JP2007173496A - 固体撮像素子用パッケージおよび固体撮像装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ダイボンド時の接着剤やワイヤーボンド時の負荷に起因するワイヤーボンド不良が発生しにくい小型の固体撮像素子用パッケージおよび固体撮像装置を提供する。
【解決手段】固体撮像素子51が固着されるベース部11と、ベース部11の周縁に立ち上がった側壁部12と、側壁部12の段差部13上に配された内部端子31とを有したパッケージ1において、段差部13の下部に、接着剤52からのブリードの内部端子31への這い上がりを阻止する複数の凹部14が互いに間隔をおいて形成される。進行の速いブリードであっても、凹部14内を経て側壁部内面12aを這い上がることは困難なので、内部端子31への付着を阻止できる。凹部14の存在で懸念されるワイヤーボンド時の強度は、凹部14間に所定の間隔で残留している残留部15によって確保できる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ、カメラ付携帯電話などに使用される固体撮像素子用パッケージおよび固体撮像装置に関するものである。
近年、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ(ムービー)、カメラ付携帯電話などは、高画素、高画質化に加えて、小型化の要求がますます高まってきており、これらの機器に搭載される固体撮像装置は小型化が進められている。
図10に従来の固体撮像装置を示す。凹状のパッケージ100内のベース部11に固体撮像素子51が接着剤52によって固着され、パッケージ100内に配置された内部端子31に固体撮像素子51の端子がボンディングワイヤー53によって電気的に接続されており、パッケージ100の上面には、パッケージ100内を気密状態に保つカバーガラス54などの透明部材が接着されている。32は内部端子31から引き出された外部端子である。
この固体撮像装置を小型化するためには、パッケージ100において、その側壁部内面12aと固体撮像素子51の側面との間のクリアランスを最小に設定する必要がある。しかしそのように設定すると、固体撮像素子51と内部端子31との距離が短くなり、固体撮像素子51をベース部11にダイボンドする際に接着剤52が周囲にはみ出した場合に、その接着剤52が内部端子31や固体撮像素子51の端子にまで這い上がり、短絡不良等の不具合が生じることがあった。
この対策として、接着剤52を塗布するノズルレイアウト及び塗布量を最適化して、接着剤52のはみ出しを最小限に抑える方法が提案された。また図11に示すように、パッケージ101を、セラミック板200A〜200Dを積層した構造とし、内部端子31を上面に担持するセラミック板200Bとベース部11となるセラミック板200Dとの間に配するセラミック板200Cを、セラミック板200Bよりも幅狭く設定して、はみ出した接着剤52を収容するギャップ201を形成する提案もされた(特許文献1参照)。
特開平6−53459号公報
しかし、接着剤52を塗布するノズルレイアウト及び塗布量を最適化する方法では、接着剤52のはみ出しを抑えることには効果があるものの、接着剤52から発生する溶剤成分のブリードは接着剤52以上に速く進展するため、対処困難な状況であった。
また、内部端子31を上面に担持するセラミック板200Bの下にそれよりも幅狭いセラミック板200Cを配してギャップ201を形成する方法では、セラミック板200Bの突出部およびその上の内部端子31の強度が不十分となって、ワイヤーボンド時の負荷により変形や損傷が発生し、ワイヤーボンド不良が発生する不具合が考えられる。
本発明は上記問題を解決するもので、ダイボンド時の接着剤やそれから発生するブリードが内部端子に付着せず、ワイヤーボンド時の負荷による内部端子の変形や損傷も発生しにくく、ワイヤーボンド不良が発生しにくい小型の固体撮像素子用パッケージおよび固体撮像装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明の固体撮像素子用パッケージは、固体撮像素子が固着されるベース部と、前記ベース部の周縁に立ち上がって固体撮像素子を収容する凹状の空間を形成している側壁部と、固体撮像素子の端子をワイヤーボンドして外部に引き出すために前記側壁部の内周の段差部上に配された内部端子とを有した固体撮像素子用パッケージにおいて、前記段差部の下部に、固体撮像素子を固着する接着剤からのブリードの前記内部端子への這い上がりを阻止する複数の凹部が互いに間隔をおいて形成されたことを特徴とする。
また本発明の固体撮像装置は、上記の固体撮像素子用パッケージに固体撮像素子が固着され、ワイヤーボンドされたことを特徴とする。
上記の固体撮像素子用パッケージを用いることにより、固体撮像素子の周囲に接着剤やそのブリードが拡がった時には、側壁部の段差部の凹部内に流れ込むことになり、進行のより速いブリードであっても、凹部内の側面や天面を経てから、側壁部内面を伝って這い上がることは困難なので、内部端子への接着剤やブリードの付着を阻止することができる。凹部が存在することで懸念されるワイヤーボンド時の強度は、凹部間に所定の間隔で残留している残留部によって確保できる。
ベース部に、段差部の凹部に接続する凹部が形成されているのが好ましい。接着剤やそのブリードを収容する容積がより大きくなり、内部端子への這い上がりをより確実に阻止できるからである。
凹部の底面の面租度が他面の面粗度よりも大きいのが好ましい。凹部へのブリードの進行性が高まるからである。
ベース部および側壁部はセラミック板を積層して形成されていてよい。またベース部および側壁部は樹脂によって形成されていてよい。
本発明の固体撮像素子用パッケージは、内部端子を上面に配した段差部の下部に複数の凹部を所定の間隔で形成する構造なので、パッケージ全体、すなわち固体撮像装置を小型化するために、固体撮像素子の側面とパッケージの側壁部内面とのクリアランスを最小に設定した場合も、固体撮像素子のダイボンド時の接着剤やそのブリードが内部端子に付着することはなく、加えてワイヤーボンド時の負荷にも耐えられる強度を段差部およびその上の内部端子に確保できるので、ブリード及び内部端子の変形や損傷によるワイヤーボンド不良を防止できる。
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1の固体撮像素子用パッケージを使用した固体撮像装置の平面図であり、図2は同固体撮像装置の図1におけるA―A’線に沿う断面図であり、図3は前記固体撮像素子用パッケージの一部拡大斜視図である。固体撮像装置も発明の一部を構成している。
