JP6315177B2 - 液体噴射装置 - Google Patents

液体噴射装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6315177B2
JP6315177B2 JP2014040876A JP2014040876A JP6315177B2 JP 6315177 B2 JP6315177 B2 JP 6315177B2 JP 2014040876 A JP2014040876 A JP 2014040876A JP 2014040876 A JP2014040876 A JP 2014040876A JP 6315177 B2 JP6315177 B2 JP 6315177B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle plate
nozzle
liquid ejecting
opening
wiping
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014040876A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015166139A (ja
Inventor
峻介 渡邉
峻介 渡邉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2014040876A priority Critical patent/JP6315177B2/ja
Priority to US14/632,128 priority patent/US9248652B2/en
Publication of JP2015166139A publication Critical patent/JP2015166139A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6315177B2 publication Critical patent/JP6315177B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
    • B41J2/16517—Cleaning of print head nozzles
    • B41J2/16535—Cleaning of print head nozzles using wiping constructions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/1433—Structure of nozzle plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
    • B41J2/16517—Cleaning of print head nozzles
    • B41J2/16535—Cleaning of print head nozzles using wiping constructions
    • B41J2/16538—Cleaning of print head nozzles using wiping constructions with brushes or wiper blades perpendicular to the nozzle plate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14362—Assembling elements of heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419—Manifold
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491—Electrical connection

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置に関する。
被噴射媒体に液体を噴射する液体噴射装置には、例えば、液体としてインクを噴射させて紙や記録シートなどの被記録媒体（被噴射媒体）に印刷を行うインクジェット式記録装置が知られている。
このようなインクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドは、ノズル開口からインク滴を被噴射媒体上に吐出しているため、インク滴を噴射する液体噴射面のノズル開口近傍にインクが付着することにより、また、付着したインクが固化することにより、例えば、インク滴の吐出方向が安定しないという問題や、インク滴が吐出されないなどの吐出不良が発生するという問題がある。
このため、ゴム板等のワイパーブレードで液体噴射面を払拭することにより、液体噴射面に付着したインクや毛羽、埃、紙粉等をワイピングする液体噴射装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
また、液体噴射面をワイパーブレードでワイピングしたとしても、液体噴射面側に設けられたカバーヘッド等の保護部材の表面にインクや毛羽、埃、紙粉等が付着し、保護部材に被噴射媒体等が接触した際に被噴射媒体を汚してしまうという問題がある。
このため、保護部材と液体噴射面との間に凹部を設け、保護部材の表面と液体噴射面とをワイパーブレードでワイピングするようにしたインクジェット記録装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
特開２０１０−２２８１５１号公報 特開２００４−８２６９９号公報
しかしながら、ノズルプレートの一端と、この一端側に設けられた端のノズル開口との間の余白が大きいと、ノズルプレートが大型化して、インクジェット式記録ヘッドが大型化して、高コストになってしまうという問題がある。
また、ノズルプレートの一端と、この一端側に設けられた端のノズル開口との間の余白が小さいと、保護部材と液体噴射面との間に段差が存在するため、ワイパーブレードの形状が安定せずに、端のノズル開口近傍の払拭不良が発生する虞があるという問題がある。
なお、このような問題はインクジェット式記録装置だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置においても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、ノズル開口近傍のワイピングを確実に行い、小型化を図ることができる液体噴射装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドの液体噴射面側を払拭するワイピング手段と、を具備し、前記液体噴射ヘッドは、前記液体噴射面を有するノズルプレートと、該ノズルプレートよりも液体の吐出側に突出して設けられて前記液体噴射面を露出する開口部を有する保護部材と、を具備し、前記ワイピング手段は、前記ノズルプレートの前記液体噴射面を、当該液体噴射面の面内の一方向である払拭方向に向かって移動して払拭し、前記ノズルプレートは、前記払拭方向と直交する直交方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端の前記ノズル開口までの第１の余白部の距離が、前記払拭方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端のノズル開口までの第２の余白部の距離よりも大きく、前記保護部材の前記液体噴射面からの突出量は、３０μｍ以上、１００μｍ以下であり、前記直交方向における前記保護基板の開口縁部と、前記ノズルプレートの一端との間隔が、０．０５ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下であり、前記第１の余白部の距離が、０．８ｍｍ以上、３．０ｍｍ以下であることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、ノズルプレートの第１の余白部の距離を第２の余白部の距離よりも大きくすることで、ワイピング手段が液体噴射面を払拭した際に、直交方向における端のノズル開口近傍の拭き残しを抑制することができる。
