JP2007172927A - イオンビーム照射装置およびビーム均一性調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このイオンビーム照射装置は、ターゲット8近傍におけるイオンビーム4のy方向のビーム電流密度分布を測定するビームプロファイルモニタ14と、ターゲット位置よりも上流側におけるイオンビーム経路を挟んで相対向するようにy方向に並べて配置されていて互いに独立してx方向に可動の複数の可動遮蔽板16をそれぞれ有する可動遮蔽板群18a、18bと、それらを構成する各可動遮蔽板16を互いに独立してx方向に往復駆動する遮蔽板駆動装置22a、22bと、モニタ14による測定情報に基づいて遮蔽板駆動装置22a、22bを制御して、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に大きい位置に対応する前記相対向する可動遮蔽板16によるイオンビーム4の遮蔽量を相対的に多くして、y方向のビーム電流密度分布の均一性を向上させる遮蔽板制御装置24とを備えている。
【選択図】 図1
Description
U=σ/M
S(y)=R(y)・Wx
R(y)=(D(y)−Dmin )/D(y)
8 ターゲット
14 ビームプロファイルモニタ
16 可動遮蔽板
18a 第1の可動遮蔽板群
18b 第2の可動遮蔽板群
22a 第1の遮蔽板駆動装置
22b 第2の遮蔽板駆動装置
24 遮蔽板制御装置
Claims (6)
- 進行方向と交差する面内におけるy方向の寸法が当該y方向と直交するx方向の寸法よりも大きい形をしているイオンビームをターゲットに照射する構成のイオンビーム照射装置であって、
前記ターゲットの位置近傍におけるイオンビームの少なくともy方向のビーム電流密度分布を測定するビームプロファイルモニタと、
前記ターゲットの位置よりも上流側におけるイオンビーム経路のx方向の少なくとも片側に、y方向に並べて配置されていて、互いに独立してx方向に沿って可動でありイオンビームを遮るための複数の可動遮蔽板と、
前記複数の可動遮蔽板を互いに独立してx方向に沿って往復駆動する遮蔽板駆動装置と、
前記ビームプロファイルモニタによる測定情報に基づいて前記遮蔽板駆動装置を制御して、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に大きい位置に対応する前記可動遮蔽板によるイオンビームの遮蔽量を相対的に多くすることと、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に小さい位置に対応する前記可動遮蔽板によるイオンビームの遮蔽量を相対的に少なくすることの少なくとも一方を行って、y方向のビーム電流密度分布の均一性を向上させる制御を行う遮蔽板制御装置とを備えていることを特徴とするイオンビーム照射装置。 - 進行方向と交差する面内におけるy方向の寸法が当該y方向と直交するx方向の寸法よりも大きい形をしているイオンビームをターゲットに照射する構成のイオンビーム照射装置であって、
前記ターゲットの位置近傍におけるイオンビームの少なくともy方向のビーム電流密度分布を測定するビームプロファイルモニタと、
前記ターゲットの位置よりも上流側におけるイオンビーム経路のx方向の一方の片側に、y方向に並べて配置されていて、互いに独立してx方向に沿って可動でありイオンビームを遮るための複数の可動遮蔽板を有する第1の可動遮蔽板群と、
前記ターゲットの位置よりも上流側におけるイオンビーム経路のx方向の他方の片側に、前記第1の可動遮蔽板群を構成する各遮蔽板とイオンビーム経路を挟んでx方向においてそれぞれ相対向するようにy方向に並べて配置されていて、互いに独立してx方向に沿って可動でありイオンビームを遮るための複数の可動遮蔽板を有する第2の可動遮蔽板群と、
前記第1の可動遮蔽板群を構成する各可動遮蔽板を互いに独立してx方向に沿って往復駆動する第1の遮蔽板駆動装置と、
前記第2の可動遮蔽板群を構成する各可動遮蔽板を互いに独立してx方向に沿って往復駆動する第2の遮蔽板駆動装置と、
