JP2007198215A - マイクロポンプおよびその製造方法、駆動体 - Google Patents

Abstract

【課題】より簡易に、安定して動作するマイクロポンプを得る。
【解決手段】マイクロポンプの弁体５４（またはダイアフラム）に接合される駆動体３０は、弁体５４を駆動する力を発生させる圧電体６２と、当該圧電体６２と弁体５４との間に介在する弾性体６０と、を備えている。圧電体６２は、電圧印加により撓みを生じる。この圧電体６２は、弾性体６０の上面に接合されている。弾性体６０は、所定の弾性を備えており、弁体５４を構成する凹部７０に充填されている。この弾性体６０は、圧電体６２から生じた力を、ほぼ平均化された力として弁体５４に伝達する。かかる力を受けた弁体５４は、その最も撓み易い位置、すなわち、弁体５４の略中心を撓み中心として撓む。
【選択図】図２

Description

本発明は、微量の流体の流れを制御するマイクロポンプとその製造方法、および、当該マイクロポンプに設けられる駆動体に関する。

従来から、医療や分析、あるいは、インクジェットプリンタの分野において、微量の流体搬送を行うためのマイクロポンプが知られている（例えば、特許文献１〜３など）。このマイクロポンプは、ポンプ室と、当該ポンプ室への流体の流出入を許容する複数のバルブを備えている。ポンプ室の一壁面は薄く形成されており、この部分がダイアフラムとして機能する。また、バルブの弁体も、薄く形成されている。そして、このダイアフラムおよび弁体を圧電素子を主要素とした駆動体で変形させることにより、流体の吸引、吐出を実現している。

特許第３１３０４８３号公報 特開２０００−２４９０７４号公報 特開平１１−２５７２３１号公報

圧電素子は、電圧の印加により収縮する素子であり、この圧電素子を主要素とする駆動体は接着剤により弁体およびダイアフラムに接着される。ここで、駆動体を弁体に接着する場合には、高い位置決め精度が要求されていた。弁体は、略弧状に撓むことで、対向配置された弁座の上面に当接し、バルブを閉鎖する。この弁体の撓み中心と弁座の中心とがずれていた場合には、弁体が弁座に確実に当接できず、流体のシール性が低下するためである。一方、駆動体はその中心を中心として撓み、当該駆動体と接着された弁体も駆動体の中心を中心として撓む。したがって、駆動体の中心と弁体の中心とがずれていた場合には、弁体の撓み中心および弁座の中心もずれてしまい、流体を確実にシールできなかった。しかし、駆動体を正確に位置決めして弁体に接着することは、高精度の技術が必要となり、困難であった。

また、駆動体は、接着剤により弁体やダイアフラムに接着されるが、この接着剤の硬化の過程で弁体やダイアフラムにシワや反りが生じることがあった。すなわち、接着剤は、その塗布量や塗布位置に応じて、硬化速度や硬化に伴う収縮量等が異なる。この硬化速度等の違いに弁体やダイアフラムが対応できず、シワや反りが生じる。かかるシワや反りは、マイクロポンプの安定した動作を阻害していた。

さらに、圧電素子の電極と、弁体およびダイアフラムと、の間は絶縁されていることが必要となる。このため、従来では、弁体およびダイアフラムの上面には絶縁層が形成されていた。しかし、この絶縁層の形成は煩雑であり、手間であった。また、絶縁層が確実に形成できず、結果として、マイクロポンプの安定した動作を阻害する場合もあった。

つまり、従来の技術では、マイクロポンプの安定した動作を得ることは困難であった。

そこで、本発明では、簡易に製造でき、より安定して動作可能なマイクロポンプとその製造方法、および、当該マイクロポンプに設けられる駆動体を提供することを目的とする。

本発明のマイクロポンプは、流体の流れを制御するマイクロポンプであって、薄板状に形成された弁体の駆動で開閉されるバルブと、薄板状に形成されたダイアフラムの駆動で流体に流れを付加するポンプ室と、弁体またはダイアフラムを駆動対象物として駆動する１以上の駆動体と、を有し、各駆動体は、駆動対象物を駆動する力を発生する力発生体と、当該力発生体と駆動対象物との間に介在し、力発生体で発生した力を受けた際に形状変形しつつ当該力を駆動対象物に伝達する伝達体と、を有することを特徴とする。

好適な態様で、駆動対象物は、平板状部材に形成される凹部の底面部であり、伝達体は、前記凹部に充填される。

伝達体の好適な一例は、前記凹部に充填される弾性体を用いることである。この場合、弾性体は、流動体の状態で前記凹部に充填された後、所定の弾性になるまで硬化させることにより形成されることが望ましい。さらに、力発生体には、貫通孔が形成されており、硬化前に力発生体の貫通孔を介して力発生体の上面に流出した弾性体の一部が硬化して形成される係止部材を、さらに、有することが望ましい。