また、ノズルプレートが著しく大型化するのを抑制して、高コスト化を抑制することができる。また、第１の余白部の距離を規定することで、端のノズル開口近傍の拭き残しを確実に低減することができる。
ここで、前記ノズルプレートが、前記保護部材の前記開口部の開口面積よりも小さいことが好ましい。これによれば、ノズルプレートの面積を小さくして、さらにコストを低減することができる。
また、前記第１の余白部の大きさが、１．０ｍｍ以上、２．０ｍｍ以下であることが好ましい。これによれば、ノズルプレートが著しく大型化するのを抑制して高コスト化をさらに抑制することができる。また、第１の余白部の距離を規定することで、端のノズル開口近傍の拭き残しを確実に低減することができる。
さらに、本発明の他の態様は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドの液体噴射面側を払拭するワイピング手段と、を具備し、前記液体噴射ヘッドは、前記液体噴射面を有するノズルプレートと、該ノズルプレートよりも液体の吐出側に突出して設けられて前記液体噴射面を露出する開口部を有する保護部材と、を具備し、前記ワイピング手段は、前記ノズルプレートの前記液体噴射面を、当該液体噴射面の面内の一方向である払拭方向に向かって移動して払拭し、前記ノズルプレートは、前記払拭方向と直交する直交方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端の前記ノズル開口までの第１の余白部の距離が、前記払拭方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端のノズル開口までの第２の余白部の距離よりも大きく、前記ノズルプレートが、前記保護部材の前記開口部の開口面積よりも小さいことを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、ノズルプレートの第１の余白部の距離を第２の余白部の距離よりも大きくすることで、ワイピング手段が液体噴射面を払拭した際に、直交方向における端のノズル開口近傍の拭き残しを抑制することができる。
また、ノズルプレートを保護部材の開口部の開口面積よりも小さくすることで、ノズルプレートの面積を小さくして、さらにコストを低減することができる。
また、前記ノズルプレートがシリコン単結晶基板からなることが好ましい。これによれば、高密度で高精度な加工が可能となると共に、ワイピング手段が当接する衝撃によって欠損が発生するのを抑制することができる。
また、他の態様は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドの液体噴射面側を払拭するワイピング手段と、を具備し、前記液体噴射ヘッドは、前記液体噴射面を有するノズルプレートと、該ノズルプレートよりも液体の吐出側に突出して設けられて前記液体噴射面を露出する開口部を有する保護部材と、を具備し、前記ワイピング手段は、前記ノズルプレートの前記液体噴射面を、当該液体噴射面の面内の一方向である払拭方向に向かって移動して払拭し、前記ノズルプレートは、前記払拭方向と直交する直交方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端の前記ノズル開口までの第１の余白部の距離が、前記払拭方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端のノズル開口までの第２の余白部の距離よりも大きいことを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、ノズルプレートの第１の余白部の距離を第２の余白部の距離よりも大きくすることで、ワイピング手段が液体噴射面を払拭した際に、直交方向における端のノズル開口近傍の拭き残しを抑制することができる。
ここで、前記保護部材の前記液体噴射面からの突出量は、３０μｍ以上、１００μｍ以下であり、前記直交方向における前記保護基板の開口縁部と、前記ノズルプレートの一端との間隔が、０．０５ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下であり、前記第１の余白部の距離が、０．８ｍｍ以上、３．０ｍｍ以下であることが好ましい。これによれば、ノズルプレートが著しく大型化することによる高コスト化を抑制することができる。また、第１の余白部の距離を規定することで、端のノズル開口近傍の拭き残しを確実に低減することができる。
また、前記第１の余白部の大きさが、１．０ｍｍ以上、２．０ｍｍ以下であることが好ましい。これによれば、ノズルプレートが著しく大型化することによる高コスト化をさらに抑制することができる。また、第１の余白部の距離を規定することで、端のノズル開口近傍の拭き残しを確実に低減することができる。
また、前記ノズルプレートが、前記保護部材の前記開口部の開口面積よりも小さいことが好ましい。これによれば、ノズルプレートの面積を小さくして、さらにコストを低減することができる。
また、前記ノズルプレートがシリコン単結晶基板からなることが好ましい。これによれば、高密度で高精度な加工が可能となると共に、ワイピング手段が当接する衝撃によって欠損が発生するのを抑制することができる。
本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの液体噴射面側の平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録装置の動作を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録装置の動作を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較例を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較例を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較例を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較例を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの比較例を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの比較例を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの比較例を示す断面図である。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。
図１に示すように、本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置Ｉは、複数のインクジェット式記録ヘッドＩＩ（以降、記録ヘッドＩＩとも言う）を有するインクジェット式記録ヘッドユニット１（以降、ヘッドユニット１とも言う）を具備する。ヘッドユニット１は、インク供給手段を構成するインクカートリッジ２が着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット１は、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