図1〜図3に示すように、固体撮像素子用パッケージ1(以下、単にパッケージ1という)は、ベース部11とその周縁に立ち上がった側壁部12とにより形成された凹状の空間を有している。側壁部12は一対の対向面の下部が内方へ突出しており、その段差部13の上面に複数の内部端子31が配列され、各内部端子31に電気的に接続した外部端子32が側壁部12の外面に配列されている。ここでは内部端子31,外部端子32をリード部33のインナーリード,アウターリードとして図示しているが、これに限定されない。
このパッケージ1に対して、固体撮像素子51が接着剤52によりベース部11に固着され、固体撮像素子51の複数の端子が各々ボンディングワイヤー53により内部端子31に接続されて外部端子32へと引き出され、図示しないガラス板などの透明部材が搭載されて、固体撮像装置が構成される。
ここで、パッケージ1が、先に図10または図11を用いて説明した従来のものと相違するのは、段差部13の下部に、固体撮像素子51を固着する接着剤52からのブリードの内部端子31への這い上がりを阻止する複数の凹部14が所定の間隔をおいて形成されている点である。凹部14の開口の位置は、内部端子31の下方であって、ベース部11の上面の近傍である。
このことにより、固体撮像素子51の周囲に接着剤52やそのブリードが拡がった時には、側壁部12の段差部13の凹部14内に流れ込むことになり、ブリードであっても、凹部14内の側面や天面を経てから、側壁部内面12aを伝って這い上がることは困難なので、内部端子31への接着剤52やブリードの付着を阻止することができる。凹部14が存在することで懸念されるワイヤーボンド時の強度は、凹部14間に所定の間隔で残留している残留部15によって確保することができる。
したがって、パッケージ全体を小型化するために、固体撮像素子51の側面とパッケージ1の側壁部内面12aとのクリアランスを最小に設定した場合も、固体撮像素子51のダイボンド時の接着剤52やそのブリードが内部端子31に付着することはなく、加えてワイヤーボンド時の負荷にも耐えられる強度を段差部13およびその上の内部端子31に確保できるので、ブリード及び内部端子31の変形や損傷によるワイヤーボンド不良を防止できる。
凹部14の底面14aの面租度を他面(凹部14内の側面や天面)の面租度よりも大きくしておくのが望ましい。このことにより、凹部14へのブリードの進行性を高め、内部端子31への這い上がりをより確実に阻止することが可能となる。
なお、パッケージ1はプラスチック(樹脂)等で一体に形成されているものとして図示し、また凹部14は内部端子31とほぼ同等の幅にて開口した直方体状の空間として図示しているが、これに限定されない。凹部14の幅、高さ、奥行きなどは、強度確保用の残留部15に必要な寸法を勘案しながら、固体撮像素子51の側面とパッケージ1の側壁部内面12aとのクリアランスや、接着剤52の粘性、成分などの各種条件に適合するように決めればよく、コの字形や半円形などの断面形状を有していてもよい。凹部14どうしが内部で連通する形状も可能である。
(実施形態2)
図4は本発明の実施形態2のパッケージを使用した固体撮像装置の断面図であり、図5はパッケージの一部拡大斜視図である。
この実施形態2のパッケージ2が実施形態1のものと相違するのは、複数のセラミック板を積層して形成されている点である。側壁部12はセラミック板200A,200B,200Cで構成されており、その内、段差部13を構成する下層のセラミック板200Cに凹部14となる切欠が形成されている。セラミック板200Cを切欠くには抜き金型を用いればよいので、加工が容易である。したがって、実施形態1のパッケージ1よりも低コストで製作することが可能である。
(実施形態3)
図6は本発明の実施形態3のパッケージを使用した固体撮像装置の断面図であり、図7は同パッケージのB−B‘断面の一部拡大図である。
この実施形態3のパッケージ3が実施形態1のものと相違するのは、ベース部11に、側壁部12の段差部13の凹部14にそれぞれ接続する下向きに窪んだ凹部16が形成されている点である。段差部13の強度確保用の残留部15は、ベース部11の凹部16どうしの間の平坦面上にある。
このパッケージ3では、段差部13の凹部14とベース部11の凹部16とが一体になっているので、実施形態1,2のものに較べて、接着剤52やそのブリードを収容する収容容積が増大する。したがって、接着剤52やそのブリードの内部端子31への這い上がりをより確実に阻止することができる。
(実施形態4)
図8は本発明の実施形態4のパッケージを使用した固体撮像装置の断面図であり、図9は同パッケージのC−C‘断面の一部拡大図である。
この実施形態4のパッケージ4が実施形態3のものと相違するのは、複数のセラミック板を積層して形成されている点である。側壁部12はセラミック板200A,200B,200Cで構成されており、その内、段差部13を構成する下層のセラミック板200Cに凹部14となる切欠が形成されている。ベース部11は、セラミック板200D,200Eで構成されており、その内、上層のセラミック板200Dに凹部16となる貫通穴が形成されている。
この実施形態4のパッケージ3でも、段差部13の凹部14とベース部11の凹部16とが一体になっているので、実施形態1,2のものに較べて、接着剤52やそのブリードを収容する収容容積が増大する。したがって、接着剤52やそのブリードの内部端子31への這い上がりをより確実に阻止することができる。
加えて、セラミック板200C,200Dを切欠きあるいは穴あけする加工に抜き金型を用いればよいので、加工が容易である。したがって、実施形態3のパッケージ3よりも低コストで製作することが可能である。
本発明の固体撮像素子用パッケージおよび固体撮像装置は、小型化しても、内部端子の変形等や付着物が発生し難く、これらに起因するワイヤーボンド不良を防止できるので、小型化が要求されているデジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ、カメラ付携帯電話などの製造に有用である。
本発明の実施形態1の固体撮像素子用パッケージを使用した固体撮像装置の平面図 図1の固体撮像装置の断面図 図1の固体撮像素子用パッケージの一部拡大斜視図 本発明の実施形態2の固体撮像素子用パッケージを使用した固体撮像装置の断面図 図4の固体撮像素子用パッケージの一部拡大斜視図 本発明の実施形態3の固体撮像素子用パッケージを使用した固体撮像装置の断面図 図6の固体撮像素子用パッケージの一部拡大断面図 本発明の実施形態4の固体撮像素子用パッケージを使用した固体撮像装置の断面図 図8の固体撮像素子用パッケージの一部拡大断面図 従来の固体撮像装置の断面図 従来の他の固体撮像装置の断面図
符号の説明
1 パッケージ
2 パッケージ
3 パッケージ
4 パッケージ
11 ベース部
12 側壁部
12a 側壁部内面
13 段差部
14 凹部
15 残留部
16 凹部
31 内部端子
32 外部端子
51 固体撮像素子
52 接着剤
53 ボンディングワイヤー
200A セラミック板
200B セラミック板
200C セラミック板
200D セラミック板
200E セラミック板

