JP5073382B2 - マイクロバルブ及びその製造方法 - Google Patents
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このようなマイクロバルブとしては、励磁式のマイクロバルブ(特許文献1)や圧電式のマイクロバルブ(特許文献2)等がある。
励磁式のマイクロバルブは、流体の流入口が形成された第1のシリコン基板と、流入口を開閉するための小突起(弁)とダイアフラムが形成された第2のシリコン基板と、これらのシリコン基板の剥離を防止するための金属枠などによって構成されたもので、流入口を開閉するための小突起がダイアフラム上に形成され、このダイアフラムは湾曲した場合に流入口を押圧して塞ぐように取り付けられ、このダイアフラムには磁性膜が、シリコン基板には励磁コイルがそれぞれ設けられている。
このマイクロバルブは、バルブに動力が印加されていない状態で小突起(弁)が流入口を押圧して塞いでいるため、バルブに動力が印加されていない状態でバルブが閉まっているノーマリクローズド型のマイクロバルブを実現している。
このマイクロバルブは、圧電素子を用いてダイアフラムを変位させることで、この吐出孔を開閉する構成であり、ダイアフラムの中央部が上方に突き出した形でハウジングによって密着固定されているため、弁体部の先端面を吐出口に所定の押圧力で押圧することで閉鎖することができる。したがって、ノーマリクローズド型のバルブを実現することができる。
また、この種のマイクロバルブでは、半導体製造技術を用いて1枚のシリコン基板上に複数のマイクロバルブを一括製造することにより製造コストを低減しているが、シリコン基板を金属枠で押さえつけた構造の場合、2枚のシリコン基板同士の接合を基板状態で一括処理することができず、したがって、複数のマイクロバルブが形成されたシリコン基板を、マイクロバルブ毎に切断、分割した後、金属枠で押さえつける必要があり、製造コストが高くなるという問題点があった。
また、基板としてガラス基板を用いた場合には、陽極接合技術を用いてシリコンダイアフラムとガラス基板を接合することも可能になるが、ノーマリクローズ型のマイクロバルブを実現するために弁体部の先端面を吐出口に所定の押圧力で押し付ける構造にしようとすると、弁体部が吐出口に陽極接合されてしまい、したがって、シリコンダイアフラムとガラス基板を陽極接合技術を用いて接合する場合、マイクロバルブの構造を駆動力を供給していない時に弁体部が吐出口と離れているノーマリオープン型のバルブ構造とする必要があり、ノーマリクローズ型のマイクロバルブを実現することができないという問題点があった。
また、第1の基板及び第2の基板を重ね合わせ、固定部にて接合一体化したことにより、接合された第1の基板と第2の基板に第3の基板を接合する際のダイアフラム部の剛性は、第2の基板の剛性を合わせたものとなり、ダイアフラム部単体の場合の剛性より高くなる。これにより、マイクロバルブを駆動する流体の圧力を小さくするためにダイアフラム部の厚みを薄くした場合においても、接合された第1の基板と第2の基板に第3の基板を接合する際のダイアフラム部が第3の基板の表面に接合されることはない。
また、第3の基板、第1の基板及び第2の基板を重ね合わせ、固定部にて接合一体化したことにより、接合された第1の基板と第2の基板に第3の基板を接合する際のダイアフラム部の剛性は、第2の基板の剛性を合わせたものとなり、ダイアフラム部単体の場合の剛性より高くなる。これにより、マイクロバルブを駆動する流体の圧力を小さくするためにダイアフラム部の厚みを薄くした場合においても、接合された第1の基板と第2の基板に第3の基板を接合する際のダイアフラム部が第3の基板の表面に接合されることはない。
このマイクロバルブでは、第3の基板に形成した凹部と第1の基板の固定部とを接合一体化したことにより、これら第3の基板とダイアフラム部との間隔は、凹部が無い場合と比べて狭くなり、ダイアフラム部は固定部を支点として湾曲することとなり、その結果、このダイアフラム部に備えられた弁体部は第3の基板の流体の流入口及び流出口に押圧されることとなる。これにより、マイクロバルブの閉鎖時における耐圧が高くなり、閉鎖時における流体の漏れ量も少なくなる。
