JP2995401B2 - マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は微小量な液体の高精
度な送液と装置自体の小型化が不可欠である医療分野や
分析分野などにおけるマイクロポンプおよびマイクロバ
ルブの構造および製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の医療分野、分析分野等での応用が
なされているマイクロポンプとして、例えば特開平５−
１６４０５２号広報に記載されているものがある。この
発明は図２に示すようにケーシリング２６の内部に、端
面に液体吸引吐出部材２１が接着されている固定された
積層型圧電アクチュエータと、端面に弁２３が接着され
ている二つの積層型圧電アクチュエータ２２から構成さ
れており、３つのアクチュエータの駆動によって流路管
口２４とポンプ室２５を介して送液を実現する構造とな
っている。

【０００３】また、特開平５−１６６９号広報に記載さ
れているマイクロポンプの場合、図３に示すようにシリ
コン基板３１上の酸化膜の犠牲層上に金属またはポリシ
リコンの薄膜３２を形成し、さらにエッチングによって
犠牲層を除去することにより金属またはポリシリコンの
逆止弁を構成し、ガラス基板３３上に設けた圧電素子３
４によりポンプを構成することを特徴としている。

【０００４】また、特開平５−２６３７６３号広報に記
載される考案の場合、図４に示すようにポンプ室４１の
上下に２個のポンプ駆動用のバイモルフ型圧電素子４２
が取り付けられており、吸入口および吐出口には弁体４
３およびバイモルフ型圧電素子４４からなる流量制御弁
４５が取り付けられており、ポンプ用圧電素子４２と流
体制御弁用圧電素子４４を同一のコントローラ４６で駆
動制御可能な構成となっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図２に示すような積層
型圧電素子をアクチュエータとして用いることによって
能動的なバルブを製作した例の場合、積層型圧電素子自
体の厚みのために薄型化が不可能であるという問題があ
った。また、図３に示すような２つの逆止弁を有したマ
イクロポンプでは、受動的な逆止弁を用いることによっ
て送液を実現しているため、その構造上一方向にしか送
液できないという問題点を有していた。

【０００６】また、図４に示すような、圧電素子のバイ
モルフ型アクチュエータで直接流路を塞ぐことによって
バルブとして用いる場合、流体がアクチュエータに触れ
てしまうためにアクチュエータを保護しなければならな
いという問題点を有していた。そこで本発明では、基板
部のダイアフラムが十分な変位を得ることができるよう
にユニモルフアクチュエータを用い、かつ基板部と天板
部の間にシリコーンゴムなどのパッキンを挟み込むよう
な構造を用いることによって高い密閉性を実現し、薄型
化および双方向送液が可能で、かつ耐圧性および吐出効
率の高いマイクロポンプを実現することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明では、基板上のダ
イアフラムと天板の間でシリコーンゴムなどのパッキン
を挟み込むような構造を用い、バルブ部分において高い
密閉性を実現する。さらにダイアフラムに対して圧電素
子を取り付けたユニモルフアクチュエータを構成し、パ
ッキンとダイアフラム、またはパッキンと天板の間で流
体が流れるような構造を実現し、能動的なマイクロバル
ブを実現する。

【０００８】またこの二つのマイクロバルブと、圧電素
子とダイアフラムによるポンピング部を流路でつなぎ、
各々のアクチュエータを駆動することによって送液をお
こない、薄型で耐圧性および吐出効率が高く、双方向送
液が可能なマイクロポンプを実現する。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明におけるマイクロポンプの
構造を図１に示す。図１(1-a)はマイクロポンプの平面
図を、図１(1-b)はマイクロポンプの断面図を表す。二
つのバルブダイアフラム６と一つのポンピングダイアフ
ラム７はシリコン基板１にエッチングによって形成さ
れ、各ダイアフラムに圧電素子３を取り付けることによ
ってユニモルフアクチュエータを構成している。シリコ
ン基板１は貫通穴５を有したガラス基板２と接合されて
おり、パッキン４はバルブダイアフラム６とガラス基板
２によって挟み込まれた構造となっている。このパッキ
ンの厚みをダイアフラムのエッチング深さよりも高くす
ることによって、ダイアフラムおよびパッキンの剛性に
よってバルブが通常時において閉の状態を実現すること
ができる（図５）。

