JP2007184610A - 表示基板、その製造方法及びそれを具備した表示パネル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表示基板はデータ線、ゲート線、画素部及び有機スイッチング素子及び画素電極を含む。データ線は第1方向に延長されて形成される。ゲート線は第1方向と交差する第2方向に延長されて形成される。画素部はデータ線とゲート線によって定義される。有機スイッチング素子は各画素部に形成され、データ線と電気的に連結されたソース電極とゲート線、電気的に連結されたゲート電極、及びゲート電極上に形成された有機半導体層を含む。画素電極は透明な酸窒化物で前記画素部に形成され、前記有機スイッチング素子と電気的に連結される。それにより、透明電極層を酸窒化物で形成することで前記透明電極層の下部に形成される有機絶縁層の損傷を防止することができる。
【選択図】図1
Description
ベース基板上に第1方向に延長されたデータ線を含むデータ金属パターンを形成する段階と、
前記データ金属パターンが形成されたベース基板上に第1方向と交差する第2方向に延長されたゲート線及び有機スイッチング素子のゲート電極を含むゲート金属パターンを形成する段階と、
前記ゲート金属パターンが形成されたベース基板上に有機絶縁層を形成する段階と、
前記有機絶縁層が形成されたベース基板上に透明な酸窒化物を蒸着して透明伝導層を形成する段階と、
前記透明伝導層をパターニングして前記データ線と電気的に連結されたソース電極及び前記有機スイッチング素子のドレイン電極と一体に形成された画素電極を形成する段階と、を含む。
101、401 第1ベース基板、
113、413 データ線の端部、
120、420 下部絶縁層、
131、431 ゲート電極、
133、433 ゲート線の端部、
135 ストレージ共通電極、
140、440 有機絶縁層、
150、450 透明伝導層、
151、451 ソース電極、
153、453 ドレイン電極、
155、455 画素電極、
157、457 データパッドパターン、
159、459 ゲートパッドパターン、
160、460 チャンネル部、
161、461 有機半導体層、
163、463 ストッパ層、
170、470 保護絶縁層、
181、481 第1コンタクトホール、
183、483 第2コンタクトホール、
185、485 第3コンタクトホール、
200 カラーフィルタ基板(対向基板)、
201 第2ベース基板、
210 遮光パターン、
220 カラーフィルタ層、
230 共通電極層、
300 液晶層、
450a 下部伝導層、
450b 上部伝導層、
P 画素部、
DLm、DLm+1 データ線、
DPm データパッド、
GLn−1、GLn ゲート線、
GPn ゲートパッド、
OTFT 有機スイッチング素子。
Claims (21)
- 第1方向に延長されて形成されたデータ線と、
前記第1方向と交差する第2方向に延長され形成されたゲート線と、
前記データ線とゲート線によって定義された画素部と、
前記各画素部に形成され、データ線と電気的に連結されたソース電極、ゲート線と電気的に連結されたゲート電極、及び前記ゲート電極上に形成された有機半導体層を含む有機スイッチング素子と、
透明な酸窒化物で前記画素部に形成され、前記有機スイッチング素子と電気的に連結された画素電極と、
を含むことを特徴とする表示基板。 - 前記透明な酸窒化物は、インジウム(In)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)、アルミニウム(Al)及びガリウム(Ga)よりなる群から選択された一つ以上を含有した酸窒化物であることを特徴とする請求項1に記載の表示基板。
- 前記画素電極の下に形成された有機絶縁層をさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載の表示基板。
- 前記画素電極は、
透明な酸窒化物で前記有機絶縁層上に形成された下部伝導層と、
透明な酸化物で前記下部伝導層上に形成された上部伝導層と、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の表示基板。 - 前記透明な酸化物は、インジウム(In)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)、アルミニウム(Al)及びガリウム(Ga)よりなる群から選択された一つ以上を含有した酸化物であることを特徴とする請求項4に記載の表示基板。
- 前記ソース電極は、前記画素電極と同一層で形成され、前記データ線とコンタクトホールを通じて電気的に連結されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の表示基板。
- 前記有機スイッチング素子は、ドレイン電極を含み、