このマイクロバルブでは、第3の基板に形成した凹部と第1の基板の固定部とを接合一体化したことにより、これら第3の基板とダイアフラム部との間隔は、凹部が無い場合と比べて狭くなり、ダイアフラム部は固定部を支点として湾曲することとなり、その結果、このダイアフラム部に備えられた弁体部は第3の基板の流体の流入口及び流出口に押圧されることとなる。これにより、マイクロバルブの閉鎖時における耐圧が高くなり、閉鎖時における流体の漏れ量も少なくなる。
このマイクロバルブでは、開孔部の開口端の面積を、弁体部の上端の面積より小かつ突起部の上端の面積より大としたことにより、開孔部の開口端の面積、弁体部の上端の面積及び突起部の上端の面積各々が最適化される。
このマイクロバルブの製造方法では、大気圧の圧力差を用いてダイアフラム部を第2の基板側に向けて撓ませること、及び、第3の基板を接合した後に第1の基板と第2の基板の間に形成された真空を大気圧に戻すことによって圧力差を解消する。よって、ダイアフラム部を撓ませるための手段を別途設ける必要がなく、新たな工程を設ける必要もない。
このマイクロバルブの製造方法では、陽極接合時に発生する静電力及びその接合力を用いてダイアフラム部を第2の基板側に向けて撓ませることにより、ダイアフラム部を撓ませるための手段を別途設ける必要がなく、新たな工程を設ける必要もない。
また、第3の基板、第1の基板及び第2の基板を重ね合わせ、固定部にて接合一体化したので、接着剤と基板の熱膨張率差に起因する応力の変動もなく、環境温度の変化に対しても歪みが生じる虞がなく、圧力−流量特性等の諸特性が変化する虞もないノーマリクローズド型のマイクロバルブを提供することができる。
また、第3の基板、第1の基板及び第2の基板を重ね合わせ、固定部にて接合一体化したので、ダイアフラム部単体の場合と比べて、ダイアフラム部の剛性を高くすることができる。したがって、ダイアフラム部の厚みを薄くした場合においても、第2の基板に陽極接合した第1の基板を第3の基板に陽極接合する工程において、弁体部と第3の基板の表面の間の距離を広くできるため、弁体部と第3の基板の表面の間に発生する電界強度を抑制でき、弁体部と第3の基板の表面に働く静電気力を、ダイアフラム部が大気圧によって第2の基板の溝の底部に押しつけられる力より小さくすることができる。
したがって、ダイアフラム部の厚みを薄くした場合においても、第2の基板に陽極接合した第1の基板を第3の基板に陽極接合する工程において、弁体部と第3の基板の表面の間の距離を広くできるため、弁体部と第3の基板の表面の間に発生する電界強度を抑制でき、弁体部と第3の基板の表面に働く静電気力を、ダイアフラム部が大気圧によって第2の基板の溝の底部に押しつけられる力より小さくすることができる。
なお、これらの形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
また、以下の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
図1は、本発明の第1の実施形態のマイクロバルブを示す断面図であり、図において、1は第1の基板、2は第2の基板、3は第3の基板であり、これら第3の基板3、第1の基板1及び第2の基板2は順次重ね合わされて接合一体化されている。
第2の基板2は、第1の基板1と同じ大きさでありかつ陽極接合できる材質、例えばNa等の可動イオンを含むガラス基板21のダイアフラム11に相対する位置に下側からのエッチング加工によりダイアフラム11が湾曲するために必要な空隙となる溝部22が形成され、この溝部22の一端部に、弁13の表面積より狭い面積を有する弁13及びダイアフラム12を駆動するための流体の流入口及び流出口である開孔部23が形成されている。
第3の基板3は、第2の基板2と同じ材質のガラス基板31の弁13に相対する位置に下側からのエッチング加工により、このマイクロバルブを制御するための流体の流入口及び流出口32が形成されている。
そこで、この第1の基板1のダイアフラム12と第2の基板2の溝部22により構成される空隙24内の圧力を低くすると、この圧力の低下に伴いダイアフラム12は上方に湾曲し、このダイアフラム12の湾曲に伴い、流体の流入口及び流出口32を閉鎖していた弁13は第3の基板3の表面から離れ、この流体の流入口及び流出口32を開放するので流体が流れることとなる。すなわち、マイクロバルブは「開」の状態になる。