【００１０】この状態でユニモルフアクチュエータを下
向きに撓ませることによって、ガラス基板とパッキン、
またはパッキンとバルブダイアフラムの間に空間が生
じ、この空間を流体が流れることによってバルブが開の
状態を実現する。またユニモルフアクチュエータを用
い、ポンピングダイアフラムを上向きに撓ませることに
よって液体の吐出を実現することができる。

【００１１】このような二つのマイクロバルブの開閉
と、ポンピングダイアフラムの駆動を順序良くおこなう
ことによって送液を実現する。以下にこの発明の実施例
を図面に基づいて説明する。 ［実施例１］まず図６(6-a)のようなシリコン基板１に
対して、図６(6-b)のように熱酸化によって0.3μｍの酸
化膜８を形成する。続いて表面にレジストのパターンニ
ングをおこない、バッファフッ酸によるウェットエッチ
ングによって酸化膜８の一部を除去する（図６(6-
c)）。次にレジストを全面的に剥離した後に、残された
熱酸化膜をマスクとし図６(6-d)のようにTMAHによって
シリコン基板１のウェットエッチングをおこなう。続い
て図６(6-e)のように酸化膜８をバッファフッ酸によっ
て全面剥離する。このエッチングされた部分がマイクロ
ポンプの各ダイアフラムおよび流路となる。

【００１２】次に図６(6-f)のように再び熱酸化によっ
て全面に厚さ1.2μｍの酸化膜８を形成し、両面アライ
ナを用いてバルブダイアフラムおよびポンピングダイア
フラムが表面と同じ位置になるように、裏面に対してレ
ジストのパターニングをおこなう。このレジストをマス
クとしてバッファフッ酸によって酸化膜８のパターンニ
ングをおこない（図６(6-g)）、レジストの全面剥離
後、図６(6-h)に示すように水酸化カリウム溶液によっ
てシリコン基板１のエッチングをおこなう。このエッチ
ングの深さを調節することによって各ダイアフラムの厚
みを任意に決定することが可能となる。最後に図６(6-
i)のように酸化膜８をバッファフッ酸によって全面的に
剥離し、ダイアフラムを有する基板が完成する。

【００１３】次に図７に示すようにシリコン基板１に対
するガラス基板２の接合をおこなうが、ガラス基板２に
はあらかじめエキシマレーザによって直径0.6〔mm〕の
貫通穴５が形成されており、その位置はシリコン基板に
形成されたバルブダイアフラムの位置と一致している
（図７(7-a)）。続いてあらかじめバルブダイアフラム
の形状に形成してあるパッキンを、ガラス基板とシリコ
ン基板によって挟み込んだ状態で陽極接合をおこなう
（図７(7-b)、図７(7-c)）。耐熱性のシリコーンゴムな
どをパッキンとして用いれば、300℃、1000V程度の陽極
接合に充分耐えることができる。

【００１４】このようにパッキンを挟み込んだ状態で接
合をおこなうことによって、貫通穴５が直接パッキン４
によって塞がれる構造が実現できる。この時、バルブダ
イアフラム６のエッチング深さよりも厚いパッキンと挟
み込むことによって、ダイアフラムおよびパッキンの剛
性によりバルブが通常時において閉の状態を実現するこ
とができる（図５）。このため、パッキンまたはバルブ
ダイアフラムの厚みを任意に設定することによって、外
圧に対するバルブの強さを自由に調整することが可能で
ある。最後にバルブダイアフラム６とポンピングダイア
フラム７に対して圧電素子３を取り付けてユニモルフア
クチュエータを構成する（図７(7-d)）。図７(7-e)は完
成したマイクロポンプの平面図である。

