JP6285258B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
20 ベース基板
21,22 開口
30 フレーム
31 開口
32 凹部
40 オリフィスプレート
41 開口
50 駆動ユニット
50a アクチュエータ
51 ベース材
51a 突出部
52,53 圧電素子
54〜56 接着層
60 電極パターン
110 ダイシングソー
120 ダイヤモンドソー
200 基板
221,222 開口
400 シート
411,412 開口
500 シートブロック
500a 溝
510,520,530 シート
600 多層フィルム
S 圧力室
Claims (5)
- 基板と、
前記基板表面に配列され、圧電素子を有する複数のアクチュエータと、
前記圧電素子より脆性が低い材料からなり、前記基板に対して、前記アクチュエータを支持するベース材と、
前記圧電素子に接続され、前記ベース材と前記基板にわたって形成される電極パターンと、
を備えるインクジェットヘッド。 - 前記ベース材は、セラミックからなる請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記ベース材は、前記基板の素材と同じ素材から構成される請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記アクチュエータは、前記基板に直交する方向に配列される2つの圧電素子を有する請求項1乃至3のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記電極パターンは、フォトリソグラフィを用いて形成される請求項1乃至4のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014078758A JP6285258B2 (ja) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | インクジェットヘッド |
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JP6285258B2 true JP6285258B2 (ja) | 2018-02-28 |
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Family Applications (1)
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