Claims (6)

  1. 固体撮像素子が固着されるベース部と、前記ベース部の周縁に立ち上がって固体撮像素子を収容する凹状の空間を形成している側壁部と、固体撮像素子の端子を外部に引き出すために前記側壁部の内周の段差部上に配された内部端子とを有した固体撮像素子用パッケージにおいて、
    前記段差部の下部に、固体撮像素子を固着する接着剤からのブリードの前記内部端子への這い上がりを阻止する複数の凹部が互いに間隔をおいて形成された固体撮像素子用パッケージ。
  2. ベース部に、段差部の凹部に接続する凹部が形成されている請求項1記載の固体撮像素子用パッケージ。
  3. 凹部の底面の面租度が他面の面粗度よりも大きい請求項1または請求項2のいずれかに記載の固体撮像素子用パッケージ。
  4. ベース部および側壁部はセラミック板を積層して形成されている請求項1または請求項2のいずれかに記載の固体撮像素子用パッケージ。
  5. ベース部および側壁部は樹脂によって形成されている請求項1または請求項2のいずれかに記載の固体撮像素子用パッケージ。
  6. 請求項1記載の固体撮像素子用パッケージに固体撮像素子が固着され、ワイヤーボンドされた固体撮像装置。
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JP (1) JP2007173496A (ja)
CN (1) CN100508201C (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007180653A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Funai Electric Co Ltd 複眼撮像装置
JP2011014615A (ja) * 2009-06-30 2011-01-20 Denso Corp センサ装置およびその製造方法
JP2014029974A (ja) * 2012-06-26 2014-02-13 Kyocera Corp 電子部品収納用パッケージ
JP2020145361A (ja) * 2019-03-08 2020-09-10 三菱マテリアル株式会社 ヒートシンク付き絶縁回路基板及びパワーモジュール
JP7338440B2 (ja) 2019-12-12 2023-09-05 三菱マテリアル株式会社 ヒートシンク付き絶縁回路基板及び電子機器

