JP2007197828A - 薄膜の形成方法およびそれに用いるマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口パターンが形成された平板状のマスク2を介して、ノズル11から噴射された超微粒子を基板3上に堆積させ、前記開口パターンに対応する形状の薄膜を基板3上に成膜する。マスク2は、前記開口パターンの外郭を画定する外郭画定部2aと、その外郭画定部2aの内側に開口2bを介して配され前記開口パターンの内郭を画定する遮蔽部2bと、外郭画定部2aと遮蔽部2cとの間に延在しこれらを連結する桁部2dとを有する。この桁部2dは、マスク2の底面から離れた位置に形成する。
【選択図】 図2
Description
2 メタルマスク
2a 外郭画定部
2b 開口
2c 遮蔽部
2d 桁部
3 基板
11,11A,11B ノズル
12 超微粒子
42a〜42g 桁部
Claims (20)
- 基板上に薄膜を形成する方法であって、
平板状のマスクであって、第1の領域、第1の領域を取り囲んで配置されて、第1の領域との間に第1の領域を取り囲む開口を画定する第2の領域、及び、所定の方向に延在して第1の領域と第2の領域とを連結し、前記マスクの一方の面から所定の空隙をもって配置された桁を有するマスクを前記基板上に配置する第1工程と、
前記基板及び前記マスクの上方に超微粒子を噴射する粒子噴射装置を配置する工程と、
前記粒子噴射装置が前記マスクの上面側から前記超微粒子を噴射することにより、前記基板上に前記所定のパターンに対応する形状の薄膜を形成する第2工程とを備える薄膜の形成方法。 - 前記桁は、前記マスクの前記一方の面側に向かって先細っている請求項1記載の薄膜の形成方法。
- 第2工程において、前記粒子噴射装置は、前記マスクの前記一方の面に対して傾斜し、かつ、前記桁の延在方向と交差する方向に前記超微粒子を噴射する請求項1または2に記載の薄膜の形成方法。
- 第2工程において、前記粒子噴射装置は、前記マスクの前記一方の面に平行であって且つ前記桁の延在方向と直交する方向に沿って、前記マスクに相対して往復移動しつつ、前記超微粒子を噴射する請求項1〜3のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 前記粒子噴射装置は、前記超微粒子を前記マスクに対して斜め方向から噴射するノズルを有する請求項1〜4のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 前記粒子噴射装置は、前記マスクの前記一方の面に対して傾斜した第1の方向に向けて超微粒子を噴射する第1のノズルと、前記マスクの面に対して傾斜し且つ第1の方向とは異なる第2の方向に、超微粒子を噴射する第2のノズルとを有し、
第2工程において、前記粒子噴射装置が前記マスクとの相対して移動する方向に応じて、前記第1のノズルあるいは第2のノズルが択一的に超微粒子を噴射する請求項4または5に記載の薄膜の形成方法。 - 前記桁の、前記桁の延在方向と直交する面についての断面の形状が対称な形状である請求項1〜6のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 前記薄膜は、インクジェットプリンタの印字ヘッドを駆動するために、振動板となる基板の上に成膜された、圧電材料の環状の薄膜である請求項1〜7のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 前記薄膜は、前記圧電材料の環状の薄膜の上に成膜された電極用の金属薄膜である請求項8記載の薄膜の形成方法。
- 前記桁の、前記桁の延在方向と直交する面についての断面の形状が二等辺三角形である請求項1〜9のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 前記桁の、前記桁の延在方向と直交する面についての断面の形状が台形である請求項1〜9のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 前記圧電材料がPZTである請求項8〜11のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 前記マスクが金属で形成されている請求項1〜12のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 前記マスクの開口は第1の方向に長く、前記桁は、前記開口の第1の方向に直行する第2の方向についての略中央において、第1の方向に延在する請求項8〜13のいずれかに記載の薄膜の形成方法。
- 粒子噴射装置から噴射された超微粒子を基板上に堆積させて、基板上に薄膜を形成する際に用いられるマスクであって、
板状の第1部材と、
第1部材を取り囲んで配置され、第1部材との間に第1部材を取り囲む開口を画成する板状の第2部材と、
第1部材と第2部材とを連結する桁とを有し、
前記桁が第1部材及び第2部材の、一方の面から離れた位置に形成されているマスク。 - 前記桁は、前記一方の面側に向かって先細っている請求項15記載のマスク。
- 前記桁は所定の方向に延在し、
前記桁の、前記桁の延在方向と直交する面についての断面の形状が二等辺三角形である請求項15に記載のマスク。 - 前記桁は所定の方向に延在し、
前記桁の、前記桁の延在方向と直交する面についての断面の形状が台形である請求項15に記載のマスク。 - 前記マスクが金属で形成されている請求項15〜18のいずれかに記載のマスク。
- 前記開口は第1の方向に長く、前記桁は、前記開口の第1の方向に直行する第2の方向についての略中央において、第1の方向に延在する請求項15〜19のいずれかに記載のマスク。
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