JP2000328266A - エッチング方法、インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ステンレスなどの金属に対して従来のスプレ
ーエッチングを行うことによって、微細パターンを形成
する場合、サイドエッチングを効果的に防止できず、加
工量が増加すると寸法ばらつきが増加し、断面形状の垂
直性が低下するという課題があった。 【解決手段】 レジストパターンが形成された被加工物
２に対し、高圧ガスと塩化第二鉄水溶液を混合して噴霧
しながらエッチングする。この時（１）噴霧の距離が３
５ｍｍ以下、（２）高圧ガス噴霧時の圧力が０．３ＭＰ
ａ以上、（３）塩化第二鉄水溶液噴霧時の被加工物２表
面の温度が３０℃以上、（４）塩化第二鉄水溶液の濃度
が４０°ボーメ以上という条件でエッチングすることに
より、寸法精度、断面形状の垂直性が優れたエッチング
加工が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェットエッチン
グ方法、インクジェットヘッドの振動板の製造方法、イ
ンクジェットヘッド、並びにインクジェット記録装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造やマイクロマシニング技術を
応用した製造の分野では、薄膜エッチング時に高い寸法
精度が要求されるため、ドライエッチングが多く用いら
れている。しかし、ドライエッチングは、装置コストや
装置の運転・維持コストが高く、製品のスループットが
低いため、量産性で有利なウェットエッチングが注目さ
れている。

【０００３】ウェットエッチングは、エッチング液を満
たしたエッチング槽に、被加工物を浸漬して行われる。
しかし、このようなウェットエッチングによれば通常等
方性エッチングが進行する。そのため、高い寸法精度が
要求される場合などには、エッチングマスクが形成され
た被加工物に対してエッチング液をスプレーによって噴
霧する方法が行われる。このウェットエッチング方法に
よれば、エッチング液の液滴あるいはミストが、加工面
に対して垂直方向に大ききな物理エネルギーを持って衝
突するため、加工面に対する垂直方向のエッチング速度
が、水平方向のエッチング速度に比べ速くなる。その結
果、エッチングマスクの下がエッチングされるアンダー
カットが小さくなり、高い寸法精度を得られている。

【０００４】また、特開平４−６６６８０号公報には、
６０℃を超える温度で４７°ボーメを超える濃度の塩化
第二鉄水溶液を単独で、２ｋｇ／ｃｍ^２を超える圧力で
１５ｃｍより短い距離から噴霧する技術が公開されてい
る。ただしこの技術は、エッチングスプレーからエッチ
ング液のみを噴霧する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来技術
には、以下に述べるような課題があった。

【０００６】被加工物の加工面に対して、単純にスプレ
ーによってエッチング液を噴霧する技術では、加工面に
対して垂直方向のエッチングと同時に、水平方向のエッ
チングが十分に防止できないため、エッチングの狭ピッ
チ化が困難であるという課題があった。

【０００７】また特開平４−６６６８０号公報では噴霧
される液滴の粒径が大きいため、厚いレジストによって
挟まれたパターンにエッチング液が滞留し、水平方向に
エッチングが進行するという課題があった。

【０００８】本発明は以上述べてきた課題を解決するも
ので、その第一の目的は、微細寸法パターンを高い垂直
性で高精度に形成可能とするエッチング方法を提供する
こと、第二の目的は前記エッチング方法を応用したイン
クジェットヘッドの振動板の製造方法を提供すること、
第三の目的は前記製造方法によって製造された振動板を
備えたインクジェットヘッドを提供すること、第四の目
的は前記インクジェットヘッドを備えたインクジェット
記録装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のウェットエッチ
ング方法は、鉄含有基材の表面にレジストパターンが形
成された被加工物の加工面に、塩化第二鉄水溶液を高圧
ガスと混合するノズルによって噴霧するウェットエッチ
ング方法であって、ノズルと被加工物間の距離が３５ｍ
ｍ以下であることを特徴とする（請求項１）。