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010219489A (ja) * 2009-02-20 2010-09-30 Toshiba Corp 半導体装置およびその製造方法
JP2010278667A (ja) * 2009-05-27 2010-12-09 Fujifilm Corp 固体撮像ユニット、撮影装置、および固体撮像素子固定方法
JP2011101228A (ja) * 2009-11-06 2011-05-19 Toshiba Corp セラミックパッケージおよびカメラモジュール
CN102238319A (zh) * 2010-04-26 2011-11-09 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 摄像装置
CN102508587B (zh) * 2011-11-16 2015-10-21 浙江金徕镀膜有限公司 遮挡结构、使用该遮挡结构的电容式触控面板及其制作方法
CN102520831B (zh) * 2011-11-16 2016-01-20 浙江金徕镀膜有限公司 遮挡结构及使用该遮挡结构的电容式触控面板
CN110767610B (zh) * 2019-10-15 2021-06-25 四川豪威尔信息科技有限公司 一种集成电路及其制造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0653459A (ja) * 1992-07-27 1994-02-25 Fuji Photo Optical Co Ltd 固体撮像素子パッケージ
JPH07335912A (ja) * 1994-06-06 1995-12-22 Fujikura Ltd 半導体センサのパッケージ
JPH11195723A (ja) * 1997-12-27 1999-07-21 Tdk Corp 配線基板
JP2002134763A (ja) * 2000-10-27 2002-05-10 Kyocera Corp 半導体受光素子収納用容器
JP2005252223A (ja) * 2004-02-02 2005-09-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学デバイス

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3173586B2 (ja) * 1998-03-26 2001-06-04 日本電気株式会社 全モールド型固体撮像装置およびその製造方法
US6559539B2 (en) * 2001-01-24 2003-05-06 Hsiu Wen Tu Stacked package structure of image sensor
US20030116817A1 (en) * 2001-12-20 2003-06-26 Yeh Nai Hua Image sensor structure
KR100609012B1 (ko) * 2004-02-11 2006-08-03 삼성전자주식회사 배선기판 및 이를 이용한 고체 촬상용 반도체 장치
US7378724B2 (en) * 2005-03-24 2008-05-27 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Cavity structure for semiconductor structures

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0653459A (ja) * 1992-07-27 1994-02-25 Fuji Photo Optical Co Ltd 固体撮像素子パッケージ
JPH07335912A (ja) * 1994-06-06 1995-12-22 Fujikura Ltd 半導体センサのパッケージ
JPH11195723A (ja) * 1997-12-27 1999-07-21 Tdk Corp 配線基板
JP2002134763A (ja) * 2000-10-27 2002-05-10 Kyocera Corp 半導体受光素子収納用容器
JP2005252223A (ja) * 2004-02-02 2005-09-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学デバイス

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007180653A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Funai Electric Co Ltd 複眼撮像装置
JP4492533B2 (ja) * 2005-12-27 2010-06-30 船井電機株式会社 複眼撮像装置
JP2011014615A (ja) * 2009-06-30 2011-01-20 Denso Corp センサ装置およびその製造方法
JP2014029974A (ja) * 2012-06-26 2014-02-13 Kyocera Corp 電子部品収納用パッケージ
JP2020145361A (ja) * 2019-03-08 2020-09-10 三菱マテリアル株式会社 ヒートシンク付き絶縁回路基板及びパワーモジュール
JP7298201B2 (ja) 2019-03-08 2023-06-27 三菱マテリアル株式会社 ヒートシンク付き絶縁回路基板及びパワーモジュール
JP7485129B2 (ja) 2019-03-08 2024-05-16 三菱マテリアル株式会社 ヒートシンク付き絶縁回路基板及びパワーモジュール
JP7338440B2 (ja) 2019-12-12 2023-09-05 三菱マテリアル株式会社 ヒートシンク付き絶縁回路基板及び電子機器

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