伝達体の好適な他の例は、前記凹部に形成される閉鎖空間内に密封された液体を用いることである。この場合、前記液体は、化学変化により硬化して固体に変化する液状樹脂であり、力発生体には、貫通孔が形成されており、力発生体の貫通孔を介して力発生体の上面に流出した液体の一部のみを硬化して形成される係止部材を、さらに、有することが望ましい。

力発生体としては、電圧の印加で変形する圧電体を用いることが望ましい。この場合、力発生体は、電圧の印加で変形する圧電体である場合に、力発生体は、電圧印加により撓ませた状態で、表面張力により略弧状に盛り上がった伝達体の上面に配されることが望ましい。

他の本発明である駆動体は、マイクロポンプ用バルブの弁体、または、マイクロポンプ用ポンプ室のダイアフラムを駆動対象物として駆動する駆動体であって、駆動対象物を駆動する力を生じさせる力発生体と、当該力発生体と駆動対象物との間に介在し、力発生体で発生した力を受けた際に形状変形しつつ当該力を駆動対象物に伝達する伝達体と、を有する。

他の本発明であるマイクロポンプの製造方法は、流体の流れを制御するマイクロポンプの製造方法であって、基板に、その底面がバルブの弁体またはポンプ室のダイアフラムとして機能する凹部を形成する凹部形成工程と、凹部に流動性を備えた伝達体を充填する充填工程と、表面張力で略弧状に盛り上がった伝達体の上面に、電圧を印加して撓ませた圧電素子を配置する配置工程と、を有する。

本発明によれば、力発生体と駆動対象物との間に介在する伝達体が、形状変形しながら力発生体で発生した力を駆動対象物に伝達する。そのため、力発生体の位置がずれていても駆動対象物は正常に駆動される。その結果、安定して動作可能なマイクロポンプがより簡易に製造できる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態であるマイクロポンプ１０の概略断面図である。このマイクロポンプ１０は、微量の流体の吸引、吐出が可能であり、医療や分析の分野で多用される。

マイクロポンプ１０は、容積変化することで流体に流れを付加するポンプ室１８と、当該ポンプ室１８への流体の流入を許容する吸込側バルブ１４と、当該ポンプ室１８からの流体の流出を許容する吐出側バルブ１６と、を備えている。

ポンプ室１８は、ガラス製の基板３２に設けられた凹部を、所定の形状に加工された単結晶シリコン製の第一加工板３４で覆うことにより構成される。第一加工板３４のポンプ室１８に対向する部分は、薄くなるように凹部が形成されており、当該部分がダイアフラム２０として機能する。このダイアフラム２０には、後述する駆動体３０が接合されており、適宜、ダイアフラム２０を変形させる。ダイアフラム２０の変形により、ポンプ室１８の容積が変更され、流体に流れが付加される。

ポンプ室１８の一端には、吸込側バルブ１４の弁座、吸込側弁座２２が接続されている。吸込側弁座２２は、ポンプ室１８に連通された流路３８を有しており、この流路３８の上端は所定の形状に加工された単結晶シリコン製の第二加工板３６に近接対向している。第二加工板３６の吸込側弁座２２に対向する部分は、薄くなるように凹部が形成されており、この凹部の底面が吸込側バルブ１４の弁体、吸込側弁体２４として機能する。吸込側弁体２４には、駆動体３０が接合されており、この駆動体３０により吸込側弁体２４が変形させられる。吸込側弁体２４が変形することで吸込側弁座２２との間隙量が変わり、吸込側バルブ１４が開閉させられる。ガラス製の基板３２の吸込側弁座２２に隣接する位置には、吸込用流路４０も形成されている。これは、一端が外部に、他端が吸込側弁座２２に接続された流路で、当該吸込用流路４０を介して外部から流体が流入される。

また、基板３２のポンプ室１８に隣接する位置であって、吸込用流路４０の反対側の位置には、吐出用流路４２も形成されている。吐出用流路４２の一端は外部に接続されており、他端は吐出側バルブ１６の弁座である吐出側弁座２６として機能する。吐出側弁座２６の上端は、第一加工板３４に近接対向している。第一加工板３４の吐出側弁座２６に対向する部分は、薄くなるように凹部が形成されており、この凹部の底面が吐出側バルブ１６の弁体である吐出側弁体２８として機能する。吐出側弁体２８には駆動体３０が接合されており、この駆動体３０により吐出側弁体２８の変形が図られる。そして、吐出側弁体２８が変形することにより吐出側バルブ１６の開閉がなされ、流体の流出が許容される。

次に、駆動体３０について説明する。記述の吸込側弁体２４、吐出側弁体２８、ポンプ室１８のダイアフラム２０に接合されている駆動体３０は、いずれも、ほぼ同様の構成となっている。この構成を、あるバルブ５０に接合された駆動体３０の例を用いて説明する。