【００１５】続いてバルブの開閉の様子を図１１に基づ
いて説明する。図１１(11-a)はマイクロポンプの平面図
である。図１１(11-b)と図１１(11-c)は図１１(11-a)の
A-A'断面を示しており、図１１(11-d)と図１１(11-e)は
図１１(11-a)のB-B'断面を示している。二つのバルブは
通常時において閉の状態が保たれており（図１１(11-
b)、図１１(11-d)）、ユニモルフアクチュエータを下向
きに撓ませることによってガラス基板とパッキンの間に
空間が生じ（図１１(11-c)、図１１(11-e)）流体が貫通
穴を通過することが可能となる。この場合ユニモルフア
クチュエータによってダイアフラムの中心部が最も大き
な変位をし、周縁部はほとんど変位しない。このためパ
ッキンの幅とバルブダイアフラムの幅を同じにすること
によって、バルブが開の状態になったとしてもパッキン
が動いてしまうことはない。

【００１６】また、ポンピングダイアフラムをユニモル
フアクチュエータで上向きに撓ませることによって流体
の吐出が可能となり、二つのバルブダイアフラムとひと
つのポンピングダイアフラムを順序良く駆動することに
よって、マイクロポンプの送液が実現される。また能動
的なバルブを用いているため、各アクチュエータの駆動
順序を変えることによって吸引側と吐出側を入れ替える
ことも可能である。

【００１７】このようなマイクロポンプは圧電素子を用
いたユニモルフアクチュエータを用いているため非常に
薄型のものを制作することでき、能動的なバルブを用い
ているため双方向の送液が可能である。またパッキンが
ガラス基板とバルブダイアフラムによって挟み込まれた
構造となっているため、耐圧性が高く、かつ送液効率の
高いマイクロポンプを実現することができる。

【００１８】［実施例２］まず、実施例１における図６
と同様の工程をたどり、バルブダイアフラム６およびポ
ンピングダイアフラム７をシリコン基板に形成する（図
８(8-a)）。続いてガラス基板に対してエキシマレーザ
により貫通穴５の加工をおこなうが、貫通穴５はパッキ
ン４から離れたところに位置する構造となる（図８(8-
a)）。このため貫通穴５から入った流体はバルブダイア
フラムとガラス基板によって挟み込まれたパッキン４に
よって堰き止められることになる。

【００１９】続いて、あらかじめバルブダイアフラムと
同じ幅のパッキンを、ガラス基板とシリコン基板によっ
て挟み込んだ状態で陽極接合をおこなう（図８(8-
c)）。耐熱性のシリコーンゴムなどをパッキンとして用
いれば、300℃、1000V程度の陽極接合に充分耐えること
ができる。図８(8-e)はマイクロポンプの平面図を表し
ているが、このようにダイアフラムと同じ幅を持つパッ
キンを用いることによって、貫通穴を通過した流体がパ
ッキンによって堰き止められるような構造が実現され
る。この時バルブダイアフラムのエッチング深さよりも
厚いパッキンと挟み込むことによって、ダイアフラムお
よびパッキンの剛性によりバルブが通常時において閉の
状態を実現することができる（図５）。このため、パッ
キンまたはバルブダイアフラムの厚みを任意に設定する
ことによって、外圧に対するバルブの強さを自由に調整
することが可能である。最後にバルブダイアフラム６と
ポンピングダイアフラム７に対して圧電素子３を取り付
けてユニモルフアクチュエータを構成する（図８(8-
d)）。

