JP2007170827A - 周期性パターンの欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に周期性パターンを持つ基板の表面欠陥を検査する装置であって、前記検査対象基板に対し照射距離が一定であるように制御可能な照明光源を備えた照明駆動部と、検査対象基板から生ずる回折光の検出手段と、その回折光を光強度情報に変換する手段を具備していることを特徴とする周期性パターンの欠陥検査装置である。
【選択図】図1
Description
1)寸法精度[設計寸法からの偏差(線幅リニアリティー、XY寸法誤差、疎密製)]
・面内バラツキ
・面間バラツキ
2)位置精度(レジストレーション精度)
・トータルピッチズレ
・個別ピッチズレ
・チップ倍率、歪
・チップローテーション、レクチル直交度
・チップ挿入精度
3)パターン欠陥
・繰り返し欠陥(共通欠陥)の有無
・ランダム欠陥の密度、有無
・欠陥サイズ
・異物、パターン形状(フィールドつなぎ精度、コーナー丸まり、エッジ形状)汚れ傷
一般的な検査方法で上記の観点から品質保証を行うが、それぞれの検査方法はミクロ的に行われている。一方、ミクロ検査では良品判定でも官能検査で不良品として判断されるものがある。周期的な僅かなズレが周期的に発生する現象がマクロ的観察でスジムラとなって現れる。例えば、フォトマスクの場合ムラのあるフォトマスクで露光されたLCD等イージャー系製品ではムラが目視で見えてしまうことから、不良品と判断される。このように被検査物を回折格子に見立てて平行光を照射することで透過光に現れる欠陥ををエリアカメラで検出している。このときの平行光の照射角度が欠陥の出現に大きく影響する。
請求項1に係る発明は、表面に周期性パターンを持つ基板の表面欠陥を検査する装置であって、
前記検査対象基板に対し照射距離が一定であるように制御可能な照明光源を備えた照明駆動部と、検査対象基板から生ずる回折光の検出手段と、その回折光を光強度情報に変換する手段を具備していることを特徴とする周期性パターンの欠陥検査装置である。
項1記載の周期性パターンの欠陥検査装置である。
を可視化している。
2・・・回折
3・・・被検査物
4・・・回折検査光
5・・・回折検査光源
6・・・集光レンズ
7・・・スクリーン
8・・・回折光像
9・・・導入光路
10・・・調整角機構
11・・・光源台
12・・・円弧ラック
13・・・駆動ピニオン(モータ)
14・・・光源ライトガイド
15・・・光源回転台座
16・・・回転台座ベース
17・・・円弧ガイド
18・・・円弧原点検出器
19・・・原点検出ドグ
20・・・回転台座位置検出ドグ
21・・・回転台座位置検出器
22・・・回転台座回転モータ
23・・・回転伝達ベルト
Claims (2)
- 表面に周期性パターンを持つ基板の表面欠陥を検査する装置であって、
前記検査対象基板に対し照射距離が一定であるように制御可能な照明光源を備えた照明駆動部と、検査対象基板から生ずる回折光の検出手段と、その回折光を光強度情報に変換する手段を具備していることを特徴とする周期性パターンの欠陥検査装置。 - 前記照明駆動部が、円弧ガイドと円弧状ラックガイドを備え、その円弧ガイドと同じ曲率の円弧状ラックガイドに嵌合して駆動伝達ピニオンが取り付けられ、さらに原点検出ドグを検出する円弧原点検出器を備えた構成からなり、前記検査対象基板の一点を中心に円弧動作する回折検査光源を光源回転台座に搭載されて、その光源回転台座を回転させる回転台座ベースの外周と回転台座回転モータに直結された回転プーリーを回転伝達ベルトで連結されて回転させ、回転台座位置検出器を備えて回転台座位置検出ドグを検出し回折検査光のねじれの向きを制御し、前記検査対象基板に対し照射距離が一定であるように制御可能な照明光源を備えた照明駆動部であることを特徴とする請求項1記載の周期性パターンの欠陥検査装置。
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