【００１０】上記構成によれば、塩化第二鉄水溶液を高
圧ガスと混合して噴霧するので、噴霧される塩化第二鉄
水溶液滴の径が小さくなり、レジストパターンが微細な
部分に塩化第二鉄水溶液滴が飛び込みやすくなる。ま
た、同時に噴霧される高圧ガスの圧力によって、レジス
トパターンが微細な部分に滞留する塩化第二鉄水溶液が
除去される。また、従来法に比べて近距離から塩化第二
鉄水溶液を噴霧することにより、深さ方向のエッチング
速度が増し、サイドエッチングを抑制しながら微細構造
をエッチングすることができる。その結果、寸法ばらつ
きが小さいウェットエッチングが可能となる。

【００１１】請求項１記載のウェットエッチング方法に
おいては、前記鉄含有基材がステンレスであることを特
徴とする（請求項２）。

【００１２】上記構成によれば、ステンレス材料が寸法
精度良くウェットエッチング可能となる。

【００１３】請求項１または２記載のウェットエッチン
グ方法においては、前記塩化第二鉄水溶液の濃度が、４
０°ボーメ以上であることを特徴とする（請求項３）。

【００１４】高濃度の塩化第二鉄水溶液を用いてウェッ
トエッチングすることにより、被加工物表面の酸化膜な
どの影響を抑制して、均一なエッチングが可能となる。

【００１５】請求項１から３のいずれかに記載のウェッ
トエッチング方法においては、前記塩化第二鉄水溶液の
濃度が４５°ボーメであり、噴霧後の動粘度が５．５セ
ンチストークス以下であることを特徴とする（請求項
４）。

【００１６】上記構成によれば、エッチング深さが増し
てサイドエッチングが起きた場合、レジストのオーバー
ハングの下に保持される塩化第二鉄水溶液を減らし、エ
ッチングの垂直性を向上させる効果がある。

【００１７】請求項１から４のいずれかに記載のウェッ
トエッチング方法においては、塩化第二鉄水溶液噴霧時
の加工面の温度が３０℃以上であることを特徴とする
（請求項５）。

【００１８】通常塩化第二鉄水溶液と高圧ガスを混合し
て噴霧した場合、ガスの膨張や塩化第二鉄水溶液からの
水分蒸発によって被加工物表面の温度が低下してしま
う。上記構成によれば被加工物表面の温度低下を防止し
ているため、深さ方向のエッチング速度が速く、サイド
エッチングを抑制することができるという効果がある。

【００１９】請求項１から５のいずれかに記載のウェッ
トエッチング方法においては、前記高圧ガスの噴霧圧力
が０．３ＭＰａ以上であることを特徴とする（請求項
６）。

【００２０】上記構成によれば高圧ガスの流量が増加
し、同時に噴霧される塩化第二鉄水溶液の運動エネルギ
ーが増加するので、深さ方向のエッチング速度が速くな
り、サイドエッチングを抑制することができるという効
果がある。

【００２１】請求項７のインクジェットヘッドの振動板
の製造方法は、（１）ノズルとなる貫通穴が開口された
ノズル基板、圧力発生室、共通のインク室及びインク供
給口を構成するための溝及び貫通穴が形成されたスペー
サー、及び前記圧力発生室となる溝又はノズルとなる貫
通穴に対向して配置されるアイランド部を備えた振動
板、から構成された流路ユニット、並びに（２）前記ア
イランド部に当接しインク滴に与える吐出エネルギーを
発生し縦振動モードで動作する圧電振動子、を備えたイ
ンクジェットヘッドの振動板を製造するための方法であ
って、金属薄板と高分子延伸フィルムを接着剤により接
合したラミネート材の前記金属薄板の表面に、感光性樹
脂を露光現像することによってアイランド部等の所要の
エッチングパターンを形成する工程と、請求項１から６
のいずれかに記載のウェットエッチング方法を用いて前
記金属薄板を貫通するまでエッチングする工程と、を含
むことを特徴とする。

【００２２】このため、従来のウェットエッチング方法
によって製造する場合と比較して、製造される振動板の
寸法精度、特にアイランド部の寸法精度を向上させるこ
とができる。

【００２３】本発明のインクジェットヘッドは、請求項
７に記載のインクジェットヘッドの振動板の製造方法に
よって製造された振動板を備えたことを特徴とする（請
求項８）。

【００２４】このため、アイランド部の寸法精度が高
く、圧電振動子の変位を伝達する領域の寸法精度が向上
し、同一インクジェットヘッド内におけるノズルごとの
インク吐出特性ばらつきを抑制することができる。さら
に、異なるヘッド間のインク吐出特性ばらつきも抑制す
ることができる。

