出し制御部4は、メモリセル駆動部5を制御して、読み出し対象の記憶単位MU1を構成する3つのメモリセルトランジスタ16のそれぞれから1ビットのデータを読み出して、それらを組み合わせて3ビットのデータを生成する。そして、読み出し制御部4は、生成した3ビットのデータを読み出し対象の記憶単位MU1が記憶するデータとしてメイン処理部1に出力する。
このように、第1メモリ領域MR1中のメモリセルトランジスタ16にデータを書き込む際に、設定可能な8種類のしきい値電圧Vth1〜Vth8のうち2種類のしきい値電圧Vth1,Vth8を使用する場合であっても、ビット密度は低減するものの記憶単位MU1から読み出されるデータの誤りを抑制することができる。
また、実施の形態1,2において、メモリセルアレイ6の全領域について、あるいはメモリセルアレイ6の第2メモリ領域MR2だけについて、メモリセルトランジスタ16に書き込むデータに対してSEC−DED(Single Error Correcting - Double Error Detecting)符号等のECC(Error Correcting Code)を付与し、メモリセルトランジスタ16から読み出されたデータに対して誤り訂正を行っても良い。この場合には、図3に示されるように、メモリセルトランジスタ16に設定される複数のしきい値電圧において、隣り合うしきい値電圧間のハミング距離を“1”に設定することによって、訂正確率を向上することができる。
上述のように、メモリセルアレイ6の第1メモリ領域MR1に関しては、データ誤りが発生しにくいことから、当該第1メモリ領域MR1のデータに対して誤り訂正を行う場合であっても、当該第1メモリ領域MR1のデータに対しては訂正能力がそれほど高くないECCを付与するだけでよい。一般的に、ECCの訂正能力が高いほど、誤り訂正を行うために必要な時間が増大し、誤り訂正後のデータを出力するまでの時間が増大する。その結果、メモリ領域に対するアクセススピードが増加する。第1メモリ領域MR1のデータに対しては訂正能力がそれほど高くないECCを使用して誤り訂正を行うことができるため、当該第1メモリ領域MR1へのアクセススピードを低減することができる。
また、実施の形態1,2に係るメモリセルアレイ6は第1メモリ領域MR1と第2メモリ領域MR2とを備えていたが、データ誤りの発生をできるだけ抑制する必要のある情報を主に扱う場合にはメモリセルアレイ6の全領域を第1メモリ領域MR1だけで構成しても良い。
また、実施の形態1,2において、図9に示されるように、情報処理装置の主たる機能に関する信号処理を行うメイン処理部1が、書き込み制御部3及び読み出し制御部4として機能しても良い。つまり、メイン処理部1が、メモリセル駆動部5を制御して、メモリセルトランジスタ16にデータを書き込んだり、メモリセルトランジスタ16からデータを読み出しても良い。この場合であっても同様の効果を得ることができる。
本発明の実施の形態1に係る情報処理装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態1に係るメモリセルアレイの構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態1に係る第2メモリ領域のメモリセルトランジスタのしきい値電圧の分布を示す図である。 本発明の実施の形態2に係るメモリセルトランジスタの構造を示す断面図である。 本発明の実施の形態2に係る第1メモリ領域へのデータの書き込み方法を示す図である。 本発明の実施の形態2に係る第1メモリ領域からのデータの読み出し方法を示す図である。 本発明の実施の形態2に係る第1メモリ領域へのデータの書き込み方法の変形例を示す図である。 本発明の実施の形態2に係る第1メモリ領域からのデータの読み出し方法の変形例を示す図である。 本発明の実施の形態1,2に係る情報処理装置の変形例の構成を示すブロック図である。
符号の説明
2 半導体記憶装置
3 書き込み制御部
5 メモリセル駆動部
16,16a,16b メモリセルトランジスタ

Claims (4)

  1. 設定されるしきい値電圧に応じた値のデータを記憶する第1のメモリセルトランジスタと、
    前記第1のメモリセルトランジスタへのデータの書き込みを制御する書き込み制御部と、
    前記書き込み制御部の制御によって前記第1のメモリセルトランジスタに対してデータを書き込むメモリセル駆動部と
    を備え、
    前記書き込み制御部は、前記メモリセル駆動部を制御して、前記第1のメモリセルトランジスタに対して互いに値の異なる少なくとも3種類のしきい値電圧を設定することが可能であり、前記第1のメモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、前記少なくとも3種類のしきい値電圧のうち、値が隣接していない複数種類のしきい値電圧のみを使用する、半導体記憶装置。
  2. 請求項1に記載の半導体記憶装置であって、
    前記書き込み制御部は、前記メモリセル駆動部を制御して前記第1のメモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、前記少なくとも3種類のしきい値電圧のうち最小及び最大のしきい値電圧のみを使用する、半導体記憶装置。
  3. 請求項1及び請求項2のいずれか一つに記載の半導体記憶装置であって、
    設定されるしきい値電圧に応じた値のデータを記憶する第2のメモリセルトランジスタをさらに備え、
    前記書き込み制御部は、前記第2のメモリセルトランジスタへのデータの書き込みをも制御し、
    前記メモリセル駆動部は、前記書き込み制御部の制御によって前記第2のメモリセルトランジスタに対してもデータを書き込み、
    前記書き込み制御部は、前記メモリセル駆動部を制御して前記第2のメモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、前記少なくとも3種類のしきい値電圧のすべてを使用する、半導体記憶装置。
  4. 設定されるしきい値電圧に応じた値のデータを記憶し、互いに値が異なる少なくとも3種類のしきい値電圧を設定することが可能なメモリセルトランジスタを備える半導体記憶装置の使用方法であって、
    前記メモリセルトランジスタに対してデータを書き込む際には、前記少なくとも3種類のしきい値電圧のうち値が隣接していない複数種類のしきい値電圧を使用する、半導体記憶装置の使用方法。
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