図２はあるバルブ５０に接合された駆動体３０の概略断面図であり、（Ａ）はバルブ５０開放時の、（Ｂ）はバルブ５０閉鎖時の様子をそれぞれ示している。バルブ５０は、記述の吸込側弁体２４および吐出側弁体２８とほぼ同じ構成であり、ガラス製の基板７４に弁座５２が、基板７４に対向配置された単結晶シリコン製の加工板７２に弁体５４が形成されている。弁体５４は、加工板７２の弁座５２に対向する部分に形成された凹部７０の底面部である。この弁体５４は、その厚みが３００μｍ以下、好ましくは１００μｍ以下になるように形成されており、微小変形が可能となっている。そして、バルブ５０開放時において、弁体５４は略平坦面となっており、弁座５２との間に間隙５６を形成している。一方、バルブ５０閉鎖時において、弁体５４は略弧状に撓んで弁座５２に当接し、弁座５２の上面を完全に覆っている。この弁体５４の変形は、駆動体３０によりなされる。

なお、このバルブ５０は、後に詳説するが、駆動体３０に電圧を印加していない状態で弁を閉鎖し、駆動体３０に電圧を印加した場合には弁を開放するノーマルクローズのバルブとなっている。したがって、図２において（Ａ）は駆動体３０に電圧を印加した状態、（Ｂ）は電圧を印加していない状態を示している。バルブ５０をノーマルクローズとするのは、フリーフローを防止するためである。フリーフローは、ポンプの制御に関係なく流体の流入元と排出先との間の高低差等によって生じる意図しない輸液のことをさす。ポンプの制御がなされていない状態、すなわち、駆動体３０に電圧が印加されていない状態でバルブが開放されるノーマルオープンの場合、このフリーフローが生じる可能性が高くなる。通常、本実施形態のようなマイクロポンプを用いる場面は、厳密な流量制限が必要な場合が多いため、このフリーフロー現象を極力防止する必要がある。そこで、本実施形態では、ポンプの制御がなされていない状態、すなわち、駆動体３０に電圧が印加されていない状態では、バルブが閉鎖されるノーマルクローズとしている。なお、高低差等によるフリーフローの問題がない場合には、当然、ノーマルオープンの構成としてもよい。

駆動体３０は、弁体５４を構成する凹部７０に充填された弾性体６０、当該弾性体６０の上面に配置された圧電体６２を備えている。弾性体６０は、圧電体６２で発生した力を弁体５４に伝達する伝達体として機能するもので、所定の弾性を備えた材料、例えば、シリコンゴムや、ＰＥ（ポリエチレン）エラストマー、発泡ＰＥ、シリコン系ゲルなどからなる。この弾性体６０は、下端から上端まで凹部７０の全体に満遍なく充填されている。弾性体６０は、後に詳説するように、流動性の高い状態で凹部７０に充填された後に、事前に添加された硬化剤の影響で硬化することで所定の弾性を備えた弾性体に変化する。そのため、弾性体６０の上面は、高流動性の状態のときに生じる表面張力により凸弧状に盛り上がっている。この弾性体６０の上面に、圧電体６２が取り付けられている。

圧電体６２は、ピエゾ素子などの圧電素子６４と、当該圧電素子６４に貼着された電極板６６からなる。圧電素子６４は、電圧の印加により伸縮する素子である。電極板６６は、絶縁性材料の薄板材の上面に高導電性金属（例えば、金など）を蒸着したもので、この蒸着面に圧電素子６４が貼着される。もちろん、蒸着された高導電性金属に代えて、金属板を電極板として用いてもよい。電圧を印加すると、圧電素子６４は収縮あるいは拡張するが、これに貼着された電極板６６の寸法はそのままであるため、反りが生じる。その結果、圧電体６２全体としては、弧状に撓むことになる。

圧電体６２は、弾性体６０の硬化前、換言すれば、弾性体６０が高い流動性を有している時点で、弾性体６０の上面に配置される。このとき、弾性体６０の上面は、表面張力により凸弧状となっている。そのため、圧電体６２は、この凸弧状に対応するべく、電圧印加により弧状に撓んだ状態で、弾性体６０上面に配置される（図２（Ａ）参照）。その後、事前に弾性体に添加された硬化剤の影響により弾性体６０が硬化すれば、当該弾性体６０に接触している圧電体６２は硬化した弾性体６０により保持され、弾性体６０に接合される。

圧電体６２の略中央には貫通孔６７が形成されている。この貫通孔６７は、電極板６６および圧電素子６４の両方に貫通している。かかる圧電体６２を、硬化前の弾性体６０の上面に配置した場合、圧電体６２により、わずかに押圧された弾性体６０の一部が、当該貫通孔６７を介して、圧電体６２の上面に流出する。流出した弾性体６０は、圧電体６２の上面に溜まり、リベット用弾性体６８となる。リベット用弾性体６８は、硬化すれば、圧電体６２の上面に係止するリベットとして機能するのである。これにより、圧電体６２と弾性体６０との接合がより確実になる。