【００２５】本発明のインクジェット記録装置は、請求
項８記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴と
する（請求項９）。

【００２６】このため、インクジェットヘッド記録装置
ごとのインク吐出特性ばらつきが抑制されるので、均一
な印刷性能を有するインクジェットヘッド記録装置を提
供できる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下に実施例に基づいて詳細に説
明する。

【００２８】（実施例１）図１は、実験に用いたエッチ
ング装置の概略図である。複数のエッチングノズル１の
下を被加工物２が搬送される。エッチングノズル１から
噴霧される高圧ガスの圧力設定は、圧力調整器４を調整
して行う。エッチングノズル１からは高圧ガスと塩化第
二鉄水溶液の混合物３が噴霧される。

【００２９】図２は本実施例で用いたサンプルの一部の
平面図、図３はＡ−Ａ’で切断した断面の一部の図、図
４はＢ−Ｂ’で切断した断面の一部の図である。また、
図３および図４の上段の図（ａ）はエッチング前のサン
プル形状、下段の図（ｂ）はエッチング後にドライフィ
ルム８を除去したサンプル形状を表している。

【００３０】プラスチック基板６に厚さ６０μｍのステ
ンレス箔７を接着し、ステンレス箔７の表面にドライフ
ィルムレジスト８のパターンを多数形成する。ドライフ
ィルム８の幅ａは１００μｍ、長さｂは１ｍｍ、ドライ
フィルム８のピッチｃは１４０μｍである。エッチング
を行うとドライフィルムレジスト８の下もエッチングさ
れ、細長いステンレスパターン９が形成される。

【００３１】このサンプルをいろいろな条件で、図３
（ｂ）のＷｂが３０μｍになるまでエッチングし、Ｗｂ
−Ｗｔおよび図４（ｂ）のＷｓを測定して垂直性を比較
した。Ｗｂ−Ｗｔは０に近いほどステンレスパターン９
の断面形状が長方形に近づき、Ｗｂ−Ｗｔが５μｍ以下
となるのが加工精度の点から好ましい。表１は、各エッ
チング条件とＷｂ−Ｗｔを比較した結果である。

【００３２】

【表１】

【００３３】表１から、スプレーからの距離が３５ｍｍ
以下、塩化第二鉄水溶液の濃度が４０°ボーメ以上、噴
霧時の高圧ガス圧力が０．３０ＭＰａ以上、スプレー部
の温度が３０℃以上の条件では、Ｗｂ−Ｗｔが５μｍ以
下であることがわかった。またスプレー距離が近く、噴
霧停止時の圧力が高く、スプレー部の温度が高い条件下
では、ＷｔよりもＷｂが細くなる場合もある。

【００３４】表２は表１の実験について、Ｗｓを測定し
た結果と、ステンレスパターン９の長さを測定し寸法ば
らつき（標準偏差×３）を求めた結果である。

【００３５】

【表２】

【００３６】このように、すべての実験でＷｓが１０μ
ｍ以下、寸法ばらつきが５μｍ以下となり、エッチング
の垂直性および寸法精度が良好であった。

【００３７】なお、スプレー距離が３５ｍｍ以下、塩化
第二鉄水溶液の濃度が４０°ボーメ以上、加工面の温度
が３０℃以上、高圧ガスの噴霧時の圧力が０．３ＭＰａ
以上であれば、表１のエッチング条件に限定されずに寸
法精度、断面の垂直性が良好なステンレスパターン９を
加工可能である。

【００３８】また高圧ガスとしては、塩化第二鉄水溶液
に対して反応性がない気体ならば、種類に関係なく使用
可能である。

【００３９】（比較例１）ここでは実施例と同じサンプ
ルを、エッチング液と高圧ガスを混合して噴霧するスプ
レーを用い、表３の条件でエッチングしてステンレスパ
ターン９の垂直性を評価した。表３は、比較例１のエッ
チング条件とＷｂ−Ｗｔの測定結果をまとめたものであ
る。

【００４０】

【表３】

【００４１】このように、スプレー距離、エッチング液
噴霧時の高圧ガス圧力、スプレー部温度、エッチング液
濃度の一つでも条件から外れるとＷｂ−Ｗｔが大きくな
り、ステンレスパターン９の垂直性が悪い。