また、キャリッジ軸５の一端部近傍には、駆動モーター６が設けられており、駆動モーター６の軸の先端部には外周に溝を有する第１のプーリー６ａが設けられている。さらに、キャリッジ軸５の他端部近傍には、駆動モーター６の第１のプーリー６ａに対応する第２のプーリー６ｂが回転自在に設けられており、これら第１のプーリー６ａと第２のプーリー６ｂとの間には環状でゴム等の弾性部材からなるタイミングベルト７が掛けられている。
そして、駆動モーター６の駆動力がタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。本実施形態では、キャリッジ３の移動方向を主走査方向と称する。一方、装置本体４にはキャリッジ３に沿ってプラテン８が設けられている。このプラテン８は図示しない紙送りモーターの駆動力により回転できるようになっており、給紙ローラーなどにより給紙された紙等の被噴射媒体（記録媒体）である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。本実施形態では、記録シートＳの搬送方向を副走査方向と称する。
また、キャリッジ３の移動方向の端部であるプラテン８の側方の非印刷領域には、詳しくは後述するインクジェット式記録ヘッドＩＩの液体噴射面２０ａを払拭して液体噴射面２０ａをワイピングするワイピング手段２００が設けられている。
ここで、このようなインクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドの一例について図２〜図７を参照して説明する。なお、図２は、インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面側の平面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′線断面図であり、図５は、図４の要部を拡大した図である。また、図６は、図３のＢ−Ｂ′線断面図及びその要部を拡大した図である。
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩＩは、ヘッド本体１１、ケース部材４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０と、コンプライアンス基板４５と、を具備する。
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。
また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
このような連通板１５としては、ステンレスやＮｉなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックなどを用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
また、ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
また、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａには、撥液性（撥インク性）を有する撥液膜２２が設けられている。撥液膜２２は、吐出するインクに対して撥インク性（撥液性）を有するものであれば特に限定されず、例えば、フッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜などを用いることができる。なお、このようなノズルプレート２０は、上述のようにできるだけ小さい面積で形成した方がコストを低減することができるため、本実施形態では、液体噴射面２０ａは、ノズル開口２１の並設方向である第１の方向Ｘに沿って長辺が設けられた長方形状を有する。
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、本実施形態では、成膜及びリソグラフィー法によって積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、厚さ方向（流路形成基板１０と保護基板３０との積層方向）に貫通する貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の第２電極８０に接続された一端部とは反対側の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線基板１２１とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。
なお、ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。
このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。
なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。
このような構成のインクジェット式記録ヘッドＩＩでは、インクを噴射する際に、インクカートリッジ２から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。なお、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩＩでは、接続口４３からノズル開口２１までを液体流路と称する。すなわち、液体流路は、接続口４３、マニホールド１００、供給連通路１９、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及びノズル開口２１で構成されている。
また、ヘッド本体１１の液体噴射面２０ａ側には、本実施形態の保護部材であるカバーヘッド１３０が設けられている。カバーヘッド１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。なお、カバーヘッド１３０には、ノズル開口２１を含む液体噴射面を露出する開口部である露出開口部１３１が設けられている。本実施形態では、露出開口部１３１は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５と同じ開口を有する。すなわち、本実施形態のノズルプレート２０は、露出開口部１３１の開口面積よりも小さい面積を有する。これにより、ノズルプレート２０のコストを低減することができる。すなわち、ノズルプレート２０には、高精度にノズル開口２１が形成されていると共に撥液膜２２が形成されているため、ノズルプレート２０の面積を小さくすることで、コストを低減することができる。また、１枚のシリコンウェハーに複数枚のノズルプレート２０を同時に形成する場合、ノズルプレート２０の面積によって１枚のシリコンウェハーからの取り数が決定されるが、ノズルプレート２０の面積が大きいと、取り数が少なくなり、高コストになってしまう。なお、ノズルプレート２０を露出開口部１３１の開口面積よりも小さい面積で形成することで、ノズルプレート２０の端部と保護部材であるカバーヘッド１３０との間には隙間が形成されている。なお、ノズルプレート２０は、上述のように第１の方向Ｘに沿った方向が長辺となる長方形状を有するため、カバーヘッド１３０の露出開口部１３１についても、ノズルプレート２０と同じ第１の方向Ｘに沿った長辺を有する長方形状となる開口で形成されている。
このようなカバーヘッド１３０は、本実施形態では、インク（液体）の吐出方向において、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａよりも記録シートＳ側に突出して設けられている。このように、カバーヘッド１３０を液体噴射面２０ａよりも記録シートＳ側に突出させることで、記録シートＳがノズルプレート２０に接触し難くなり、記録シートＳがノズルプレート２０に接触することによるノズルプレート２０の変形及び剥離等の発生を抑制することができる。
また、このようなカバーヘッド１３０の液体噴射面２０ａと同じ側の面、すなわち、コンプライアンス基板４５とは反対側の面には、ノズルプレート２０と同様に、撥液性を有する撥液膜を設けるようにしてもよい。