【００２０】続いてバルブの開閉の様子を図１２に基づ
いて説明する。図１２(12-a)はマイクロポンプの平面図
である。図１２(12-b)と図１２(12-c)は図１２(12-a)の
A-A'断面を示しており、図１２(12-d)と図１１(12-e)は
図１２(12-a)のB-B'断面を示している。二つのバルブは
通常時において閉の状態が保たれており（図１２(12-
b)、図１２(12-d)）、ユニモルフアクチュエータを下向
きに撓ませることによってガラス基板とパッキン、バル
ブダイアフラムとパッキンの間に空間が生じ（図１２(1
2-c)、図１２(12-e)）流体の通過が可能となる。この場
合ユニモルフアクチュエータによってダイアフラムの中
心部が最も大きな変位をし、周縁部はほとんど変位しな
い。このためパッキンの幅とバルブダイアフラムの幅を
同じにすることによって、バルブが開の状態になったと
してもパッキンが動いてしまうことはない。

【００２１】また、ポンピングダイアフラムをユニモル
フアクチュエータで上向きに撓ませることによって流体
の吐出が可能となり、二つのバルブダイアフラムとひと
つのポンピングダイアフラムを順序良く駆動することに
よって、マイクロポンプの送液が実現される。また能動
的なバルブを用いているため、各アクチュエータの駆動
順序を変えることによって吸引側と吐出側を入れ替える
ことも可能である。

【００２２】このようなマイクロポンプは圧電素子を用
いたユニモルフアクチュエータを用いているため非常に
薄型のものを制作することでき、能動的なバルブを用い
ているため双方向の送液が可能である。またパッキンが
ガラス基板とバルブダイアフラムによって挟み込まれた
構造となっているため、耐圧性が高く、かつ送液効率の
高いマイクロポンプを実現することができる。

【００２３】［実施例３］まず、実施例１における図６
と同様の工程をたどり、バルブダイアフラム６およびポ
ンピングダイアフラム７をシリコン基板に形成する。続
いて図９(9-a)に示すように、ガラス基板２およびバル
ブダイアフラム６に対して接着防止層９をコーティング
しておく。この時フッ素樹脂などの接着防止層を用いる
ことによって、シリコーンゴムなどが硬化時に接着して
しまうことを防ぐことができる。この状態でガラス基板
２に対してエキシマレーザを用いて流体が通過する貫通
穴５の加工をおこなうが、この貫通穴５は接着防止層９
と同じ部分に加工される（図９(9-b)）。また、この貫
通穴の位置はシリコン基板のバルブダイアフラム６とも
一致する。このような加工をおこなったガラス基板２と
シリコン基板１を図９(9-c)のように陽極接合によって
接合する。

【００２４】続いて貫通穴５から硬化前の低粘度シリコ
ーンゴムをダイアフラム内に充填し、その後に硬化させ
ることによって密閉性の高いパッキン４を実現する（図
９(9-d)）。ガラス基板２およびバルブダイアフラム６
にはあらかじめ接着防止層９がコーティングされている
ため、硬化後もパッキンはどちら側とも接着せずに、結
果としてガラス基板とバルブダイアフラムによってパッ
キンが挟み込まれたような構造が実現できる。最後にバ
ルブダイアフラム６とポンピングダイアフラム７に対し
て圧電素子３を取り付けてユニモルフアクチュエータを
構成する（図９(9-e)）。図９(9-f)は完成したマイクロ
ポンプの平面図である。

【００２５】続いてバルブの開閉の様子を図１１に基づ
いて説明する。図１１(11-a)はマイクロポンプの平面図
である。図１１(11-b)と図１１(11-c)は図１１(11-a)の
A-A'断面を示しており、図１１(11-d)と図１１(11-e)は
図１１(11-a)のB-B'断面を示している。二つのバルブは
通常時において閉の状態が保たれており（図１１(11-
b)、図１１(11-d)）、ユニモルフアクチュエータを下向
きに撓ませることによってガラス基板とパッキンの間に
空間が生じ（図１１(11-c)、図１１(11-e)）流体が貫通
穴を通過することが可能となる。この場合ユニモルフア
クチュエータによってダイアフラムの中心部が最も大き
な変位をし、周縁部はほとんど変位しない。このためパ
ッキンの幅とバルブダイアフラムの幅を同じにすること
によって、バルブが開の状態になったとしてもパッキン
が動いてしまうことはない。