弁13を開閉するために必要な圧力は、制御したい流体の圧力、ダイアフラム12の面積、厚さ及び剛性、流体の流入口及び流出口32の開口端の面積などによって異なる。
まず、第1の基板用としてSOI基板11を用意する。このSOI基板11は、100〜600μm程度の厚さの単結晶Si(100)からなる支持基板101上に、厚さ0.1〜10μm程度の埋め込み酸化膜102、1〜100μm程度の厚さの単結晶Si(100)からなる薄膜層103が順次形成されている(図2(a))。
このSOI基板11では、支持基板101、埋め込み酸化膜102、薄膜層103各々の厚さは、マイクロバルブが制御する流体の流量、圧力などにより適宜、最適化されている。また、このSOI基板11の大きさも、製造に利用する装置により4インチ基板、6インチ基板等、各種サイズから選択する必要があることは言うまでもない。
次いで、酸化膜105上にフォトレジスト111を塗布し(図2(c))、このフォトレジスト111を露光、現像することにより、弁13及び固定部14のパターン111aを形成する(図2(d))。
次いで、このパターン111aを、加熱した濃硫酸、濃硫酸と過酸化水素水の混合液(ピラニア)などの薬液を用いて処理することにより、除去する(図2(f))。このパターン111aを除去するには、上記の方法の他、酸素プラズマ処理などを用いて灰化処理する方法でも良く、この灰化処理後に上記薬液で処理しても良い。
なお、KOHをエッチング液として用いる場合には、酸化膜105の替わりにKOHによるエッチング速度の遅い窒化ケイ素膜を用いることが望ましい。この場合、窒化ケイ素膜とSOI基板11との間に酸化膜を形成し、窒化ケイ素膜の応力を緩和することが望ましい。この窒化ケイ素膜のエッチングとしては、CF4などのフッ素を含むガスを用いたドライエッチングを用いる。
次いで、ウェットエッチングまたはドライエッチングを用いて酸化膜104、105をエッチングし、また、同様に埋め込み酸化膜102の露出部分をエッチングする。これにより、弁116、ダイアフラム117及び固定部118が形成される(図3(i))。
ウェットエッチングの場合、エッチング液として希釈フッ酸、緩衝フッ酸などを用いるが、界面活性剤を含んだエッチング液を用いても良い。また、ドライエッチングの場合、CF4などのフッ素を含むガスなどを用いる。
このようにして第1の基板119が得られる。
次いで、フォトリソグラフィ及びエッチングにより、エッチングマスク膜122に開孔部123を形成する(図3(l))。エッチングは、ウェットエッチング、ドライエッチングのいずれを用いても良い。
次いで、このエッチングマスク膜122をウェットエッチングなどを用いて除去し、このガラス基板121の表面(第1の基板1と陽極接合により接合される面の反対側の面)側にドライフィルムからなるレジスト膜125を貼り付け、露光、現像することにより開孔部126を形成する(図3(n))。
次いで、開孔部127に、ガラス基板121を構成するガラスに対して選択的にエッチングすることができ、かつ陽極接合の加熱温度では溶解しない材質、例えばアルミニウムなどの金属128を埋め込み、開孔部127を閉鎖し、第2の基板129とする(図4(q))。
陽極接合後、これら第1の基板119と第2の基板129を大気中に取り出すと、第2の基板129に形成された溝部124と第1の基板119のダイアフラム117で囲まれる空隙が真空になっているので、ダイアフラム117が変形し、弁116が第2の基板129に引きつけられる。
このとき、弁116上のダイアフラム部117には酸化膜104が形成されており、ダイアフラム部117は酸化膜104を挟んで第2の基板129と接触している。陽極接合法では、酸化膜104とガラス基板121は接合しないので、ダイアフラム107は第2の基板129に酸化膜104を介して接触するだけで、接合されない(図4(r))。
次いで、この開口部143が形成されたレジスト膜142をマスクとして、サンドブラスト法等によりガラス基板141に厚さ方向に貫通する流体の流入口及び流出口144を形成する(図4(t))。
次いで、レジスト膜142を除去し、第3の基板145とする(図4(u))。