【００４２】（比較例２）実施例と同じサンプルを、エ
ッチング液のみを噴霧するエッチング方式でエッチング
した場合のエッチング条件と、Ｗｂが３０μｍになった
ときのＷｂ−Ｗｔの値を表４に、ステンレスパターン９
の長さ寸法のばらつき（標準偏差×３）とその時のＷｓ
の値を表５に示す。なお、エッチング液は４５°Ｂｅの
塩化第二鉄水溶液を使用し、粘度は３センチストークス
以下であることを確認した。

【００４３】

【表４】

【００４４】

【表５】

【００４５】このようにＷｂ−Ｗｔが１０μｍ以上、Ｗ
ｓが２０μｍ以上あり、実施例１の場合よりも垂直性が
劣ることがわかった。また寸法ばらつきも１０μｍを超
えており、寸法精度が悪い。

【００４６】（実施例２）次に、実施例１のウェットエ
ッチング方法によってインクジェットヘッドの振動板を
製造する方法を説明する。図５は本発明のインクジェッ
トヘッドの振動板の製造工程を示した断面図、図６はヘ
ッド一つ分の振動板、図７は振動板を多数作り込んだラ
ミネート材である。

【００４７】インクに対して耐久性を備えた厚さ６０ミ
クロンの金属薄板１１、例えばステンレス鋼の一方の面
に接着剤１２を塗布し、接着剤をプレ乾燥させた後に厚
さ４ミクロン程度の高分子延伸フィルム１３、例えばポ
リフェニレンサルフアイド（ＰＰＳ）樹脂の延伸フィル
ムを接着してラミネート材を作製する（図５（ａ））。

【００４８】このラミネート材を約１０センチ角の大判
のサイズに切り出し、エッチングパターン露光時の基準
となる孔１４、１４と、プレスにセットする時の位置決
め用の基準孔１５、１６、１７、１８と、大判から切断
された単独の振動板１９としての位置決め用の基準孔２
０、２１と、インク供給口となる孔２２等の通孔２３を
予めプレス加工により形成しておく（図５（ｂ））。

【００４９】ついでラミネート材の金属薄板１１が表面
となるようにガラス基板Ｂにセットし、端部がガラス基
板Ｂの表面に及ぶように金属薄板１１の表面に感光性樹
脂フィルムＦを貼り付け、ラミネート材全体をフィルム
Ｆによってガラス基板Ｂに固定する。

【００５０】このような工程を採ることにより、感光性
樹脂フィルムＦの密着工程と大判のラミネート材のガラ
ス基板Ｂへの固定とを１つの工程で済ませることが可能
となる。またプレス加工により予めラミネート材に通孔
２３が形成されており、その端面をエッチング液から保
護する必要があるが、液体フォトレジストに比較してエ
ッチング液に対する保護能力が高い樹脂フィルムの使用
により、エッチング時の通孔２３の変形を確実に防止で
きる。

【００５１】この状態で、エッチングすべきパターンを
形成したフォトマスクを、基準孔１４、１４を用いて位
置決めして感光性樹脂フィルムＦを露光後、現像する。
これにより、プレス加工により正確に形成された基準孔
１４、１４に対して可及的に小さな相対誤差でエッチン
グ用の窓Ｗ、Ｗ、Ｗが形成されることになる（図５
（ｃ））。

【００５２】ついで表１に示したうちの任意のエッチン
グ条件によって、窓Ｗ、Ｗ、Ｗを用いて金属薄板１１を
エッチングすることにより、金属薄板１１が除去されて
接着剤１２が露出し、ダイヤフラム部となる領域Ｄ、
Ｄ、Ｄに囲まれたアイランド部２４が形成されることに
なる（図５（ｄ））。今回は、実施例１の実験Ｎｏ．１
６の条件でエッチングした。

【００５３】エッチングが終了した段階で、感光性樹脂
フィルムＦを除去してラミネート材をガラス基板Ｂから
取り外し、大判としての位置決め用の基準孔１５、１
６、１７、１８をプレスの位置決めピンに挿入し、各振
動板１９を溝２５で切断して、個々の振動板１９に切分
ける。このように切断領域の金属薄板がエッチングによ
り除去されているため、高分子延伸フィルム１３を切断
するだけでよく、プレスのダイの寿命が延長されること
になる。