【００２６】また、ポンピングダイアフラムをユニモル
フアクチュエータで上向きに撓ませることによって流体
の吐出が可能となり、二つのバルブダイアフラムとひと
つのポンピングダイアフラムを順序良く駆動することに
よって、マイクロポンプの送液が実現される。また能動
的なバルブを用いているため、各アクチュエータの駆動
順序を変えることによって吸引側と吐出側を入れ替える
ことも可能である。

【００２７】このようなマイクロポンプは圧電素子を用
いたユニモルフアクチュエータを用いているため非常に
薄型のものを制作することでき、能動的なバルブを用い
ているため双方向の送液が可能である。またシリコーン
ゴムの充填によってパッキンを形成しているため、耐圧
性が高く、かつ送液効率の高いマイクロポンプを実現す
ることができる。

【００２８】［実施例４］まず、実施例１における図６
と同様の工程をたどり、バルブダイアフラムおよびポン
ピングダイアフラムをシリコン基板に形成する。続いて
図10(10-a)に示すように、ガラス基板２およびバルブダ
イアフラム６に対して接着防止層９をコーティングして
おく。この時フッ素樹脂などの接着防止層を用いること
によって、シリコーンゴムなどが硬化時に接着してしま
うことを防ぐことができる。この状態でガラス基板２に
対してエキシマレーザを用いて貫通穴５の加工をおこな
う。この貫通穴は流体が通過するためのものと、ダイア
フラム内にパッキンを充填するためのものの２種類があ
り、このうち充填用のものは接着防止層９と同じ部分に
加工されることとなる（図１０(10-b)）。このような加
工をおこなったガラス基板２とシリコン基板１を図１０
(10-c)のように陽極接合によって接合する。

【００２９】続いて貫通穴５から硬化前の低粘度シリコ
ーンゴムをダイアフラム内に充填し、硬化させることに
よって密閉性の高いパッキン４を実現する（図１０(10-
d)）。ガラス基板およびバルブダイアフラムにはあらか
じめ接着防止層９がコーティングされているため、パッ
キンはどちら側とも接着せずに、結果としてガラス基板
とバルブダイアフラムにパッキンが挟み込まれたような
構造が実現できる。また、バルブを通過した流体が外部
に漏れることのないように、封止剤１０によって充填穴
を塞ぐ（図１０(10-e)）。これによって残った二つの貫
通穴から流体が出入りし、パッキンによって流れが堰き
止められるような構造が実現される。最後にバルブダイ
アフラム６とポンピングダイアフラム７に対して圧電素
子３を取り付けてユニモルフアクチュエータを構成する
（図１０(10-f)）。図１０(10-g)は完成したマイクロポ
ンプの平面図である。

【００３０】続いてバルブの開閉の様子を図１２に基づ
いて説明する。図１２(12-a)はマイクロポンプの平面図
である。図１２(12-b)と図１２(12-c)は図１２(12-a)の
A-A'断面を示しており、図１２(12-d)と図１１(12-e)は
図１２(12-a)のB-B'断面を示している。二つのバルブは
通常時において閉の状態が保たれており（図１２(12-
b)、図１２(12-d)）、ユニモルフアクチュエータを下向
きに撓ませることによってガラス基板とパッキン、バル
ブダイアフラムとパッキンの間に空間が生じ（図１２(1
2-c)、図１２(12-e)）流体が貫通穴を通過することが可
能となる。この場合ユニモルフアクチュエータによって
ダイアフラムの中心部が最も大きな変位をし、周縁部は
ほとんど変位しない。このためパッキンの幅とバルブダ
イアフラムの幅を同じにすることによって、バルブが開
の状態になったとしてもパッキンが動いてしまうことは
ない。