このとき、第1の基板119の弁116は第2の基板129に引きつけられているので、溝部124の深さを適切に設定することにより、弁116を第3の基板145から十分離すことができる。したがって、弁116は、第1の基板119と第3の基板145を陽極接合する際に、これらの基板119、145に印加される電圧により発生する静電気力によって第2の基板129に引きつけられ、陽極接合されることはない(図4(v))。
この空隙が大気圧になると、ダイアフラム117を変形させていた圧力差が無くなり、ダイアフラム117はそれ自体が有する弾性力により元の形に戻り、弁116を第3の基板145に押圧する。したがって、弁116は第3の基板145に接触し流体の流入口及び流出口144を閉鎖する(図4(w))。
以上により、本実施形態のマイクロバルブを作製することができる。
また、この第2の基板129に形成した開孔部127は、このマイクロバルブを開閉動作させるための動力源である気体の導入口として利用することができる。
図5は、本発明の第2の実施形態のマイクロバルブを示す断面図であり、本実施形態のマイクロバルブが第1の実施形態のマイクロバルブと異なる点は、ダイアフラム12の上面側に絶縁膜が設けられていない第1の基板201と、ガラス基板21の溝部22の中央部に、弁13の表面積より広い面積の開口端211を有しかつ弁13及びダイアフラム12を駆動するための開孔部212を形成した第2の基板213を用い、これらを接合一体化した点である。
また、SOI基板11を用意する工程から支持基板101に開孔部113を形成する工程までは、図2中の(a)から(g)までの工程と同一であるから、ここでは、説明を省略し、支持基板101に開孔部113を形成した以降の工程について説明する。
このようにして第1の基板201が得られる。
次いで、フォトリソグラフィ及びエッチングにより、エッチングマスク膜122に開孔部123を形成する(図6(c))。エッチングは、ウェットエッチング、ドライエッチングのいずれを用いても良い。
次いで、このエッチングマスク膜122をウェットエッチングなどを用いて除去する。
次いで、フォトリソグラフィ及びエッチングにより、エッチングマスク膜301に開孔部302を形成する(図6(f))。エッチングは、ウェットエッチング、ドライエッチングのいずれを用いても良い。
このとき、ダイアフラム117は陽極接合時に印加される電界により発生する静電気力により、ガラス基板121に引き寄せられて陽極接合される(図6(g))。
次いで、この開口部143が形成されたレジスト膜142をマスクとして、サンドブラスト法等によりガラス基板141に厚さ方向に貫通する流体の流入口及び流出口144を形成する(図7(i))。
次いで、レジスト膜142を除去し、第3の基板145とする(図7(j))。
このとき、ダイアフラム117がガラス基板121の溝部124に予め陽極接合されているので、溝部124の深さを適切に設定することにより、第1の基板201に形成された弁116を第3の基板145と十分離すことができる。したがって、弁116は第1の基板201と第3の基板145を陽極接合する際、これらの基板201、145に印加される電圧により発生する静電気力によって第3の基板145に引きつけられて陽極接合されることはない(図7(k))。
次いで、ガラス基板121に形成されたエッチングマスク膜301をウェットエッチングもしくはドライエッチングにより除去し、第2の基板213とする(図7(m))。
以上により、本実施形態のマイクロバルブを作製することができる。
図8は、本発明の第3の実施形態のマイクロバルブを示す断面図であり、本実施形態のマイクロバルブが第1の実施形態のマイクロバルブと異なる点は、ガラス基板31の第1の基板1の固定部14との接合部に凹部401を形成した第3の基板402を用い、第3の基板402の凹部401と第1の基板1の固定部14とを接合一体化した点である。
なお、本実施形態の製造方法のうち第1の基板用としてSOI基板11を用意する工程から、第1の基板119と第2の基板129を真空中で陽極接合する工程までは、第1の実施形態の図2(a)〜図4(r)の工程と同一であるから、これらの工程については説明を省略し、第3の基板用としてガラス基板を用意する工程以降について説明する。
次いで、レジスト膜142を除去し、第3の基板402とする(図9(d))。