また、この貫通孔６７は、弾性体６０内部に含有された空気の除去にも用いられる。硬化前の高い流動性を備えた弾性体６０には、空気が含有されやすい。かかる空気が含有された状態で弾性体６０が硬化すると、場所ごとに空気の有無で力の伝達性が異なってくる。これを防止するためには、硬化前に弾性体６０から空気を除去することが必要である。通常、弾性体６０に含有された空気は、弾性体６０の硬化前であれば、放置や減圧、あるいは、振動を与えることで、弾性体６０上部まで上昇し、大気中に放出される。しかし、弾性体６０の上面が圧電体６２で完全に覆われている場合には、当該圧電素子６４に遮られて、空気の大気中への放出がなされない。そこで、本実施形態では、圧電体６２に貫通孔６７を設け、弾性体６０内部の空気が当該貫通孔６７を介して大気中に放出されるようにしている。

圧電体６２への電圧印加を解除すれば、圧電体６２は略平坦形状に戻る。このとき、圧電体６２は、略弧状の弾性体６０上面を略平坦面にするべく、弾性体６０の上面を押圧する。この押圧により弾性体６０の上面は略平坦面になるとともに、圧電体６２から受けた押圧力を断面内でほぼ均等に分散された力として弁体５４に伝達する。当該力を受けた弁体５４は、最も撓みやすい部分、すなわち、弁体５４の略中央を中心として撓む。そして、この弁体５４の変形により、弁体５４および弁座５２の間の間隙５６が塞がれ、バルブ５０が閉鎖状態になる。なお、ここでは、バルブ閉鎖時には電圧印加を解除するとしているが、バルブ開放時に印加する電圧とは逆方向の電圧を圧電体に印加するようにしてもよい。かかる逆方向の電圧を圧電体６２に印加した場合、圧電体６２は弁体５４の方向、すなわち、図２（Ａ）とは逆方向に撓むことになる。その結果、弾性体を介して弁体５４に伝達される力が向上し、弁体５４と弁座５２とのシール性がより向上する。シール性が向上することにより、圧力差に起因するフリーフローも防止できる。すなわち、バルブ５０の前後に形成される空間の圧力差が大きい場合には、当該圧力差によって流体が移動するフリーフローが生じることがある。逆方向の電圧を圧電体６２に印加してバルブ５０のシール性を向上させることにより、この圧力差に起因するフリーフローを防止できる。

ここで、以上の説明から明らかなように、本実施形態の駆動体３０は、圧電体６２と弁体５４との間に弾性体６０を介在させ、この弾性体６０を介して駆動力を弁体５４に伝達している。この弾性体６０は、圧電体６２の位置ずれを吸収することができる。そのため、圧電体６２の配置に必要な位置決め精度を低くすることができ、より簡易に圧電体６２を配置できる。そして、結果として、安定して動作し得る駆動体３０およびマイクロポンプ１０をより簡易に得ることができる。これについて説明する。

図３は、圧電体６２および弁体５４の中心がずれていた場合におけるバルブ５０の断面図である。図３（Ａ）は圧電体６２を弁体５４に直接接着した場合の断面図であり、図３（Ｂ）は圧電体６２と弁体５４の間に弾性体６０を介在させた場合の断面図である。

通常、マイクロポンプ１０の弁座５２および弁体５４は、互いに、その中心が一致するように形成されている。また、弁体５４の中心を撓み中心として撓んだ弁体５４で弁座を確実に閉鎖できるように、弁体５４および弁座５２の間の間隙量や圧電体６２への印加電圧量が設定される。

従来、圧電体６２は、接着剤等で弁体５４に直接接着していた（図３（Ａ）参照）。この場合、弁体５４の撓み中心は、圧電体６２の撓み中心、すなわち、圧電体６２の中心と一致する。そのため、圧電体６２が弁体５４の中心からずれた位置に接着されると、弁体５４の撓み中心は、弁体５４の中心からずれてしまう。換言すれば、弁体５４の撓み中心は、弁座５２の中心と一致しなくなる。この場合、弁体５４が所定量撓んでも、弁体５４で弁座５２上面を完全に覆うことはできず、バルブ５０閉鎖時における流体のシール性が低下する。その結果、マイクロポンプ１０の動作が不安定で精度の低いものになってしまう。かかる問題を防止するために、圧電体６２を直接弁体５４に接着する場合には、圧電体６２を高い位置決め精度で弁体５４中心に配置することが必要であった。

