JP2007161548A - 多結晶シリコン鋳造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン固形原料T1を収容する有底筒状のルツボ3と、ルツボ3を加熱して収容したシリコン固形原料T1を溶融させるヒーター6と、ルツボ3が載置され、ヒーター6によって加熱されて溶融したシリコン固形原料T1を冷却しつつ凝固させる冷却板5と、ルツボ3の外周に設けられた断熱部材9とを備える多結晶シリコン鋳造装置Bにおいて、ルツボ3に、上端3c側の開口部分を上方に向かうに従い拡開する原料積載部材3eを設ける。
【選択図】図1
Description
2 チャンバー内断熱部材
3 ルツボ
3a 底部
3b 側壁
3c 上端
3e 原料積載部材
3f 上端
4 桶
5 冷却板
5a 底板部
5b 側壁部
6 ヒーター
6a 上部ヒーター
6b 下部ヒーター
7 上室
8 下室
9 ルツボ断熱部材(断熱部材)
A 多結晶シリコン鋳造装置
B 多結晶シリコン鋳造装置
C 多結晶シリコン鋳造装置
O1 ルツボの軸線
T1 シリコン固形原料
T2 シリコン融液
T シリコンインゴット
Claims (5)
- シリコン固形原料を収容する有底筒状のルツボと、該ルツボを加熱して収容した前記シリコン固形原料を溶融させるヒーターと、前記ルツボが載置され、前記ヒーターによって加熱されて溶融した前記シリコン固形原料を冷却しつつ凝固させる冷却板と、前記ルツボの外周に設けられた断熱部材とを備える多結晶シリコン鋳造装置において、
前記ルツボには、上端側の開口部分を上方に向かうに従い拡開する原料積載部材が設けられていることを特徴とする多結晶シリコン鋳造装置。 - 請求項1記載の多結晶シリコン鋳造装置において、
前記原料積載部材が前記ルツボに対して分離可能に設けられていることを特徴とする多結晶シリコン鋳造装置。 - 請求項1または請求項2に記載の多結晶シリコン鋳造装置において、
前記断熱部材の上端面が、前記原料積載部材の外面に沿うように形成されているとともに、前記原料積載部材の外面に近接または当接されていることを特徴とする多結晶シリコン鋳造装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の多結晶シリコン鋳造装置において、
前記冷却板は、側端側が上方に延出されて底板部と側壁部を備える略有底筒状に形成されていることを特徴とする多結晶シリコン鋳造装置。 - 請求項4記載の多結晶シリコン鋳造装置において、
前記冷却板がカーボンまたはシリコンカーバイドまたは表面がシリコンカーバイド化したカーボンで形成されていることを特徴とする多結晶シリコン鋳造装置。
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