JP2007171206A - リトロー型干渉計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】干渉計コアに誘導される光ビームを含み、干渉計コアは光ビームを第1の成分のビーム及び第2の成分のビームに分割し、第1の成分のビームはリトロー角で回折格子に誘導され、干渉計コアにより受光され、第2の成分のビームと合成され、合成された第1の成分のビーム及び第2の成分のビームは、合成された第1の成分のビーム及び第2の成分のビームを測定し回折格子の変位を判定する検出器に誘導される、変位を測定するための装置や方法である。
【選択図】図1
Description
θ=sin−1(λ/2p) (1)
N1=(Δx/p)+(Δz/p)|cotθ| (2)
N2=−(Δx/p)+(Δz/p)|cotθ| (3)
Δx=(p/2)(N1−N2)及びΔz=(p/2)(N1+N2)|tanθ|
(4)
Δx=Np/4 (5)
Claims (35)
- 変位を測定するための装置であって、
干渉計コアに誘導される光ビームを含み、該干渉計コアは該光ビームを第1の成分のビーム及び第2の成分のビームに分割するようになっており、該第1の成分のビームは概ねリトロー角で回折格子に誘導され、前記干渉計コアによって受光され、前記第2の成分のビームと合成され、合成された前記第1の成分のビーム及び前記第2の成分のビームは、合成された該第1の成分のビーム及び該第2の成分のビームを測定して前記回折格子の変位を判定するようになっている検出器に誘導される、変位を測定するための装置。 - 前記第1の成分のビームは測定ビームであり、前記第2の成分のビームは基準ビームである、請求項1に記載の変位を測定するための装置。
- 前記第1の成分のビームは測定ビームであり、前記第2の成分のビームは随伴(companion)測定ビームである、請求項1に記載の変位を測定するための装置。
- 前記光ビームは第1の光ビーム及び第2の光ビームに分割され、該第1の光ビームは測定成分及び基準成分を含み、該第2の光ビームは測定成分及び基準成分を含む、請求項1に記載の変位を測定するための装置。
- 2つの直交する偏光ビームを有する二重周波数光源が前記光ビームを放射する、請求項1に記載の変位を測定するための装置。
- 2度通過する測定ビーム進行路を与えるようになっているレトロリフレクタをさらに備える、請求項1ないし5のいずれか一項に記載の変位を測定するための装置。
- 測定ビーム進行路及び基準ビーム進行路は前記干渉計コアの中において概ね同じである、請求項1に記載の変位を測定するための装置。
- 前記光ビームは第1の光ビームであり、前記干渉計コアに入射する第2の光ビームをさらに含み、該第2の光ビームは、直交する偏光ビームを有する二重周波数光源から生成される、請求項1に記載の変位を測定するための装置。
- 前記第1の光ビーム及び前記第2の光ビームはそれぞれ、第1の測定ビーム及び第2の測定ビーム、並びに第1の基準ビーム及び第2の基準ビームに分割され、前記干渉計は、前記第1の測定ビーム及び前記第2の測定ビームを概ね前記リトロー角で前記回折格子上に集束させるための再誘導光学系をさらに備える、請求項8に記載の変位を測定するための装置。
- 前記ビームスプリッタ及び前記再誘導光学系は前記干渉計コアと一体構造である、請求項9に記載の変位を測定するための装置。
- 前記干渉計コアは、少なくとも1つの偏光変換デバイスをさらに備え、該偏光変換デバイスの第1の部分は反射表面を有し、該偏光変換デバイスの第2の部分は透過表面を有する、請求項1に記載の変位を測定するための装置。
- 前記偏光変換デバイスは、4分の1波長板及びファラデー回転子を含むグループから選択されるデバイスのうちの1つを含む、請求項11に記載の変位を測定するための装置。
- 前記偏光変換デバイスは、前記ファラデー回転子と前記回折格子との間に配置される偏光子をさらに備える、請求項12に記載の変位を測定するための装置。
- 前記反射表面を有する前記偏光変換デバイスの前記部分は、反射表面を有する2つの対角線上に配置される象限を含み、前記透過表面は2つの対角線上に配置される透過象限を含む、請求項11に記載の変位を測定するための装置。
- 回折格子の変位を測定するための方法であって、
光ビームを第1の成分の光ビーム及び第2の成分の光ビームに分割すること、
前記第1の成分の光ビームを概ねリトロー角で前記回折格子に誘導すること、
前記第1の成分の光ビームの回折ビームを受光すること、