一方、本実施形態では、圧電体６２と弁体５４との間に弾性体６０を介在させている図３（Ｂ）参照）。この場合、圧電体６２に位置ずれが生じていても、当該位置ずれを弾性体６０で吸収することができる。すなわち、弁体５４中心から偏心した位置に配された圧電体６２は、まず、弾性体６０にその駆動力を伝達する。弾性体６０は、受けた駆動力を、断面内でほぼ平均化された力として弁体５４に伝達する。ほぼ平均化された力を受けた弁体５４は、その最も撓みやすい部分、すなわち、弁体５４中心を中心として略弧状に撓む。つまり、弾性体６０を介在させることで、弁体５４は、常に、弁体５４の中心を中心として撓むことができる。その結果、弁体５４は弁座５２の上面を確実に覆うことができ、バルブ５０閉鎖時に高い流体シール性が得られる。つまり、本実施形態によれば、高精度での位置決めを行うことなく、高シール性のバルブ５０を得ることができる。ひいては、安定して高精度で動作し得るマイクロポンプ１０を簡易に得ることができる。

さらに、本実施形態によれば、常に高いシール性を得られるため、弁座５２および弁体５４それぞれの対向面にシール部材等を設ける必要がない。従来では、圧電体６２の位置ずれに基づくシール性低下を防止するために、弁座５２および弁体５４の対向面にシール部材を設けることがあった。シール部材は、通常、シリコンゴム等の弾性体６０からなる。かかるシール部材を設けることにより、圧電体６２の多少の位置ずれは吸収されるため、高いシール性が得られる。しかし、シール部材は、弁体５４または弁座５２それぞれの対向面、すなわち、流体の移動経路内に設けられ、流体に直接接触する。そのため、マイクロポンプ１０で取り扱い可能な流体は、シール部材に影響を与えない種類に制限される。また、別のシール性向上技術として、弁体および弁座を軟質材料で形成する技術が知られている。弁体および弁座を軟質材料で形成すれば、圧電対の多少の位置ずれは吸収されるため、高いシール性が得られる。しかし、この場合も、シール部材を設ける場合と同様、弁体および弁座に用いることができる軟質材料の種類によって当該ポンプで取り扱える液体種類や生態適合性が制限される。また、ポンプの一部を別部材で形成するため、コスト増加や、製造方法に何らかの制約を受ける可能性が高かった。

一方、本実施形態の場合は、弁体５４で弁座５２を完全に覆うことができる。そのため、弾性材料からなるシール部材等を設けなくても、高いシール性を得られる。その結果、マイクロポンプ１０の本体部は、ガラスや単結晶シリコンなど、耐薬性の高い材料のみで形成できる。換言すれば、流体の移動経路は、高耐薬性材料のみで形成できる。その結果、マイクロポンプ１０で取り扱い可能な流体の種類が広がり、また、生体適合性も向上できる。特に、トルエンやベンゼンなどの有機溶媒溶液も取り扱うことができる。つまり、本実施形態によれば、マイクロポンプ１０の汎用性をより向上できる。また、弁体、弁座、ポンプダイアフラム、および、流路等を含むポンプ本体部分（駆動体３０を除く部分）を、単結晶シリコンおよびガラス等の同一材質で製造できるため、製造工程を簡易化でき、ひいては、コスト低減も図れる。さらに、ポンプ本体部分の材質として樹脂等を選択すれば、大量生産も容易になる。ただし、当然ながら、本実施形態の駆動体３０は、弁体や弁座を軟質材料で形成したポンプにも本実施形態は適用できる。弁体および弁座を軟質材料で形成したポンプに、本実施形態の駆動体３０を適用することで、更なるシール性の向上が図れる。

また、本実施形態のように弾性体６０を介在させることで、弁体５４やダイアフラムのシワや反りを防止できる。これについて図４を用いて説明する。図４は圧電体６２を弁体５４に直接接着した場合の断面図である。

従来、圧電体６２は、接着剤７６で弁体５４に直接接着される。弁体５４および圧電体６２の間に塗布された接着剤７６は、時間経過とともに硬化し、高い接着性を発揮する。この硬化の過程で、接着剤７６は、わずかながら、収縮を生じる。また、接着剤７６は、その塗布量や塗布位置の違いにより、位置ごとに硬化時間に違いが生じてくる。この硬化時間の相違により、位置による収縮量の相違が生じ、接着剤７６自体に反りやシワが生じる。この場合、接着剤７６に固着されている弁体５４にも反りやシワが生じる。かかる弁体５４の反りやシワは、バルブ５０のシール性を低下させ、ひいては、マイクロポンプ１０の動作安定性も低下させる。また、この反りやシワは弁体５４の寿命も低下させる。この寿命低下の問題は、バルブ５０の弁体５４だけでなく、ポンプ室のダイアフラムにとっても重要な問題である。