前記ビームプロファイルモニタによる測定情報に基づいて前記第1および第2の遮蔽板駆動装置を制御して、前記第1および第2の可動遮蔽板群を構成する可動遮蔽板の内の、イオンビーム経路を挟んで相対向する可動遮蔽板をx方向に沿って互いに実質的に同じ距離だけ逆方向に動かすことによって、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に大きい位置に対応する前記相対向する可動遮蔽板によるイオンビームの遮蔽量を相対的に多くすることと、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に小さい位置に対応する前記相対向する可動遮蔽板によるイオンビームの遮蔽量を相対的に少なくすることの少なくとも一方を行って、y方向のビーム電流密度分布の均一性を向上させる制御を行う遮蔽板制御装置とを備えていることを特徴とするイオンビーム照射装置。 - 前記各可動遮蔽板は、y方向に対して斜めに傾け、隣り合う可動遮蔽板間を互いに離し、かつイオンビームの進行方向に見て、隣り合う可動遮蔽板間に隙間がないように配置されている請求項1または2記載のイオンビーム照射装置。
- 進行方向と交差する面内におけるy方向の寸法が当該y方向と直交するx方向の寸法よりも大きい形をしているイオンビームをターゲットに照射する構成のイオンビーム照射装置における調整方法であって、
前記ターゲットの位置近傍におけるイオンビームの少なくともy方向のビーム電流密度分布を測定するビームプロファイルモニタと、
前記ターゲットの位置よりも上流側におけるイオンビーム経路のx方向の少なくとも片側に、y方向に並べて配置されていて、互いに独立してx方向に沿って可動でありイオンビームを遮るための複数の可動遮蔽板とを用いて、
前記ビームプロファイルモニタによる測定情報に基づいて、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に大きい位置に対応する前記可動遮蔽板をx方向に沿って動かして当該可動遮蔽板によるイオンビームの遮蔽量を相対的に多くすることと、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に小さい位置に対応する前記可動遮蔽板をx方向に沿って動かして当該可動遮蔽板によるイオンビームの遮蔽量を相対的に少なくすることの少なくとも一方を行って、y方向のビーム電流密度分布の均一性を向上させることを特徴とするビーム均一性調整方法。 - 進行方向と交差する面内におけるy方向の寸法が当該y方向と直交するx方向の寸法よりも大きい形をしているイオンビームをターゲットに照射する構成のイオンビーム照射装置における調整方法であって、
前記ターゲットの位置近傍におけるイオンビームの少なくともy方向のビーム電流密度分布を測定するビームプロファイルモニタと、
前記ターゲットの位置よりも上流側におけるイオンビーム経路のx方向の一方の片側に、y方向に並べて配置されていて、互いに独立してx方向に沿って可動でありイオンビームを遮るための複数の可動遮蔽板を有する第1の可動遮蔽板群と、
前記ターゲットの位置よりも上流側におけるイオンビーム経路のx方向の他方の片側に、前記第1の可動遮蔽板群を構成する各遮蔽板とイオンビーム経路を挟んでx方向においてそれぞれ相対向するようにy方向に並べて配置されていて、互いに独立してx方向に沿って可動でありイオンビームを遮るための複数の可動遮蔽板を有する第2の可動遮蔽板群とを用いて、
前記ビームプロファイルモニタによる測定情報に基づいて、前記第1および第2の可動遮蔽板群を構成する可動遮蔽板の内の、イオンビーム経路を挟んで相対向する可動遮蔽板をx方向に沿って互いに実質的に同じ距離だけ逆方向に動かすことによって、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に大きい位置に対応する前記相対向する可動遮蔽板によるイオンビームの遮蔽量を相対的に多くすることと、測定したy方向のビーム電流密度が相対的に小さい位置に対応する前記相対向する可動遮蔽板によるイオンビームの遮蔽量を相対的に少なくすることの少なくとも一方を行って、y方向のビーム電流密度分布の均一性を向上させることを特徴とするビーム均一性調整方法。 - 前記各可動遮蔽板は、y方向に対して斜めに傾け、隣り合う可動遮蔽板間を互いに離し、かつイオンビームの進行方向に見て、隣り合う可動遮蔽板間に隙間がないように配置されている請求項4または5記載のビーム均一性調整方法。
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