また、本実施形態では、ノズルプレート２０とカバーヘッド１３０の露出開口部１３１との間の隙間には、充填剤１３２が充填されている。充填剤１３２は、ノズルプレート２０側では液体噴射面２０ａよりも低い位置（液体噴射方向とは反対方向）で、且つカバーヘッド１３０側ではカバーヘッド１３０の表面よりも低い位置となるように形成されている。これにより、詳しくは後述するが、ワイピング手段２００がカバーヘッド１３０の表面及びノズルプレート２０の液体噴射面２０ａを払拭した際に、ワイピング手段２００が充填剤１３２に接触して、充填剤１３２の剥離による異物の発生などを抑制することができる。また、このように充填剤１３２を設けることによって、ノズルプレート２０とカバーヘッド１３０との間にインクが滞留し、滞留したインクが予期せぬタイミングで記録シートＳ上に落下して記録シートＳを汚すのを抑制することができる。
なお、充填剤１３２は、耐液体性を有する材料であれば、特に限定されず、例えば、接着剤などを用いることができる。また、充填剤１３２は、例えば、カバーヘッド１３０をコンプライアンス基板４５に接着する接着剤の一部であってもよい。
このようなインクジェット式記録ヘッドＩＩは、第２の方向Ｙがキャリッジ３の移動方向である主走査方向となるように、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。
また、インクジェット式記録装置Ｉには、詳しくは後述するワイピング手段２００が設けられており、ワイピング手段２００は、インクジェット式記録ヘッドＩＩの液体噴射面２０ａを第２の方向Ｙに移動して払拭する。すなわち、本実施形態の第２の方向Ｙがワイピング手段２００の払拭方向となっている。
このようなインクジェット式記録ヘッドＩＩでは、図３に示すように、第１の方向Ｘにおけるノズルプレート２０の一端部と、このノズルプレート２０の一端部側に設けられたノズル開口２１（端のノズル開口２１）との第１の余白部２３の距離ｓ１は、第２の方向Ｙにおけるノズルプレート２０の一端部と、このノズルプレート２０の一端部側に設けられたノズル開口２１（端のノズル開口２１）との第２の余白部２４の距離ｓ２よりも広くなっている。
すなわち、第２の余白部２４とは、ワイピング手段２００の払拭方向である第２の方向Ｙの余白部分のことである。また、第１の余白部２３とは、払拭方向（第２の方向Ｙ）に直交する直交方向である第１の方向Ｘの余白部分のことである。また、第１の余白部２３及び第２の余白部２４は、液体噴射面２０ａ上の部分であって、ノズルプレート２０の外側、すなわち、ノズルプレート２０と保護部材であるカバーヘッド１３０との隙間を含まない。また、本実施形態では、第１の余白部２３及び第２の余白部２４の距離ｓ１、ｓ２は、それぞれノズル開口２１の中心からノズルプレート２０の一端までの距離を言う。
なお、第２の余白部２４の距離ｓ２は、詳しくは後述するが、ワイピング手段２００のブレード部２０１がカバーヘッド１３０を払拭した後、液体噴射面２０ａの第２の余白部２４に着地するためには、ワイピング手段２００の移動速度にもよるが、例えば、ブレード部２０１の移動速度が８０ｍｍ／ｓの場合には、例えば、０．０５ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下である。
また、例えば、図５に示すカバーヘッド１３０の液体噴射面２０ａからの突出量ｈが３０μｍ以上、１００μｍ以下で形成されており、図３に示す第２の方向Ｙにおけるカバーヘッド１３０とノズルプレート２０の一端との間隔ｓ３が０．０５ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下であった場合には、第１の余白部２３の距離ｓ１は、０．８ｍｍ以上、３．０ｍｍ以下が好ましく、１．０ｍｍ以上、２．０ｍｍ以下が好適である。これは、詳しくは後述するが、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａをワイピング手段２００によって払拭した際に、端のノズル開口２１近傍をワイピング手段２００によって確実に払拭することができる。
なお、カバーヘッド１３０の液体噴射面２０ａからの突出量ｈとは、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａとカバーヘッド１３０のコンプライアンス基板４５とは反対側の面との段差の高さのことである。
また、カバーヘッド１３０とノズルプレート２０の一端との間隔ｓ３とは、カバーヘッド１３０の露出開口部１３１の開口縁部とノズルプレート２０の端部との間隔のことである。
ここで、インクジェット式記録ヘッドＩＩの液体噴射面２０ａをワイピングするワイピング手段２００について図１、図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は、ワイピング動作を説明する第２の方向Ｙの要部断面図であり、図８は、ワイピング動作を説明する第１の方向Ｘの要部断面図である。
ワイピング手段２００は、本実施形態では、ゴムやエラストマー等の弾性材料で形成された板状部材からなるブレード部２０１と、ブレード部２０１が固定されたベース部２０２と、を具備する。
ベース部２０２は、図１に示すように、インクジェット式記録装置Ｉの記録シートＳにインクを着弾させる領域の外側の領域、つまり非印刷領域に、液体噴射面２０ａに相対向する位置に配置されている。このベース部２０２は、例えば、インク滴の吐出方向に移動可能に設けられていてもよい。
ブレード部２０１は、先端が自由端となるように、基端部がベース部２０２に固定されている。また、ブレード部２０１は、面方向が第１の方向Ｘとなるように、その自由端となる先端が液体噴射面２０ａに向かって突出するように配置されている。
また、本実施形態のブレード部２０１は、一方面が凹状となるように第１の方向Ｘの直線に対して湾曲した状態で配置されている。
このようなブレード部２０１は、第１の方向Ｘの長さが、ノズルプレート２０に設けられたノズル開口２１の列の第１の方向Ｘの長さよりも長くなるように設けられている。また、本実施形態では、ブレード部２０１の第１の方向Ｘの長さは、カバーヘッド１３０の第１の方向Ｘの長さよりも長くなっている。これにより、ブレード部２０１は、カバーヘッド１３０の表面と液体噴射面２０ａとの全面に亘って払拭することができる。
このようなワイピング手段２００は、ブレード部２０１がインクジェット式記録ヘッドＩＩに対して相対的に第２の方向Ｙに移動することにより、ブレード部２０１の先端が液体噴射面２０ａを払拭して、液体噴射面２０ａをワイピングする。
ここで、ブレード部２０１（ワイピング手段２００）とインクジェット式記録ヘッドＩＩとの相対的な移動は、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッドＩＩを搭載したキャリッジ３を主走査方向（第２の方向Ｙ）に移動することで行われる。もちろん、ワイピング手段２００とインクジェット式記録ヘッドＩＩとの相対的な移動は、キャリッジ３の移動に限定されず、ワイピング手段２００を主走査方向（第２の方向Ｙ）に移動する移動手段等を設け、インクジェット式記録ヘッドＩＩを搭載したキャリッジ３を停止した状態で、ワイピング手段２００を移動させるようにしてもよい。また、ワイピング手段２００は、インクジェット式記録ヘッドＩＩに対して相対的に副走査方向に移動して、ブレード部２０１が液体噴射面２０ａを第１の方向Ｘに払拭するようにしてもよい。
このようなワイピング手段２００のブレード部２０１は、カバーヘッド１３０の表面を払拭した後、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａを払拭する。