これに対し、本実施形態では、圧電体６２と弁体５４との間に弾性体６０を介在させているため、接着剤７６の硬化に伴うシワや反りを防止できる。すなわち、弾性体６０も、接着剤７６同様、硬化に伴う多少の収縮は生じるし、また、その収縮量は位置により多少、相違してくる。しかし、接着剤７６の場合は、その全量が少ないため、わずかな収縮量の相違によって接着剤７６全体が受ける影響は極めて大きい。また、硬化後の接着剤７６は、弾性に乏しい固体になる。そのため、収縮量の相違に基づく反りやシワを接着剤７６自身で吸収することができない。一方、弾性体６０は、その全量が多いため、多少の収縮量の相違が生じても、弾性体６０全体が受ける影響は小さい。また、弾性体６０は、硬化後も高い弾性を有しているため、収縮量の違いにより反りやシワを生じさせる力が働いても、当該力を弾性体６０自身で吸収できる。そのため、弁体５４にシワや反りが生じない。そして、結果として、バルブ５０のシール性を向上でき、マイクロポンプ１０の動作の安定性や信頼性を向上できる。また、弁体やポンプ室のダイアフラムの寿命を向上できる。

また、通常、圧電体６２の電極と弁体５４（またはダイアフラム）との間には完全に絶縁されていることが必要である。そのため、従来では、弁体５４の上面に絶縁層などを形成していた。しかし、この絶縁層形成は煩雑であった。また、絶縁層が適切に形成されず、電極と弁体５４との間の絶縁が不良となる場合もあった。この場合は、弁体５４の駆動が不安定なものとなり、結果として、マイクロポンプ１０の安定性や信頼性を損なっていた。

しかし、本実施形態では、絶縁材料からなる板材の片面に蒸着された導電性金属を電極として利用している。したがって、確実に絶縁を図ることができ、弁体５４（またはダイアフラム）を安定して正確に駆動することができる。また、圧電体６２と弁体５４の間に介在させる弾性体６０の材料に絶縁材料を選択すれば、より確実に絶縁を図ることができる。その結果、マイクロポンプ１０の安定性や信頼性をより向上できる。

次に、この駆動体３０の製造の流れについて、図５を用いて説明する。図５（Ａ）〜（Ｃ）は、弁体５４に接合される駆動体３０の製造の流れを順に示す断面図である。バルブの弁体５４は、単結晶シリコン製の加工板７２に凹部７０を形成することで形成される。この凹部７０は、エッチング等の加工技術により形成される。なお、このとき、弁体５４は、略平坦面であり、弁体５４と弁座５２との間には所定の間隙５６が形成されている。凹部７０が形成されれば、続いて、液状の弾性体６０に、一定時間経過後に所定の弾性を備えた固体になるように、事前に硬化剤を添加しておく。硬化剤を添加した後は、弾性体６０の硬化が始まる前、すなわち、弾性体６０が流動性を有している状態で凹部７０内に弾性体６０を充填する。流動状態である弾性体６０を、凹部７０の上端まで完全に充填すると、弾性体６０の上面は、表面張力により略弧状に盛り上がる。

この弾性体６０の上面に圧電体６２が配される。圧電体６２は、弾性体６０の上面形状に合わせて、電圧印加により略弧状に撓んだ状態で、弾性体６０上面に配される。圧電体６２は、弾性体６０の略中央に配されることが望ましいが、記述したように、多少の位置ずれは弾性体６０により吸収される。したがって、この圧電体６２の配置は、比較的、ラフに行われてもよい。弾性体６０の上面に配置された圧電体６２は、自重または外部からの付加応力により、弾性体６０をわずかに押圧する。この押圧により、弾性体６０の一部は、圧電体６２の貫通孔６７を通じて、圧電体６２の上面に流出する。

この状態で、放置、減圧、あるいは、弾性体６０への振動付加等により、弾性体６０内部の空気を除去する。弾性体６０内部の空気は、徐々に上方に移動し、最終的には、圧電体６２の貫通孔６７を通じて大気中に放出される。その後、さらに、弾性体６０を放置しておくことにより、弾性体６０は、事前に添加された硬化剤の影響により徐々に硬化し、所定の弾性を備えた固体へと変化する。このとき、弾性体６０はわずかながら収縮するが、この収縮により生じる力は、弾性体６０自身で吸収される。したがって、弁体５４にシワや反りが生じることはない。そして、時間が経過し、弾性体６０が完全に硬化すれば、終了となる。なお、ここでは、事前に硬化剤を添加する形態を説明したが、液状の弾性体６０を凹部７０に充填した後に、硬化剤を添加してもよい。

以上の説明から明らかなように、本実施形態によれば、駆動体３０の製造過程に高い精度を要する工程はない。そのため、簡易に安定性や信頼性の高いマイクロポンプ１０を得ることができる。また、製造にかかるコストも低減できる。

