JP2011179093A - エッチング装置おけるシャッタ機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パレット22に複数のパーツを搭載し、パレット22の下方のイオンビーム発射装置から発射されたイオンビームIをパレット22の入射口23からパーツの底部に照射することによりエッチングを行うエッチング装置において、入射口23に配置されたシャッタ羽根14と、シャッタ羽根14が連結された回転アクチェータ12とを備え、回転アクチェータ12の回転によりシャッタ羽根14を、入射口23を開放する垂直位置と入射口23を閉鎖する水平位置とに回転駆動するようにした。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明のエッチング装置におけるシャッタ機構の斜視図、図2は、同上の分解斜視図、図3は、シャッタユニットの斜視図である。
図1、図6および図7において、パレットユニット20は、搬送ボート21と、この搬送ボート21上に装着されたパレット22を有している。搬送ボート21は、多数の入射孔23が形成された第2アパーチャ24と、この第2アパーチャ24の両側に形成された側板25とを備えている。第2アパーチャ24の4周には突縁24aが形成され、突縁24aの内側に凹部24bが形成され、この凹部24bが第2アパーチャ24となっている。突縁24上には複数の水平ガイドロール26が設けられ、側板25の両側には垂直ガイドロール27が設けられている。凹部24bに上記パレット22が嵌め込まれている。パレット22には、水晶振動子などのパーツ(図示せず)を搭載するための角型の搭載孔30がマトリックス状に多数(図示の例では横列16個)形成されている。
ガイドレール17に装着されたパレットユニット20のパレット22の搭載孔23に水晶振動子などのパーツP(図7参照)を搭載し、先頭の2列の搭載孔23Aを第1アパーチャ7の小孔6上に合致させる。このとき、全てのシャッタ羽根14は、図7に鎖線で示すように垂直位置に回転しており、これにより、下方に設けられているプラズマイオン発射装置(図示せず)から発射されるプラズマイオンIが小孔6を通って第2アパーチャ24の入射孔23からパーツに入射し、これをエッチングする。パーツの電極はインターフェースモジュール15に接続され、パーツの周波数を常時計測している。周波数が適正値になった瞬間、インターフェースモジュール15の制御により回転アクチェータ12を制御し、シャッタ羽根14を図7の実線のように水平位置に回転させることにより、入射孔23を閉鎖し、プラズマイオンを塞き止める。
エッチング処理するパーツとしては、水晶振動子のほか、圧電素子、発光素子その他任意の半導体に適用することができる。
14 シャッタ羽根
12 回転アクチェータ
13 回転軸
16 嵌合部
22 パレット
23 入射口
I イオンビーム
Claims (3)
- パレットに複数のパーツを搭載し、前記パレットの下方のイオンビーム発射装置から発射されたイオンビームを前記パレットの入射口から該パーツの底部に照射することによりエッチングを行うエッチング装置において、
前記入射口に配置されたシャッタ羽根と、
前記シャッタ羽根が連結された回転アクチェータとを備え、
該回転アクチェータの回転により前記シャッタ羽根を、前記入射口を開放する垂直位置と前記入射口を閉鎖する水平位置とに回転駆動するようにしたことを特徴とするエッチング装置おけるシャッタ機構。 - 前記回転アクチェータは、サーボモータであることを特徴とする請求項1記載のエッチング装置おけるシャッタ機構。
- 前記シャッタ羽根の基部に嵌合部が形成され、該嵌合部を前記回転アクチェータの回転軸に着脱自在に嵌合させたことを特徴とする請求項1又は2記載のエッチング装置おけるシャッタ機構。
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