具体的には、図７（ａ）に示すように、インクジェット式記録ヘッドＩＩをワイピング手段２００に対して第２の方向Ｙに相対的に移動させることで、ブレード部２０１の先端がカバーヘッド１３０の表面（液体噴射面２０ａ側）を払拭する。これにより、カバーヘッド１３０の表面に付着したインク（液体）や毛羽、埃、紙粉等がワイピングされる。
そして、インクジェット式記録ヘッドＩＩをワイピング手段２００に対して第２の方向Ｙにさらに相対的に移動させると、図７（ｂ）に示すように、ブレード部２０１の先端は、カバーヘッド１３０のノズルプレート側の端部から離れ、図７（ｃ）に示すように、ノズルプレート２０のノズル開口２１と、ノズルプレート２０の払拭方向（本実施形態では第２の方向Ｙ）とは反対側の端部との間の液体噴射面２０ａの領域Ｂ、すなわち、第２の余白部２４に着地する。また、ノズルプレート２０の払拭方向とは反対側の端部とは、ノズルプレート２０の端部であって、カバーヘッド１３０のブレード部２０１が既に払拭した領域側の端部のことである。さらに、領域Ｂを規定するノズル開口２１とは、ノズル開口２１のうち、最もノズルプレート２０の払拭方向とは反対側の端部側に設けられたものであって、その開口のノズルプレート２０の払拭方向とは反対側の端部側の縁部のことである。すなわち、領域Ｂは、最もノズルプレート２０の払拭方向とは反対側の端部側に設けられたノズル開口２１の開口縁部と、ノズルプレート２０のノズルプレート２０の払拭方向とは反対側の端部との間であって、当該ノズル開口２１の開口縁部とノズルプレート２０の端面とを含まないものである。
そして、図７（ｃ）に示すようにブレード部２０１が液体噴射面２０ａの領域Ｂに着地した後、さらに、インクジェット式記録ヘッドＩＩをワイピング手段２００に対して第２の方向Ｙに相対的に移動させることで、ブレード部２０１は、ノズル開口２１上を通過して、ノズル開口２１近傍のワイピングを行う。また、液体噴射面２０ａのワイピングを行った後は、さらにカバーヘッド１３０の第２の方向Ｙの払拭方向側の表面を払拭し、カバーヘッド１３０の表面のワイピングを行なって、ワイピングが完了する。
また、第１の方向Ｘにおいては、図８に示すように、ブレード部２０１は、カバーヘッド１３０の表面に押しつけられて、ブレード部２０１の露出開口部１３１内に変形により突出した部分がノズルプレート２０の液体噴射面２０ａに接触して払拭する。
このとき、上述のように第１の余白部２３の距離ｓ１を、第２の余白部２４の距離ｓ２よりも広くすることで、ブレード部２０１の変形を安定させて、ブレード部２０１によって端のノズル開口２１の近傍を確実に払拭してワイピングすることができる。
すなわち、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッドＩＩをワイピング手段２００に対して第２の方向Ｙに相対的に移動させて、ブレード部２０１によって液体噴射面２０ａを払拭する。つまり、ブレード部２０１は、長辺形状に開口する露出開口部１３１の短辺に沿って相対移動し、カバーヘッド１３０の表面から露出開口部１３１内の凹んだ位置にある液体噴射面２０ａに向かって突出するように変形して液体噴射面２０ａに接触する。この液体噴射面２０ａを払拭するブレード部２０１は、露出開口部１３１の長辺に沿って長尺な形状を有するため、ブレード部２０１は、露出開口部１３１の長辺付近において当該長辺に沿って液体噴射面２０ａに向かって落ち易い。これに対して、露出開口部１３１の短辺部分においては、ブレード部２０１は、カバーヘッド１３０の表面と液体噴射面２０ａとの段差に跨がって変形するため、露出開口部１３１の短辺付近、すなわち、液体噴射面２０ａの第１の方向Ｘの端部付近ではブレード部２０１は液体噴射面２０ａに向かって落ち難く、液体噴射面２０ａの端部に至るまで接触し難い。したがって、第２の余白部２４の距離ｓ２を比較的狭くしても、ブレード部２０１を第２の余白部２４に着地することができる。また、第１の余白部２３の距離ｓ１を第２の余白部２４よりも広くすることで、第１の余白部２３でのブレード部２０１の変形を安定させて、ブレード部２０１によって端のノズル開口２１の近傍を確実に払拭してワイピングすることができる。
これに対して、例えば、図９に示すように、第１の余白部２３を距離ｓ１よりも小さく、すなわち、距離ｓ１よりも小さな距離ｓ４とした場合、カバーヘッド１３０と端のノズル開口２１との距離ｓ４＋ｓ３が小さくなり、ブレード部２０１の変形、特に端のノズル開口２１近傍での変形が安定せずにブレード部２０１によって端のノズル開口２１の近傍の拭き残しが発生する虞がある。
また、例えば、図１０に示すように、第１の余白部２３を距離ｓ１よりも著しく大きな距離ｓ５とした場合、ノズルプレート２０をブレード部２０１によって確実に払拭することはできるものの、ノズルプレート２０が大型化してしまう。例えば、ノズルプレート２０を１枚のシリコンウェハーに複数同時に形成する場合には、１枚のシリコンウェハーからの取り数が減少してしまう。また、ノズルプレート２０が大型化すると、露出開口部１３１を大きな開口面積で形成しなくてはならず、カバーヘッド１３０も大型化すると共にブレード部２０１も大型化する必要がある。このように、ノズルプレート２０の大型化によってインクジェット式記録ヘッドＩＩが大型化し、高コストになってしまう。本実施形態では、第１の余白部２３の距離ｓ１を３．０ｍｍ以下、好ましくは２．０ｍｍ以下とすることで、ノズルプレート２０の著しい大型化を抑制して、コストを低減することができる。
また、図１１に示すように、第１の方向Ｘにおけるカバーヘッド１３０とノズルプレート２０との間隔を、間隔ｓ３よりも著しく小さい間隔ｓ６とした場合、カバーヘッド１３０と端のノズル開口２１との距離ｓ１＋ｓ６が小さくなり、ブレード部２０１の変形、特に端のノズル開口２１近傍の変形が安定せずにブレード部２０１によって端のノズル開口２１の近傍の拭き残しが発生する虞がある。本実施形態では、カバーヘッド１３０とノズルプレート２０の一端との間隔ｓ３を０．０５ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下とすることで、ブレード部２０１の変形を安定させて、端のノズル開口２１近傍の払拭を確実に行うことができる。また、本実施形態では、ノズルプレート２０の端部がカバーヘッド１３０から十分に離れているため、ブレード部２０１がノズルプレート２０の端部に接触するのを抑制して、ブレード部２０１がノズルプレート２０の端部に接触することによる撥液膜２２の剥離、ブレード部２０１の寿命の低下及びノズルプレート２０の破損を抑制することができる。
また、例えば、図１２に示すように、第１の方向Ｘにおけるカバーヘッド１３０とノズルプレート２０との間隔を、間隔ｓ３よりも著しく大きい間隔ｓ７とした場合、ノズルプレート２０をブレード部２０１によって確実に払拭することはできるものの、カバーヘッド１３０が大型化して高コストになってしまう。本実施形態では、カバーヘッド１３０とノズルプレート２０の一端との間隔ｓ３を０．０５ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下とすることで、カバーヘッド１３０の大型化を抑制してコストを低減することができる。
ちなみに、図９のように、ノズルプレート２０の第１の余白部２３の距離を小さい距離ｓ４にした場合、ノズルプレート２０とカバーヘッド１３０との間隔ｓ３を間隔ｓ７に大きくして、結果的にカバーヘッド１３０と端のノズル開口２１との距離ｓ４＋ｓ７が、ｓ１＋ｓ３と同じ距離とすることも考えられるものの、端のノズル開口２１がカバーヘッド１３０と十分に離れていたとしても、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａの第１の余白部２３に距離ｓ１のように十分な距離がなければ、ブレード部２０１の変形は安定せずに拭き残しが発生し易い。
本実施形態では、第１の余白部２３の距離ｓ１を第２の余白部２４の距離ｓ２よりも大きくすることで、ブレード部２０１の変形を安定して、端のノズル開口２１近傍の払拭を確実に行うことができる。