【００３１】また、ポンピングダイアフラムをユニモル
フアクチュエータで上向きに撓ませることによって流体
の吐出が可能となり、二つのバルブダイアフラムとひと
つのポンピングダイアフラムを順序良く駆動することに
よって、マイクロポンプの送液が実現される。また能動
的なバルブを用いているため、各アクチュエータの駆動
順序を変えることによって吸引側と吐出側を入れ替える
ことも可能である。

【００３２】このようなマイクロポンプは圧電素子を用
いたユニモルフアクチュエータを用いているため非常に
薄型のものを制作することでき、能動的なバルブを用い
ているため双方向の送液が可能である。またシリコーン
ゴムの充填によってパッキンを形成しているため、耐圧
性が高く、かつ送液効率の高いマイクロポンプを実現す
ることができる。

【００３３】

【発明の効果】本発明のマイクロポンプは、シリコンダ
イアフラムと圧電素子のユニモルフ構造を用いているた
めに、非常に薄く製作することが可能であり、小型化が
容易という効果を有している。またパッキンがガラス基
板とシリコン基板によって挟み込まれる構造を適用し、
密閉性の高いマイクロバルブを実現することによって、
耐圧性や吐出性能の高効率化が可能になるという効果を
有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のマイクロポンプの構造を示す平面図お
よび断面図である。

【図２】従来のマイクロポンプの構造を示す断面図であ
る。

【図３】従来のマイクロポンプの構造を示す断面図であ
る。

【図４】従来のマイクロポンプの構造を示す断面図であ
る。

【図５】本発明のマイクロポンプのバルブ構造を示す断
面図である。

【図６】本発明のマイクロポンプの製造方法を示す断面
図である。

【図７】本発明のマイクロポンプの構造および製造方法
を示す断面図および平面図である。

【図８】本発明のマイクロポンプの構造および製造方法
を示す断面図および平面図である。

【図９】本発明のマイクロポンプの構造および製造方法
を示す断面図および平面図である。

【図１０】本発明のマイクロポンプの構造および製造方
法を示す断面図および平面図である。

【図１１】本発明のマイクロポンプのバルブ構造を示す
平面図および断面図である。

【図１２】本発明のマイクロポンプのバルブ構造を示す
平面図および断面図である。

【符号の説明】

１ シリコン基板 ２ ガラス基板 ３ 圧電素子 ４ パッキン ５ 貫通穴 ６ バルブダイアフラム ７ ポンピングダイアフラム ８ 酸化膜 ９ 接着防止層 １０ 封止剤 ２１ 液体吸引吐出部材 ２２ 積層型圧電アクチュエータ ２３ 弁 ２４ 流路管口 ２５ ポンプ室 ２６ ケーシリング ３１ シリコン基板 ３２ ポリシリコン ３３ ガラス基板 ３４ 圧電素子 ４１ ポンプ室 ４２ ポンプ用圧電素子 ４３ 弁体 ４４ 流体制御弁用圧電素子 ４５ 流量制御弁 ４６ コントローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−1669（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−149778（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−158757（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−283272（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−66784（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) F04B 43/00 - 47/14