このとき、第1の基板119の弁116は第2の基板129に引きつけられているので、溝部124の深さを適切に設定することにより、弁116を第3の基板402から十分離すことができる。したがって、弁116は、第1の基板119と第3の基板402を陽極接合する際に、これらの基板119、402に印加される電圧により発生する静電気力によって第2の基板129に引きつけられ、陽極接合されることはない(図9(e))。
この空隙が大気圧になると、ダイアフラム117を変形させていた圧力差が無くなり、ダイアフラム117の湾曲が緩和され、弁116は第3の基板402に押圧される。したがって、弁116は第3の基板402に接触し流体の流入口及び流出口144を閉鎖する(図9(f))。
以上により、本実施形態のマイクロバルブを作製することができる。
さらに、ガラス基板31の第1の基板1の固定部14との接合部に凹部401を形成した第3の基板402を用い、第3の基板402の凹部401と第1の基板1の固定部14とを接合一体化したので、ダイアフラム117に設けられた弁116を第3の基板402の流体の流入口及び流出口144に押圧させることができる。したがって、マイクロバルブの閉鎖時における耐圧を高くすることができ、閉鎖時における流体の漏れ量も少なくすることができる。
図10は、本発明の第4の実施形態のマイクロバルブを示す断面図であり、本実施形態のマイクロバルブが第2の実施形態のマイクロバルブと異なる点は、ガラス基板31の第1の基板201の固定部14との接合部に凹部401を形成した第3の基板402を用い、第3の基板402の凹部401と第1の基板201の固定部14とを接合一体化した点である。
なお、本実施形態の製造方法のうち第1の基板用としてSOI基板11を用意する工程から、第1の基板201とエッチングマスク膜301が形成されたガラス基板121とを陽極接合する工程までは、第2の実施形態の図6(a)〜(g)の工程と同一であるから、これらの工程については説明を省略し、第3の基板用としてガラス基板を用意する工程以降について説明する。
次いで、レジスト膜142を除去し、第3の基板402とする(図11(d))。
このとき、第1の基板201に形成された弁116は、ガラス基板121の溝部124に予め陽極接合されているので、溝部124の深さを適切に設定することにより、第3の基板402と十分離すことができる。したがって、弁116は第1の基板201と第3の基板402を陽極接合する際、これらの基板201、402に印加される電圧により発生する静電気力によって第3の基板402に引きつけられて陽極接合されることはない(図11(e))。
次いで、ガラス基板121に形成されたエッチングマスク膜301をウェットエッチングもしくはドライエッチングにより除去し、第2の基板213とする(図12(g))。
以上により、本実施形態のマイクロバルブを作製することができる。
さらに、ガラス基板31の第1の基板1の固定部14との接合部に凹部401を形成した第3の基板402を用い、第3の基板402の凹部401と第1の基板1の固定部14とを接合一体化したので、ダイアフラム117に設けられた弁116を第3の基板402の流体の流入口及び流出口144に押圧させることができる。したがって、マイクロバルブの閉鎖時における耐圧を高くすることができ、閉鎖時における流体の漏れ量も少なくすることができる。
図13は、本発明の第5の実施形態のマイクロバルブを示す断面図であり、本実施形態のマイクロバルブが第2の実施形態のマイクロバルブと異なる点は、ダイアフラム12の開孔部212側かつ弁13に相対する位置に開孔部212に向かって突出する突起部501を設けた第1の基板502と、ガラス基板21の溝部22の中央部に形成された開孔部503の開口端504の面積を弁13の上端13aの面積より小かつ突起部501の上端501aの面積より大とした第2の基板505とを用い、これら第1の基板502及び第2の基板505を接合一体化した点である。
まず、第1の基板用としてSOI基板11を用意する。このSOI基板11は、100〜600μm程度の厚さの単結晶Si(100)からなる支持基板101上に、厚さ0.1〜10μm程度の埋め込み酸化膜102、1〜100μm程度の厚さの単結晶Si(100)からなる薄膜層103が順次形成されている(図14(a))。
次いで、酸化膜104上にフォトレジスト511を塗布し(図14(c))、このフォトレジスト511を露光、現像することにより、突起部501のパターン511aを形成する(図14(d))。