前記第1の成分の光ビームの前記回折ビームを前記第2の成分の光ビームと合成すること、及び
合成された前記第1の成分の光ビーム及び前記第2の成分の光ビームを測定することであって、それによって、前記回折格子の変位を判定する、測定することを含む、回折格子の変位を測定するための方法。 - 前記第1の成分の光ビームは測定ビームであり、前記第2の成分の光ビームは基準ビームである、請求項15に記載の回折格子の変位を測定するための方法。
- 前記第1の成分のビームは測定ビームであり、前記第2の成分のビームは随伴測定ビームである、請求項15に記載の回折格子の変位を測定するための方法。
- 前記随伴測定ビームを概ね前記リトロー角で前記回折格子に誘導すること、及び前記随伴測定ビームの回折ビームを受光することをさらに含む、請求項17に記載の回折格子の変位を測定するための方法。
- 前記分割するステップは、偏光状態に応じて前記光ビームを分割することを含む、請求項15に記載の回折格子の変位を測定するための方法。
- 前記光ビームは第1の光ビームであり、前記方法は、第2の光ビームを第1の成分の光ビーム及び第2の成分の光ビームに分割すること、前記第1の光ビームの前記第1の成分を概ね前記リトロー角で前記回折格子に誘導すること、及び前記第2の光ビームの前記第1の成分を、前記第1の光ビームの前記第1の成分の角度と反対の方向において、概ね前記リトロー角で前記回折格子に誘導することをさらに含む、請求項15に記載の回折格子の変位を測定するための方法。
- 前記光ビームは、2つの直交する偏光ビームを有する二重周波数光源から生成される、請求項15に記載の回折格子の変位を測定するための方法。
- 前記光ビームは単一周波数光源から生成される、請求項15に記載の回折格子の変位を測定するための方法。
- 前記誘導するステップは、前記第1の成分の光ビームを概ね前記リトロー角で前記回折格子に2度以上誘導し、その後、前記第1の成分の光ビームと前記第2の成分の光ビームとを合成することをさらに含む、請求項15に記載の回折格子の変位を測定するための方法。
- 光ビームを放射するようになっている光源と、
回折格子と、
検出器と、
偏光ビームスプリッタ境界面を有する干渉計コアであって、該偏光ビームスプリッタ境界面は前記光ビームを第1の成分のビーム及び第2の成分のビームに分割するようになっており、該干渉計コアは前記光源と前記回折格子との間に配置され、前記光ビームを受光し、少なくとも前記第1の成分のビームを概ねリトロー角で前記回折格子に向かって誘導するように配置される、干渉計コアと、
前記検出器において測定する前に、前記第1の成分のビームと前記第2の成分のビームとを合成するようになっている出力光学系とを備える、装置。 - 前記光源は二重周波数光源であり、前記第1の成分のビーム及び前記第2の成分のビームは互いに対して直交偏光される、請求項24に記載の装置。
- 前記光源は単一周波数光源である、請求項24に記載の装置。
- 前記干渉計コアと前記回折格子との間に配置される偏光変換デバイスをさらに備える、請求項24に記載の装置。
- 前記偏光変換デバイスのうちの少なくとも一方は、4分の1波長リターダ、並びに半波長リターダ及びファラデー回転子の組み合わせを含むグループから選択されるデバイスを含む、請求項27に記載の装置。
- 前記偏光変換デバイスの一部が反射表面をさらに含む、請求項27に記載の装置。
- レトロリフレクタをさらに備える、請求項24に記載の装置。
- 前記光ビームを第1の光ビーム及び第2の光ビームに分割するようになっている非偏光ビームスプリッタを含む入力光学系をさらに備える、請求項24に記載の装置。
- 前記第1の光ビーム及び前記第2の光ビームは前記干渉計コアによって受光される、請求項31に記載の装置。
- 前記光ビームは第1の光ビームを含み、前記装置は、前記干渉計コアによって受光される第2の光ビームをさらに含む、請求項24に記載の装置。
- 前記成分ビームを前記回折格子上に集束させるようになっている第1のプリズム及び第2のプリズムをさらに備える、請求項33に記載の装置。
- 前記回折格子は、第1の方向に配置される第1の1組の溝と、第2の方向に配置される第2の1組の溝とをさらに備え、前記装置は、前記第1の1組の溝に対応するようになっている光源、検出器及び干渉計コアと、前記第2の1組の溝に対応するようになっている光源、検出器及び干渉計コアとをさらに備える、請求項24に記載の装置。
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