なお、以上の説明はノーマルクローズのバルブを例として説明しているが、本実施形態の駆動体３０は、ノーマルオープンのバルブにも応用できる。すなわち、駆動体３０の圧電体６２に、既述の実施例とは逆方向の電圧を印加することで、圧電体６２を下方に湾曲させることができる。この下方への湾曲を利用してノーマルオープンのバルブを構成することができる。具体的には、図９（Ａ）に示すように、上面および下面ともに平坦状態の弾性体６０の上に、電圧を印加していない平坦状態の圧電体６２を貼り付ける。この状態で、圧電体６２に、既述の実施例とは逆方向の電圧を印加すると、図９（Ｂ）に示すように、圧電体６２は下方に湾曲する。この湾曲によって、弾性体６０が押され、その力がほぼ平均化された力として弁体５４に伝達される。その結果、バルブが閉鎖されることになる。

また、以上の説明では、圧電体６２として、単一の圧電素子６４を有したユニモルフを用いているが、当然、他の種類の圧電体６２、例えば、二個の圧電素子６４を有したバイモルフを用いてもよい。また、以上の説明では、単結晶シリコンおよびガラスで、ポンプ本体部分を形成している。このような単結晶シリコンおよびガラスの組み合わせの場合、ソリと絶縁層の保持を目的とした、単結晶シリコンのエッチング処理後の熱酸化処理を不要とすることが可能となるため、製造工程を簡易化できる。ただし、当然ながら、ポンプ本体部を他の材質、例えば、樹脂等を用いて形成してもよい。樹脂等を金型で成形してポンプ本体部分を形成することにより、大量生産が可能となる。

また、以上の説明では、圧電体６２を弁体５４の駆動力発生源（力発生体）としているが、当然、他の種類の駆動力発生源を用いてもよい。例えば、磁石の磁力を駆動力としてもよい。すなわち、図６に示すように、弾性体６０の上面に永久磁石８０を固着し、当該永久磁石８０に対向して磁化自在の電磁石８２を配する。そして、電磁石８２の磁化時における各磁石８０，８２の対向面の磁極を同一にしておけば、電磁石８２および永久磁石８０の間に磁力に基づく反発力が生じ、永久磁石８０が弁体５４の方向に駆動する。この永久磁石８０の駆動により生じる駆動力が弾性体６０によってほぼ平均化された力として弁体５４に伝達される。これにより、弁体５４は、その中心を撓み中心として撓み、バルブ５０が閉鎖される。電磁石８２への通電を解除し、電磁石８２の磁化を解除すれば、永久磁石８０は、弾性体６０の弾性復元力により元の位置に戻る。これにより、弁体５４の撓みも解消され、バルブ５０は開放される。

また、以上の説明では、弁体等に力を伝達する伝達体として、弾性体、すなわち、固体を用いている。しかし、形状変形しながら圧電体で発生した力を駆動対象物である弁体等に伝達するものであれば、液体（ゲル状体、ゾル状体を含む）を伝達体として用いてもよい。図７に図示するように、凹部７０の内部に液体９０を充填し、この液体９０を介して圧電体６４で発生した力を弁体５４に伝達させるようにしてもよい。なお、液体９０は閉鎖空間内に密閉される必要があるので、凹部７０の上面を圧電体６２で覆って凹部７０を閉鎖空間にする。この場合、圧電体６２への電圧印加または印加解除で生じた力は、凹部７０に充填された液体９０に伝達される。力を受けた液体９０は、適宜、形状変形して、当該圧電体６２からの力を等方圧として弁体５４に伝達する。このとき、液体９０は、弾性体に比して、より柔軟に形状変形する。したがって、伝達体として弾性体を用いる場合に比べて、圧電体からの力をより確実に等方圧に変換できる。そして、上述の実施形態と同様に、等方圧を受けた弁体５４は、最も撓みやすい部分、すなわち、弁体５４の中心部分が最も撓むように変形し、これにより、弁体５４と弁座５２との間隙５６が確実に閉鎖される。

また、図８に図示するように、液体として液状樹脂９１を用いるとともに、圧電体６２の中央に形成された貫通孔６７を介して圧電体６２の上面に流出した液状樹脂だけを硬化させてリベット用弾性体６８を形成してもよい。この場合の製造手順を簡単に説明すると、まず、凹部７０の内部に液状樹脂９１（硬化剤未添加）を充填させる。続いて、凹部７０に充填された液状樹脂９１の上面に圧電体６２を配置する。このとき、圧電体６２の中央に形成された貫通孔６７を介して液状樹脂９１の一部が圧電体６２の上面に流出する。この状態で、しばらく放置し、液状樹脂９１に含まれる空気を外部に排出する。空気が排出されれば、圧電体６２の上面に流出した液状樹脂を硬化させ、リベット用弾性体６８を形成する。この圧電体６２の上面に流出した液状樹脂を硬化させる方法としては、空気排出後に、上方から硬化剤を振りまき、液状樹脂９１の表層部分、すなわち、圧電体６２の上面に流出した液状樹脂９１にのみ硬化剤を添加する方法が考えられる。また、液状樹脂９１として放射線や紫外線、電子線、可視光等の照射で硬化する光硬化性樹脂を用い、空気排出後に、上方から光を照射することにより、上面に流出した液状樹脂９１にのみ硬化させてもよい。かかるリベット用弾性体６８を形成することにより、液状樹脂９１の内部に含まれる空気を確実に排出でき、圧力の伝達性を向上できる。また、液状樹脂９１の密閉性をより向上できる。