次いで、このパターン511aを、加熱した濃硫酸、濃硫酸と過酸化水素水の混合液(ピラニア)などの薬液を用いて処理することにより、除去する(図14(f))。このパターン511aを除去するには、上記の方法の他、酸素プラズマ処理などを用いて灰化処理する方法でも良く、この灰化処理後に上記薬液で処理しても良い。
なお、KOHをエッチング液として用いる場合、マスクパターン512としては、酸化膜の替わりにKOHによるエッチング速度の遅い窒化ケイ素膜を用いることが望ましい。この場合、窒化ケイ素膜とSOI基板11との間に酸化膜を形成し、窒化ケイ素膜の応力を緩和することが望ましい。この窒化ケイ素膜のエッチングとしては、CF4などのフッ素を含むガスを用いたドライエッチングを用いる。
次いで、裏面側の酸化膜514上にフォトレジストを塗布し露光、現像することにより、酸化膜514上の弁13に相対する位置にパターン515を形成する。
次いで、ウェットエッチングまたはドライエッチングを用いて酸化膜514をエッチングし、開口部516を形成する(図15(i))。
ウェットエッチングの場合、エッチング液として希釈フッ酸、緩衝フッ酸などを用いるが、界面活性剤を含んだエッチング液を用いても良い。また、ドライエッチングの場合、CF4などのフッ素を含むガスなどを用いる。
ウェットエッチングの場合、エッチング液として希釈フッ酸、緩衝フッ酸などを用いるが、界面活性剤を含んだエッチング液を用いても良い。また、ドライエッチングの場合、CF4などのフッ素を含むガスなどを用いる。
次いで、フォトリソグラフィ及びエッチングにより、エッチングマスク膜122に開孔部123を形成する(図15(m))。エッチングは、ウェットエッチング、ドライエッチングのいずれを用いても良い。
次いで、このエッチングマスク膜122をウェットエッチングなどを用いて除去する。
次いで、フォトリソグラフィ及びエッチングにより、エッチングマスク膜301に開孔部521を形成する(図15(p))。エッチングは、ウェットエッチング、
ドライエッチングのいずれを用いても良い。
このとき、ダイアフラム117は陽極接合時に印加される電界により発生する静電気力により、ガラス基板121に引き寄せられて陽極接合される(図16(q))。
次いで、この開口部143が形成されたレジスト膜142をマスクとして、サンドブラスト法等によりガラス基板141に厚さ方向に貫通する流体の流入口及び流出口144を形成する(図16(s))。
次いで、レジスト膜142を除去し、第3の基板145とする(図16(t))。
このとき、第1の基板502に形成された弁116は、ダイアフラム117及び突起部501を介してガラス基板121の溝部124に予め陽極接合されているので、溝部124の深さを適切に設定することにより、第3の基板145と十分離すことができる。したがって、弁116は第1の基板502と第3の基板145を陽極接合する際、これらの基板502、145に印加される電圧により発生する静電気力によって第3の基板145に引きつけられて陽極接合されることはない(図16(u))。
次いで、ガラス基板121に形成されたエッチングマスク膜301をウェットエッチングもしくはドライエッチングにより除去し、第2の基板505とする(図16(w))。
以上により、本実施形態のマイクロバルブを作製することができる。
さらに、ダイアフラム12の開孔部212側かつ弁13に相対する位置に開孔部212に向かって突出する突起部501を設けた第1の基板502と、ガラス基板21の溝部22の中央部に形成された開孔部503の開口端504の面積を弁13の上端13aの面積より小かつ突起部501の上端501aの面積より大とした第2の基板505とを接合一体化したので、第1の基板502と第2の基板505を接合する面積を狭くすることができ、第2の基板505の開孔部503も狭くすることができる。その結果、マイクロバルブをより微細化することができ、製造コストも低減することができる。
図17は、本発明の第6の実施形態のマイクロバルブを示す断面図であり、本実施形態のマイクロバルブが第5の実施形態のマイクロバルブと異なる点は、ガラス基板31の第1の基板502の固定部14との接合部に凹部401を形成した第3の基板402を用い、第3の基板402の凹部401と第1の基板502の固定部14とを接合一体化した点である。