前記有機スイッチング素子のドレイン電極が、前記画素電極と一体形に形成され、電気的に連結されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の表示基板。 - 前記有機半導体層上に形成されたストッパ層をさらに含むことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の表示基板。
- ベース基板上に第1方向に延長されたデータ線を含むデータ金属パターンを形成する段階と、
前記データ金属パターンが形成されたベース基板上に第1方向と交差する第2方向に延長されたゲート線及び有機スイッチング素子のゲート電極を含むゲート金属パターンを形成する段階と、
前記ゲート金属パターンが形成されたベース基板上に有機絶縁層を形成する段階と、
前記有機絶縁層が形成されたベース基板上に透明な酸窒化物を蒸着して透明伝導層を形成する段階と、
前記透明伝導層をパターニングして前記データ線と電気的に連結されたソース電極及び前記有機スイッチング素子のドレイン電極と一体に形成された画素電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とする表示基板の製造方法。 - 前記データ金属パターンが形成されたベース基板上に下部絶縁層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の表示基板の製造方法。
- 前記有機絶縁層を形成する段階は、
前記データ線の一部分を露出させるコンタクトホールを形成する段階を含むことを特徴とする請求項9または10に記載の表示基板の製造方法。 - 前記ソース電極及びドレイン電極が形成されたベース基板上に前記ゲート電極に対応して有機半導体層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載の表示基板の製造方法。
- 前記有機半導体層が形成されたベース基板上に前記有機スイッチング素子に対応して保護絶縁層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項9〜12のいずれか1項に記載の表示基板の製造方法。
- 前記透明伝導層を形成する段階は、
窒素ガスの添加量が20〜40sccmである雰囲気で前記有機絶縁層上に蒸着されることを特徴とする請求項9〜13のいずれか1項に記載の表示基板の製造方法。 - 前記透明な酸窒化物は、インジウム(In)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)、アルミニウム(Al)及びガリウム(Ga)よりなる群から選択された一つ以上を含有した酸窒化物であることを特徴とする請求項9〜14のいずれか1項に記載の表示基板の製造方法。
- 前記透明伝導層を形成する段階は、
前記有機絶縁層上に前記透明な酸窒化物を蒸着して下部伝導層を形成する段階と、
前記下部伝導層上に透明な酸化物を蒸着して上部伝導層を形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項9〜15のいずれか1項に記載の表示基板の製造方法。 - 前記透明な酸化物は、インジウム(In)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)、アルミニウム(Al)及びガリウム(Ga)よりなる群から選択された一つ以上を含有した酸化物であることを特徴とする請求項16記載の表示基板の製造方法。
- データ線とゲート線によって複数の画素部が定義され、各画素部に形成され有機半導体層を含む有機スイッチング素子、及び透明な酸窒化物から形成され前記有機スイッチング素子と電気的に連結された画素電極を含むアレイ基板と、
前記アレイ基板と向き合うように結合される対向基板と、
前記アレイ基板と前記対向基板との間に介在された液晶層と、
を含むことを特徴とする表示パネル。 - 前記透明な酸窒化物は、インジウム(In)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)、アルミニウム(Al)及びガリウム(Ga)よりなる群から選択された一つ以上を含有した酸窒化物であることを特徴とする請求項18に記載の表示パネル。
- 前記画素電極は、
前記透明な酸窒化物から形成された下部伝導層と、
前記下部伝導層上に透明な酸化物から形成された上部伝導層と、
を含むことを特徴とする請求項18または19に記載の表示パネル。 - 前記有機スイッチング素子は、ソース電極及びドレイン電極を含み、
前記有機スイッチング素子のソース電極及びドレイン電極は、前記透明な酸窒化物から形成されていることを特徴とする請求項18〜20のいずれか1項に記載の表示パネル。
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