なお、液体噴射面２０ａの領域Ｂである第２の余白部２４や、液体噴射面２０ａとカバーヘッド１３０との間の領域Ａは、幅広にするとインクジェット式記録ヘッドが大型化してしまうと共に高コストになってしまう。したがって、領域Ａ及び領域Ｂはできるだけ幅狭に設けることで、インクジェット式記録ヘッドＩＩを小型化することができる。特に、本実施形態では、ワイピング手段２００は、液体噴射面２０ａを第２の方向Ｙに相対的に移動して払拭するため、ノズル開口２１とノズルプレート２０の払拭方向とは反対側の端部との領域Ｂが大きいと、複数のインクジェット式記録ヘッドＩＩを搭載した際に、ノズル列間距離が広くなってしまうという問題があるため、領域Ｂである第２の余白部２４はできるだけ狭くするのが好適である。
以上説明したように、ブレード部２０１がカバーヘッド１３０の液体噴射面２０ａ側の面をワイピングすることで、カバーヘッド１３０に付着したインクなどの異物によって記録シートＳに汚れが付着するのを抑制することができる。また、ノズルプレート２０の第１の余白部２３の距離ｓ１を第２の余白部２４の距離ｓ２よりも広くすることで、全てのノズル開口２１をブレード部２０１によって確実に払拭することができる。
なお、本実施形態では、第１の余白部２３の距離ｓ１を、３．０ｍｍ以下、好ましくは、２．０ｍｍ以下とすることで、ブレード部２０１がノズルプレート２０の端部に接触するのを抑制して、ブレード部２０１の接触による撥液膜２２の剥離、ブレード部２０１の寿命の低下及びノズルプレート２０の破壊を抑制することができる。
また、上述したように、第２の方向Ｙにおいて、ブレード部２０１がカバーヘッド１３０の表面を払拭した後、ブレード部２０１がノズルプレート２０の液体噴射面２０ａの領域Ｂに着地してから液体噴射面２０ａをワイピングすることで、ブレード部２０１がノズルプレート２０の端面（角部等）に当接するのを抑制することができる。これによっても、ブレード部２０１がノズルプレート２０の端部に接触するのを抑制して、ブレード部２０１の接触による撥液膜２２の剥離、ブレード部２０１の寿命の低下及びノズルプレート２０の破壊を抑制することができる。
（実施形態２）
図１３は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１３に示すように、本実施形態のノズルプレート２０は、連通板１５のコンプライアンス基板４５が接合される領域まで延設されている。
このような構成であっても、第１の余白部２３の距離ｓ８は、上述した実施形態１の距離ｓ１と距離ｓ３とを合算した距離とすれば、ブレード部２０１の変形を安定させて、ブレード部２０１による拭き残しを抑制することができる。また、露出開口部１３１内にノズルプレート２０の端部が露出されていないため、ブレード部２０１がノズルプレート２０の端部に接触することがない。したがって、ブレード部２０１の接触による撥液膜２２の剥離、ブレード部２０１の寿命の低下及びノズルプレート２０の破壊を抑制することができる。
なお、本実施形態における第１の余白部２３は、カバーヘッド１３０の露出開口部１３１の開口縁部から端のノズル開口２１までの領域であり、この第１の方向Ｘの距離をｓ８で表している。
（実施形態３）
図１４は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとワイピング手段との要部を示す断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１４に示すように、本実施形態のワイピング手段２００のブレード部２０１は、カバーヘッド１３０の表面から液体噴射面２０ａに向かって突出する凸部２０１ａを有する。
そして、ブレード部２０１の凸部２０１ａの両側がカバーヘッド１３０の表面を払拭すると共に、凸部２０１ａの先端が液体噴射面２０ａを払拭する。
このような構成であっても、上述した実施形態１と同様に、ノズルプレート２０の第１の余白部２３の距離ｓ１を第２の余白部２４の距離ｓ２よりも広くすることで、全てのノズル開口２１をブレード部２０１によって確実に払拭することができる。また、第１の余白部２３の距離ｓ１の上限を規定すると共に、カバーヘッド１３０とノズルプレート２０の端部との距離ｓ３の上限を規定することで、ノズルプレート２０の大型化による高コスト化を抑制することができる。
これに対して、例えば、図１５に示すように、第１の余白部２３を距離ｓ１よりも小さく、すなわち、距離ｓ２よりも小さな距離ｓ４とした場合、カバーヘッド１３０と端のノズル開口２１との距離ｓ４＋ｓ３が小さくなる。このように、カバーヘッド１３０とノズル開口２１との距離が小さいと、凸部２０１ａは、カバーヘッド１３０に接触しないように、露出開口部１３１の開口縁部とある程度の間隔を取った大きさで形成されるため、凸部２０１ａによって端のノズル開口２１近傍を確実に払拭することができずに、拭き残しが発生する虞がある。また、ブレード部２０１の凸部２０１ａが全てのノズル開口２１を覆う長さで形成されていたとしても、ブレード部２０１の凸部２０１ａの位置ずれによって、端のノズル開口２１近傍の拭き残しが発生し易い。
すなわち、本実施形態では、ブレード部２０１に凸部２０１ａを設けることで、ブレード部２０１がカバーヘッド１３０の表面から凹んだ位置にある液体噴射面２０ａに落ち易くなるため、第１の余白部２３の距離ｓ１を小さくできると考えられるが、凸部２０１ａは、カバーヘッド１３０に接触しないように、露出開口部１３１の開口縁部とある程度の間隔を取った大きさで形成されるため、第１の余白部２３の距離ｓ１が小さいと、凸部２０１ａによって端のノズル開口２１近傍を確実に払拭することができずに、拭き残しが発生する虞がある。また、ブレード部２０１の凸部２０１ａが全てのノズル開口２１を覆う長さで形成されていたとしても、ブレード部２０１の凸部２０１ａの位置ずれによって、端のノズル開口２１近傍の拭き残しが発生し易い。したがって、ブレード部２０１に凸部２０１ａを設けた場合であっても、第１の余白部２３の距離ｓ１は、比較的大きく、すなわち、第１の余白部２３の距離ｓ２よりも大きくする必要がある。
また、特に図示していないが、第１の余白部２３の距離を距離ｓ１よりも著しく大きくすると、ノズルプレート２０が大型化してしまう。
また、図１６に示すように、第１の方向Ｘにおけるカバーヘッド１３０とノズルプレート２０との間隔を、間隔ｓ３よりも著しく小さい間隔ｓ６とした場合も同様に、ブレード部２０１の凸部２０１ａをカバーヘッド１３０に接触しない大きさで形成するため、凸部２０１ａによって端のノズル開口２１近傍の拭き残しが発生する虞がある。また、凸部２０１ａの位置ずれによって端のノズル開口２１の近傍の拭き残しが発生する虞がある。すなわち、ブレード部２０１に凸部２０１ａを設けた場合であっても、第１の余白部２３の距離ｓ１は、比較的大きく、すなわち、第１の余白部２３の距離ｓ２よりも大きくする必要がある。
さらに、図１７に示すように、カバーヘッド１３０とノズルプレート２０との間隔を間隔ｓ３よりも著しく大きな間隔ｓ７とした場合であっても、カバーヘッド１３０とノズルプレート２０との間隔には充填剤１３２が充填されているため、凸部２０１ａの第１の方向Ｘの幅を大きくすると、充填剤１３２に接触して充填剤１３２の剥離等が発生する虞がある。したがって、凸部２０１ａは、第１の方向Ｘの幅を大きくすることができずに、インクジェット式記録ヘッドＩＩが大型化してしまう。また、ブレード部２０１に凸部２０１ａを設けた場合であっても、位置決めが必要なことから第１の余白部２３の距離ｓ１は比較的大きく、すなわち、第１の余白部２３の距離ｓ２よりも大きくする必要がある。
本実施形態では、ノズルプレート２０の第１の余白部２３の距離ｓ１を第２の余白部２４の距離ｓ２よりも広くすることで、凸部２０１ａを有するブレード部２０１によっても液体噴射面２０ａを確実に払拭することができる。また、第１の余白部２３の距離ｓ１を小さくすることで、ブレード部２０１の凸部２０１ａの位置ずれによる拭き残しを抑制することができる。また、第１の余白部２３の距離ｓ１の上限及び下限を規定することで、ノズルプレート２０の小型化及びインクジェット式記録ヘッドＩＩの小型化を図ることができる。
