JP2007193025A - 偏光制御素子とその製造方法、並びに、顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
所定の偏光状態にすることができる偏光制御素子及びその製造方法、並びにそれを用いたレーザ顕微鏡を提供する。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる偏光制御素子は、入射位置に応じて入射光の偏光状態を変化させる偏光制御素子であって、放射状に8以上分割された分割領域であって、入射した光の位相をずらして出射する波長板が設けられている分割領域を有し、互いに対向する分割領域に設けられている1対の波長板の光学軸が略直交しているものである。この偏光制御素子に直線偏光を入射させ、レンズで集光することによって、擬似ラディアル偏光又は擬似アジマス偏光を生成することができる。
【選択図】 図1
Description
本発明の実施の形態にかかる偏光制御素子について、図1を参照して説明する。図1(a)は、本実施の形態にかかる偏光制御素子の構成を模式的に示す正面図である。図1(b)は本実施の形態にかかる偏光制御素子の構成を示す側面図である。ここでは、本発明にかかる偏光制御素子の一例として、8分割されている偏光制御素子100について説明する。また、板状の偏光制御素子100が配置される面を図1(a)に示すようにXY平面とする。また、図1(b)に示すように、偏光制御素子100と垂直な方向をZ方向とする。従って、偏光制御素子100を通過する光ビームは、通常Z方向に沿って伝播する。
Ex=x/(x2+y2)・A・sin(kz1−wt−c)
Ey=y/(x2+y2)・A・sin(kz1−wt−c)
また、アジマス偏光状態における電気ベクトルのx成分及びy成分は、以下のように示される。
Ex=x/(x2+y2)・A・sin(kz1−wt−c)
Ey=y/(x2+y2)・A・sin(kz1−wt−c)
ただし、光束断面のある一点を原点(x=0,y=0)とする。ここで、wは光の振動数であり、kは波数、tは時間、cは任意の定数である。
擬似ラディアル偏光を生成する場合における1/2波長板の光学軸
90°/n×i(i=0、1、2、3・・・、n−1)
直線偏光に対して擬似アジマス偏光を生成する場合における1/2波長板の光学軸
90°/n×i+45°(i=0、1、2、3・・・、n−1)
本実施の形態にかかる偏光制御素子は、4つの分割領域を備えている。この4つの分割領域は、実施の形態1と同様に放射状に分割されている。そして、対向する領域に設けられている1対の波長板の光学軸が直交している。これにより、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。なお、実施の形態1と同様の構成については説明を省略する。但し、本実施の形態にかかる偏光制御素子は、実施の形態1と異なる方法により製造されている。すなわち、実施の形態1ではフォトニック結晶を用いて波長板を形成したが、本実施の形態では、波長板を複数に分割して分割領域を形成する。この分割領域を基板に貼りつけることによって、偏光制御素子を形成している。
13 ビームスプリッタ、14 ガルバノミラー、15 ガルバノミラー、
16 対物レンズ、17 対物レンズ、18 光検出器、19 光検出器、
20 レンズ、21 基本波カットフィルタ、22 基本波カットフィルタ、
30 試料、40 放射パターン、50 基板、51〜58 分割領域、
61〜64 分割領域、71〜74 分割領域、80 基板、81 基板、
100 偏光制御素子、
Claims (9)
- 入射位置に応じて入射光の偏光状態を変化させる偏光制御素子であって、
放射状に8以上分割された分割領域であって、入射した光の位相をずらして出射する波長板がそれぞれ設けられている分割領域を有し、
互いに対向する分割領域に設けられている1対の波長板の光学軸が略直交している偏光制御素子。 - 前記波長板が、前記基板上に形成されたフォトニック結晶を有している請求項1に記載の偏光制御素子。
- 放射状に分割された波長板を基板に貼り付けることによって、前記分割領域が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の偏光制御素子。
- 前記分割領域が16個設けられている請求項1、2又は3に記載の偏光制御素子。
- 前記波長板の光学軸を識別するための識別マークが設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の偏光制御素子。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の偏光制御素子と、
前記偏光制御素子に入射する光を出射する光源と、
前記偏光制御素子から出射された光を集光して、試料に照射する対物レンズとを備える顕微鏡。 - 入射位置に応じて入射光の偏光状態を変化させる偏光制御素子の製造方法であって、
基板上において放射状に2以上分割された分割領域毎に所定の方向の溝パターンを形成して、
前記溝パターンが設けられた基板上に、複数の誘電膜の周期構造からなるフォトニック結晶を形成して、対向する前記分割領域に光学軸が略直交する波長板を形成する偏光制御素子の製造方法。 - 入射位置に応じて入射光の偏光状態を変化させる偏光制御素子の製造方法であって、
所定の方向に光学軸が設けられている波長板を複数用意し、
前記光学軸と切断線が成す角度が前記複数の波長板毎に異なる角度となるよう、前記波長板のそれぞれを放射状に分割して、それぞれの波長板から2以上の分割領域を形成し、
入射位置に応じて入射光の偏光状態を変化させる偏光制御素子の製造方法であって、
前記複数の波長板から形成された複数の分割領域の中から所定数の分割領域を選択し、
前記複数の波長板のうち、第1の波長板から選択された分割領域を基板に貼り付け、
前記第1の波長板から選択された分割領域の隣に、前記複数の波長板のうち、他の波長板から選択された分割領域を貼り付け、対向する分割領域において、波長板の光学軸が直交するよう配置する偏光制御素子の製造方法。 - 前記第1の波長板から分割された分割領域のうち、前記基板に貼り合わされていない分割領域を他の基板上に貼り付け、
前記第2の波長板から分割された分割領域のうち、前記基板に貼りあわされていない分割領域を、前記第1の波長板から分割された分割領域の隣に配置されるよう、前記他の基板に貼り合わせる請求項8に記載の偏光制御素子の製造方法。
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