【００５４】このようにして製造された振動板１９の各
部寸法を測定し、標準偏差×３を計算すると５μｍ以下
だった。

【００５５】なお、上述の実施例においては、金属薄板
としてステンレス鋼を用いているが、エッチングが可能
で、しかも接着性の高い他の金属、例えば銅、ニッケ
ル、鉄、シリコンなどの薄板を用いても良い。

【００５６】また、高分子延伸フィルムとしてポリフェ
ニレンサルフアイド（ＰＰＳ）樹脂を用いているが、延
伸可能な他の高分子材料、例えば、ポリイミド（ＰＩ）
樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）樹脂、ボリアミド
イミド（ＰＡＩ）樹脂、ポリバラバン酸（ＰＰＡ）樹
脂、ボリサルホン（ＰＳＦ）樹脂、ポリエーテルサルホ
ン（ＰＥＳ）樹脂樹脂、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）
樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、
ポリオレフィン（ＡＰＯ）樹脂、ポリエチレンナフタレ
ート（ＰＥＮ）樹脂、アラミド樹脂、ポリプロピレン樹
脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリカーネート樹脂等を用い
ても良い。

【００５７】また今回は表１の実験Ｎｏ．１６の条件に
よってエッチングしたが、スプレー距離が３５ｍｍ以
下、塩化第二鉄水溶液の濃度が４０°ボーメ以上、加工
面の温度が３０℃以上、高圧ガスの噴霧時の圧力が０．
３ＭＰａ以上であれば、表１のエッチング条件に限定さ
れない。

【００５８】また、今回はステンレス鋼をエッチングす
るため塩化第二鉄水溶液を用いているが、金属薄板の材
質を精度良くエッチング可能なものならば、どのような
成分、組成でも使用することができる。

【００５９】このようにして製造された振動板は、図
８、図９に示すインクジェットヘッド５０に組み込まれ
る。図８はインクジェットヘッド５０の組み立て斜視
図、図９は断面図である。

【００６０】ノズル２６−１が多数並んでいるノズル列
２６が形成されたノズルプレート２７と、圧力発生室２
８及びインク供給路２９及び共通のインク室であるリザ
ーバー３０となる溝あるいは貫通穴が形成されたスペー
サー３１と、アイランド部２４が形成された振動板１９
の３部品から流路ユニットが構成されている。

【００６１】高分子延伸フィルム１３の表面に形成され
たアイランド部２４は、圧力発生室２８の幅方向の中心
領域に、圧力発生室２８の長手方向に長く形成されてお
り、高分子延伸フィルム１３はこのアイランド部２４を
介して、後述する圧電振動子３２による変位を受けるよ
うになっている。

【００６２】縦振動モードを有する複数の圧電振動子３
２を固定板３３に固定して構成された振動子ユニット３
４は、基台３５に形成された振動子ユニット収容孔３６
に収容され、先端をアイランド部２４に当接するように
位置決めされて、固定板３３を介して基台３５に固定さ
れている。

【００６３】基台３５には、インクタンクに接続するイ
ンク供給管３７が設けられており、その先端を振動板１
９に開口されたインク供給口３８を介してスペーサ３１
により構成されたリザーバー３０に連通されている。な
おノズルプレート２７、スペーサ３１及び振動板１９に
より構成される流路ユニットは、枠体３９によって基台
３５に固定され、ヘッド全体は基板４０を介してキャリ
ッジ４１に固定される。

【００６４】図１０はキャリッジ機構の概略図である
が、図８のインクジェットヘッド５０は図１０に示され
るようにキャリッジ４１に取り付けられ、そして、この
キャリッジ４１はガイドレール４２に移動自在に取り付
けられており、ローラー４３により送り出される用紙４
４の幅方向にその位置が制御される。この図１０の機構
は図１１に示されるインクジェット記録装置６０に装備
される。