なお、本実施形態の製造方法のうち第1の基板用としてSOI基板11を用意する工程から、第1の基板502とエッチングマスク膜301が形成されたガラス基板121とを陽極接合する工程までは、第5の実施形態の図14(a)〜図16(q)の工程と同一であるから、これらの工程については説明を省略し、第3の基板用としてガラス基板を用意する工程以降について説明する。
次いで、レジスト膜142を除去し、第3の基板402とする(図18(d))。
このとき、第1の基板502に形成された弁116は、ダイアフラム117及び突起部501を介してガラス基板121の溝部124に予め陽極接合されているので、溝部124の深さを適切に設定することにより、第3の基板402と十分離すことができる。したがって、弁116は第1の基板502と第3の基板402を陽極接合する際、これらの基板502、402に印加される電圧により発生する静電気力によって第3の基板402に引きつけられて陽極接合されることはない(図18(e))。
次いで、ガラス基板121に形成されたエッチングマスク膜301をウェットエッチングもしくはドライエッチングにより除去し、第2の基板505とする(図18(g))。
以上により、本実施形態のマイクロバルブを作製することができる。
さらに、ガラス基板141の第1の基板502の固定部14との接合部に凹部401を形成した第3の基板402を用い、第3の基板402の凹部401と第1の基板502の固定部14とを接合一体化したので、ダイアフラム117に設けられた弁116を第3の基板402の流体の流入口及び流出口144に押圧させることができる。したがって、マイクロバルブの閉鎖時における耐圧を高くすることができ、閉鎖時における流体の漏れ量も少なくすることができる。
図19は、本発明の第7の実施形態のマイクロバルブを示す断面図であり、本実施形態のマイクロバルブは、第1の実施形態のマイクロバルブを2個、同一基板上に設けた構成である。
このマイクロバルブでは、陽極接合装置の真空吸着ステージ601に真空配管602を利用して第1の基板603と第2の基板604を陽極接合した基板を真空吸着し、真空配管602と第2の基板604の開孔部23を通じて、ダイアフラム117と第2の基板604によって形成される空隙の内部を排気し、ダイアフラム117を湾曲させている。
しかも、第2の基板604に形成された開孔部23を閉鎖せずに開放したままの状態で第3の基板605と陽極接合する際に、第2の基板604を真空吸着ステージ601に固定し、この真空吸着ステージ601の真空を利用して第1の基板603の各々のダイアフラム117を第2の基板604の溝部22の内側それぞれに湾曲させることにより、弁13と第3の基板605の表面との距離を大きくとることができる。その結果、第2の基板604の開孔部23を封止し、エッチングにより再開孔する工程を省略することができる。
図20は、本発明の第8の実施形態のマイクロバルブを示す断面図であり、本実施形態のマイクロバルブが第6の実施形態のマイクロバルブと異なる点は、第2の基板701の溝部22の底部に電極702を設け、この第2の基板701に厚み方向に貫通する配線703、704を形成した点である。
このマイクロバルブでは、電極702には配線703を通じて、ダイアフラム12には配線704を通じて、それぞれ給電され、これら対向する電極702とダイアフラム12との間に電圧を印加することにより静電気力が発生し、ダイアフラム12と弁13の動きを制御する静電駆動構造となっている。
しかも、第2の基板701の溝部22の底部に電極702を設け、この第2の基板701に厚み方向に貫通する配線703、704を形成したので、静電気力という流体以外の動力を用いることができる。
このノーマリオープン型のマイクロバルブにおいても、場合によっては第3の基板を陽極接合する際に、弁が第3の基板に静電気力で引き寄せられ、陽極接合されてしまう可能性があるが、本発明の構造及び製造方法を利用することにより、弁と第3の基板の表面とが陽極接合されてしまうのを抑制することができる。
また、第1の基板としてSOI基板を用いたが、単結晶シリコン基板を用いることもできる。
また、支持基板のエッチングとして、異方性エッチングの替わりにドライエッチングを用いることもできる。