本発明の実施形態であるマイクロポンプの概略断面図である。 あるバルブの構成を示す断面図で、（Ａ）はバルブ開放時の様子を、（Ｂ）はバルブ閉鎖時の様子を示す。 （Ａ）は従来のバルブの断面図であり、（Ｂ）は本実施形態のバルブの断面図である。 従来のバルブの断面図である。 本実施形態の駆動体の製造工程を示す図である。 他の駆動体の一例を示す図である。 他の駆動体の一例を示す図である。 他の駆動体の一例を示す図である。 他の駆動体の一例を示す図であり、（Ａ）はバルブ開放時の様子を、（Ｂ）はバルブ閉鎖時の様子を示す。

符号の説明

１０ マイクロポンプ、１４，１６，５０ バルブ、１８ ポンプ室、２０ ダイアフラム、２２，２６，５２ 弁座、２４，２８，５４ 弁体、３０ 駆動体、３２，７４ 基板、３４，３６，７２ 加工板、６０ 弾性体、６２ 圧電体、７０ 凹部、８０ 永久磁石、８２ 電磁石、９０ 液体、９１ 液状樹脂。

Claims (11)

1. 流体の流れを制御するマイクロポンプであって、
   薄板状に形成された弁体の駆動で開閉されるバルブと、
   薄板状に形成されたダイアフラムの駆動で流体に流れを付加するポンプ室と、
   弁体またはダイアフラムを駆動対象物として駆動する１以上の駆動体と、
   を有し、各駆動体は、
   駆動対象物を駆動する力を発生する力発生体と、
   当該力発生体と駆動対象物との間に介在し、力発生体で発生した力を受けた際に形状変形しつつ当該力を駆動対象物に伝達する伝達体と、
   を有することを特徴とするマイクロポンプ。
2. 請求項１に記載のマイクロポンプであって、
   駆動対象物は、平板状部材に形成される凹部の底面部であり、
   伝達体は、前記凹部に充填されることを特徴とするマイクロポンプ。
3. 請求項２に記載のマイクロポンプであって、
   伝達体は、前記凹部に充填される弾性体であることを特徴とするマイクロポンプ。
4. 請求項３に記載のマイクロポンプであって、
   弾性体は、流動体の状態で前記凹部に充填された後、所定の弾性になるまで硬化させることにより形成されることを特徴とするマイクロポンプ。
5. 請求項４に記載のマイクロポンプであって、
   力発生体には、貫通孔が形成されており、
   硬化前に力発生体の貫通孔を介して力発生体の上面に流出した弾性体の一部が硬化して形成される係止部材を、さらに、有することを特徴とするマイクロポンプ。
6. 請求項２に記載のマイクロポンプであって、
   伝達体は、前記凹部に形成される閉鎖空間内に密封された液体であることを特徴とするマイクロポンプ。
7. 請求項６に記載のマイクロポンプであって、
   前記液体は、化学変化により硬化して固体に変化する液状樹脂であり、
   力発生体には、貫通孔が形成されており、
   力発生体の貫通孔を介して力発生体の上面に流出した液体の一部のみを硬化して形成される係止部材を、さらに、有することを特徴とするマイクロポンプ。
8. 請求項１から８のいずれか１項に記載のマイクロポンプであって、
   力発生体は、電圧の印加で変形する圧電体であることを特徴とするマイクロポンプ。
9. 請求項１から９のいずれか１項に記載のマイクロポンプであって、
   力発生体は、電圧の印加で変形する圧電体である場合に、
   力発生体は、電圧印加により撓ませた状態で、表面張力により略弧状に盛り上がった伝達体の上面に配されることを特徴とするマイクロポンプ。
10. マイクロポンプ用バルブの弁体、または、マイクロポンプ用ポンプ室のダイアフラムを駆動対象物として駆動する駆動体であって、
    駆動対象物を駆動する力を生じさせる力発生体と、
    当該力発生体と駆動対象物との間に介在し、力発生体で発生した力を受けた際に形状変形しつつ当該力を駆動対象物に伝達する伝達体と、
    を有することを特徴とする駆動体。
11. 流体の流れを制御するマイクロポンプの製造方法であって、
    基板に、その底面がバルブの弁体またはポンプ室のダイアフラムとして機能する凹部を形成する凹部形成工程と、
    凹部に流動性を備えた伝達体を充填する充填工程と、
    表面張力で略弧状に盛り上がった伝達体の上面に、電圧を印加して撓ませた圧電素子を配置する配置工程と、
    を有することを特徴とするマイクロポンプの製造方法。

Images