JP2007190869A - 積層セラミック電子部品の製造方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】積層セラミック電子部品製造装置10は、キャリアフィルム12に形成されているセラミックグリーンシート14を圧着プレス装置20によって、圧着ブロック22を介して、キャリアフィルム12を被圧着体17にプレスする。プレス後に、圧着ブロック22を搬送方向と反対方向に戻す際に、圧着ブロック22のプレス面22Aを被圧着体17から、キャリアフィルム12に、圧着ブロック22の荷重が作用しない解放位置にまで上昇させてから、剥離動作を開始する。
【選択図】図2
Description
12…キャリアフィルム
14…セラミックグリーンシート
16…積層下金型
17…被圧着体
17A…被圧着面
18…フィルム巻取装置
20…圧着プレス装置
22…圧着ブロック
22A…プレス面
24、42…剥離部材
24A、46…前端ガイドローラ
26…吸着装置
38…圧着ブロック駆動装置
44…3角形部
44A…先端面
44B…傾斜面
Claims (7)
- キャリアフィルム上に形成されている第1のセラミックグリーンシートを、他のセラミックグリーンシート又はセラミックグリーンシートの積層体からなる被圧着体上の位置まで、搬送経路を通って搬送する工程と、このキャリアフィルムを介して、圧着ブロックにより前記第1のセラミックグリーンシートを前記被圧着体に圧着する工程と、前記キャリアフィルムを第1のセラミックグリーンシートから剥離する工程と、を有する積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記圧着工程の終了後、且つ、剥離工程の開始前に、
前記圧着ブロックの荷重から前記キャリアフィルムが解放されるまで、前記圧着ブロックを、キャリアフィルムから圧着方向と反対方向に離間させる解放工程と、
前記被圧着体におけるキャリアフィルム搬送方向の先端近傍位置で、前記キャリアフィルムを剥離方向に引張る剥離開始工程と、
をほぼ同時に実施すると共に、
前記剥離工程では、前記圧着ブロックを、前記搬送経路に沿って前記搬送方向と反対方向に移動させつつ、前記キャリアフィルムを、圧着ブロックの搬送方向先端近傍位置を通って剥離方向に引張るようにしたことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 - 請求項1において、
前記解放工程は、前記圧着ブロックを、前記キャリアフィルムとの間に0.05〜0.2mmの隙間を形成するように、前記圧着方向と反対方向に移動させることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 - 請求項1又は2において、
前記剥離工程は、前記圧着ブロックを、前記キャリアフィルムとの、前記圧着方向の距離を保ったまま、前記搬送方向と反対方向に移動させることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記キャリアフィルムを、前記被圧着体の先端面に対して、その近傍を平行に通る搬送経路に沿って張り渡し、更に、前記圧着ブロックの搬送方向前端近傍で、且つ、前記搬送経路より離間した位置を通って、前記搬送経路と平行に張り渡す工程と、
前記圧着ブロックの先端面に、前記第1のセラミックグリーンシートをキャリアフィルムを介して吸着する工程と、
前記キャリアフィルムを、搬送方向に引張りつつ、前記第1のセラミックグリーンシートをキャリアフィルムを介して吸着したまま、前記圧着ブロックを、その先端が、前記被圧着体に臨む搬送終了位置まで搬送する工程と、
前記圧着工程、解放工程及び前記剥離開始工程と、
前記圧着ブロックを、前記キャリアフィルムを吸着したままで移動させる前記剥離工程と、
前記剥離工程の終了後に、次のセラミックグリーンシートをキャリアフィルムを介して圧着ブロックに吸着する工程と、
次のセラミックグリーンシートをキャリアフィルムを介して吸着したままで、前記圧着ブロックを圧着工程前における搬送経路の高さ位置まで、前記キャリアフィルムの厚さ方向に移動させる工程と、
を有してなり、
前記各工程を繰り返して、セラミックグリーンシートを順次積層することを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 - キャリアフィルム上に形成されているセラミックグリーンシートを被圧着面に順次積層可能な積層下金型と、
この積層下金型における前記被圧着面に沿って、前記キャリアフィルムを張り渡し、且つ、これを搬送方向に送るフィルム巻取装置と、
前記張り渡されたキャリアフィルムを間にして、前記積層下金型に対向して配置され、且つ、積層下金型から離間する待機位置及び接近するプレス位置との間で、前記被圧着面と直交する方向に往復動可能とされた圧着プレス装置と、
待機位置における前記圧着プレス装置と前記積層下金型との間の搬送終了位置、これから前記キャリアフィルムの搬送方向と反対方向に戻った原点位置との間で、前記張り渡されたキャリアフィルムにおけるセラミックグリーンシートの反対側面に沿って、前記搬送方向に往復動自在、且つ、前記原点位置及び搬送終了位置で、キャリアフィルムの厚さ方向に一定範囲で移動可能な圧着ブロックと、
この圧着ブロックの、前記搬送方向の前端近傍位置に設けられ、前記張り渡されたキャリアフィルムを、圧着ブロック先端のプレス面における搬送方向前端を通って、積層されたセラミックグリーンシートから離間する方向に屈曲するように案内する剥離部材と、を有してなり、
前記圧着ブロックは、前記キャリアフィルムを吸着する吸着装置を備え、キャリアフィルムを吸着して、前記原点位置から搬送終了位置まで搬送可能、且つ、キャリアフィルムの吸着解放後に搬送終了位置から原点位置近傍まで引き戻し可能とされたことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造装置。 - 請求項5において、
前記剥離部材は、前記圧着ブロックにおける搬送方向前端、且つ、被圧着面に対して圧着ブロックのプレス面から離間した位置に設けられ、前記キャリアフィルムを、プレス面の搬送方向前端を通り、更に圧着ブロックの搬送方向先端に沿って張り渡すようにされた前端ガイドローラを有していることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造装置。 - 請求項5において、
前記剥離部材は、前記圧着ブロックにおける搬送方向前端に設けられ、前記プレス面と面一な先端面、この先端面における搬送方向前端で、前記先端面から鋭角に屈曲する傾斜面を形成する3角形部と、前記3角形部の、前記傾斜面近傍であって、これから離間した位置に設けられ、前記キャリアフィルムを、前記3角形部の先端面から傾斜面に沿って巻き掛けるように案内する前端ガイドローラと、を有してなることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造装置。
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