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体を押し出す機能を有する少なくとも
   一つの加圧部と、流体が通過する流路部と、前記流路部
   の中途に設けられ流体導入・排出口の開閉をおこなう二
   つ以上のバルブ部と、を同一基板上に形成した第１の基
   板と、 前記バルブ部を介して前記流路部に流体を導入・排出す
   る流体導入・排出口を形成した第２の基板と、 から構成されるマイクロポンプにおいて、 前記加圧部と前記バルブ部のいずれも、前記第１の基板
   の一部を均一の厚みに薄層化することにより形成したダ
   イアフラムと、前記ダイアフラムを変形させる圧電素子
   から構成され、 前記バルブ部は、前記ダイアフラムと前記第２の基板の
   間隙にパッキンが設置された構造となっており、前記圧
   電素子への電圧印加に伴う前記ダイアフラムの変形によ
   って、前記パッキンと前記第２の基板、または、前記パ
   ッキンと前記ダイアフラム、の接触または非接触状態が
   変化し、流体導入・排出口の開閉状態が変化することを
   特徴とする マイクロポンプ。
2. 【請求項２】 前記圧電素子は、前記第１の基板上にお
   ける前記ダイアフラム部分の、前記第２の基板と対向す
   る面と反対の面に設置されるとともに、前記パッキン
   が、前記第１の基板および前記ダイアフラムの材質とは
   異なる均一のゴム弾性を有する材料で構成されることを
   特徴とする請求項１記載のマイクロポンプ。
3. 【請求項３】 前記第２の基板上の流体導入・排出口
   が、前記第１の基板上の前記パッキンの直上、あるい
   は、前記流路上で、前記加圧部と前記バルブ部を結ぶ部
   位以外の流路上に設置されていることを特徴とする請求
   項１記載のマイクロポンプ。
4. 【請求項４】 流体を押し出す機能を有する少なくとも
   一つの加圧部と、流体が通過する流路部と、前記流路部
   の中途に設けられ流体導入・排出口の開閉をおこなう二
   つ以上のバルブ部と、を同一基板上に形成した第１の基
   板と、 前記バルブ部を介して前記流路部に流体を導入・排出す
   る流体導入・排出口を形成した第２の基板と、から構成
   されるマイクロポンプの製造方法において、 前記第１の基板の一部を均一の厚みに薄層化して、前記
   加圧部と前記バルブ部の ダイアフラムを形成する工程
   と、前記第１の基板上に流路部を形成する工程と、 前記第２の基板上にパッキン材料の充填口を兼ねる流体
   導入・排出口を 形成する工程と、前記第２の基板上の前記パッキンが接触する部位、およ
   び前記ダイアフラム上の前記パッキンが接触する部位
   に、パッキン材料が接着することを防止する接着防止層
   を形成する工程と、 前記第１の基板と前記第２の基板を 接合あるいは接着す
   る工程と、前記第２の基板上の前記流体導入・排出口から前記パッ
   キン材料を導入、固化させ、前記バルブ部の前記ダイア
   フラムと前記第２の基板の間隙にパッキンを設置する工
   程と、 前記第１の基板の前記ダイアフラム部位の、前記第２の
   基板と対向する面と反対の面に圧電素子を設置する工程
   と、 を含むことを特徴とする マイクロポンプの製造方法。
5. 【請求項５】 流体を押し出す機能を有する少なくとも
   一つの加圧部と、流体が通過する流路部と、前記流路部
   の中途に設けられ流体導入・排出口の開閉をおこなう二
   つ以上のバルブ部と、を同一基板上に形成した第１の基
   板と、 前記バルブ部を介して前記流路部に流体を導入・排出す
   る流体導入・排出口を形成した第２の基板と、から構成
   されるマイクロポンプの製造方法において、 前記第１の基板の一部を均一の厚みに薄層化して、前記
   加圧部と前記バルブ部の ダイアフラムを形成する工程
   と、前記第１の基板上に流路部を形成する工程と、 前記第２の基板上に流体導入・排出口を 形成する工程
   と、前記第２の基板上にパッキン材料充填口を形成する工程
   と、 前記第２の基板上の前記パッキンが接触する部位、およ
   び前記ダイアフラム上の前記パッキンが接触する部位
   に、パッキン材料が接着することを防止する 接着防止層
   を形成する工程と、前記第１の基板と前記第２の基板を 接合あるいは接着す
   る工程と、前記第２の基板上の前記パッキン材料充填口から前記パ
   ッキン材料を導入、固化させ、前記バルブ部の前記ダイ
   アフラムと前記第２の基板の間隙にパッキンを設置する
   工程と、 前記第１の基板のダイアフラム部位の、前記第２の基板
   と対向する面と反対の面に圧電素子を設置する工程と、 を含むことを特徴とする マイクロポンプの製造方法。