さらに、一般の半導体デバイスの製造方法と同様、複数のマイクロバルブを同時に1つの基板上に形成し、最後にダイシング等を用いて切断することにより、一括で大量生産することもできる。
2、129、213、505、604、701 第2の基板
3、145、402、605 第3の基板
11 SOI基板
12 ダイアフラム
13 弁
13a 上端
14 固定部
15 絶縁膜
21、31 ガラス基板
22 溝部
23 開孔部
24 空隙
32、144 流体の流入口及び流出口
101 支持基板
102 埋め込み酸化膜
103 薄膜層
104、105 酸化膜
111 フォトレジスト
111a パターン
112、143 開口部
113 開孔部
114 パターン
121、141 ガラス基板
122 エッチングマスク膜
123 開孔部
124 溝部
125、142 レジスト膜
127 開孔部
128 金属
211 開口端
212 開孔部
301、411 エッチングマスク膜
302、412 開孔部
401 凹部
501 突起部
501a 上端
503 開孔部
504 開口端
511 フォトレジスト
511a パターン
512 マスクパターン
513、514 酸化膜
515 パターン
601 真空吸着ステージ
602 真空配管
702 電極
703、704 配線
Claims (8)
- ダイアフラム部の一方の面側に弁体部及び固定部を備えた第1の基板と、前記ダイアフラム部に相対する位置に溝部が形成されるとともに当該溝部に前記弁体部及び前記ダイアフラム部を駆動するための流体の開孔部が形成された第2の基板と、前記弁体部に相対する位置に流体の流入口及び流出口が形成された第3の基板とを備え、これら第3の基板、第1の基板及び第2の基板を重ね合わせ、前記固定部にて接合一体化してなるマイクロバルブにおいて、
前記開孔部の開口端の面積は、前記弁体部の上端の面積より大であることを特徴とするマイクロバルブ。 - ダイアフラム部の一方の面側に弁体部及び固定部を備えた第1の基板と、前記ダイアフラム部に相対する位置に溝部が形成されるとともに当該溝部に前記弁体部及び前記ダイアフラム部を駆動するための流体の開孔部が形成された第2の基板と、前記弁体部に相対する位置に流体の流入口及び流出口が形成された第3の基板とを備え、これら第3の基板、第1の基板及び第2の基板を重ね合わせ、前記固定部にて接合一体化してなるマイクロバルブにおいて、
前記ダイアフラム部の前記開孔部側かつ前記弁体部に相対する位置に、前記開孔部に向かって突出し、かつ前記弁体部の上端より面積の小さな突起部を設けてなることを特徴とするマイクロバルブ。 - 前記第3の基板の前記第1の基板との接合部に凹部を形成し、この凹部と前記固定部とを接合一体化してなることを特徴とする請求項1記載のマイクロバルブ。
- 前記第3の基板の前記第1の基板との接合部に凹部を形成し、この凹部と前記固定部とを接合一体化してなることを特徴とする請求項2記載のマイクロバルブ。
- 前記開孔部の開口端の面積は、前記弁体部の上端の面積より小かつ前記突起部の上端の面積より大であることを特徴とする請求項2または4記載のマイクロバルブ。
- ダイアフラム部の一方の面側に弁体部及び固定部を備えた第1の基板と、前記ダイアフラム部に相対する位置に溝部が形成されるとともに当該溝部に前記弁体部及び前記ダイアフラム部を駆動するための流体の開孔部が形成された第2の基板と、前記弁体部に相対する位置に流体の流入口及び流出口が形成された第3の基板とを備え、これら第3の基板、第1の基板及び第2の基板を重ね合わせ、前記固定部にて接合一体化してなるマイクロバルブの製造方法であって、
前記第1の基板と前記第2の基板とを接合すると共に、前記ダイアフラム部を前記第2の基板側に向けて撓ませ、次いで、これら第1及び第2の基板に前記第3の基板を接合し、次いで、前記ダイアフラム部の撓みを開放または緩和することを特徴とするマイクロバルブの製造方法。 - 前記ダイアフラム部を圧力差を用いて前記第2の基板側に向けて撓ませることを特徴とする請求項6記載のマイクロバルブの製造方法。
- 前記ダイアフラム部を陽極接合時に発生する静電引力及びその接合力を用いて前記第2の基板側に向けて撓ませることを特徴とする請求項6記載のマイクロバルブの製造方法。
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