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した各実施形態では、保護部材として、カバーヘッド１３０を例示したが、特にこれに限定されず、保護部材は、複数の部材が積層されたものであってもよい。また、保護部材は、カバーヘッド１３０に限定されるものではなく、平板状の板状部材等であってもよい。
また、上述した各実施形態では、ワイピング手段２００として板状部材であるブレード部２０１とベース部２０２とを有するものを例示したが、特にこれに限定されず、ワイピング手段２００としては、例えば、スポンジ等の多孔質材料や不織布などが液体噴射面２０ａを払拭するようにしてもよい。すなわち、ワイピング手段２００とは、液体噴射面２０ａ等を払拭して、液体噴射面２０ａをワイピングするものであれば、その材料や形状等が限定されるものではない。
また、上述した各実施形態では、ワイピング手段２００のブレード部２０１が、インクジェット式記録ヘッドＩＩの液体噴射面２０ａを第２の方向Ｙに相対的に移動して払拭するようにしたが、特にこれに限定されず、ワイピング手段２００が液体噴射面２０ａに第１の方向Ｘに相対移動しながら払拭するようにしてもよい。この場合には、第２の余白部２４の距離ｓ２が、第１の余白部２３の距離ｓ１よりも広くなっていればよい。
さらに、上述した各実施形態では、１つのヘッド本体１１に対して１つのカバーヘッド１３０（露出開口部１３１）を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、２つ以上の複数のヘッド本体１１に対して１つのカバーヘッドを設けるようにしてもよい。この場合、カバーヘッドには、ヘッド本体１１毎に露出開口部１３１を設けるようにしてもよく、また、複数のヘッド本体１１を１つの露出開口部１３１で露出するようにしてもよい。
また、上述した実施形態１のインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッドＩＩ（ヘッドユニット１）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドＩＩが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
また、上記実施の形態においては、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録ヘッドを有するインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に適用できる。
Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 ＩＩ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 １ インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、 １０ 流路形成基板、 １１ ヘッド本体、 ２０ ノズルプレート、 ２０ａ 液体噴射面、 ２１ ノズル開口、 ２２ 撥液膜、 ２３ 第１の余白部、 ２４ 第２の余白部、 ３０ 保護基板、 ４０ ケース部材、 ４５ コンプライアンス基板、 ５０ 振動板、 ６０ 第１電極、 ７０ 圧電体層、 ８０ 第２電極、 １００ マニホールド、 １２０ 駆動回路、 １３０ カバーヘッド（保護部材）、 ２００ ワイピング手段、 ２０１ ブレード部

Claims (5)

  1. ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
    該液体噴射ヘッドの液体噴射面側を払拭するワイピング手段と、を具備し、
    前記液体噴射ヘッドは、前記液体噴射面を有するノズルプレートと、該ノズルプレートよりも液体の吐出側に突出して設けられて前記液体噴射面を露出する開口部を有する保護部材と、を具備し、
    前記ワイピング手段は、前記ノズルプレートの前記液体噴射面を、当該液体噴射面の面内の一方向である払拭方向に向かって移動して払拭し、
    前記ノズルプレートは、前記払拭方向と直交する直交方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端の前記ノズル開口までの第１の余白部の距離が、前記払拭方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端のノズル開口までの第２の余白部の距離よりも大きく、
    前記保護部材の前記液体噴射面からの突出量は、３０μｍ以上、１００μｍ以下であり、
    前記直交方向における前記保護基板の開口縁部と、前記ノズルプレートの一端との間隔が、０．０５ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下であり、
    前記第１の余白部の距離が、０．８ｍｍ以上、３．０ｍｍ以下であることを特徴とする液体噴射装置。
  2. 前記ノズルプレートが、前記保護部材の前記開口部の開口面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
  3. 前記第１の余白部の大きさが、１．０ｍｍ以上、２．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射装置。
  4. ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
    該液体噴射ヘッドの液体噴射面側を払拭するワイピング手段と、を具備し、
    前記液体噴射ヘッドは、前記液体噴射面を有するノズルプレートと、該ノズルプレートよりも液体の吐出側に突出して設けられて前記液体噴射面を露出する開口部を有する保護部材と、を具備し、
    前記ワイピング手段は、前記ノズルプレートの前記液体噴射面を、当該液体噴射面の面内の一方向である払拭方向に向かって移動して払拭し、
    前記ノズルプレートは、前記払拭方向と直交する直交方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端の前記ノズル開口までの第１の余白部の距離が、前記払拭方向における前記ノズルプレートの一端から、当該一端側に設けられた端のノズル開口までの第２の余白部の距離よりも大きく、
    前記ノズルプレートが、前記保護部材の前記開口部の開口面積よりも小さいことを特徴とする液体噴射装置。
  5. 前記ノズルプレートがシリコン単結晶基板からなることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射装置。
JP2014040876A 2014-03-03 2014-03-03 液体噴射装置 Active JP6315177B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014040876A JP6315177B2 (ja) 2014-03-03 2014-03-03 液体噴射装置
US14/632,128 US9248652B2 (en) 2014-03-03 2015-02-26 Liquid ejecting apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014040876A JP6315177B2 (ja) 2014-03-03 2014-03-03 液体噴射装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015166139A JP2015166139A (ja) 2015-09-24