【００６５】図８に示したインクジェットヘッドの印刷
試験を行った結果、良好な印刷性能を示した。

【図面の簡単な説明】

【図１】エッチング装置の概略図。

【図２】実験に用いたサンプルパターンの平面図。

【図３】サンプルの断面図。

【図４】サンプルの断面図。

【図５】インクジェットヘッドの振動板の製造工程断面
図。

【図６】ヘッド１つ分の振動板。

【図７】大判のラミネート材。

【図８】インクジェットヘッドの組み立て斜視図。

【図９】インクジェットヘッドの断面図。

【図１０】キャリッジ機構概略図。

【図１１】インクジェット記録装置。

【符号の説明】

１ エッチングノズル ２ 被加工物 ３ 高圧ガスと塩化第二鉄水溶液の混合物 ４ 圧力調整器 ５ 高圧ガスバルブ ６ プラスチック基板 ７ ステンレス箔 ８ ドライフィルム ９ ステンレスパターン １１ 金属薄板 １２ 接着剤 １３ 高分子延伸フィルム １４ 露光時の基準穴 １５、１６、１７、１８ プレス時の基準穴 １９ 単独の振動板 ２０、２１ 位置決め用の基準穴 ２２ インク供給口となる孔 ２３ 通孔 ２４ アイランド部 ２５ 溝 ２６ ノズル列 ２６−１ ノズル ２７ ノズルプレート ２８ 圧力発生室 ２９ インク供給路 ３０ リザーバー ３１ スペーサー ３２ 圧電振動子 ３３ 固定板 ３４ 振動子ユニット ３５ 基台 ３６ 振動子ユニット収容孔 ３７ インク供給管 ３８ インク供給口 ３９ 枠体 ４０ 基板 ４１ キャリッジ ４２ ガイドレール ４３ ローラー ４４ 用紙 ５０ インクジェットヘッド ６０ インクジェット記録装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C057 AF24 AF93 AP02 AP13 AP33 AQ06 BA04 BA14 4K057 WA11 WA12 WB02 WE08 WG03 WG10 WM06

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工用水溶液を高圧ガスと混合しノズル
   から噴霧することにより被加工物を加工するエッチング
   方法であって、前記ノズルと前記被加工物間の距離が３
   ５ｍｍ以下であることを特徴とするエッチング方法。
2. 【請求項２】 前記被加工物は鉄含有基材からなること
   を特徴とする請求項１記載のエッチング方法。
3. 【請求項３】 前記加工用水溶液が塩化第二鉄水溶液で
   あることを特徴とする請求項１乃至２のいずれかに記載
   のエッチング方法。
4. 【請求項４】 前記鉄含有基材がステンレスであること
   を特徴とする請求項２記載のエッチング方法。
5. 【請求項５】 前記塩化第二鉄水溶液の濃度が、４０°
   ボーメ以上であることを特徴とする請求項３記載のエッ
   チング方法。
6. 【請求項６】 前記塩化第二鉄水溶液の濃度が、４５°
   ボーメであり、噴霧後の動粘度が５．５センチストーク
   ス以下であることを特徴とする請求項５に記載のエッチ
   ング方法。
7. 【請求項７】 前記被加工物の加工面の温度を３０℃以
   上に設定しエッチングすることを特徴とする請求項１か
   ら６のいずれかに記載のエッチング方法。
8. 【請求項８】 前記高圧ガスの噴霧圧力が０．３ＭＰａ
   以上であることを特徴とする請求項１から７のいずれか
   に記載のエッチング方法。
9. 【請求項９】 ノズルとなる貫通穴が開口されたノズル
   基板、圧力発生室、共通のインク室及びインク供給口を
   構成するための溝及び貫通穴が形成されたスペーサー、
   及び前記圧力発生室となる溝又はノズルとなる貫通穴に
   対向して配置されるアイランド部を備えた振動板、から
   構成された流路ユニット、並びに前記アイランド部に接
   着しインク滴に与える吐出エネルギーを発生させる圧電
   振動子、を少なくとも備えたインクジェットヘッドを製
   造するための方法であって、高分子延伸フィルムが接合
   された金属薄板の表面に感光性樹脂を露光現像すること
   によってエッチングパターンを形成する工程と、請求項
   １から８のいずれかに記載のエッチング方法を用いて前
   記金属薄板をエッチングする工程と、を含むことを特徴
   とするインクジェットヘッドの製造方法。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載のインクジェットヘッ
    ドの振動板の製造方法によって製造された振動板を備え
    たことを特徴とするインクジェットヘッド。
11. 【請求項１１】 請求項１０記載のインクジェットヘッ
    ドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。