JP6315177B2 true JP6315177B2 (ja) 2018-04-25

Family

ID=54006362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014040876A Active JP6315177B2 (ja) 2014-03-03 2014-03-03 液体噴射装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9248652B2 (ja)
JP (1) JP6315177B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7023774B2 (ja) * 2018-04-11 2022-02-22 株式会社ミマキエンジニアリング インクジェットプリンター
JP7322519B2 (ja) * 2019-06-03 2023-08-08 セイコーエプソン株式会社 ヘッドユニットおよび液体吐出装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4269526B2 (ja) * 2001-02-09 2009-05-27 ブラザー工業株式会社 インクジェットプリンタヘッドの製造方法及びその保護カバープレートの製造方法
JP4046551B2 (ja) * 2002-05-28 2008-02-13 株式会社リコー インクジェット記録装置
JP4115334B2 (ja) 2002-06-25 2008-07-09 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置
JP2005014345A (ja) * 2003-06-25 2005-01-20 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置
JP2007030379A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP2007050674A (ja) * 2005-08-19 2007-03-01 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP4947303B2 (ja) * 2007-07-31 2012-06-06 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP2009113224A (ja) * 2007-11-02 2009-05-28 Sharp Corp インクジェットヘッドユニット
JP2010228151A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Seiko Epson Corp 液体噴射装置
JP5861815B2 (ja) * 2011-08-10 2016-02-16 セイコーエプソン株式会社 インク組成物、これを用いる記録ユニットおよびインクジェット記録装置、ならびに記録物
JP2013256010A (ja) * 2012-06-11 2013-12-26 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20150246544A1 (en) 2015-09-03
US9248652B2 (en) 2016-02-02
JP2015166139A (ja) 2015-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6331029B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP6098267B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP4947303B2 (ja) 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP2013169749A (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および液体噴射ヘッドの製造方法
JP6115236B2 (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び固定方法
JP6390851B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2006256029A (ja) インクジェットヘッド及びその製造方法及び該インクジェットヘッドを用いた画像形成装置
JP6183586B2 (ja) 液体噴射装置及び液体噴射装置のクリーニング方法
JP2006231678A (ja) 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP6315177B2 (ja) 液体噴射装置
JP6112041B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2009196354A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置
JP2017100462A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP6292396B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法
US9550361B2 (en) Liquid ejecting apparatus
JP2018134875A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2006218776A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2014136359A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2011093254A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2016172335A (ja) 液体噴射装置
JP2007296659A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP6606891B2 (ja) 液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドユニットの製造方法
JP6241591B2 (ja) 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
JP2008279651A (ja) 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP2009034862A (ja) 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20171213

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180130

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180228

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180313

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6315177

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150